1.一種制造設(shè)備診斷輔助裝置，具備：
數(shù)據(jù)收集裝置，該數(shù)據(jù)收集裝置始終或間歇地對(duì)配置于一個(gè)制造設(shè)備內(nèi)的多個(gè)監(jiān)視對(duì)象裝置、或者分散配置于多個(gè)制造設(shè)備的多個(gè)監(jiān)視對(duì)象裝置各自的數(shù)據(jù)進(jìn)行收集和記錄；
數(shù)據(jù)解析裝置，該數(shù)據(jù)解析裝置對(duì)所述數(shù)據(jù)收集裝置所記錄的數(shù)據(jù)進(jìn)行解析；以及
顯示裝置，該顯示裝置顯示所述數(shù)據(jù)解析裝置的解析過(guò)程及解析結(jié)果，
所述制造設(shè)備診斷輔助裝置的特征在于，
所述數(shù)據(jù)解析裝置具備：
數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元，該數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元利用數(shù)據(jù)項(xiàng)目和時(shí)間來(lái)設(shè)定所述數(shù)據(jù)收集裝置所記錄的數(shù)據(jù)的解析范圍；
數(shù)據(jù)分組化單元，該數(shù)據(jù)分組化單元從所述數(shù)據(jù)收集裝置輸入由所述數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元設(shè)定的范圍的數(shù)據(jù)，對(duì)各數(shù)據(jù)進(jìn)行基于收集到該數(shù)據(jù)的監(jiān)視對(duì)象裝置的規(guī)格及使用條件的分類(lèi)、以及基于該數(shù)據(jù)所表示的物理量的分類(lèi)，由此對(duì)從所述數(shù)據(jù)收集裝置輸入的數(shù)據(jù)進(jìn)行分組；
特征量提取單元，該特征量提取單元提取由所述數(shù)據(jù)分組化單元進(jìn)行分組后的數(shù)據(jù)的各項(xiàng)目中的特征量；
異?，F(xiàn)象特定單元，該異?，F(xiàn)象特定單元在組內(nèi)和組間分別對(duì)所述特征量提取單元提取到的各數(shù)據(jù)項(xiàng)目的特征量進(jìn)行比較，在存在有表示出與其他不同的現(xiàn)象的數(shù)據(jù)項(xiàng)目的情況下，將該數(shù)據(jù)項(xiàng)目特定為異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目；以及
檢定單元，該檢定單元對(duì)所述異?，F(xiàn)象特定單元所特定的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目與其他數(shù)據(jù)項(xiàng)目之間是否存在有意差進(jìn)行檢定，在存在有意差的情況下，將被設(shè)為異常現(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目的數(shù)據(jù)項(xiàng)目判定為異?，F(xiàn)象項(xiàng)目。
2.如權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述數(shù)據(jù)分組化單元在組間將各組內(nèi)的數(shù)據(jù)項(xiàng)目數(shù)設(shè)為相同，對(duì)各數(shù)據(jù)項(xiàng)目附加組內(nèi)數(shù)據(jù)編號(hào)用于組內(nèi)識(shí)別，并附加組編號(hào)用于組間識(shí)別。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述特征量提取單元對(duì)原始數(shù)據(jù)、以及過(guò)濾原始數(shù)據(jù)后獲得的信號(hào)與原始數(shù)據(jù)的偏差這兩個(gè)，計(jì)算同一種類(lèi)的特征量。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述異?，F(xiàn)象特定單元進(jìn)行下述動(dòng)作：
在同一組內(nèi)的數(shù)據(jù)項(xiàng)目間對(duì)特征量進(jìn)行比較，在關(guān)于特征量的大小，存在與其他數(shù)據(jù)項(xiàng)目相比具有規(guī)定比率以上的差的數(shù)據(jù)項(xiàng)目的情況下，將該數(shù)據(jù)項(xiàng)目特定為第1等級(jí)的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目，
在監(jiān)視對(duì)象裝置中共通的數(shù)據(jù)項(xiàng)目在多個(gè)組均被特定為第1等級(jí)的異常現(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目的情況下，將該數(shù)據(jù)項(xiàng)目特定為第2等級(jí)的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目。
5.如權(quán)利要求4所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述檢定單元進(jìn)行下述動(dòng)作：
關(guān)于所述異?，F(xiàn)象特定單元中被特定為第1等級(jí)的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目的數(shù)據(jù)項(xiàng)目，在該數(shù)據(jù)項(xiàng)目的特征量和同一組內(nèi)的其他數(shù)據(jù)項(xiàng)目的特征量之間進(jìn)行統(tǒng)計(jì)檢定，當(dāng)兩者之間在規(guī)定的有意水準(zhǔn)下不存在有意差這一虛無(wú)假設(shè)被廢棄時(shí)，將該數(shù)據(jù)項(xiàng)目特定為第1等級(jí)的異?，F(xiàn)象項(xiàng)目，
在該數(shù)據(jù)項(xiàng)目也是第2等級(jí)的異常現(xiàn)象候補(bǔ)項(xiàng)目的情況下，當(dāng)監(jiān)視對(duì)象裝置中共通的其他組的數(shù)據(jù)項(xiàng)目也屬于第1等級(jí)的異?，F(xiàn)象項(xiàng)目時(shí)，將該數(shù)據(jù)項(xiàng)目特定為第2等級(jí)的異?，F(xiàn)象項(xiàng)目。
6.如權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述數(shù)據(jù)解析裝置在一系列數(shù)據(jù)解析結(jié)束后，由所述數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元來(lái)變更數(shù)據(jù)的解析范圍的時(shí)間，基于變更后的范圍的數(shù)據(jù)，再次執(zhí)行一系列的數(shù)據(jù)解析。