本發(fā)明涉及修復(fù)裝置及修復(fù)方法，更具體地，涉及能迅速修復(fù)在基板上圖形所產(chǎn)生之缺陷的修復(fù)裝置及修復(fù)方法。

背景技術(shù)：

最近，包括智能手機(jī)、平板電腦在內(nèi)的各種移動設(shè)備的普及急速增長，采用了如LCD、OLED等FPD的TV的占有率提高，隨之各種尺寸FPD的生產(chǎn)急增。并且，幾乎所有電子產(chǎn)品上都設(shè)有如IC等半導(dǎo)體元件，以往一直使用的PCB也隨著小型化、緊湊化的傾向，在基板上所形成的布線趨于逐漸變薄和高度集成化。

在使用了移動設(shè)備或FPD的TV上，采用了能調(diào)節(jié)光透過率的液晶的LCD或能自我發(fā)光的OLED作為顯示圖像的構(gòu)成所使用，該構(gòu)成中含有基板，而該基板形成有驅(qū)動元件和用于連接該驅(qū)動元件的布線，所述驅(qū)動元件包含為了實(shí)現(xiàn)彩色圖像而用于調(diào)節(jié)各像素的TFT，半導(dǎo)體晶圓和PCB雖然與FPD不同，但以類似的方式在基板上形成有布線。

如上所述，包含形成于基板上之驅(qū)動元件的布線，在各制造工藝中，因異物而可能會產(chǎn)生布線斷開或短路的缺陷，而當(dāng)該種缺陷超過一定數(shù)量時(shí)，通常按不良來處理。但是，當(dāng)屬于單純的斷線或短路時(shí)，通過修復(fù)缺陷來可以達(dá)到正常產(chǎn)品，因此會進(jìn)行通過檢測出基板上的缺陷并對此進(jìn)行修復(fù)的過程。

以往，當(dāng)布線斷開時(shí)，利用金屬源(Metal Source)和激光來連接斷開的布線，以此執(zhí)行了修復(fù)作業(yè)。但是，對于以往用于供給金屬源的裝置來講，由于使用空氣壓或利用壓電電機(jī)(Piezo Motor)來排出金屬源，因此難以微量調(diào)節(jié)所排出之金屬源的量。進(jìn)而，難以或無法形成或修復(fù)微細(xì)的布線。

并且，在移動激光束的同時(shí)，對被硬化的金屬源進(jìn)行圖形化時(shí)，需要逐一變更沿著圖形化的形狀僅朝一個(gè)方向移動之激光束的移動方向。因此，在形成 復(fù)雜形狀的圖形時(shí)，需要隨時(shí)變更激光束的移動方向，所以存在增加修復(fù)作業(yè)時(shí)間的問題。

【在先技術(shù)文獻(xiàn)】

韓國專利文獻(xiàn)：KR 2014-0099404 A

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種能迅速修復(fù)基板上圖形之缺陷的修復(fù)裝置及修復(fù)方法。

本發(fā)明提供一種能容易修復(fù)基板上復(fù)雜圖形之缺陷的修復(fù)裝置及修復(fù)方法。

本發(fā)明的修復(fù)裝置包括：工作臺，用于安裝基板；油墨供給部，向所述基板上圖形的缺陷供給油墨；激光部，照射用于硬化所述油墨的第一激光束和用于圖形化所述被硬化之油墨的第二激光束；以及移動部，支撐所述油墨供給部和所述激光部，在所述基板上，使得所述油墨供給部和所述激光部對于所述工作臺進(jìn)行相對移動。

所述激光部包括：第一激光單元，用于產(chǎn)生第一激光束；第二激光單元，用于產(chǎn)生第二激光束；掃描單元，配置在所述第二激光束的移動路徑上，用于調(diào)節(jié)所述第二激光束的照射角度；以及物鏡，用于向所述基板照射所述第一激光束或通過了所述掃描單元的所述第二激光束。

所述掃描單元包括：第一掃描鏡，通過反射所述第二激光束，從而控制所述第二激光束的前后方向照射位置；以及第二掃描鏡，通過反射所述第二激光束，從而控制所述第二激光束的左右方向照射位置。

所述激光部包括：控制單元，用于開閉所述第二激光束的移動路徑，且連續(xù)調(diào)節(jié)所述第一掃描鏡和第二掃描鏡的傾斜度。

所述油墨供給部包括：噴嘴單元，用于排出所述油墨；以及電源供給單元，向所述噴嘴單元供給電源，以用于在所述基板與所述噴嘴單元之間形成電場。

所述移動部包括：第一移動單元，能沿一方向進(jìn)行前后退；以及第二移動單元，與所述油墨供給部和所述激光部相連，并且沿與所述一方向相交叉的方向可移動地連接在所述第一移動單元。

所述第二激光束以脈沖波的形式產(chǎn)生，且以比所述第一激光束的尺寸小的尺寸所照射。

所述第二激光束包括納米激光、皮秒激光和飛秒激光中的至少一種。

本發(fā)明的修復(fù)方法包括如下步驟：確認(rèn)基板上圖形的缺陷；在發(fā)生了所述缺陷的部分，涂覆比所述缺陷的面積大的油墨；對所涂覆的所述油墨進(jìn)行硬化，從而形成涂覆膜；以及沿著所述涂覆膜的面積移動激光束，從而去除事先設(shè)定之設(shè)定區(qū)域的涂覆膜。

涂覆所述油墨的步驟包括：利用電流體動力學(xué)，排出所述油墨。

移動所述激光束的步驟包括：照射脈沖波形狀的掃描激光束；以及以橫跨所述涂覆膜的面積的方式反復(fù)移動所述掃描激光束。

去除所述涂覆膜的步驟包括：在所述設(shè)定區(qū)域照射所述激光束，而在其他區(qū)域不照射所述激光束。

通過硬化所述油墨而形成涂覆膜的步驟包括：向所涂覆的所述油墨，以所述油墨的涂覆面積以上的大小，照射連續(xù)波形狀的硬化激光束。

所述設(shè)定區(qū)域包括：在所述基板上不應(yīng)形成圖形的區(qū)域。

所述缺陷包含開放式缺陷，去除所述設(shè)定區(qū)域之涂覆膜的步驟是形成修復(fù)圖形的步驟。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，可以向基板上圖形的缺陷，精密供給油墨(ink)。因此，即使微細(xì)的缺陷也能施以修復(fù)，可以精密控制供給至缺陷上的油墨的量。

并且，通過連續(xù)調(diào)節(jié)激光束的照射角度，能迅速圖形化在缺陷上硬化了的油墨。由此，可以迅速修復(fù)基板上圖形的缺陷，而且還可容易修復(fù)基板上復(fù)雜圖形的缺陷。

附圖說明

圖1是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)裝置的概略立體圖。

圖2是示出本發(fā)明實(shí)施例之激光部及油墨供給部的結(jié)構(gòu)圖。

圖3是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法順序的流程圖。

圖4是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法的剖面圖。

圖5是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法的平面圖。

【附圖標(biāo)記說明】

10：工作臺(stage) 40：移動部

100：激光部 110：第一激光單元

120：第二激光單元 130：掃描單元

150：物鏡 200：油墨供給部

210：噴嘴單元 220：電源供給單元

1000：修復(fù)裝置

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖更詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。但是，本發(fā)明并非局限在以下所揭示的實(shí)施例，而是以不同的各種形態(tài)來實(shí)現(xiàn)，本實(shí)施例僅僅是為了使得本發(fā)明的揭示完整，向本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員完整地告知發(fā)明的范疇而提供。為了詳細(xì)說明發(fā)明，附圖可能會被夸張示出，而且在附圖中，相同的附圖標(biāo)記指代同樣的要素。

圖1是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)裝置的概略立體圖，圖2是示出本發(fā)明實(shí)施例之激光部及油墨供給部的結(jié)構(gòu)圖。

參照圖1，本發(fā)明實(shí)施例的修復(fù)裝置1000包括：工作臺10，用于安裝基板；油墨供給部200，向所述基板上圖形的缺陷供給油墨；激光部100，照射用于硬化所述油墨的第一激光束和用于圖形化所述被硬化之油墨的第二激光束；以及移動部40，支撐所述油墨供給部200和所述激光部100，在所述基板上，使得所述油墨供給部200和所述激光部100對于所述工作臺10進(jìn)行相對移動；而且，還可以包括桌臺20和軌道30。

此時(shí)，移動部40使得油墨供給部200和激光部100對于工作臺10做相對移動是指：工作臺10可以移動，移動部40可使油墨供給部200和激光部100移動，或者這些均可移動。在本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然例舉了移動部40使得油墨供給部200和激光部100在工作臺10上移動的情形，但也可以做各種變更。

針對桌臺20而言，其上面平坦，且具有所定的面積和厚度。桌臺20起到支撐工作臺10的基座作用。例如，桌臺20可以是所定厚度的面板(plate)。而且，桌臺20可以安裝在對于地面堅(jiān)固設(shè)置而可以防止外部振動或沖擊的框架結(jié)構(gòu)物上。

工作臺10設(shè)置在桌臺20上。在工作臺10上放置基板，工作臺10起到支 撐基板的作用。例如，工作臺10，為了在其上部面上放置基板，而可以形成為其上部面的面積大于等于基板的面積。并且，工作臺10的形狀可以形成為與基板的形狀相對應(yīng)。

一對軌道30沿一方向延伸形成，而在桌臺20的兩側(cè)形成為直線形狀。并且，一對軌道30配置在工作臺10之外側(cè)的桌臺20部位。由此，在軌道30上所移動的移動部40可使得油墨供給部200和激光部100在工作臺10上進(jìn)行移動。

移動部40與油墨供給部200、激光部100相連，從而起到支撐并移動該兩者的作用。移動部40包括：第一移動單元41，可沿一方向進(jìn)行前后退；以及第二移動單元42，與所述油墨供給部200和所述激光部100相連，并且沿與所述一方向交叉的方向可移動地連接在所述第一移動單元41。

第一移動單元41沿與軌道30的延伸方向相交叉的方向延伸而形成，且沿一方向可前后退地設(shè)置在軌道30。即，第一移動單元41可沿軌道30朝一方向能進(jìn)行前后退。

第二移動單元42沿與一方向相交叉的方向可移動地連接在第一移動單元41。即，第二移動單元42可以沿第一移動單元41的延伸方向移動。在第二移動單元42的前面設(shè)有油墨供給部200和激光部100。由此，油墨供給部200和激光部100可以與第一移動單元41及第二移動單元42一同移動。進(jìn)而，通過控制第一移動單元41及第二移動單元42，使得油墨供給部200和激光部100沿一方向及與一方向相交叉的方向移動，以此在基板上能移動至所希望的位置。

在此，第一移動單元41和第二移動單元42可以在同一面上，沿著相互交叉方向的軸，例如第一移動單元41以X軸為基準(zhǔn)，第二移動單元42以Y軸為基準(zhǔn)能進(jìn)行移動。

油墨供給部200起到向基板上圖形的布線缺陷，例如發(fā)生了斷開缺陷或短路缺陷的部分，供給油墨的作用。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的油墨供給部200，利用電流體動力學(xué)(Electrohydrodynamic)，可以精密排出極少量的油墨。即，在后述的噴嘴單元210與基板之間形成電場，由此在油墨內(nèi)部所形成的離子基于在噴嘴單元210與基板之間所形成的電場，由噴嘴單元210排出油墨。油墨，可以使用與基板上圖形的材質(zhì)相同材質(zhì)的來源(source)或?qū)щ娦詢?yōu)秀的銀(Ag)。 由此，根據(jù)所涂覆的油墨，發(fā)生斷開的部分能得以連接。但是，油墨的材質(zhì)并非局限于此，而可以是多樣的。

參照圖2，油墨供給部200包括：噴嘴單元210，用于排出油墨；以及電源供給單元220，向所述噴嘴單元210供給電源，以用于在所述基板與所述噴嘴單元210之間形成電場；并且還可以包括空氣壓單元(未圖示)、儲藏單元230及拍攝單元240。

噴嘴單元210起到向圖形的缺陷排出油墨的作用。噴嘴單元210中排出油墨的部分，配置為朝向下側(cè)或者向下傾斜。噴嘴單元210可以由比金屬容易加工處理的玻璃或塑料等材質(zhì)制造，以使排出油墨部分的面積形成為所希望大小的小面積。并且，在噴嘴單元210的表面涂覆金屬材質(zhì)，從而噴嘴單元210可以執(zhí)行電極的功能。由此，可以將噴嘴單元210中用于排出油墨的部分形成為能排出極微量油墨的小面積，通過將噴嘴單元210的表面用金屬材質(zhì)均勻涂覆，從而可以形成均勻的電場。由此，向噴嘴單元210內(nèi)部的油墨，可以施加均勻的力，因此可以精密調(diào)節(jié)油墨的排出量。在此，噴嘴單元210的結(jié)構(gòu)及材質(zhì)并非局限于此，而可以為多樣。

儲藏單元230在內(nèi)部儲藏油墨，并且與噴嘴單元210相連，從而起到向噴嘴單元210供給油墨的作用。儲藏單元230，可以由絕緣材質(zhì)形成或被絕緣處理，從而電子從噴嘴單元210僅流向基板。另外，為了排出油墨而一同施加電場和空氣壓時(shí)，儲藏單元230可以與后述的空氣壓單元相連。但是，儲藏單元230的連接結(jié)構(gòu)并非局限于此，而可以為多樣。

電源供給單元220起到向噴嘴單元210供給電源的作用，以用于在噴嘴單元210與基板之間形成電場。電源供給單元220，與涂覆在噴嘴單元210表面的金屬相連。由此，噴嘴單元210的整體以基板為基準(zhǔn)可以具有一定的電位，基于噴嘴單元210與基板之間的電位差來形成電場。當(dāng)向噴嘴單元210供給直流電源時(shí)，基板或工作臺10需要連接在電極，而當(dāng)供給交流電源時(shí)，基板和工作臺10無需單獨(dú)接地，因此裝置的構(gòu)成變得簡單，由于無需連接電極，因此工作臺10的材質(zhì)可以不局限于金屬。

油墨的排出量及是否以液滴狀(droplet)排出或連續(xù)排出是根據(jù)由電源供給單元220所供給的電源的大小、頻率、電流量等因素來確定。由此，通過控 制電源供給單元220的工作，當(dāng)電源的大小越高，由噴嘴單元210所排出的油墨的形狀從液滴狀變?yōu)閲婌F狀。并且，由于根據(jù)頻率，每秒所排出的液滴的數(shù)量發(fā)生變化，因此通過調(diào)節(jié)頻率可以控制排出量。

另外，不僅通過電源，而且還通過空氣壓的輔助來調(diào)節(jié)油墨的排出量時(shí)，若改變空氣壓的大小，則根據(jù)空氣壓所形成的彎液面(Meniscus：屬于毛細(xì)管現(xiàn)象，指油墨在噴嘴末端具有凸出形狀)的形狀發(fā)生變化，由此可控制排出量。例如，當(dāng)空氣壓變高時(shí)，彎液面形成得大而所排出的體積變大，此時(shí)即使供給低電源，也可通過噴嘴單元210排出油墨。

空氣壓單元起到向噴嘴單元210供給空氣壓的作用。根據(jù)油墨的特性，可以大幅增加需供給的電源大小。此時(shí)，安全性方面可能發(fā)生問題，且難以控制油墨的精密排出量。由此，通過設(shè)置空氣壓單元，向噴嘴單元210供給一定大小的空氣壓，從而可以降低向噴嘴單元210供給的電源的大小，因此可以確保安全性，且可以精密調(diào)節(jié)油墨的排出量。

拍攝單元240起到拍攝基板上圖形或缺陷的作用。拍攝單元240，配設(shè)在噴射單元210中排出油墨部分的上側(cè)。由此，通過拍攝單元240，可以實(shí)時(shí)監(jiān)控油墨是否正確排出到圖形的缺陷。從而，可以提高作業(yè)的可信度和精密性。

激光部100向基板上形成了涂覆膜的區(qū)域照射激光束，從而起到形成基板上修復(fù)圖形的作用。參照圖2，激光部100，包括：第一激光單元110，用于產(chǎn)生第一激光束；第二激光單元120，用于產(chǎn)生第二激光束；掃描單元130，配置在所述第二激光束的移動路徑上，用于調(diào)節(jié)所述第二激光束的照射角度；以及物鏡150，用于向所述基板照射所述第一激光束或通過了所述掃描單元130的所述第二激光束；并且可以包括激光鏡160、狹縫140及控制單元170。

第一激光單元110可以包括：第一激光發(fā)生器(未圖示)，用于產(chǎn)生第一激光束；以及第一衰減器(未圖示)，用于開閉在第一激光發(fā)生器所產(chǎn)生的第一激光束的移動路徑。第一激光束，起到對供給至基板上圖形缺陷的油墨進(jìn)行硬化的作用。由此，為了保持用于硬化油墨的反應(yīng)溫度，第一激光束可以使用連續(xù)波(CW：Coutinuous Wave)形態(tài)的激光束。該種激光束是單位脈沖的能量較小的激光束，因此在防止油墨被切斷的同時(shí)，可以提高油墨的硬化反應(yīng)速度。

第二激光單元120可以包括：第二激光發(fā)生器(未圖示)，用于產(chǎn)生第二激 光束；以及第二衰減器(未圖示)，用于開閉在第二激光發(fā)生器所產(chǎn)生的第二激光束的移動路徑。由此，第二衰減器可以起到對第二激光束進(jìn)行接通/斷開(on/off)的開關(guān)作用。第二激光束，起到對油墨硬化所形成的涂覆膜進(jìn)行圖形化，從而在產(chǎn)生了缺陷的部分形成修復(fù)圖形的作用。進(jìn)而，為了切割涂覆膜，第二激光束可以使用脈沖波形態(tài)的激光束。

此時(shí)，為了減少第二激光束對涂覆膜下部的下部圖形或基板的毀損，可以使用短波長(UV系列)激光束。即，由于長波長(IR系列)激光束相比短波長激光束，其滲透率和能量相對高，因此可能對涂覆膜下部的下部圖形或基板帶來毀損。因此，第二激光束可以使用作為短波長激光束的納米激光、皮秒激光及飛秒激光中的至少一個(gè)。

激光鏡160可以包括：第一激光鏡161，配置在第二激光單元120與掃描單元130之間；以及第二激光鏡162，配置在第一激光單元110與物鏡150之間或者掃描單元130與物鏡150之間。

第一激光鏡161起到將在第二激光單元120所產(chǎn)生的第二激光束引導(dǎo)至掃描單元130的作用。即，第一激光鏡161在其一面反射第二激光束而移動至掃描單元130。

第二激光鏡162起到將在第一激光單元110所產(chǎn)生的第一激光束或在掃描單元130所反射的第二激光束引導(dǎo)至物鏡150的作用。即，第二激光鏡162的一面用于反射第二激光束而將第二激光束移動至物鏡150，第二激光鏡162的另一面可以使得第一激光束透過而移動至物鏡150。但是，所具有的激光鏡160的數(shù)量或配置位置并非局限于此，而可以為多樣。

掃描單元130起到對在第二激光單元120所產(chǎn)生的第二激光束的照射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)的作用。掃描單元130，包括：第一掃描鏡(未圖示)，通過反射所述第二激光束，從而控制所述第二激光束的前后方向照射位置；以及第二掃描鏡(未圖示)，通過反射所述第二激光束，從而控制所述第二激光束的左右方向照射位置；并且可以包括第一電機(jī)(未圖示)和第二電機(jī)(未圖示)。

第一掃描鏡配置在第二激光束的移動路徑上，用于反射第二激光束。第一掃描鏡與第一電機(jī)相連，從而可以調(diào)節(jié)其前后方向的傾斜角度。由此，當(dāng)調(diào)節(jié)第一掃描鏡的角度時(shí)，第二激光束的反射角度也得以調(diào)節(jié)，從而能夠調(diào)節(jié)在基 板上所照射之激光束的前后方向位置。

第二掃描鏡配置在第二激光束的移動路徑上，用于反射第二激光束。第二掃描鏡，可以配置在第二激光單元120與第一掃描鏡之間或者第一掃描鏡與物鏡150之間。即，在第二掃描鏡所反射的第二激光束移動至第一掃描鏡，或者在第一掃描鏡所反射的第二激光束可以移動至第二掃描鏡。

第二掃描鏡與第二電機(jī)相連，從而可以調(diào)節(jié)左右方向的傾斜角度。由此，當(dāng)調(diào)節(jié)第二掃描鏡的角度時(shí)，第二激光束的反射角度也得以調(diào)節(jié)，從而能夠調(diào)節(jié)在基板上所照射之激光束的左右方向位置。據(jù)此，通過調(diào)節(jié)第一掃描鏡和第二掃描鏡的傾斜角度，可以使得照射到基板上的激光束前后左右移動。但是，移動激光束的方法并非局限于此，而可以為多樣。

狹縫140配置在激光束的移動路徑上，從而調(diào)節(jié)向物鏡150移動的激光束的大小及形狀。例如，狹縫140配置在第二激光鏡162與物鏡150之間，從而可以調(diào)節(jié)貫通第二激光鏡162的第一激光束或者在第二激光鏡162所反射的第二激光束的大小及形狀。但是，狹縫140的位置并非局限于此，而可以為多樣。

物鏡150起到壓縮激光束而照射的作用。即，物鏡150使得第一激光束或第二激光束聚集到基板或基板上的圖形。物鏡150可以構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)型(Revolvertype)或直線型(Linear Type)，以便有選擇地使用具有不同倍率的多個(gè)透鏡(lens)。例如，物鏡150可以包括×5透鏡、×10透鏡、×20透鏡、×50透鏡。由此，根據(jù)作業(yè)需要，通過選擇物鏡150的倍率，從而可以調(diào)節(jié)激光束的尺寸。但是，物鏡150的倍率及可變更的倍率數(shù)量并非局限于此，而可以為多樣。

對于第一激光束而言，是用于硬化油墨的激光束，因此所照射的激光束尺寸應(yīng)當(dāng)為所供給油墨的面積以上。即，第一激光束與油墨的接觸面積增大時(shí)，油墨的整體能迅速硬化，進(jìn)而能迅速執(zhí)行修復(fù)工藝。由此，通過調(diào)節(jié)狹縫140和物鏡150，可以將第一激光束的尺寸調(diào)節(jié)為所供給之油墨的面積以上，例如所供給之油墨面積的2倍以上。

對于第二激光束而言，是對油墨硬化而形成的涂覆膜進(jìn)行切割的激光束，因此為了精密形成修復(fù)圖形，需要照射小尺寸的激光束。即，激光束的尺寸越減小，便能形成微細(xì)的圖形，進(jìn)而能提高作業(yè)的精密度。由此，通過調(diào)節(jié)狹縫140和物鏡150，可以減小第二激光束的尺寸。例如，為了執(zhí)行精密的作業(yè)，將 第二激光束的尺寸可以減小為5μm以下。但是，第一激光束及第二激光束的尺寸并非局限于此，而可以為多樣。

控制單元170與第二衰減器、第一電機(jī)和第二電機(jī)相連，從而可以開閉所述第二激光束的移動路徑，可以連續(xù)調(diào)節(jié)所述第一掃描鏡和第二掃描鏡的傾斜度。由此，在切割涂覆膜的一部分而形成修復(fù)圖形時(shí)，向控制單元170可以選擇輸入涂覆膜整體面積中需切割的部分。控制單元170，通過控制第一電機(jī)和第二電機(jī)，沿著涂覆膜的面積而移動第二激光束，由此利用第二衰減器，在需要切割的部分開放第二激光束的移動路徑，而在無需切割的部分關(guān)閉第二激光束的移動路徑。據(jù)此，僅對需要切割的部分照射第二激光束，從而在基板上圖形的發(fā)生了缺陷的部分，可以形成所需形狀的修復(fù)圖形。

如此，向基板上圖形的缺陷，可以精密供給油墨，因此即使為微細(xì)的缺陷，也可以進(jìn)行修復(fù)，且可以精密控制向缺陷所供給的油墨量。并且，通過連續(xù)調(diào)節(jié)激光束的照射角度，對缺陷上所硬化的油墨能迅速進(jìn)行圖形化。據(jù)此，可以迅速修復(fù)基板上圖形的缺陷，且還可以容易修復(fù)基板上復(fù)雜圖形的缺陷。

圖3是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法順序的流程圖，圖4是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法的剖面圖，圖5是示出本發(fā)明實(shí)施例之修復(fù)方法的平面圖。

以下，說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修復(fù)方法。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修復(fù)方法包括如下步驟：步驟S100，確認(rèn)基板上圖形的缺陷；步驟S200，在發(fā)生了所述缺陷的部分，涂覆比所述缺陷的面積大的油墨；步驟S300，對所涂覆的所述油墨進(jìn)行硬化，從而形成涂覆膜；以及步驟S400，沿著所述涂覆膜的面積移動激光束，從而去除事先設(shè)定之設(shè)定區(qū)域的涂覆膜。此時(shí)，所述缺陷可以是圖形被短路或切斷而產(chǎn)生的開放式缺陷，圖形可以是金屬材質(zhì)的圖形，去除所述設(shè)定區(qū)域之涂覆膜的步驟可以是在發(fā)生了開放式缺陷的部分形成修復(fù)圖形的步驟。

針對基板上圖形是否因短路而發(fā)生了缺陷，可以通過肉眼或攝像儀來確認(rèn)基板上的圖形。當(dāng)發(fā)現(xiàn)基板上圖形的缺陷時(shí)，對發(fā)生了缺陷的部分可以執(zhí)行形成修復(fù)圖形的作業(yè)。

首先，向發(fā)生了缺陷部分的上側(cè)，移動油墨供給部200。接著，如圖4的(b)所示，通過油墨供給部200的噴嘴單元210，向圖形P之發(fā)生了短路的部 分排出油墨。此時(shí)，油墨是作為修復(fù)液所使用的油墨。

另外，利用電流體動力學(xué)，可以向發(fā)生了短路的部分排出油墨。即，通過向噴嘴單元210或噴嘴單元210與基板供給電源，從而在噴嘴單元210與基板之間可以形成電場。油墨的排出量及是否以液滴狀(droplet)排出或連續(xù)排出是根據(jù)所供給的電源的大小、頻率、電流量等因素來確定。并且，由于根據(jù)頻率，每秒所排出的液滴的數(shù)量發(fā)生變化，因此通過調(diào)節(jié)頻率可以控制排出量。

通過控制電源，可以精密控制向圖形P之發(fā)生了缺陷的部分所供給的油墨的量，因此如圖4的(c)所示，通過向圖形P之發(fā)生了缺陷的部分僅供給所需量的油墨，從而可以形成涂覆膜M。由此，可以始終維持一定的油墨使用量，從而在圖形P上發(fā)生了缺陷的部分可以形成始終相同形狀的涂覆膜M。因此，能夠容易獲知涂覆膜M的面積。

并且，對于所排出的油墨量而言，使得涂覆膜的面積為圖形P之缺陷部分的面積以上。即，涂覆膜具有發(fā)生了缺陷而被切斷的區(qū)域或切割區(qū)域之面積以上的面積。例如，將所排出的油墨量可以控制為使得涂覆膜的面積具有相比圖形P之缺陷部分面積的110％～400％的面積。

若所供給的油墨使得涂覆膜M的面積達(dá)不到圖形P之缺陷部分面積的110％，那么可能在基板上難以形成修復(fù)圖形。即，當(dāng)圖形P的形狀復(fù)雜時(shí)，若涂覆膜M的面積不充分，那么涂覆膜M可能無法完全覆蓋圖形P之凸出的缺陷部分。這樣，在未覆蓋涂覆膜M之處，無法形成修復(fù)圖形，因此不能修復(fù)圖形P的缺陷部分。據(jù)此，可以將油墨供給為使得涂覆膜M的面積大于圖形P的缺陷面積，以便充分覆蓋圖形P的缺陷部分。

另外，圖形P復(fù)雜時(shí)，所排出的油墨量也增加。但是，若油墨被供給為使得涂覆膜M的面積超過圖形P之缺陷部分面積的400％，那么所使用的油墨的量太過增加而浪費(fèi)油墨。并且，為了去除所增加面積的涂覆膜M，第二激光束需要在涂覆膜M上移動的面積也隨之增加。因此，在過量排出油墨時(shí)，會產(chǎn)生增加費(fèi)用和作業(yè)時(shí)間的問題。由此，通過控制可以使油墨不過量排出，以便減少費(fèi)用和作業(yè)時(shí)間。但是，油墨的供給量并非局限于此，而可以為多樣。

更加詳細(xì)說明形成涂覆膜M并進(jìn)行圖形化而形成修復(fù)圖形的步驟如下，如圖5的(b)所示，向圖形P之發(fā)生了短路的部分供給油墨而進(jìn)行涂覆。

接著，將激光部100移動到涂覆了油墨部分的上側(cè)，并向所涂覆的油墨照射第一激光束。第一激光束起到硬化油墨的作用。由此，為了保持用于硬化油墨的反應(yīng)溫度，第一激光束可以使用連續(xù)波(CW：Coutinuous Wave)形態(tài)的激光束。該種激光束是單位脈沖的能量較小的激光束，因此在防止油墨被切斷的同時(shí)，可以提高油墨的硬化反應(yīng)速度。

并且，第一激光束與油墨所接觸的面積越增加，油墨的整體能迅速硬化。由此，通過調(diào)節(jié)狹縫140和物鏡150，可以將第一激光束的尺寸調(diào)節(jié)為所供給油墨的面積以上。據(jù)此，連續(xù)波形狀的硬化激光束以所涂覆油墨之面積以上的大小向油墨照射，從而如圖5的(c)所示，在發(fā)生了缺陷的部分可以形成涂覆膜M。

接著，向控制單元170可以事先輸入將要去除涂覆膜M的設(shè)定區(qū)域和不去除的區(qū)域。設(shè)定區(qū)域是在基板上不應(yīng)當(dāng)形成圖形的區(qū)域。即，作業(yè)者可以確定設(shè)定區(qū)域，以便僅留住在基板上應(yīng)當(dāng)形成圖形部分的涂覆膜M，而去除剩余部分。此時(shí)，由于已知涂覆膜M的整體面積，因此更容易確定設(shè)定區(qū)域。

接著，停止照射第一激光束，而產(chǎn)生第二激光束。第二激光束對涂覆膜M進(jìn)行圖形化，從而起到在發(fā)生了缺陷的部分形成修復(fù)圖形的作用。由此，為了切割涂覆膜M，第二激光束可以使用脈沖形態(tài)的激光束。此時(shí)，為了減少第二激光束對涂覆膜M下部的下部圖形或基板的毀損，可以使用短波長(UV系列)激光束。例如，第二激光束可以使用作為短波長激光束的納米激光、皮秒激光及飛秒激光中的至少一個(gè)。

并且，對于第二激光束而言，是對油墨硬化而形成的涂覆膜進(jìn)行切割的激光束，因此為了精密形成修復(fù)圖形，需要照射小尺寸的激光束。即，激光束的尺寸比缺陷的面積越減小，便能形成微細(xì)的圖形，進(jìn)而能提高作業(yè)的精密度。由此，通過調(diào)節(jié)狹縫140和物鏡150，可以將第二激光束的尺寸減小為小于缺陷的面積。例如，為了執(zhí)行精密的作業(yè)，將第二激光束的尺寸可以減小為5μm以下。

接著，向涂覆膜M照射脈沖形態(tài)的掃描激光束，即第二激光束，并如圖5的(e)所示，以橫跨所述涂覆膜M的面積的方式反復(fù)移動第二激光束。例如，沿著涂覆膜M的面積，在掃描涂覆膜M的同時(shí)，能以之字形移動第二激光束。 即，控制單元170控制第一電機(jī)和第二電機(jī)的工作，從而調(diào)節(jié)第一掃描鏡和第二掃描鏡的傾斜度，由此沿著涂覆膜M的面積移動第二激光束。

并且，第二激光束所移動之范圍的面積是涂覆膜M的面積以上。即，若第二激光束在未滿涂覆膜M面積的范圍內(nèi)移動，那么第二激光束移動范圍外的涂覆膜M不會被去除。由此，當(dāng)需要去除的涂覆膜M位于第二激光束的移動范圍以外時(shí)，因涂覆膜M不被去除而可能會發(fā)生基板不良。因此，為了覆蓋整體涂覆膜M，第二激光束的移動范圍面積可以為涂覆膜M的面積以上。

此時(shí)，控制單元170在移動第二激光束的同時(shí)，控制第二衰減器的工作，從而可以在設(shè)定區(qū)域照射第二激光束，而在另外區(qū)域不照射第二激光束。由此，僅去除設(shè)定區(qū)域的涂覆膜，從而如圖5的(f)所示，可以形成修復(fù)圖形。因此，只要在控制單元170輸入設(shè)定區(qū)域，則即使復(fù)雜形態(tài)的圖形P發(fā)生了缺陷，也可以迅速形成修復(fù)圖形。

如此，向基板上圖形的缺陷，可以精密供給油墨，因此微細(xì)的缺陷也可以進(jìn)行修復(fù)，且可以精密控制向缺陷所供給的油墨量。并且，通過連續(xù)調(diào)節(jié)激光束的照射角度，可迅速對缺陷上所硬化的油墨進(jìn)行圖形化。由此，可迅速修復(fù)基板上圖形的缺陷，而且還可容易修復(fù)基板上復(fù)雜圖形的缺陷。

如此，在本發(fā)明的詳細(xì)說明中，描述了具體實(shí)施例，但在不超出本發(fā)明思想的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變更。因此，本發(fā)明的范圍不應(yīng)局限在所描述的實(shí)施例上，而是應(yīng)當(dāng)根據(jù)權(quán)利要求的范圍及其等同者來確定。