技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石亞微米級(jí)切面的激光高精加工方法，采用對(duì)藍(lán)寶石有高透過(guò)率波長(zhǎng)的皮秒級(jí)脈寬激光從材料下表面引起超細(xì)相變點(diǎn)或電子態(tài)去除點(diǎn)，經(jīng)激光焦點(diǎn)提升形成平行于激光入射方向的線跡，在化學(xué)腐蝕環(huán)境下按切割路徑配置激光作用線跡點(diǎn)的相交連接，在形成與切割路徑相符的相變區(qū)域或電子態(tài)去除區(qū)域的同時(shí)，利用皮秒激光輻照微熱效應(yīng)對(duì)化學(xué)腐蝕的催化作用，獲得藍(lán)寶石樣件沿加工路徑的分離。本發(fā)明克服光束高斯聚焦模式限制以及實(shí)現(xiàn)近零錐度無(wú)熱影響區(qū)的藍(lán)寶石高精切割，可直接實(shí)現(xiàn)微米乃至亞微米級(jí)高表面質(zhì)量的不受厚度、路徑限制的超精細(xì)藍(lán)寶石或其他相同材質(zhì)的切割。

技術(shù)研發(fā)人員：季凌飛;燕天陽(yáng);王文豪;林真源;安娜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710158826
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.17
技術(shù)公布日：2017.06.27