用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設(shè)置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設(shè)置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元；所述X軸傳送單元包括第一伺服電機(jī)、第一絲杠、第一直線導(dǎo)軌、X軸板和第一防護(hù)罩；所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機(jī)、第二絲杠、第二直線導(dǎo)軌、Y軸板和第二防護(hù)罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機(jī)、第三絲杠、第三直線導(dǎo)軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。本實(shí)用新型提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠大大降低制作成本，易于維護(hù)維修，而且保證設(shè)備的響應(yīng)速度及精度。
【專利說明】 用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種適用于脈沖激光刻蝕的運(yùn)動(dòng)平臺，尤其涉及一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的脈沖激光刻蝕ITO設(shè)備中的PET薄膜導(dǎo)電膜層加工裝置的X-Y-Z運(yùn)動(dòng)平臺，XY兩軸均采用直線電機(jī)，這樣運(yùn)動(dòng)平臺相應(yīng)速度快，精度也比較高，但制作成本卻十分昂貴。另外，直線電機(jī)維護(hù)維修也比較繁瑣。因此，有必要提供一種更加經(jīng)濟(jì)并適用于脈沖激光刻蝕HO PET薄膜上導(dǎo)電膜層裝備的X-Y-Z運(yùn)動(dòng)平臺，從而大幅降低了設(shè)備的生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠大大降低制作成本，易于維護(hù)維修，而且設(shè)備的響應(yīng)速度及精度均滿足生產(chǎn)使用要求。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設(shè)置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設(shè)置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。
[0005]上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機(jī)、第一絲杠、第一直線導(dǎo)軌、X軸板和第一防護(hù)罩；所述Y軸傳送單兀包括第二伺服電機(jī)、第二絲杠、第二直線導(dǎo)軌、Y軸板和第二防護(hù)罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機(jī)、第三絲杠、第三直線導(dǎo)軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。
[0006]上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述X軸板上設(shè)有第一光柵尺和第一光電限位開關(guān)。
[0007]上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述Y軸板上設(shè)有第二光柵尺和第二光電限位開關(guān)。
[0008]上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述Z軸板上設(shè)有第三光電限位開關(guān)。
[0009]上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述光柵尺的分辨率為lum。
[0010]本實(shí)用新型對比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果:本實(shí)用新型提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，采用伺服電機(jī)并配合絲杠來替代直線電機(jī)，并且伺服電機(jī)及絲杠的裝配比直線電機(jī)更加方便快捷，由此產(chǎn)生的制作成本較原來降低了約一半多，并且伺服電機(jī)維護(hù)維修較直線電機(jī)也是更加容易、方便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。[0012]圖中:
[0013]I第一伺服電機(jī)2第一絲杠3第一直線導(dǎo)軌
[0014]4X軸板5第一防護(hù)罩6第二伺服電機(jī)
[0015]7第二絲杠8第二直線導(dǎo)軌9 Y軸板
[0016]10第二防護(hù)罩11第三伺服電機(jī)12第三絲杠
[0017]13第三直線導(dǎo)軌14Z軸板15第一光柵尺
[0018]16第一光電限位開關(guān)17第二光柵尺18第二光電限位開關(guān)
[0019]19第三光電限位開關(guān)
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和實(shí)施案例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
[0021]圖1為本實(shí)用新型用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]請參見圖1，本實(shí)用新型提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設(shè)置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設(shè)置，其中，所述X軸 傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。
[0023]本實(shí)用新型提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機(jī)1、第一絲杠2、第一直線導(dǎo)軌3、X軸板4和第一防護(hù)罩5 ;所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機(jī)6、第二絲杠7、第二直線導(dǎo)軌8、Y軸板9和第二防護(hù)罩10 ;所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機(jī)11、第三絲杠12、第三直線導(dǎo)軌13和Z軸板14 ;所述Z軸板14安裝在X軸板4上，所述Y軸板9安裝在真空平臺(圖未示)的下方。
[0024]本實(shí)用新型提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所X軸傳送單元和Y軸傳送單元可安裝在大理石上，由于Z軸板14安裝與X軸板4上，Z軸可進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)行，而X軸則可帶動(dòng)Z軸進(jìn)行左右往復(fù)運(yùn)行，Y軸則進(jìn)行前后往復(fù)運(yùn)行。運(yùn)動(dòng)精確定位可通過光柵尺和光電限位開關(guān)實(shí)現(xiàn)。具體可設(shè)置如下:所述X軸板上設(shè)有第一光柵尺15和第一光電限位開關(guān)16 ;所述Y軸板上設(shè)有第二光柵尺17和第二光電限位開關(guān)18 ;所述Z軸板上設(shè)有第三光電限位開關(guān)19 ;所述光柵尺的分辨率優(yōu)選為lum，這就保證了 XY軸的精確定位。
[0025]雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施案例揭示如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的修改和完善，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所界定的為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設(shè)置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設(shè)置，其特征在于，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。
2.如權(quán)利要求1所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機(jī)、第一絲杠、第一直線導(dǎo)軌、X軸板和第一防護(hù)罩；所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機(jī)、第二絲杠、第二直線導(dǎo)軌、Y軸板和第二防護(hù)罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機(jī)、第三絲杠、第三直線導(dǎo)軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。
3.如權(quán)利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述X軸板上設(shè)有第一光柵尺和第一光電限位開關(guān)。
4.如權(quán)利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述Y軸板上設(shè)有第二光柵尺和第二光電限位開關(guān)。
5.如權(quán)利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述Z軸板上設(shè)有第三光電限位開關(guān)。
6.如權(quán)利要求3或4所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述光柵尺的分辨率為lum。
【文檔編號】B23K26/362GK203599719SQ201320825097
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月3日
【發(fā)明者】龔楷峰, 劉俊輝, 施心星 申請人:蘇州鐳明激光科技有限公司