1.一種冷激光精細(xì)加工的方法，其包括如下步驟：
(1)設(shè)置激光加工工藝參數(shù)；
(2)多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)根據(jù)上述工藝參數(shù)控制激光束的運(yùn)動(dòng)軌跡和加工件的運(yùn)動(dòng)軌跡；和
(3)多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制器根據(jù)激光束的空間位置和加工件的空間位置發(fā)出觸發(fā)信號(hào)，所述觸發(fā)信號(hào)可控制激光器的開(kāi)和關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在所述步驟(3)中，所述激光束的空間位置和加工件的空間位置是預(yù)先存儲(chǔ)在多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制器中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在所述步驟(3)中，所述激光束的空間位置和加工件的空間位置是實(shí)時(shí)反饋到多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述加工件為任意材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述加工件為脆性材料。
6.用于權(quán)利要求1-5所述方法的系統(tǒng)，其包括，用于產(chǎn)生激光的激光發(fā)射器、用于承載加工件的加工平臺(tái)、用于控制激光束和加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、用于控制多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的聯(lián)動(dòng)控制器、和控制激光發(fā)射器開(kāi)閉的激光觸發(fā)器，其中，所述聯(lián)動(dòng)控制器根據(jù)激光束的空間位置和加工件的空間位置發(fā)出向所述激光觸發(fā)器發(fā)出信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其還進(jìn)一步包括多軸聯(lián)動(dòng)/激光脈沖同步器，以使加工件和激光脈沖始終是同步的。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述多軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)是三軸或三軸以上的。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述多軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)的至少一個(gè)軸是可以旋轉(zhuǎn)的。