技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種可以始終確保最佳聚焦狀態(tài)、無需前期建模、閉環(huán)跟蹤控制、響應速度快的同軸隨形聚焦系統(tǒng)，包括擴束裝置、分束器、聚束裝置、光電探測器、伺服機構以及閉環(huán)控制電路。且聚束裝置與擴束裝置同軸設置。伺服機構帶動擴束裝置、分束器、光電探測器沿擴束裝置和聚束裝置的軸線方向往復運動進行聚焦狀態(tài)誤差值補償。本發(fā)明提供的同軸隨形聚焦系統(tǒng)，通過同軸設置的擴束裝置和聚束裝置匯聚光線于工件表面，工件表面產(chǎn)生反向傳輸?shù)纳⑸涔猓⑸涔饨?jīng)過聚束裝置匯聚，并被分束器反射于光電探測器上。閉環(huán)控制電路根據(jù)光電探測器接收到的光強確定工件表面的匯聚光束的聚焦狀態(tài)，并驅動伺服機構往復運動來補償聚焦狀態(tài)誤差值，直到誤差值為零。

技術研發(fā)人員：趙猛
受保護的技術使用者：趙猛
技術研發(fā)日：2017.06.05
技術公布日：2017.11.10