技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及原子層沉積涂層用于保護釬焊線路不被腐蝕、侵蝕和擊穿。根據(jù)本公開，提供了幾個發(fā)明，包括用于釬焊至少兩個鋁或鋁合金部件并提供陽極氧化涂層以及用于增加耐等離子體腐蝕性的原子層沉積涂層的裝置和方法。

技術(shù)研發(fā)人員：許臨;約翰·多爾蒂;石洪;宋一偉;薩蒂什·斯里尼瓦桑
受保護的技術(shù)使用者：朗姆研究公司
文檔號碼：201610472003
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.24
技術(shù)公布日：2017.01.04