本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體PVD(Physical Vapor Deposition的縮寫(xiě)，物理氣相沉積)生產(chǎn)過(guò)程中需要使用鉭環(huán)。當(dāng)鉭環(huán)在鍍膜過(guò)程中覆著、濺射掉后不能使用后，會(huì)進(jìn)行報(bào)廢處理。柱狀把手(下文簡(jiǎn)稱為knob)是鉭環(huán)上的一個(gè)配件，焊接在鉭環(huán)上，同時(shí)knob表面有較厚的覆著物，不能再利用，通常將knob與鉭環(huán)一起報(bào)廢處理。

這樣一來(lái)，需要采用新的焊接有knob的鉭環(huán)，增加了半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本。

綜上所述，如何實(shí)現(xiàn)knob的修復(fù)再利用，以降低半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法，以實(shí)現(xiàn)knob的修復(fù)再利用，從而降低半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法，包括以下步驟：

1)將鉭環(huán)上的knob以及所述knob與所述鉭環(huán)相焊接的部分從所述鉭環(huán)上分離出來(lái)，獲得半成品knob，使所述半成品knob的底部直徑與成品knob的底部直徑之間形成第一預(yù)設(shè)加工余量；

2)將所述半成品knob表面上的附著物去除；

3)將所述半成品knob的底部車削成具有第二預(yù)設(shè)加工余量的預(yù)設(shè)厚度以及預(yù)設(shè)直徑，形成粗加工knob；

4)對(duì)所述粗加工knob的表面進(jìn)行酸洗，去除殘留物質(zhì)，獲得成品knob。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述步驟1)具體利用線切割設(shè)備將所述半成品knob從所述鉭環(huán)上切割下來(lái)，實(shí)現(xiàn)所述半成品knob與所述鉭環(huán)的分離。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述步驟1)將所述鉭環(huán)固定在所述線切割設(shè)備之前，首先利用與所述半成品knob定位配合的圓弧形定位板對(duì)所述半成品knob進(jìn)行定位。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述步驟1)之前還包括步驟：

將具有一個(gè)所述半成品knob的鉭環(huán)圓弧段從所述鉭環(huán)上切下，所述鉭環(huán)圓弧段的長(zhǎng)度為55-65mm。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述步驟2)具體通過(guò)噴砂處理的方式將所述半成品knob表面上的附著物去除。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述成品knob的底部直徑為25.4mm，底部厚度為1.27mm；

所述半成品knob的底部直徑為28-32mm。

優(yōu)選的，上述修復(fù)再利用方法中，所述步驟4)之后，還包括：將所述成品knob焊接在成品鉭環(huán)上。

從上述的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法，首先將鉭環(huán)上的半成品knob取下；然后將半成品knob表面上的附著物去除；接著將半成品knob的底部車削成具有第二預(yù)設(shè)加工余量的預(yù)設(shè)厚度以及預(yù)設(shè)直徑，形成粗加工knob；最后對(duì)粗加工knob的表面進(jìn)行酸洗，去除殘留物質(zhì)，獲得成品knob。

綜上可知，本發(fā)明的鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法通過(guò)加工使鉭環(huán)與knob分離，將配件knob提取后進(jìn)行修復(fù)處理，實(shí)現(xiàn)了knob的修復(fù)再利用，從而降低了半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法，能夠?qū)崿F(xiàn)knob的修復(fù)再利用，從而降低半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本。

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

需要說(shuō)明的是，為了便于描述，本發(fā)明將柱狀把手簡(jiǎn)寫(xiě)為knob，其也稱為固定把手、柱狀凸出物，用于環(huán)件如鉭環(huán)的安裝固定。

請(qǐng)參考附圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供的鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法，包括以下步驟：

S1、將鉭環(huán)上的knob以及knob與鉭環(huán)相焊接的部分從鉭環(huán)上分離出來(lái)，獲得半成品knob，使半成品knob的底部直徑與成品knob的底部直徑之間形成第一預(yù)設(shè)加工余量；

當(dāng)需要獲得的成品knob的底部直徑為25.4mm，底部厚度為1.27mm時(shí)，該步驟中，分離出來(lái)的半成品knob的底部直徑為28-32mm。具體的，使半成 品knob的底部直徑為30mm，此時(shí)第一預(yù)設(shè)加工余量為(30-25.4)/2＝2.3mm。當(dāng)然，根據(jù)不同規(guī)格的成品knob，上述半成品knob的底部直徑以及第一預(yù)設(shè)加工余量還可以為其他數(shù)值，本發(fā)明對(duì)此不做具體限定。

優(yōu)選的，該步驟S1具體利用線切割設(shè)備將半成品knob從鉭環(huán)上切割下來(lái)，實(shí)現(xiàn)半成品knob與鉭環(huán)的分離。本實(shí)施例通過(guò)線切割將半成品knob從鉭環(huán)上取下，加工精度較高，同時(shí)縮短了生產(chǎn)周期，講起了加工成本。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，還可以通過(guò)人工利用刀具切割或者采用車床將半成品knob從鉭環(huán)上分離下來(lái)。

進(jìn)一步的，為了保證切割位置的精確性，該步驟S1將鉭環(huán)固定在線切割設(shè)備之前，首先利用與半成品knob定位配合的圓弧形定位板對(duì)半成品knob進(jìn)行定位。本實(shí)施例使用的線切割設(shè)備的夾具具有圓弧形定位板，可以對(duì)半成品knob的固定位置進(jìn)行限定，從而提高了加工精度。當(dāng)然，本發(fā)明還可以利用兩個(gè)平板對(duì)半成品knob進(jìn)行定位。

S2、將半成品knob表面上的附著物去除；

優(yōu)選的，該步驟S2通過(guò)噴砂處理的方式將半成品knob表面上的附著物去除。本發(fā)明通過(guò)對(duì)半成品knob進(jìn)行噴砂處理，使用專用的砂粒通過(guò)高壓氣壓噴打在半成品knob表面上將其表面的附著物打磨掉，從而保證了半成品knob表面的粗糙度和清潔度。

可替換的，步驟S2還可以采取其他方式去除半成品knob表面上的附著物去除，如采用酸洗的方式，此時(shí)需要對(duì)沒(méi)有附著物的區(qū)域進(jìn)行保護(hù)。

S3、將半成品knob的底部車削成具有第二預(yù)設(shè)加工余量的預(yù)設(shè)厚度以及預(yù)設(shè)直徑，形成粗加工knob；該步驟用于將半成品knob底部的多于材料車削去除，獲得更接近成品knob尺寸的粗加工knob。該第二預(yù)設(shè)加工余量為0.2mm-0.5mm，具體為酸洗可以去除的厚度。

S4、對(duì)粗加工knob的表面進(jìn)行酸洗，去除殘留物質(zhì)，獲得成品knob；

該步驟通過(guò)酸洗，將粗加工knob的表面清洗干凈，從而達(dá)到成品knob的表面要求。

綜上可知，本發(fā)明的鉭環(huán)上柱狀把手的修復(fù)再利用方法通過(guò)加工使鉭環(huán)與knob分離，將配件knob提取后進(jìn)行修復(fù)處理，實(shí)現(xiàn)了knob的修復(fù)再利用，從而降低了半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本。

此外，本發(fā)明的修復(fù)再利用方法的加工成本較低，可以用較少的成本，將knob提取、修復(fù)處理后使得knob可以繼續(xù)使用。

為了便于加工，上述步驟S1之前還包括步驟：將具有一個(gè)半成品knob的鉭環(huán)圓弧段從鉭環(huán)上切下，鉭環(huán)圓弧段的長(zhǎng)度為55-65mm。本發(fā)明在將鉭環(huán)固定在線切割設(shè)備之前，先將鉭環(huán)切斷，使每一截鉭環(huán)圓弧段上具有一個(gè)半成品knob，此時(shí)鉭環(huán)圓弧段較短，具體的，每一截鉭環(huán)圓弧段的長(zhǎng)度為60mm，便于固定，同時(shí)便于對(duì)半成品knob的線切割，提高了加工效率。本發(fā)明也可以不包括上述步驟，直接將整個(gè)鉭環(huán)固定于線切割設(shè)備上。

為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述步驟S4之后還包括：將成品knob焊接在成品鉭環(huán)上。這樣一來(lái)，直接將再利用的knob集成在鉭環(huán)上，無(wú)需單獨(dú)保存knob，省去了外包裝裝置。

本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。

對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。