1.一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于包括如下步驟:
1)將兩面拋光的藍(lán)寶石片固定在夾具上,將夾具裝設(shè)于皮秒激光器的工作臺(tái)上;
2)夾具由上下料系統(tǒng)送至加工處定位,此時(shí)通入輔助氣體SF6,加工處的加工頭對(duì)藍(lán)寶石片進(jìn)行切割,控制系統(tǒng)控制加工頭切割軌跡;
3)上下料系統(tǒng)將切割完后的夾具送至清洗包裝,將夾具中的藍(lán)寶石鏡片和余料分開(kāi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟1)中藍(lán)寶石片為圓形或者矩形,皮秒激光器的功率為60-85W。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中加工處定位對(duì)藍(lán)寶石片定位分割位置,在藍(lán)寶石片上切割出藍(lán)寶石鏡片,所述藍(lán)寶石鏡片在藍(lán)寶石片上均勻分布排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中加工頭為單頭或者雙頭,所述加工頭的加工軌跡為沿著藍(lán)寶石鏡片的形狀和排列依次間斷切割。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中SF6的進(jìn)氣速度為200-300sccm,所述皮秒激光器開(kāi)關(guān)延時(shí)100-150us,跳轉(zhuǎn)延時(shí)150-250us。