本發(fā)明涉及一種用于加工系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)裝置，該加工系統(tǒng)用于借助高能加工光束加工工件，尤其是在空間受限的加工區(qū)域內(nèi)。該高能加工光束優(yōu)選為激光光束，且該加工系統(tǒng)優(yōu)選為激光加工系統(tǒng)，例如用于焊接或切割工件。

背景技術(shù)：

這種加工系統(tǒng)的加工光束通常為顯著的危險(xiǎn)源。例如通過(guò)加工光束的雜散反射或錯(cuò)誤的定向可能造成加工系統(tǒng)區(qū)域的大規(guī)模損壞。因此，已知的是設(shè)置所謂的安全室，其形成由防護(hù)壁構(gòu)成、包圍加工系統(tǒng)的裝置。換句話(huà)說(shuō)，加工區(qū)域或加工系統(tǒng)的工作空間有針對(duì)性地在空間上受到限制，以便阻擋高能加工光束，保護(hù)安全室外的區(qū)域。

然而，為了確保有效的保護(hù)，特別是在使用數(shù)千瓦范圍的激光的裝置中，存在對(duì)防護(hù)壁的性能的高要求。該防護(hù)壁必須具有例如對(duì)抗激光直接照射的高穩(wěn)定性。這相應(yīng)地造成了對(duì)所使用的材料和材料強(qiáng)度的高要求，由此顯著提高了成本。同樣的情況也涉及可能的卷閘門(mén)或其他進(jìn)入安全室的入口系統(tǒng)，其應(yīng)使工件能夠送抵和運(yùn)走。這種入口系統(tǒng)同樣必須耗費(fèi)成本地進(jìn)行強(qiáng)化，并因此只能通過(guò)高功率馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。

此外，為了整體提高安全性并降低對(duì)這種安全室的要求，已知的是設(shè)置所謂的主動(dòng)安全系統(tǒng)。該主動(dòng)安全系統(tǒng)監(jiān)測(cè)加工光束的實(shí)際定向，和/或該加工光束在安全室內(nèi)部的撞擊區(qū)域。由此可確保加工光束只射向安全室的為此所設(shè)的區(qū)域內(nèi)，并特別是不在較長(zhǎng)的時(shí)間范圍內(nèi)直接擊中防護(hù)壁。

此外，例如在文件DE 20 2007 012 255 U1中所述，已知安裝在防護(hù)壁上的傳感器裝置，其記錄激光束在防護(hù)壁上的撞擊。同樣已知的是，在安全室內(nèi)部設(shè)置攝像機(jī)，以檢測(cè)激光束在安全室內(nèi)部的實(shí)際撞擊點(diǎn)。這種解決方案例如在文件WO 2008/019847 A1中公開(kāi)?，F(xiàn)有技術(shù)DE 10 2008 052 570 A1還公開(kāi)了一種安裝在機(jī)器人上的攝像機(jī)，其監(jiān)測(cè)由機(jī)器人操縱的激光焊接頭的定向。由此也可確保激光束只射向工作空間的預(yù)定區(qū)域。

然而，已經(jīng)表明，已知的解決方案并不能確保在所有加工情況下的足夠可靠的監(jiān)測(cè)，此外也往往需要復(fù)雜且昂貴的裝置措施。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的任務(wù)在于提供一種開(kāi)頭所述類(lèi)型的監(jiān)測(cè)裝置，其成本低并可實(shí)現(xiàn)可靠的監(jiān)測(cè)。

這種任務(wù)通過(guò)一種監(jiān)測(cè)裝置得以實(shí)現(xiàn)，其包括用于提供測(cè)量光束的測(cè)量光束源和用于檢測(cè)由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量的記錄單元，其中，該監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置為，將測(cè)量光束耦合進(jìn)加工系統(tǒng)的加工光束光學(xué)裝置中，從而使測(cè)量光束和加工光束能夠指向環(huán)境中的共同位置，其中，該監(jiān)測(cè)裝置還設(shè)置為，依據(jù)測(cè)得的測(cè)量光束的反射分量得出至少一個(gè)距離值，由該距離值能夠推導(dǎo)出加工光束光學(xué)裝置與反射測(cè)量光束的環(huán)境區(qū)域的距離，并且其中，該監(jiān)測(cè)裝置還包括判定單元，該判定單元用于判定測(cè)得的距離值是否位于容許距離值范圍內(nèi)。

發(fā)明人認(rèn)識(shí)到，已知的安裝在防護(hù)壁上的傳感器系統(tǒng)是極其昂貴的，并且需要復(fù)雜的改建措施。此外，這一解決方案往往在防護(hù)壁已經(jīng)發(fā)生損壞時(shí)才能檢測(cè)到加工系統(tǒng)的不良狀態(tài)。在基于分布在安全室內(nèi)的攝像機(jī)的解決方案中，必須始終確保攝像機(jī)的視野不被無(wú)意地遮蔽。這伴隨著相應(yīng)的高設(shè)置消耗和高學(xué)習(xí)消耗。在安裝在機(jī)器人上的攝像機(jī)裝置中，則又只能間接地從焊接頭的位置推斷激光束在環(huán)境中的實(shí)際撞擊點(diǎn)。由此便無(wú)法檢測(cè)焊接頭內(nèi)部的錯(cuò)誤，例如激光束錯(cuò)誤地偏轉(zhuǎn)向非預(yù)定的方向。

替代地，本發(fā)明設(shè)置為，至少在加工光束光學(xué)裝置和環(huán)境中的撞擊區(qū)域之間，通過(guò)同軸平行發(fā)射的測(cè)量光束直接追蹤加工光束的實(shí)際路徑。由此能夠優(yōu)選連續(xù)監(jiān)測(cè)實(shí)際的光束長(zhǎng)度或加工光束光學(xué)裝置與環(huán)境中的撞擊區(qū)域的距離。由此能夠確定，測(cè)量光束是否擊中、以及由此加工光束是否也擊中相對(duì)較接近加工光束光學(xué)裝置設(shè)置的工件，或者是否相隔較大距離才發(fā)生碰撞，例如擊中通常離得較遠(yuǎn)的防護(hù)壁。

為此，測(cè)量光束源可以設(shè)置為，以適當(dāng)?shù)牟ㄩL(zhǎng)產(chǎn)生并發(fā)射光或激光輻射。在更廣泛的意義上，測(cè)量光束源也可以設(shè)計(jì)為用于連接光導(dǎo)體的接口的形式或包括這種接口，以便耦合外部產(chǎn)生的測(cè)量光束。

測(cè)量光束可以連續(xù)地作為單一光束脈沖或作為光束脈沖序列射出，并以已知的方式進(jìn)行光學(xué)調(diào)整。此外，可以理解的是，測(cè)量光束也可以不依賴(lài)于當(dāng)前加工光束的產(chǎn)生而耦合進(jìn)加工光束光學(xué)裝置。因此，根據(jù)本發(fā)明，可以設(shè)置為，測(cè)量光束在未平行產(chǎn)生加工光束的情況下進(jìn)入加工光束光學(xué)裝置，并由該加工光束光學(xué)裝置指向特定的環(huán)境區(qū)域。由此能夠提前檢測(cè)到加工光束的預(yù)期撞擊區(qū)域。而替代地或補(bǔ)充地，也可以設(shè)置為平行產(chǎn)生并定向測(cè)量光束和加工光束。

記錄單元可以為任何適合的單元，通過(guò)該單元例如可以檢測(cè)反射的測(cè)量光束分量擊中記錄單元的撞擊時(shí)間點(diǎn)，和/或檢測(cè)撞擊強(qiáng)度和反射的測(cè)量光束的其他光束特性。測(cè)量光束源和記錄單元可以是監(jiān)測(cè)裝置的光學(xué)測(cè)距單元的組成部分。

為了使測(cè)量光束耦合進(jìn)加工光束光學(xué)裝置以及可能同時(shí)產(chǎn)生的加工光束，監(jiān)測(cè)裝置可以設(shè)置有光學(xué)的接口區(qū)域，通過(guò)該接口區(qū)域，測(cè)量光束能夠進(jìn)入加工光束光學(xué)裝置，且反射的測(cè)量光束分量也能夠優(yōu)選又從中射出。在此，測(cè)量光束的耦合和/或去耦優(yōu)選同軸于加工光束進(jìn)行。原則上，耦合進(jìn)(和/或去耦于)加工光束光學(xué)裝置也可以由此實(shí)現(xiàn)，即，測(cè)量光束在加工系統(tǒng)內(nèi)部的任何其他位置耦合進(jìn)加工光束，并與該加工光束共同進(jìn)入加工光束光學(xué)裝置。例如測(cè)量光束和加工光束的耦合和/或去耦可以直接在加工系統(tǒng)的加工光束源內(nèi)部進(jìn)行，隨后，相互耦合的光束由光導(dǎo)體引至加工光束光學(xué)裝置。

根據(jù)本發(fā)明還可以設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置設(shè)計(jì)為單獨(dú)的模塊，其能夠簡(jiǎn)單地加裝在現(xiàn)有的加工系統(tǒng)特別是激光焊接頭上。在這種情況下，監(jiān)測(cè)裝置和焊接頭可以分別具有能夠相互耦接的光學(xué)接口區(qū)域，該接口區(qū)域?qū)崿F(xiàn)上述的測(cè)量光束耦合進(jìn)(和/或去耦于)加工光束光學(xué)裝置。

測(cè)得的距離值可以是時(shí)間數(shù)據(jù)，其涉及從測(cè)量光束發(fā)射到檢測(cè)到反射的測(cè)量光束分量的持續(xù)時(shí)間。在已知監(jiān)測(cè)裝置和加工光束光學(xué)裝置的構(gòu)造以及特別是測(cè)量光束在其中經(jīng)過(guò)的路程的情況下，可以進(jìn)一步得出從加工光束光學(xué)裝置中射出和撞擊到環(huán)境中之間的持續(xù)時(shí)間。也可能的是，距離值得出為長(zhǎng)度數(shù)據(jù)意義上的具體的間距值。這可以例如基于上述的持續(xù)時(shí)間的測(cè)量值實(shí)現(xiàn)。

判定單元可以提供為已知的運(yùn)算單元和/或分析電子裝置的形式。當(dāng)監(jiān)測(cè)裝置設(shè)計(jì)為能夠單獨(dú)操作的、并能夠加裝在現(xiàn)有的加工系統(tǒng)上的模塊時(shí)，判定單元優(yōu)選構(gòu)成該模塊的組成部分。但也可以設(shè)置為，判定單元設(shè)置在外部，并通過(guò)相應(yīng)的通信連接裝置與監(jiān)測(cè)裝置的其他部件進(jìn)行通信。此外，判定單元可以進(jìn)一步設(shè)置為，確定測(cè)得的距離值與容許距離值范圍的可能的偏差的值或至少確定該偏差的絕對(duì)值。

如以下將詳細(xì)說(shuō)明的，容許距離值范圍一般可以包括固定的或可變的容許的上限和/或下限。此外，該距離值范圍一般可以包括任意數(shù)量的值，例如也可以只包括作為上限的單一值。

可以這么說(shuō)，距離值范圍能夠通過(guò)確定上限或/和下限界定一個(gè)圍繞加工光束光學(xué)裝置的虛擬的容許工作空間，其中，只有位于該工作空間之內(nèi)的測(cè)量光束在環(huán)境中的撞擊區(qū)域或反射區(qū)域被識(shí)別為容許。若相反地，測(cè)量光束由離得更遠(yuǎn)的環(huán)境區(qū)域，如防護(hù)壁反射，則通過(guò)判定單元可測(cè)出，當(dāng)前的距離值位于容許距離值范圍之外。

由此，能夠優(yōu)選連續(xù)地監(jiān)測(cè)加工光束是否只在與加工光束光學(xué)裝置相距預(yù)定距離的情況下撞擊環(huán)境，并由此始終與可能的防護(hù)室的防護(hù)壁保持足夠的距離。如下所述，這也能夠可靠地檢查加工光束光學(xué)裝置在開(kāi)始加工前是否確實(shí)位于工件對(duì)面。

本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案設(shè)置為，距離值的測(cè)定基于測(cè)量光束的傳播時(shí)間的測(cè)量進(jìn)行，特別是其中，該傳播時(shí)間的測(cè)量通過(guò)飛行時(shí)間測(cè)量單元進(jìn)行，該飛行時(shí)間測(cè)量單元包括測(cè)量光束源和記錄單元。傳播時(shí)間的測(cè)量可以涉及發(fā)射測(cè)量光束(例如以單一光束脈沖的形式)與通過(guò)記錄單元檢測(cè)到反射的測(cè)量光束分量之間的持續(xù)時(shí)間。如上所述，在已知監(jiān)測(cè)裝置和/或加工光束光學(xué)裝置的相關(guān)尺寸以及特別是測(cè)量光束在其中經(jīng)過(guò)的路程的情況下，也可以由此得出加工光束光學(xué)裝置和環(huán)境之間的期望的距離值。

根據(jù)本發(fā)明可以進(jìn)一步設(shè)置為，測(cè)量光束源包括激光二極管和/或LED。這實(shí)現(xiàn)了測(cè)量光束和特別是單一測(cè)量光束脈沖的特別精確的定義和發(fā)射。

也可以設(shè)置為，記錄單元包括光電二極管。這實(shí)現(xiàn)了通過(guò)構(gòu)造相對(duì)簡(jiǎn)單的傳感裝置進(jìn)行的反射測(cè)量光束分量的快速和精確的檢測(cè)。替代地或補(bǔ)充地，記錄單元可以包括圖像傳感器。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置為，依照由判定單元得出的判定結(jié)果影響加工系統(tǒng)的運(yùn)行。為此，監(jiān)測(cè)裝置可以設(shè)置為，產(chǎn)生或改變以期望的方式影響加工系統(tǒng)運(yùn)行的控制信號(hào)。

這種對(duì)運(yùn)行的影響可以主要設(shè)定在，當(dāng)由判定單元得出的判定結(jié)果表明，當(dāng)前測(cè)得的距離值不位于容許距離值范圍內(nèi)時(shí)。如上所述，這表示測(cè)量光束和由此可能平行產(chǎn)生的加工光束以相距加工光束光學(xué)裝置的不期望的距離，在環(huán)境中擊中對(duì)象。根據(jù)上述擴(kuò)展方案，監(jiān)測(cè)裝置在這種情況下可以采取相應(yīng)的對(duì)策，并特別是直接干預(yù)加工系統(tǒng)的運(yùn)行。這也可以取決于，判定單元的特定的結(jié)果，例如未遵守容許距離值范圍的結(jié)果，是否超過(guò)一定的最小持續(xù)時(shí)間或單一測(cè)量過(guò)程的最小數(shù)量。

在這種情況下，還可以設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置為，輸出警告信號(hào)和/或引發(fā)加工系統(tǒng)輸出警告信號(hào)。該警告信號(hào)可以是內(nèi)部的控制信號(hào)，其被加工系統(tǒng)的控制裝置相應(yīng)地識(shí)別并分析。該警告信號(hào)也可以是能夠從外部察覺(jué)的警告信號(hào)，例如音頻或視覺(jué)警告信號(hào)，加工系統(tǒng)的操作人員能夠簡(jiǎn)單地察覺(jué)該警告信號(hào)。

此外，根據(jù)本發(fā)明可以設(shè)置為，依照由判定單元得出的判定結(jié)果，監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置為，限制或抑制加工系統(tǒng)的運(yùn)行。因此，監(jiān)測(cè)裝置可以根據(jù)得出的判定結(jié)果設(shè)置為，影響加工系統(tǒng)的運(yùn)行參數(shù)，并特別是影響加工光束的產(chǎn)生及其定向和/或強(qiáng)度。換句話(huà)說(shuō)，監(jiān)測(cè)裝置可以在未遵守容許距離值范圍時(shí)，促使至少暫時(shí)地抑制加工光束的產(chǎn)生，或限制加工光束源的功率。

如上所述，監(jiān)測(cè)裝置在此可以特別設(shè)置為，在加工光束產(chǎn)生之前就已進(jìn)行測(cè)得的距離值的判定。由此可以例如確定與加工光束光學(xué)裝置相對(duì)的工件的存在。在這種情況下，容許距離值范圍可以界定加工光束光學(xué)裝置和工件表面之間的容許工作空間，并優(yōu)選基于已知的工件的形狀和/或材料強(qiáng)度及其在空間中的設(shè)置來(lái)確定該容許距離值范圍(例如工件以已知的高度夾緊在工作臺(tái)上)。若測(cè)得的距離值超過(guò)容許距離值范圍，就表明通過(guò)環(huán)境的反射發(fā)生得意外地遲。這可以推斷出相應(yīng)的工件的不在。在這種情況下，能夠由監(jiān)測(cè)裝置阻止加工光束的產(chǎn)生，以便例如避免加工臺(tái)的不期望的損壞。

在這種情況下可以進(jìn)一步設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置為，中斷加工系統(tǒng)的電源。為此，監(jiān)測(cè)裝置可以包括保險(xiǎn)裝置、繼電器或類(lèi)似的開(kāi)關(guān)裝置，這些裝置與加工系統(tǒng)的電源相互作用。替代地，監(jiān)測(cè)裝置可以與這種開(kāi)關(guān)裝置分離設(shè)置，但可以設(shè)置為，通過(guò)通信連接裝置訪(fǎng)問(wèn)、并通過(guò)相應(yīng)的控制信號(hào)致動(dòng)該開(kāi)關(guān)裝置。

電源一般可以與全部的、或只與選定的加工系統(tǒng)的部件相互作用。例如可以是加工系統(tǒng)的加工光束源的電源。此外可以設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置優(yōu)選提供雙通道的釋放信號(hào)，該釋放信號(hào)只在判定單元的判定結(jié)果積極時(shí)接通加工系統(tǒng)的電源，并由此實(shí)現(xiàn)加工光束的產(chǎn)生。一旦判定單元檢測(cè)到距離值位于容許距離值范圍之外，則取消釋放信號(hào)并中斷電源。這阻止了加工光束的進(jìn)一步產(chǎn)生。

本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案設(shè)置為，監(jiān)測(cè)裝置依據(jù)判定單元得出的判定結(jié)果設(shè)置為，產(chǎn)生用于調(diào)節(jié)加工光束，且特別是用于調(diào)節(jié)加工光束的聚焦位置的控制信號(hào)?！翱刂菩盘?hào)”這一概念在此可以理解為能夠在相應(yīng)調(diào)節(jié)的框架內(nèi)使用的任何信號(hào)和/或任何由此傳遞的信息，例如當(dāng)前與容許距離值范圍的偏差。此外，特別是可以調(diào)節(jié)加工光束的、可關(guān)于測(cè)得的距離值調(diào)整的參數(shù)，以獲得有利的工作成果或保障足夠的安全性。這例如涉及加工光束相對(duì)于工件的位置、定向或傳播速度。

通過(guò)調(diào)節(jié)加工光束的聚焦位置，能夠確保加工光束的焦點(diǎn)始終位于待加工的部件表面。這特別是在加工非平面的部件時(shí)是有利的。在這種情況下，容許距離值范圍可以定義為加工光束光學(xué)裝置至相對(duì)的部件表面區(qū)域的期望的距離，加上可能的公差范圍。因此，容許距離值區(qū)域界定了優(yōu)選極端狹窄的虛擬工作空間，該工作空間沿著部件表面延伸，并優(yōu)選包含該部件表面。若測(cè)得的距離值未落在該狹窄的容許距離值范圍內(nèi)，則表明，加工光束光學(xué)裝置與部件表面相距不期望的距離。據(jù)此可能需要再調(diào)節(jié)聚焦位置，以補(bǔ)償測(cè)得的偏差。為此，監(jiān)測(cè)裝置可以特別是基于實(shí)際測(cè)得的距離值而產(chǎn)生相應(yīng)的校正信號(hào)。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中，依據(jù)當(dāng)前的加工狀況定義容許距離值范圍，和/或能夠依據(jù)當(dāng)前的加工狀況，通過(guò)修改裝置測(cè)得該容許距離值范圍。換句話(huà)說(shuō)，可以設(shè)置為，容許距離值范圍能夠靈活地適應(yīng)于當(dāng)前的加工狀況。

例如，加工系統(tǒng)可以包括定位系統(tǒng)，如優(yōu)選為工業(yè)機(jī)器人，以便能夠在空間內(nèi)靈活地移動(dòng)和設(shè)置加工光束光學(xué)裝置。在已知定位系統(tǒng)的當(dāng)前的軸線(xiàn)位置的情況下，能夠由此靈活地限定和/或檢測(cè)加工光束光學(xué)裝置在空間內(nèi)的位置，并由此靈活地限定和/或檢測(cè)適當(dāng)?shù)娜菰S距離值范圍。此外，也可以參考關(guān)于加工系統(tǒng)的環(huán)境的其他信息，以顧及例如加工光束光學(xué)裝置與可能的安全室的防護(hù)壁的當(dāng)前距離。該距離越小，容許距離值范圍的當(dāng)前上限就可以選擇越小，以防止加工光束持久地?fù)糁蟹雷o(hù)壁。

如下所述，加工光束光學(xué)裝置也可以包括偏轉(zhuǎn)裝置，以使測(cè)量光束和加工光束指向共同的環(huán)境區(qū)域。在這種情況下，偏轉(zhuǎn)裝置的當(dāng)前的軸線(xiàn)位置可以在當(dāng)前加工狀況的意義下被顧及，并可以相應(yīng)地使容許距離值范圍靈活地適應(yīng)該軸線(xiàn)位置。例如對(duì)于相對(duì)大的偏轉(zhuǎn)位置，在其中測(cè)量光束和加工光束以相應(yīng)的大角度從加工光束光學(xué)裝置射出，可以相比于在相對(duì)小的偏轉(zhuǎn)位置，定義較大的距離值為容許。這實(shí)現(xiàn)了圍繞加工光束光學(xué)裝置的矩形虛擬工作空間以及任意其他形狀的界定。

最后，根據(jù)該擴(kuò)展方案還可以設(shè)置為，依據(jù)工件的當(dāng)前加工階段選擇容許距離值范圍。如上所述，可以例如在關(guān)于工件存在的事先檢查中選擇較窄的容許距離值范圍，接著，在連續(xù)加工運(yùn)行中，容許距離值范圍擴(kuò)大，以提高容錯(cuò)能力。

當(dāng)前的容許距離值范圍可以在學(xué)習(xí)模式中也由此測(cè)得，即，加工系統(tǒng)在不產(chǎn)生加工光束的情況下沿加工路徑輸送工件。監(jiān)測(cè)裝置在此可以連續(xù)地檢測(cè)單個(gè)或所有加工位置的當(dāng)前距離值。測(cè)得的距離值加上可能的公差范圍就可以存儲(chǔ)為每個(gè)加工位置的容許距離值范圍。

如上所述，根據(jù)本發(fā)明還可以設(shè)置為，加工光束光學(xué)裝置包括至少一個(gè)共同的偏轉(zhuǎn)裝置，測(cè)量光束和加工光束能夠通過(guò)該偏轉(zhuǎn)裝置指向共同的環(huán)境位置。該偏轉(zhuǎn)裝置可以以已知的方式設(shè)計(jì)為掃描鏡，其優(yōu)選能夠圍繞至少兩個(gè)軸線(xiàn)進(jìn)行調(diào)節(jié)。由此能夠精確限定加工光束和測(cè)量光束的定向或相應(yīng)的光束從加工光束光學(xué)裝置射出的角度。通過(guò)借助共同的偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)，進(jìn)一步確保了，借助測(cè)量光束測(cè)得的信息能夠盡可能準(zhǔn)確地推導(dǎo)出加工光束，因?yàn)槟軌颢@得在加工光束光學(xué)裝置和環(huán)境之間的基本上相同的光束走向。

在這種情況下，還可以設(shè)置為，由監(jiān)測(cè)裝置測(cè)得的距離值涉及共同的偏轉(zhuǎn)裝置和環(huán)境的反射區(qū)域之間的距離。

本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案設(shè)置為，判定單元設(shè)置為，檢測(cè)低于和/或超過(guò)容許距離值范圍的情況。

因此，容許距離值范圍可以不僅包括上限，還附加包括下限。若測(cè)得的距離值低于該下限，就表明，測(cè)量光束太早反射，并因此被非預(yù)定區(qū)域反射。這可能特別是這種情況，即，加工光束光學(xué)裝置發(fā)生故障，并處于非預(yù)定的偏轉(zhuǎn)位置。在這些情況下，測(cè)量光束可能被焊接頭的內(nèi)部區(qū)域反射，相比于實(shí)際預(yù)定的環(huán)境中的撞擊區(qū)域，該內(nèi)部區(qū)域明顯更接近加工光束光學(xué)裝置，或甚至直接構(gòu)成該加工光束光學(xué)裝置的組成部分。意外短的距離值也可能發(fā)生在可能的共同偏轉(zhuǎn)裝置損壞并任由測(cè)量光束穿過(guò)，而不是將其引導(dǎo)出加工系統(tǒng)時(shí)。可以理解的是，監(jiān)測(cè)裝置能夠在出現(xiàn)相應(yīng)的短距離值時(shí)，也采取上述安全功能和/或?qū)Σ咧械娜我豁?xiàng)，并能夠例如抑制加工光束的產(chǎn)生。

此外，本發(fā)明的擴(kuò)展方案設(shè)置為，判定單元設(shè)置為，識(shí)別有關(guān)距離值的測(cè)得的故障。這總體上可以通過(guò)進(jìn)行測(cè)得的距離值的可信度檢查來(lái)實(shí)現(xiàn)。特別是，判定單元還可以設(shè)置為，將欠缺由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量和/或?qū)τ谕粶y(cè)量過(guò)程測(cè)得多個(gè)距離值識(shí)別為相應(yīng)的故障。

在欠缺由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量的情況下，測(cè)得的距離值可以例如為零或無(wú)窮大。也可能顯示為預(yù)定的錯(cuò)誤值，因?yàn)椴荒苡涗浛捎玫臏y(cè)量信號(hào)，并因此無(wú)法測(cè)出距離值。這能夠被判定單元識(shí)別為相應(yīng)的故障。

多個(gè)距離值例如可能發(fā)生在反射的測(cè)量光束分量由于經(jīng)由加工光束光學(xué)裝置的光學(xué)元件的后向反射而包括了多個(gè)單一信號(hào)和/或反射分量，并因此對(duì)于同一測(cè)量過(guò)程測(cè)得了相應(yīng)的多個(gè)距離值時(shí)。這也能夠被判定單元識(shí)別為故障。

若檢測(cè)到相應(yīng)的多個(gè)距離值，判定單元可以進(jìn)一步設(shè)置為，基于進(jìn)一步的可信度觀察和/或強(qiáng)度比較來(lái)確定很可能對(duì)應(yīng)環(huán)境中的實(shí)際撞擊點(diǎn)的距離值。之后該值可以作為通過(guò)判定單元進(jìn)一步判定的基礎(chǔ)。例如可以設(shè)置為，僅提出絕對(duì)值最大的距離值用于進(jìn)一步的判定。

判定單元可以進(jìn)一步設(shè)置為，在考慮到故障識(shí)別的條件下判定測(cè)得的距離值是否位于容許距離值范圍內(nèi)。例如，判定單元可以在識(shí)別到相應(yīng)的故障時(shí)直接確定當(dāng)前沒(méi)有位于容許距離值范圍內(nèi)的距離值。也可以設(shè)置為，更準(zhǔn)確的距離值的判定只在識(shí)別到不存在故障時(shí)進(jìn)行。

其結(jié)果是，通過(guò)該擴(kuò)展方案能夠確保識(shí)別出錯(cuò)誤的測(cè)量過(guò)程并相應(yīng)地加以考慮。特別是能夠在識(shí)別到故障時(shí)采取前述的任何安全功能和/或?qū)Σ撸珀P(guān)閉加工系統(tǒng)，或是限制或抑制該加工系統(tǒng)的運(yùn)行。

本發(fā)明還涉及一種加工系統(tǒng)，其用于借助高能加工光束加工工件，并包括根據(jù)前述方面的任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)裝置。

本發(fā)明還涉及一種用于監(jiān)測(cè)加工系統(tǒng)的方法，該加工系統(tǒng)用于借助高能加工光束加工工件，該方法特別是借助根據(jù)前述方面的任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)裝置，該方法包括以下步驟：

-提供測(cè)量光束；

-使測(cè)量光束耦合進(jìn)加工系統(tǒng)的加工光束光學(xué)裝置；

-調(diào)節(jié)加工系統(tǒng)的加工光束光學(xué)裝置，以使測(cè)量光束射向環(huán)境中的位置；

-檢測(cè)由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量；

-依據(jù)檢測(cè)的測(cè)量光束的反射分量得出至少一個(gè)距離值，其中，由該距離值能夠推導(dǎo)出加工光束光學(xué)裝置與反射測(cè)量光束的環(huán)境區(qū)域的距離；以及

-判定得出的距離值是否在容許距離值范圍內(nèi)。

應(yīng)理解的是，該方法也可以包括其他步驟，以獲得前文以根據(jù)本發(fā)明的監(jiān)測(cè)裝置為例所述的效果并發(fā)揮作用。特別是可以設(shè)置為，除了提供測(cè)量光束之外也提供加工光束，以在連續(xù)的加工過(guò)程中實(shí)現(xiàn)平行的距離值監(jiān)測(cè)。此外，該方法也可以包括基于測(cè)量光束的傳播時(shí)間得出距離值的步驟，特別是借助于飛行時(shí)間測(cè)量單元以及使用相應(yīng)的激光二極管、LED和/或光電二極管。該方法還可以根據(jù)判定結(jié)果包括其他步驟，以在測(cè)得的距離值與容許距離值范圍發(fā)生偏差時(shí)，采取前述安全功能和對(duì)策。在這種情況下，可以附加地設(shè)置限制或抑制加工系統(tǒng)的運(yùn)行的步驟，例如通過(guò)中斷加工系統(tǒng)的電源。

附圖說(shuō)明

以下示例性地參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。在此，在所示的各個(gè)實(shí)施方案中，同類(lèi)的或作用相同的部件共同以相同的標(biāo)號(hào)標(biāo)記。

圖1示出了激光焊接頭以及耦接其上的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的監(jiān)測(cè)裝置的示意圖；

圖2示出了由圖1中的監(jiān)測(cè)裝置界定的虛擬工作空間的示意圖；

圖3示出了用于根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的監(jiān)測(cè)裝置的測(cè)量單元的局部圖；

圖4示出了用以說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的加工光束的調(diào)節(jié)的示意圖。

具體實(shí)施方式

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的監(jiān)測(cè)裝置并總體以10標(biāo)記。監(jiān)測(cè)裝置10包括運(yùn)算單元12，該運(yùn)算單元包括未單獨(dú)示出的判定單元。運(yùn)算單元12連接到測(cè)量單元14，該測(cè)量單元在當(dāng)前的情況下設(shè)計(jì)為飛行時(shí)間傳感器裝置形式的光學(xué)測(cè)距單元。詳細(xì)地說(shuō)，測(cè)量單元14包括激光二極管16形式的測(cè)量光束源，該測(cè)量光束源向激光焊接頭20的方向發(fā)射測(cè)量光束脈沖18。此外，測(cè)量單元14包括光電二極管22形式的記錄單元，借助該記錄單元能夠檢測(cè)由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量24。

還可以看出，運(yùn)算單元12通過(guò)虛線(xiàn)示出的通信連接裝置26連接到未單獨(dú)示出的激光加工系統(tǒng)的電源28。更確切的說(shuō)，運(yùn)算單元12能夠通過(guò)通信連接裝置26訪(fǎng)問(wèn)兩個(gè)中繼單元30，該中繼單元分別對(duì)應(yīng)電源28的不同的電壓水平。

如通過(guò)虛線(xiàn)框32所示出的，監(jiān)測(cè)裝置10設(shè)計(jì)為可單獨(dú)操作的、安裝在激光焊接頭20上的模塊。激光焊接頭20以已知的方式設(shè)置在未示出的關(guān)節(jié)型機(jī)器人上，以便能夠在空間中任意地設(shè)置和移動(dòng)。

如圖1所示，未單獨(dú)示出的激光加工系統(tǒng)，連同激光焊接頭20和安裝在該激光焊接頭上的監(jiān)測(cè)裝置10，設(shè)置在示意性示出的安全室50內(nèi)。該安全室界定了圍繞激光加工系統(tǒng)的、空間上受限的加工區(qū)域。為此，安全室50以已知的方式具有底部區(qū)域B和防護(hù)壁區(qū)域S，該安全室以這些區(qū)域包圍激光加工系統(tǒng)并遮蔽其他工廠環(huán)境。在此，圖1僅示范性地示出了單側(cè)的防護(hù)壁區(qū)域S。在安全室50中還設(shè)置有工件W，該工件夾緊在加工臺(tái)52上并與底部區(qū)域B相距預(yù)定高度H。

詳細(xì)的說(shuō)，激光焊接頭20包括加工光束光學(xué)裝置34。該加工光束光學(xué)裝置在輸入側(cè)具有設(shè)計(jì)為光導(dǎo)體的接口36，該接口實(shí)現(xiàn)了來(lái)自未詳細(xì)示出的激光光束源的激光束38的耦合。從接口36開(kāi)始，激光束38首先通過(guò)準(zhǔn)直透鏡40，該準(zhǔn)直透鏡能夠沿著軸線(xiàn)A，并因此沿著激光束軸滑動(dòng)。接著，激光束38擊中分光器42，該分光器使激光束38在通過(guò)聚焦透鏡46的情況下，向加工掃描器44形式的雙軸偏轉(zhuǎn)裝置轉(zhuǎn)向。通過(guò)加工掃描器44使激光束38射向期望的環(huán)境區(qū)域，并在這種情況下射向工件W。

此外，在圖1中可以看出，由監(jiān)測(cè)裝置10發(fā)射的測(cè)量光束脈沖18通過(guò)光學(xué)的接口區(qū)域48進(jìn)入激光焊接頭20和加工光束光學(xué)裝置34。在此，該測(cè)量光束脈沖首先穿過(guò)對(duì)于測(cè)量光束18的波長(zhǎng)范圍來(lái)說(shuō)可透過(guò)的分光器42，并在穿過(guò)聚焦透鏡46之后擊中加工掃描器44。測(cè)量光束脈沖18在此同軸地耦合進(jìn)激光束38，并與其一同通過(guò)加工掃描器44射向環(huán)境中。

相反地，如圖1中的相應(yīng)箭頭所示，由環(huán)境反射的測(cè)量光束分量24在相反方向上穿過(guò)加工光束光學(xué)裝置34。在此，該測(cè)量光束分量從工件W開(kāi)始，首先擊中加工掃描器44，以便在穿過(guò)聚焦透鏡46和分光器42的情況下，通過(guò)光學(xué)接口48進(jìn)入監(jiān)測(cè)裝置10，并在那里擊中光電二極管22。在先前的測(cè)量光束脈沖18射出之后，光電二極管22檢測(cè)反射的測(cè)量光束分量24的撞擊時(shí)間點(diǎn)。

其結(jié)果是，由激光二極管16發(fā)射的測(cè)量光束脈沖18由此耦合進(jìn)加工光學(xué)裝置34，并通過(guò)加工掃描器44射向環(huán)境中或安全室50內(nèi)部的位置。在所示的情況下，激光束38和測(cè)量光束脈沖18同時(shí)產(chǎn)生并射向共同的工件W的撞擊點(diǎn)X。從該撞擊點(diǎn)X開(kāi)始，相應(yīng)的測(cè)量光束分量24被反射，并以上述方式返回監(jiān)測(cè)裝置10的測(cè)量單元14。

一般可以理解的是，圖1所示的光束走向僅用于說(shuō)明目的，并不描述物理上的精確走向。如上所述，測(cè)量光束脈沖18同軸地耦合進(jìn)激光束38，從而可以足夠準(zhǔn)確地認(rèn)為這些光束以及反射的測(cè)量光束分量24的、特別是在加工掃描器44和工件W之間的走向和經(jīng)過(guò)的距離是相同的。

基于上述構(gòu)造，監(jiān)測(cè)裝置10的運(yùn)算單元12可以進(jìn)行傳播時(shí)間的測(cè)量并確定在射出測(cè)量光束脈沖18和擊中光電二極管22之間所經(jīng)過(guò)的時(shí)間。為此，記錄射出測(cè)量光束脈沖18的時(shí)間點(diǎn)以及反射的測(cè)量光束分量24擊中光電二極管22的時(shí)間點(diǎn)，并得出這些值的差。

基于該傳播時(shí)間的測(cè)量，運(yùn)算單元12進(jìn)一步確定加工掃描器44和反射區(qū)域X之間的當(dāng)前距離值d。為此需考慮激光二極管16和光電二極管22相距加工掃描器44的大體上固定的距離t。該距離t決定了測(cè)量光束脈沖18和反射的測(cè)量光束分量24穿過(guò)加工光束光學(xué)裝置34和監(jiān)測(cè)裝置10所需的恒定的持續(xù)時(shí)間。剩余的持續(xù)時(shí)間分量(或其一半)相應(yīng)地表示了測(cè)量光束脈沖18從加工掃描器44抵達(dá)撞擊點(diǎn)X所需的持續(xù)時(shí)間。在相同的意義上，其對(duì)應(yīng)了反射的測(cè)量光束分量24從撞擊點(diǎn)X抵達(dá)加工掃描器44所需的持續(xù)時(shí)間分量。以已知的方式可以由該剩余的時(shí)間分量計(jì)算出實(shí)際間距值意義上的、例如以厘米表示的距離值d。因此，該距離值d表示加工掃描器44和撞擊點(diǎn)X之間的當(dāng)前存在的距離。

如下所述，由運(yùn)算單元12的判定單元將以該方式測(cè)得的距離值d與容許距離值范圍Z相比較，以確保激光束38只擊中實(shí)際預(yù)定的安全室50內(nèi)的撞擊點(diǎn)X。在所示的情況下，容許距離值范圍Z的上限O這樣確定，即，工件W的待加工區(qū)域位于容許距離值范圍Z之內(nèi)。相反，接近防護(hù)壁S或底部區(qū)域B的可能的撞擊點(diǎn)與加工掃描器44的距離明顯更大，以致于這些撞擊點(diǎn)的距離值d會(huì)超過(guò)上限O。為此，僅示例性地示出了對(duì)于意外擊中防護(hù)壁S和底部B的兩個(gè)相應(yīng)的距離值d_S和d_B。

此外，圖1示出了容許距離值范圍Z的下限U，該下限指定了距離值d的最小值。低于該下限U則表明，在焊接頭20內(nèi)部出現(xiàn)錯(cuò)誤，并因此造成測(cè)得的距離值d意外地短。由此可以例如注意到這樣的錯(cuò)誤情況，即，加工掃描器44錯(cuò)誤地定向測(cè)量光束脈沖18，且該測(cè)量光束脈沖被激光焊接頭20的殼體或加工光束光學(xué)裝置34的其他組件反射并直接返回監(jiān)測(cè)裝置10中。同樣也可以注意到這種情況，即，加工掃描器44可能損壞，并且測(cè)量光束脈沖18直線(xiàn)穿過(guò)該加工掃描器，使得該測(cè)量光束脈沖被激光焊接頭20的后壁52，而不是被工件W反射。

可以看出，圖1中的下限具有相對(duì)小的絕對(duì)值。因此，只可能在緊鄰加工掃描器44的區(qū)域會(huì)低于下限U。

因此，如圖1所示，容許距離值范圍Z由下限U和上限O之間的值范圍限定。換句話(huà)說(shuō)，大于下限U而小于上限O的所有距離值d都被判定單元判定為容許。因此，針對(duì)所示的撞擊點(diǎn)X測(cè)得的距離值d可容許地位于距離值范圍Z內(nèi)。

其結(jié)果是，由此，由運(yùn)算單元12以上述方式，針對(duì)每個(gè)發(fā)射的測(cè)量光束脈沖18檢測(cè)當(dāng)前距離值d，并且只在該當(dāng)前距離值位于容許距離值范圍Z之內(nèi)時(shí)，由判定單元識(shí)別為容許。若為這種情況，則運(yùn)算單元12通過(guò)通信線(xiàn)路26向電源28的中繼裝置30分別發(fā)出控制信號(hào)，以接通該電源。在這一狀態(tài)下，未單獨(dú)示出的激光加工系統(tǒng)產(chǎn)生激光束38，并進(jìn)行工件加工。

相反，若識(shí)別到當(dāng)前測(cè)得的距離值d位于容許距離值范圍Z之外，則停止向中繼裝置30發(fā)送控制信號(hào)。該中繼裝置因此自動(dòng)處于斷開(kāi)位置，由此中斷電源28并抑制激光束38的產(chǎn)生。

在所示的監(jiān)測(cè)裝置10中，上限O和下限U能夠靈活地適應(yīng)當(dāng)前的加工狀況。因此，在開(kāi)始實(shí)際的工件加工之前，首先應(yīng)檢查工件W在加工臺(tái)52上的存在。為此，原則上，通過(guò)判定單元進(jìn)行一次距離值d的檢查就應(yīng)足夠，因?yàn)樯舷轔在所示的情況下結(jié)束于加工臺(tái)表面。因此，超過(guò)上限O表明反射發(fā)生得意外地遲，并因此表明缺少工件W。

為了提高結(jié)果的有效性，補(bǔ)充地設(shè)置為，規(guī)定初始下限U'，其具有比在連續(xù)的加工運(yùn)行中(參見(jiàn)圖1中的對(duì)應(yīng)加工運(yùn)行的下限U)明顯較高的絕對(duì)值。換句話(huà)說(shuō)，該初始下限U'明顯更接近在所示的情況下保持恒定的上限O，初始容許距離值范圍Z'因此相應(yīng)地縮小。由此，容許距離值范圍Z'，以及測(cè)得的距離值d的公差范圍因此也在最初有針對(duì)性地降低，以便能夠盡可能準(zhǔn)確地推斷出工件W的存在。這意味著，判斷為容許的距離值d可以確實(shí)溯及通過(guò)工件W的反射的可能性，在最初減小的距離值范圍Z'的情況下，明顯高于在用于連續(xù)加工運(yùn)行的較大距離值范圍Z的情況下。

然而對(duì)于連續(xù)加工運(yùn)行來(lái)說(shuō)，保持這樣狹窄的容許距離值范圍Z'將意味著意外中斷和頻繁報(bào)錯(cuò)的風(fēng)險(xiǎn)的增加。因此替代地使用明顯較大的距離值范圍Z。

在圖1中，撞擊點(diǎn)X也位于初始容許距離值范圍Z'內(nèi)，從而使運(yùn)算單元12的判定單元得出容許的判定結(jié)果，并通過(guò)接通電路28實(shí)現(xiàn)激光束38的產(chǎn)生。一旦通過(guò)提供激光束38開(kāi)始加工，容許距離值范圍Z就擴(kuò)大，以提高容錯(cuò)性。

在根據(jù)圖1的圖示中，對(duì)于加工掃描器44的每個(gè)偏轉(zhuǎn)位置選擇同樣的用于連續(xù)加工運(yùn)行的上限O和下限U。因此，下限U和上限O至少在理論上各自界定了圍繞加工掃描器44的球面虛擬工作空間。由于焊接頭20的構(gòu)造和加工掃描器44的可能的偏轉(zhuǎn)方向，實(shí)際相關(guān)的工作空間要小得多。因此，在圖2中示出了通過(guò)上限O和下限U界定的、簡(jiǎn)化為半球的虛擬工作空間。因此，容許距離值范圍Z定義了圍繞加工掃描器44的半球殼形狀的虛擬工作空間。如上所述，位于該半球殼內(nèi)部的所有撞擊點(diǎn)X和相關(guān)聯(lián)的距離值d都會(huì)被判定單元判斷為容許。

此外，由圖2再次表明，可能的有害安全的、擊中防護(hù)壁區(qū)域S或底部區(qū)域B的撞擊點(diǎn)位于容許的虛擬工作空間Z之外，并因此觸發(fā)電源28的立即中斷。由此降低了對(duì)防護(hù)壁S的要求，因?yàn)榧す獬志谜丈涞娘L(fēng)險(xiǎn)顯著降低。

可以理解的是，所示的通過(guò)上限O和下限U界定的虛擬工作空間的形狀和大小僅僅是示例性的。根據(jù)本發(fā)明，例如也可以設(shè)置為，限度O、U作為加工掃描器44的當(dāng)前偏轉(zhuǎn)位置的函數(shù)而得以確定。也可以徹底省略下限U，因而容許距離值范圍為從零至上限O。參照?qǐng)D2，也可以設(shè)置為，定義明顯較大的上限O，從而使工件W在任何情況下都完全位于容許距離值范圍Z之內(nèi)。

圖3示出了用于圖1中的監(jiān)測(cè)裝置10的測(cè)量單元14的、替代的飛行時(shí)間傳感器裝置?？梢栽俅慰吹桨l(fā)射測(cè)量光束脈沖18的激光二極管16。該測(cè)量光束脈沖穿過(guò)第一半透光分光器54。在此使測(cè)量光束光的限定的一部分轉(zhuǎn)向第一光電二極管22的方向。接著，該測(cè)量光束脈沖18穿過(guò)第二分光器56，以便以上述方式，經(jīng)由僅示意性示出的光學(xué)接口區(qū)域48進(jìn)入未單獨(dú)示出的加工光束光學(xué)裝置34。

與前述實(shí)施方案相似，反射的測(cè)量光束分量24經(jīng)由光學(xué)接口區(qū)域48回到測(cè)量單元14，并在此擊中第二分光器56。于是反射的測(cè)量光束分量24被轉(zhuǎn)向第二光電二極管22的方向。

通過(guò)該傳感器裝置也可以進(jìn)行測(cè)量光束脈沖18的傳播時(shí)間的測(cè)量，以監(jiān)測(cè)容許距離值范圍Z的遵守情況。為此，第一光電二極管22檢測(cè)起始時(shí)間點(diǎn)，在該起始時(shí)間點(diǎn)第一次記錄測(cè)量光束脈沖18的發(fā)射，而第二光電二極管22則檢測(cè)反射的測(cè)量光束分量24在成功地在環(huán)境中反射之后的撞擊時(shí)間點(diǎn)。測(cè)得的時(shí)間點(diǎn)的差是測(cè)量光束脈沖18向反射環(huán)境區(qū)域去以及從反射環(huán)境區(qū)域來(lái)的傳播時(shí)間，并又可以換算成相應(yīng)的距離值d。

圖4示出了，借助根據(jù)圖1所述的裝置的工件加工的簡(jiǎn)化的示意圖，以說(shuō)明通過(guò)根據(jù)本發(fā)明的監(jiān)測(cè)裝置10進(jìn)行的激光束38的聚焦位置的調(diào)節(jié)?？梢栽俅慰吹绞疽庑允境龅募す夂附宇^20，其設(shè)置在非平面的工件W的對(duì)面。在此應(yīng)以已知的方式這樣調(diào)節(jié)焦點(diǎn)的位置，即，該焦點(diǎn)始終盡可能準(zhǔn)確地定位在工件W的表面上。容許距離值范圍Z的上限O相應(yīng)地選擇為，該上限基本上與工件表面相一致。監(jiān)測(cè)裝置10的運(yùn)算單元12在此參考存在于加工系統(tǒng)內(nèi)的加工信息，以使上限O持續(xù)地適應(yīng)當(dāng)前的加工狀況。例如可以參考關(guān)于操縱激光焊接頭20的關(guān)節(jié)型機(jī)器人的當(dāng)前軸線(xiàn)位置的信息，以及工件W的形狀和其在安全室50內(nèi)的設(shè)置。當(dāng)在示出的方向Y上沿工件表面移動(dòng)激光焊接頭20時(shí)，上限O因此持續(xù)調(diào)整為，其沿工件表面形成虛線(xiàn)所示的虛擬工作空間。

在所示的情況下，省略附加定義下限U。容許的值范圍因此僅包含上限O的值。但也可以設(shè)置為，預(yù)設(shè)用于考慮公差的下限U，其中，該下限U相應(yīng)地接近上限O。

其結(jié)果是，運(yùn)算單元12的判定單元由此只將與當(dāng)前選擇的上限O一致的距離值d識(shí)別為容許。若測(cè)得的距離值d偏差于上限O，則運(yùn)算單元12通過(guò)未單獨(dú)示出的通信連接裝置發(fā)送控制信號(hào)至激光加工系統(tǒng)，以便以已知的方式引發(fā)加工光束38的聚焦位置的調(diào)節(jié)。

為此，運(yùn)算單元12可以進(jìn)一步設(shè)置為，檢測(cè)測(cè)得的距離值d是否超過(guò)或低于上限O，和/或檢測(cè)相應(yīng)的偏差的絕對(duì)值是多少。這些信息也可以在產(chǎn)生相應(yīng)的控制信號(hào)時(shí)納入考慮。