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一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法與流程

文檔序號(hào):12363838閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于包括如下步驟:

1)將兩面拋光的藍(lán)寶石片固定在夾具上,將夾具裝設(shè)于皮秒激光器的工作臺(tái)上;

2)夾具由上下料系統(tǒng)送至加工處定位,此時(shí)通入輔助氣體SF6,加工處的加工頭對(duì)藍(lán)寶石片進(jìn)行切割,控制系統(tǒng)控制加工頭切割軌跡;

3)上下料系統(tǒng)將切割完后的夾具送至清洗包裝,將夾具中的藍(lán)寶石鏡片和余料分開(kāi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟1)中藍(lán)寶石片為圓形或者矩形,皮秒激光器的功率為60-85W。

3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中加工處定位對(duì)藍(lán)寶石片定位分割位置,在藍(lán)寶石片上切割出藍(lán)寶石鏡片,所述藍(lán)寶石鏡片在藍(lán)寶石片上均勻分布排列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中加工頭為單頭或者雙頭,所述加工頭的加工軌跡為沿著藍(lán)寶石鏡片的形狀和排列依次間斷切割。

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述一種高速激光蝕刻藍(lán)寶石鏡片的方法,其特征在于:所述步驟2)中SF6的進(jìn)氣速度為200-300sccm,所述皮秒激光器開(kāi)關(guān)延時(shí)100-150us,跳轉(zhuǎn)延時(shí)150-250us。

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