可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的一種可旋轉(zhuǎn)勻化器，包括：勻化部件，用于均勻化激光束；旋轉(zhuǎn)裝置，具有旋轉(zhuǎn)套筒和內(nèi)部空腔；其中，勻化部件的邊緣外側(cè)通過固定裝置固定在內(nèi)部空腔中；旋轉(zhuǎn)套筒，構(gòu)成內(nèi)部空腔的腔體，用于帶動(dòng)勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；傳動(dòng)部件，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)裝置上，且連接有驅(qū)動(dòng)裝置，在驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使傳動(dòng)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；固定支座，用于將所述旋轉(zhuǎn)裝置固定在光路板上。本發(fā)明的激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備，采用上述可旋轉(zhuǎn)勻化器，避免激光束產(chǎn)生的毛刺長(zhǎng)時(shí)間固定作用于勻化器的某一位置造成勻化器的損壞，延長(zhǎng)了其使用壽命和降低了使用成本。
【專利說明】可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及ー種可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]由于不同波長(zhǎng)的激光在硅片中的吸收深度不同，激光退火具有退火深度可控的特點(diǎn)，因此，無論是在功率半導(dǎo)體器件的背面處理工藝中，還是在32nm及其以下各技術(shù)節(jié)點(diǎn)器件的超淺PN結(jié)制備エ藝中，激光退火技術(shù)都顯示出不可替代的優(yōu)勢(shì)。通常半導(dǎo)體領(lǐng)域的激光退火除了需要比較高的激光功率外，還需要將激光束整形為兩維或一維均勻的光斑。
[0003]光路中將用到大功率激光器、擴(kuò)束鏡、激光束勻化器、光闌、運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)等元件。請(qǐng)參閱圖1，圖1為常規(guī)的激光器應(yīng)用光路示意圖，圖中，大功率激光器11提供能量符合要求的激光光源，擴(kuò)束鏡12調(diào)整光斑尺寸并減少光束的發(fā)散，激光束勻化器13將激光器產(chǎn)生的非均勻光束轉(zhuǎn)換為一定范圍內(nèi)均勻的光束，光闌14截掉光束邊緣的非均勻光束，運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)15上載有晶圓,通過一定的移動(dòng)后,光斑照射在晶圓上。
[0004]其中，激光束勻化器由于其加工難度大和鍍膜成本高，是退火設(shè)備的主要消耗品。理論上激光束的能量呈高斯分布，但由于加工精度、光學(xué)調(diào)準(zhǔn)、沾污等原因，實(shí)際上的激光束并非嚴(yán)格的高斯分布，而是帶有毛刺的近似高斯分布；而且光率越短，毛刺越明顯。對(duì)于多光束的激光模式，激光束則是能量疊加的方式，也將有個(gè)別較強(qiáng)的毛刺出現(xiàn)。
[0005]如果激光束中的毛刺長(zhǎng)時(shí)間固定地作用在勻化器上，勻化器的鍍膜的某一位置長(zhǎng)時(shí)間受到較強(qiáng)激光的作用，將先行損壞，進(jìn)而惡性循環(huán)，造成勻化器的失效。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服上述問題，本發(fā)明g在設(shè)計(jì)ー種可旋轉(zhuǎn)勻化器，使激光應(yīng)用光路中的勻化器能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而以達(dá)到延長(zhǎng)勻化器使用壽命和降低激光退火設(shè)備的使用成本的目的。
[0007]本發(fā)明提供一種可旋轉(zhuǎn)勻化器，包括:
[0008]勻化部件，用于均勻化所述激光束；
[0009]旋轉(zhuǎn)裝置，具有旋轉(zhuǎn)套筒和內(nèi)部空腔；所述旋轉(zhuǎn)套筒，構(gòu)成所述內(nèi)部空腔的腔體，用于帶動(dòng)所述勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0010]第一固定裝置，所述勻化部件的邊緣外側(cè)通過所述第一固定裝置固定在所述內(nèi)部空腔中；
[0011]傳動(dòng)部件，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)裝置上，且連接有驅(qū)動(dòng)裝置，在所述驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使所述傳動(dòng)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0012]固定支座，用于將所述旋轉(zhuǎn)裝置固定在光路板上。
[0013]優(yōu)選地，所述第一固定裝置為勻化部件頂絲。
[0014]優(yōu)選地，所述勻化部件頂絲，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁內(nèi)，用于將所述勻化部件固定在所述旋轉(zhuǎn)套筒上。
[0015]優(yōu)選地，所述可旋轉(zhuǎn)勻化器還包括軸承和第二固定裝置，所述軸承包裹在所述旋轉(zhuǎn)套筒的外表面，通過所述第二固定裝置固定在所述旋轉(zhuǎn)套筒上。
[0016]優(yōu)選地，所述軸承為滾動(dòng)軸承，包括軸承內(nèi)圈和軸承外圈,在所述軸承內(nèi)圈和軸承外圈之間包含有滾珠。
[0017]優(yōu)選地，所述第二固定裝置為旋轉(zhuǎn)套筒頂絲，設(shè)置于所述軸承內(nèi)圈上，用于將所述旋轉(zhuǎn)套筒固定在所述軸承內(nèi)圈上。
[0018]優(yōu)選地，所述勻化部件的中心軸、所述旋轉(zhuǎn)套筒的中心軸、以及所述軸承的中心軸
在一條直線上。
[0019]優(yōu)選地，所述的傳動(dòng)部件為傳動(dòng)皮帶槽和傳動(dòng)皮帯。
[0020]優(yōu)選地，所述傳動(dòng)皮帶槽位于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁內(nèi)，用于將所述傳動(dòng)皮帶嵌套在所述旋轉(zhuǎn)套筒上，使所述旋轉(zhuǎn)套筒以皮帶方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0021]優(yōu)選地，所述的傳動(dòng)部件為齒輪。
[0022]優(yōu)選地，所述齒輪位于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁上，用干與所述電機(jī)進(jìn)行齒合，使所述旋轉(zhuǎn)套筒以齒輪方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0023]優(yōu)選地，所述勻化部件為蠅眼勻化部件。
[0024]本發(fā)明還提供一種采用上述任意一項(xiàng)所述可旋轉(zhuǎn)勻化器所設(shè)計(jì)的激光應(yīng)用光路，包括激光器、擴(kuò)束鏡、光闌和運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)，其中，包括所述可旋轉(zhuǎn)勻化器，所述旋轉(zhuǎn)裝置通過所述固定支座設(shè)置在擴(kuò)束鏡和光闌之間；其中，所述勻化部件裝載在所述內(nèi)部空腔中，跟隨所述旋轉(zhuǎn)套筒在所述電機(jī)的電動(dòng)下一起轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0025]優(yōu)選地，所述的勻化部件跟隨所述旋轉(zhuǎn)套筒一起進(jìn)行勻速旋轉(zhuǎn)。
[0026]優(yōu)選地，所述激光器發(fā)出的激光束的光軸和所述擴(kuò)束鏡的中心軸在一條直線上，所述勻化部件的中心軸相對(duì)于所述激光束的光軸發(fā)生偏移。
[0027]本發(fā)明還提供一種采用上述任意一項(xiàng)所述的激光應(yīng)用光路所設(shè)計(jì)的晶圓激光退火設(shè)備，其中，包括所述激光應(yīng)用光路。
[0028]本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備，通過利用旋轉(zhuǎn)套筒的旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，避免在激光退火過程中激光束產(chǎn)生的毛刺區(qū)域長(zhǎng)時(shí)間固定地作用于勻化器的某ー個(gè)位置上，以及避免了該位置由于受到強(qiáng)光而造成勻化器的損壞，延長(zhǎng)了勻化器的使用壽命和降低了激光退火設(shè)備的使用成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為常規(guī)的激光器應(yīng)用光路示意圖
[0030]圖2為本發(fā)明的實(shí)施例一的可旋轉(zhuǎn)勻化器的截面結(jié)構(gòu)示意圖
[0031]圖3為本發(fā)明的實(shí)施例一的可旋轉(zhuǎn)勻化器的三維結(jié)構(gòu)示意圖
[0032]圖4為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的激光應(yīng)用光路示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0033]體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的實(shí)施例將在后段的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的示例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說明及圖示在本質(zhì)上當(dāng)做說明之用，而非用以限制本發(fā)明。
[0034]以下結(jié)合附圖2-4，通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備作進(jìn)ー步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、明晰地達(dá)到輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0035]如前所述，由于在常規(guī)的激光應(yīng)用光路中，勻化器處于固定靜止的狀態(tài)，這樣造成激光束產(chǎn)生的“毛刺”會(huì)長(zhǎng)期固定地照射在某一位置上，造成該位置的提前損傷，從而導(dǎo)致整個(gè)勻化器的報(bào)廢，這樣還無疑増加了激光光路系統(tǒng)和激光退火設(shè)備的成本。因此，本發(fā)明提出了一種可旋轉(zhuǎn)勻化器，將其應(yīng)用于激光應(yīng)用光路中和激光退火設(shè)備中，可以避免上述現(xiàn)象的產(chǎn)生，節(jié)約了成本。
[0036]實(shí)施例一
[0037]請(qǐng)參閱圖2和3，圖2為本發(fā)明的實(shí)施例一的可旋轉(zhuǎn)勻化器的截面結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本發(fā)明的實(shí)施例一的可旋轉(zhuǎn)勻化器的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
[0038]首先需要說明的是，本發(fā)明中所采用的勻化部件可以為蠅眼勻化部件、矩形波導(dǎo)管勻化部件、棱鏡組勻化部件等，由于蠅眼勻化部件具有光束均勻性號(hào)和能量利用率高的優(yōu)點(diǎn)，本實(shí)施例中，以蠅眼勻化部件為例對(duì)本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)勻化器及激光應(yīng)用光路作進(jìn)ー步解釋說明，這不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0039]本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)勻化器，包括:
[0040]勻化部件，用于均勻化激光束；
[0041]旋轉(zhuǎn)裝置，具有旋轉(zhuǎn)套筒和內(nèi)部空腔；旋轉(zhuǎn)套筒，構(gòu)成內(nèi)部空腔的腔體，用于帶動(dòng)勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0042]第一固定裝置，勻化部件的邊緣外側(cè)通過第一固定裝置固定在內(nèi)部空腔中；
[0043]傳動(dòng)部件，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)裝置上，且連接有驅(qū)動(dòng)裝置，在該驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使傳動(dòng)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0044]固定支座，用于將旋轉(zhuǎn)裝置固定在光路板上。
[0045]本發(fā)明中，上述的驅(qū)動(dòng)裝置可以是回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，伺服驅(qū)動(dòng)裝置等；較佳地，在本實(shí)施例中，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，這不用于限制本發(fā)明的范圍；驅(qū)動(dòng)裝置的用途是帶動(dòng)傳動(dòng)部件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0046]在本實(shí)施例中，第一固定裝置為勻化部件頂絲；此外，由于軸承具有較高的抗疲勞作用，能夠保護(hù)旋轉(zhuǎn)套筒避免受到較大的磨損，在本實(shí)施例中，還包括有軸承；同時(shí)，本發(fā)明中的軸承可以為任意軸承，比如滾動(dòng)軸承，滑動(dòng)軸承等，只要能夠起到保護(hù)、固定和減小摩擦的作用即可；較佳地，本發(fā)明的本實(shí)施例中的軸承可以為滾動(dòng)軸承，可以包括內(nèi)圈和外圈，在內(nèi)圈和外圈之間具有滾珠，這樣可以提高旋轉(zhuǎn)精度，承受高徑向負(fù)荷以及一定的軸向負(fù)荷。
[0047]此外，本實(shí)施例中還包括有第二固定裝置，軸承可以通過第二固定裝置固定在旋轉(zhuǎn)套筒上，本實(shí)施例中，第二固定裝置可以為旋轉(zhuǎn)套筒頂絲。
[0048]以下結(jié)合附圖2和3對(duì)本實(shí)施例中的可旋轉(zhuǎn)勻化器作進(jìn)ー步詳細(xì)完成的表述:
[0049]具體的，請(qǐng)參閱圖2和3，本實(shí)施例中的可旋轉(zhuǎn)勻化器包括:
[0050]放置腔I，用于放置勻化部件；
[0051 ] 旋轉(zhuǎn)套筒2，包裹在放置腔I外部，構(gòu)成放置腔I的腔體，用于帶動(dòng)勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn);
[0052]勻化部件頂絲7，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)套筒2的筒壁內(nèi)，用于將勻化部件固定在旋轉(zhuǎn)套筒2上；
[0053]傳動(dòng)部件，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)套筒2上，連接有電機(jī)9，在電機(jī)9的帶動(dòng)下使傳動(dòng)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)套筒2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0054]本實(shí)施例中，傳動(dòng)部件為傳動(dòng)皮帶槽8和傳動(dòng)皮帶10，位于旋轉(zhuǎn)套筒2的筒壁內(nèi)，用于將傳動(dòng)皮帶10嵌套在旋轉(zhuǎn)套筒2上，使旋轉(zhuǎn)套筒2以皮帶方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0055]需要說明的是，本實(shí)施例中，以下將以具有傳動(dòng)皮帶槽8的可旋轉(zhuǎn)勻化器為例進(jìn)行說明，這不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0056]軸承，包裹在旋轉(zhuǎn)套筒2的外表面；軸承包括軸承內(nèi)圈3和軸承外圈5，在軸承內(nèi)圈3和軸承外圈5之間包含有滾珠4 ；
[0057]旋轉(zhuǎn)套筒頂絲6，設(shè)置于軸承內(nèi)圈3上，用于將旋轉(zhuǎn)套筒2固定在軸承內(nèi)圈3上；
[0058]固定支座11，位于軸承外圈5外部，用于將可旋轉(zhuǎn)勻化器固定在光路架上。
[0059]需要說明的是，本實(shí)施例中，勻化部件的中心軸、旋轉(zhuǎn)套筒的中心軸、以及軸承的中心軸在一條直線上，這樣可以確保激光束的均勻化效果。
[0060]實(shí)施例ニ
[0061]本發(fā)明的本實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)勻化器與實(shí)施例一的可旋轉(zhuǎn)勻化器的結(jié)構(gòu)相比，除了傳動(dòng)部件不相同，其他的部件都相同。區(qū)別在于，在本實(shí)施例中，傳動(dòng)部件為齒輪，位于旋轉(zhuǎn)套筒2的筒壁上，用于與電機(jī)進(jìn)行齒合，使旋轉(zhuǎn)套筒2以齒輪方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0062]此外，本發(fā)明還提供ー種激光應(yīng)用光路。請(qǐng)參閱圖4，圖4為本發(fā)明的ー個(gè)較佳實(shí)施例的激光應(yīng)用光路示意圖，本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例中，采用上述任意一種可旋轉(zhuǎn)勻化器設(shè)計(jì)的激光應(yīng)用光路包括:
[0063]激光器21，用于產(chǎn)生激光束；
[0064]擴(kuò)束鏡22，位于激光器的右側(cè)，用于調(diào)整光斑尺寸并減少光束的發(fā)散；
[0065]可旋轉(zhuǎn)勻化器23，與擴(kuò)束鏡的右側(cè)，其內(nèi)部放置有勻化部件，通過固定支座固定在光路板上；
[0066]光闌24，位于可旋轉(zhuǎn)勻化器23的右側(cè)，用于截掉光束邊緣的非均勻光束；
[0067]運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)25，位于光闌的右側(cè)，其上裝載有晶圓，通過運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的移動(dòng)，激光束可以照射在晶圓上。
[0068]其中，可旋轉(zhuǎn)勻化器23可以在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，該較佳實(shí)施例中，勻化部件可以跟隨旋轉(zhuǎn)套筒一起進(jìn)行勻速旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然，本發(fā)明中勻化器以采用帶式傳動(dòng)，也可以采用齒輪傳動(dòng)，在該較佳實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)勻化器23采用帶式傳動(dòng)，這不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0069]需要說明的是，該較佳實(shí)施例中的擴(kuò)束鏡22、可旋轉(zhuǎn)勻化器23、光闌24和運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)25均位于激光器21的同一側(cè)，為了便于描述，上述采用右側(cè)進(jìn)行解釋說明，當(dāng)然，還可以同時(shí)位于激光器21的任ー側(cè)，包括左側(cè)、前方、后方等等。
[0070]該較佳實(shí)施例中，激光器21發(fā)出的激光束的光軸、擴(kuò)束鏡22的中心軸、可旋轉(zhuǎn)勻化器23的旋轉(zhuǎn)套筒的中心軸、勻化部件中心軸和光闌24的中心軸位于同一條直線上；
[0071]這樣，勻化部件可以在旋轉(zhuǎn)套筒的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，避免了激光束產(chǎn)生的“毛刺”固定地作用在勻化部件的某ー個(gè)位置上，導(dǎo)致勻化部件的失效。
[0072]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，激光器發(fā)出的激光束的光軸和擴(kuò)束鏡的中心軸在同一條直線上，而勻化器的旋轉(zhuǎn)套筒的中心軸、勻化部件中心軸和光闌的中心軸位于同一條直線上，勻化部件的中心軸相對(duì)于激光束的光軸發(fā)生偏移；這樣，在勻化部件的旋轉(zhuǎn)過程中，避免了激光束的光強(qiáng)區(qū)固定地作用在勻化部件的某ー個(gè)部位上，例如蠅眼部位，避免該處的鍍膜上時(shí)間的受到強(qiáng)光的照射而導(dǎo)致勻化部件的失效。
[0073]在本發(fā)明中，還提供了ー種包括有上述任意ー種激光應(yīng)用光路的激光退火設(shè)備，該退火設(shè)備可以用于單片晶圓的激光退火或者是多晶硅膜的晶化。這樣，在使用過程中，由于勻化器的旋轉(zhuǎn)，而避免了激光束的“毛刺”固定作用于勻化部件的某一位置，而導(dǎo)致勻化部件的失效。
[0074]綜上，本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)勻化器、激光應(yīng)用光路和激光退火設(shè)備，通過利用旋轉(zhuǎn)套筒和軸承的旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)勻化器進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，避免在激光退火過程中激光束產(chǎn)生的毛刺區(qū)域長(zhǎng)時(shí)間固定地作用于勻化器的某ー個(gè)位置上，以及避免了該位置由于受到強(qiáng)光而造成勻化器的損壞，延長(zhǎng)了勻化器的使用壽命和降低了激光退火設(shè)備的使用成本。
[0075]以上所述的僅為本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，包括: 勻化部件，用于均勻化所述激光束； 旋轉(zhuǎn)裝置，具有旋轉(zhuǎn)套筒和內(nèi)部空腔；所述旋轉(zhuǎn)套筒，構(gòu)成所述內(nèi)部空腔的腔體，用于帶動(dòng)所述勻化部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 第一固定裝置，所述勻化部件的邊緣外側(cè)通過所述第一固定裝置固定在所述內(nèi)部空腔中； 傳動(dòng)部件，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)裝置上，且連接有驅(qū)動(dòng)裝置，在所述驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使所述傳動(dòng)部件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 固定支座，用于將所述旋轉(zhuǎn)裝置固定在光路板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述第一固定裝置為勻化部件頂絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述勻化部件頂絲，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁內(nèi)，用于將所述勻化部件固定在所述旋轉(zhuǎn)套筒上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)勻化器還包括軸承和第二固定裝置，所述軸承包裹在所述旋轉(zhuǎn)套筒的外表面，通過所述第二固定裝置固定在所述旋轉(zhuǎn)套筒上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述軸承為滾動(dòng)軸承，包括軸承內(nèi)圈和軸承外圈，在所述軸承內(nèi)圈和軸承外圈之間包含有滾珠。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述第二固定裝置為旋轉(zhuǎn)套筒頂絲，設(shè)置于所述軸承內(nèi)圈上，用于將所述旋轉(zhuǎn)套筒固定在所述軸承內(nèi)圈上。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述勻化部件的中心軸、所述旋轉(zhuǎn)套筒的中心軸、以及所述軸承的中心軸在一條直線上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述的傳動(dòng)部件為傳動(dòng)皮帶槽和傳動(dòng)皮帶。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述傳動(dòng)皮帶槽位于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁內(nèi)，用于將所述傳動(dòng)皮帶嵌套在所述旋轉(zhuǎn)套筒上，使所述旋轉(zhuǎn)套筒以皮帶方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述的傳動(dòng)部件為齒輪。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述齒輪位于所述旋轉(zhuǎn)套筒的筒壁上，用干與所述電機(jī)進(jìn)行齒合，使所述旋轉(zhuǎn)套筒以齒輪方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)勻化器，其特征在于，所述勻化部件為蠅眼勻化部件。
13.一種采用上述權(quán)利要求1-12任意一項(xiàng)所述可旋轉(zhuǎn)勻化器所設(shè)計(jì)的激光應(yīng)用光路，包括激光器、擴(kuò)束鏡、光闌和運(yùn)動(dòng)エ件臺(tái)，其特征在于，包括所述可旋轉(zhuǎn)勻化器，所述旋轉(zhuǎn)裝置通過所述固定支座設(shè)置在擴(kuò)束鏡和光闌之間；其中，所述勻化部件裝載在所述內(nèi)部空腔中，跟隨所述旋轉(zhuǎn)套筒在所述電機(jī)的電動(dòng)下一起轉(zhuǎn)動(dòng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光應(yīng)用光路，其特征在于，所述的勻化部件跟隨所述旋轉(zhuǎn)套筒一起進(jìn)行勻速旋轉(zhuǎn)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光應(yīng)用光路，其特征在于，所述激光器發(fā)出的激光束的光軸和所述擴(kuò)束鏡的中心軸在一條直線上，所述勻化部件的中心軸相對(duì)于所述激光束的光軸發(fā)生偏移。
16.一種采用上述權(quán)利要求13-15任意一項(xiàng)所述的激光應(yīng)用光路所設(shè)計(jì)的晶圓激光退火設(shè)備，其特征在干，包括所 述激光應(yīng)用光路。
【文檔編號(hào)】B23K26/06GK103551731SQ201310495854
【公開日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月21日
【發(fā)明者】周偉, 嚴(yán)利人, 劉志弘, 劉榮華, 王全, 張偉 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司, 清華大學(xué)