專利名稱：一種薄膜切割光路系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光薄膜切割設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種薄膜切割光路系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，現(xiàn)有薄膜切割設(shè)備光路系統(tǒng)中，反射鏡都是固定的，這就要求設(shè)備在安裝時(shí)就得調(diào)整好位置，使反射鏡和激光器配合；導(dǎo)致反射鏡安裝、調(diào)整難度大、薄膜切割設(shè)備生產(chǎn)效率低；同時(shí)設(shè)備在使用過程中如果反射鏡發(fā)生偏移，得把反射鏡拆卸后重裝，調(diào)整不便。同時(shí)固定的反射鏡導(dǎo)致激光射向工作臺(tái)上固定的一點(diǎn)，激光出射方向固定，切割不便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種薄膜切割光路系統(tǒng)，解決反射鏡安裝、調(diào)整難度大，激光出射方向固定的問題。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種薄膜切割光路系統(tǒng)，包括用于發(fā)射激光的激光器、與該激光器配合的第一反射鏡組件、與該第一反射鏡組件配合的第二反射鏡組件、與該第二反射鏡組件配合的第三反射鏡組件、X軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件；χ軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著X軸方向的X軸導(dǎo)軌，Y軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著Y軸方向的Y軸導(dǎo)軌；χ軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件活動(dòng)連接，且X軸導(dǎo)軌組件沿著Y軸導(dǎo)軌位移；第二反射鏡組件和第三反射鏡組件設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件上，且第三反射鏡組件和X軸導(dǎo)軌活動(dòng)連接，第三反射鏡組件沿著X軸導(dǎo)軌位移。

進(jìn)一步，Y軸導(dǎo)軌組件還包括Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置連接X軸導(dǎo)軌組件，且Y軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)X軸導(dǎo)軌組件沿著Y軸導(dǎo)軌位移。進(jìn)一步，Y軸導(dǎo)軌由第一 Y軸滑軌和第二 Y軸滑軌構(gòu)成，第一 Y軸滑軌和第二 Y軸滑軌分別設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件底部的兩端，第一反射鏡組件位于第一 Y軸滑軌的端部。進(jìn)一步，X軸導(dǎo)軌組件還包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，X驅(qū)動(dòng)裝置連接第三反射鏡組件，且X軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第三反射鏡組件沿著X軸導(dǎo)軌位移。進(jìn)一步，第一反射鏡組件包括第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第一反射鏡本體；第二反射鏡組件包括第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第二反射鏡本體；第三反射鏡組件包括第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第三反射鏡本體。進(jìn)一步，第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)、第一反射鏡架座板、第一鏡片支撐座和至少一個(gè)第一調(diào)節(jié)輪；第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)固定在激光器座板上；第一反射鏡架座板安裝在第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)上，第一鏡片支撐座通過第一調(diào)節(jié)輪連接第一反射鏡架座板，第一反射鏡本體設(shè)于第一鏡片支撐座上；第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)第一反射鏡架座板沿著Y軸方向位移，第一調(diào)節(jié)輪調(diào)節(jié)第一反射鏡架座板的位置，從而調(diào)整第一反射鏡本體的位置，使第一反射鏡本體和激光器配合。進(jìn)一步，第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括與Y軸導(dǎo)軌組件連接的L形固定板、設(shè)于L形固定板上的第二反射鏡架座板、設(shè)于第二反射鏡架座板上的第一調(diào)節(jié)板、設(shè)于第一調(diào)節(jié)板上的第二調(diào)節(jié)板、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板上的第二鏡片固定塊、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板上的第二反射鏡座板和至少一個(gè)第二調(diào)節(jié)輪；第二反射鏡本體設(shè)于第二反射鏡座板；第二反射鏡架座板、第一調(diào)節(jié)板和第二調(diào)節(jié)板之間活動(dòng)連接，從而調(diào)節(jié)第二鏡片固定塊和第二反射鏡座板在Y軸方向上位置；第二鏡片固定塊通過第二調(diào)節(jié)輪和第二反射鏡座板活動(dòng)連接，第二調(diào)節(jié)輪調(diào)節(jié)第二反射鏡座板的位置；從而使第二反射鏡本體和第一反射鏡本體配合。進(jìn)一步，第三萬向調(diào)整座包括與X軸導(dǎo)軌組件連接的Z軸轉(zhuǎn)接板、設(shè)于Z軸轉(zhuǎn)接板的Z軸底板、與Z軸底板活動(dòng)連接的第三反射鏡座座板和設(shè)于第三反射鏡座座板上的第三反射鏡座；第三反射鏡本體通過反射鏡固定環(huán)和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)連接第三反射鏡座；反射鏡固定環(huán)和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)調(diào)節(jié)對第三反射鏡本體位置的微調(diào)功能，使第三反射鏡本體和第二反射鏡本體配合。進(jìn)一步，還包括聚焦鏡組件，聚焦鏡組件由聚焦鏡固定套和聚焦鏡本體構(gòu)成，聚焦鏡固定套設(shè)于第三反射鏡組件下方，聚焦鏡本體套設(shè)在聚焦鏡固定套內(nèi)。進(jìn)一步，還包括擴(kuò)束鏡本體，該擴(kuò)束鏡本體設(shè)于激光器與第一反射鏡組件之間、第一反射鏡組件與第二反射鏡組件之間和/或第二反射鏡組件與第三反射鏡組件之間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果如下:本發(fā)明采用以上結(jié)構(gòu)，激光器發(fā)出的激光依次經(jīng)過第一反射鏡本體、第二反射鏡本體和第三反射鏡本體反射至工作臺(tái)；第二反射鏡本體、第三反射鏡本體利用X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌調(diào)節(jié)位置，同時(shí)第一反射鏡本體、第二反射鏡本體和第三反射鏡本體分別利用第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)、第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)和第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)微調(diào)自身位置，從而調(diào)整激光的射向工作臺(tái)的位置，且使激光器和第一反射鏡本體、反射鏡本體之間定位精密；本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使 反射鏡本體安裝簡易、薄膜切割設(shè)備生產(chǎn)效率高，激光能射向工作臺(tái)上不同的位置；同時(shí)設(shè)備在使用過程中如果反射鏡發(fā)生偏移，可利用萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)調(diào)整，調(diào)整方便。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本發(fā)明一種薄膜切割光路系統(tǒng)實(shí)施例的立體示意圖；圖2是圖1的俯視示意圖；圖3是圖1中第一反射鏡組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖1中X軸導(dǎo)軌組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖1中第二反射鏡組件和第三反射鏡組件的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖6是圖5的結(jié)構(gòu)示意圖二；圖中，1-激光器；2_第一反射鏡組件；21_第一反射鏡本體；22_第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)；221-微調(diào)旋桿；23_第一反射鏡架座板；24_第一鏡片支撐座；25_第一調(diào)節(jié)輪；26_第一拉簧；3_第二反射鏡組件；31_第二反射鏡本體；32-L形固定板；33_第二反射鏡架座板；34-第一調(diào)節(jié)板；35-第二調(diào)節(jié)板；36-第二鏡片固定塊；37-第二反射鏡座板；38-第二調(diào)節(jié)輪；4_第二反射鏡組件；41_第二反射鏡本體；42_Z軸轉(zhuǎn)接板；43_Z軸底板；44_第二反射鏡座座板；45_第三反射鏡座；46_反射鏡固定環(huán)；47_反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)；5-X軸導(dǎo)軌組件；51_X軸導(dǎo)軌；52_模組連接板；53-X軸絲桿；54-X軸驅(qū)動(dòng)裝置；55_X軸夾板聯(lián)軸器；6_Y軸導(dǎo)軌組件；61-Υ軸導(dǎo)軌；611_第一 Y軸滑軌；612_第二 Y軸滑軌；62_Υ軸護(hù)蓋座；63_Υ軸驅(qū)動(dòng)裝置；64-Υ軸夾板聯(lián)軸器；65-Υ軸絲桿；66-Υ軸滑塊；7_工作臺(tái)；8_擴(kuò)束鏡調(diào)整組件；81_擴(kuò)束鏡本體；9_激光器座板；10-聚焦鏡組件；101-聚焦鏡固定套；11-密封套；12_固定筒；13-鏡筒夾持座；14_噴嘴固定座；15_噴嘴；16-CCD定位組件。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。如圖1至圖6實(shí)施例所示一種薄膜切割光路系統(tǒng)，包括用于發(fā)射激光的激光器1、與該激光器I配合的第一反射鏡組件2、與該第一反射鏡組件2配合的第二反射鏡組件3、與該第二反射鏡組件3配合的第三反射鏡組件4、X軸導(dǎo)軌組件5和Y軸導(dǎo)軌組件6。X軸導(dǎo)軌組件5設(shè)有沿著X軸方向的X軸導(dǎo)軌51，Y軸導(dǎo)軌組件6設(shè)有沿著Y軸方向的Y軸導(dǎo)軌61。X軸導(dǎo)軌組件5和Y軸導(dǎo)軌組件6活動(dòng)連接，且X軸導(dǎo)軌組件5沿著Y軸導(dǎo)軌61位移；第二反射鏡組件3和第三反射鏡組件4設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件5上，且第三反射鏡組件4和X軸導(dǎo)軌51活動(dòng)連接，第三反射鏡組件4沿著X軸導(dǎo)軌51位移；激光器I發(fā)出的激光依次經(jīng)過第一反射鏡組件2、第二反射鏡組件3和第三反射鏡組件4反射至用于承載薄膜的工作臺(tái)7。本實(shí)施例中，X軸方向、Y軸方向和Z軸方向相互垂直。進(jìn)一步，激光器I和第一反射鏡組件2之間可設(shè)有擴(kuò)束鏡調(diào)整組件8。激光器1、擴(kuò)束鏡調(diào)整組件8和第一反射鏡組件2安裝在激光器座板9上，激光器1、擴(kuò)束鏡調(diào)整組件8和第一反射鏡組件2沿 著X軸方向布置。擴(kuò)束鏡調(diào)整組件8包括擴(kuò)束鏡本體81。作為對本實(shí)施例的進(jìn)一步說明，擴(kuò)束鏡調(diào)整組件8不局限于安裝在激光器I和第一反射鏡組件2之間，也可安裝在第一反射鏡組件2與第二反射鏡組件3之間和/或第二反射鏡組件3與第三反射鏡組件4之間。本實(shí)施例中，Y軸導(dǎo)軌61由分別設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件5底部兩端的第一 Y軸滑軌611和第二 Y軸滑軌612構(gòu)成，第一反射鏡組件2位于第一 Y軸滑軌611的端部。Y軸導(dǎo)軌組件6還包括Y軸驅(qū)動(dòng)裝置63，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置63依次通過Y軸夾板聯(lián)軸器64、Y軸絲桿65、Y軸滑塊66和Y軸護(hù)蓋座62連接X軸導(dǎo)軌組件5，Y軸絲桿65設(shè)于第一 Y軸滑軌611內(nèi)。Y軸驅(qū)動(dòng)裝置63驅(qū)動(dòng)X軸導(dǎo)軌組件5沿著Y軸導(dǎo)軌61位移。X軸導(dǎo)軌51通過模組連接板52和Y軸護(hù)蓋座62連接。第二反射鏡組件3設(shè)于模組連接板52上，第三反射鏡組件3和X軸導(dǎo)軌51活動(dòng)連接。X軸導(dǎo)軌組件5還包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置54，X驅(qū)動(dòng)裝置54依次通過X軸夾板聯(lián)軸器55、X軸絲桿53連接第三反射鏡組件4，X軸絲桿53設(shè)于X軸導(dǎo)軌51內(nèi)。X軸驅(qū)動(dòng)裝置54和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置63可以為伺服電機(jī)、氣缸、液壓驅(qū)動(dòng)裝置或手動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。本實(shí)施例中，第一反射鏡組件2包括第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第一反射鏡本體21。第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)22、第一反射鏡架座板23、第一鏡片支撐座24、呈三角形布置的三個(gè)第一調(diào)節(jié)輪25和一個(gè)第一拉簧26。第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)22固定在激光器座板9上；第一反射鏡架座板23安裝在第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)22上；第一鏡片支撐座24通過第一調(diào)節(jié)輪25和第一拉簧26連接第一反射鏡架座板23 ;第一反射鏡本體21設(shè)于第一鏡片支撐座24上。設(shè)于第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)22的微調(diào)旋桿221驅(qū)動(dòng)第一反射鏡架座板23沿著Y軸方向位移；三個(gè)第一調(diào)節(jié)輪25可調(diào)節(jié)第一反射鏡架座板23的位置，使其繞豎直方向Z軸和/或水平面擺動(dòng)；采用以上結(jié)構(gòu)，可調(diào)整第一反射鏡本體21的位置,使第一反射鏡本體21和激光器I精密配合。第二反射鏡組件3包括第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第二反射鏡本體31。第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括設(shè)于模組連接板上的L形固定板32、設(shè)于L形固定板32上的第二反射鏡架座板33、設(shè)于第二反射鏡架座板33上的第一調(diào)節(jié)板34、設(shè)于第一調(diào)節(jié)板34上的第二調(diào)節(jié)板35、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板35上的第二鏡片固定塊36、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板36上的第二反射鏡座板37、呈三角形布置的三個(gè)第二調(diào)節(jié)輪38。第二反射鏡本體31設(shè)于第二反射鏡座板37。第二反射鏡架座板37、第一調(diào)節(jié)板34和第二調(diào)節(jié)板35之間活動(dòng)連接，從而可以微調(diào)第二鏡片固定塊36和第二反射鏡座板37在Y軸方向上位移。第二鏡片固定塊36通過第二調(diào)節(jié)輪35和第二反射鏡座板37活動(dòng)連接，三個(gè)第二調(diào)節(jié)輪35可調(diào)節(jié)第二反射鏡座板37的位置，使其繞豎直方向Z軸和/或水平面擺動(dòng)。采用以上結(jié)構(gòu)，可調(diào)整第二反射鏡本體31的位置，使第二反射鏡本體31和第一反射鏡本體21精密配合。第三反射鏡組件4包括第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第三反射鏡本體41。第三萬向調(diào)整座包括與X軸絲桿53連接的Z軸轉(zhuǎn)接板42、設(shè)于Z軸轉(zhuǎn)接板42的Z軸底板43、與Z軸底板43活動(dòng)連接的第三反射鏡座座板44、設(shè)于第三反射鏡座座板44上的第三反射鏡座45。第三反射鏡本體41通過反射鏡固定環(huán)46和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)47連接第三反射鏡座45 ，反射鏡固定環(huán)46和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)47實(shí)現(xiàn)對第三反射鏡本體41位置的微調(diào)功能。第三反射鏡本體41使激光沿著Z軸方向射向工作臺(tái)7。進(jìn)一步，本實(shí)施例還包括聚焦鏡組件10，由聚焦鏡固定套101和套設(shè)其內(nèi)的聚焦鏡本體構(gòu)成。聚焦鏡組件10位于第三反射鏡組件4的下方，聚焦鏡本體和第三反射鏡本體41沿著Z軸方向布置。第三反射鏡座座板45和聚焦鏡固定套101上端之間依次通過密封套11和固定筒12連接。密封套11和固定筒12、固定筒12和聚焦鏡固定套101之間伸縮配合連接，以調(diào)整聚焦鏡本體和第三反射鏡本體41之間的距離。進(jìn)一步，固定筒12和聚焦鏡固定套101之間通過鏡筒夾持座13連接，鏡筒夾持座13和Z軸底板43連接，進(jìn)一步固定聚焦鏡組件10。聚焦鏡固定套101下端連接噴嘴固定座14和用于對工作臺(tái)發(fā)出激光的噴嘴15。進(jìn)一步,本實(shí)施例還包括CO)定位組件16 (CO):Charge_coupledDevice,電荷率禹合元件)，該CXD定位組件16位于聚焦鏡組件10 —側(cè)，且沿著Z軸方向放置。本實(shí)施例一種薄膜切割光路系統(tǒng)的其它結(jié)構(gòu)參見現(xiàn)有技術(shù)。作為對本實(shí)施例的進(jìn)一步說明，現(xiàn)說明其工作原理:激光器I發(fā)出的激光依次經(jīng)過第一反射鏡本體21、第二反射鏡本體31和第三反射鏡本體41反射至工作臺(tái)7 ;第二反射鏡本體31、第三反射鏡本體41利用X軸導(dǎo)軌組件5、Y軸導(dǎo)軌組件6調(diào)節(jié)位置，同時(shí)第一反射鏡本體21、第二反射鏡本體31和第三反射鏡本體41分別利用第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)、第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)和第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)微調(diào)自身位置，從而調(diào)整激光的射向工作臺(tái)7的位置，且使激光器I和第一反射鏡本體、反射鏡本體之間定位精密。本實(shí)施例采用以上結(jié)構(gòu)，使反射鏡本體安裝簡易、薄膜切割設(shè)備生產(chǎn)效率高，激光能射向工作臺(tái)上不同的位置；同時(shí)設(shè)備在使用過程中如果反射鏡發(fā)生偏移，可利用萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)調(diào)整，調(diào)整方便。本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式，如果對本發(fā)明的各種改動(dòng)或變型不脫離本發(fā)明的精神和范圍，倘若這些改動(dòng)和變型屬于本發(fā)明的權(quán)利要求和等同技術(shù)范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和 變型。
權(quán)利要求
1.一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:包括用于發(fā)射激光的激光器、與該激光器配合的第一反射鏡組件、與該第一反射鏡組件配合的第二反射鏡組件、與該第二反射鏡組件配合的第三反射鏡組件、X軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件；χ軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著X軸方向的X軸導(dǎo)軌，Y軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著Y軸方向的Y軸導(dǎo)軌；χ軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件活動(dòng)連接，且X軸導(dǎo)軌組件沿著Y軸導(dǎo)軌位移；第二反射鏡組件和第三反射鏡組件設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件上，且第三反射鏡組件和X軸導(dǎo)軌活動(dòng)連接，第三反射鏡組件沿著X軸導(dǎo)軌位移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:Y軸導(dǎo)軌組件還包括Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置連接X軸導(dǎo)軌組件，且Y軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)X軸導(dǎo)軌組件沿著Y軸導(dǎo)軌位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:Υ軸導(dǎo)軌由第一Y軸滑軌和第二 Y軸滑軌構(gòu)成，第一 Y軸滑軌和第二 Y軸滑軌分別設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件底部的兩端，第一反射鏡組件位于第一 Y軸滑軌的端部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:Χ軸導(dǎo)軌組件還包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，X驅(qū)動(dòng)裝置連接第三反射鏡組件，且X軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第三反射鏡組件沿著X軸導(dǎo)軌位移。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述一種薄膜切割光路系統(tǒng),其特征在于:第一反射鏡組件包括第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第一反射鏡本體；第二反射鏡組件包括第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第二反射鏡本體；第三反射鏡組件包括第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)，還包括設(shè)于該第三萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)上的第三反射鏡本體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:第一萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)、第一反射鏡架座板、第一鏡片支撐座和至少一個(gè)第一調(diào)節(jié)輪；第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)固定在激光器座 板上；第一反射鏡架座板安裝在第一 Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)上，第一鏡片支撐座通過第一調(diào)節(jié)輪連接第一反射鏡架座板，第一反射鏡本體設(shè)于第一鏡片支撐座上；第一Y軸微調(diào)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)第一反射鏡架座板沿著Y軸方向位移，第一調(diào)節(jié)輪調(diào)節(jié)第一反射鏡架座板的位置，從而調(diào)整第一反射鏡本體的位置，使第一反射鏡本體和激光器配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:第二萬向調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括與Y軸導(dǎo)軌組件連接的L形固定板、設(shè)于L形固定板上的第二反射鏡架座板、設(shè)于第二反射鏡架座板上的第一調(diào)節(jié)板、設(shè)于第一調(diào)節(jié)板上的第二調(diào)節(jié)板、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板上的第二鏡片固定塊、設(shè)于第二調(diào)節(jié)板上的第二反射鏡座板和至少一個(gè)第二調(diào)節(jié)輪；第二反射鏡本體設(shè)于第二反射鏡座板；第二反射鏡架座板、第一調(diào)節(jié)板和第二調(diào)節(jié)板之間活動(dòng)連接，從而調(diào)節(jié)第二鏡片固定塊和第二反射鏡座板在Y軸方向上位置；第二鏡片固定塊通過第二調(diào)節(jié)輪和第二反射鏡座板活動(dòng)連接，第二調(diào)節(jié)輪調(diào)節(jié)第二反射鏡座板的位置；從而使第二反射鏡本體和第一反射鏡本體配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:第三萬向調(diào)整座包括與X軸導(dǎo)軌組件連接的Z軸轉(zhuǎn)接板、設(shè)于Z軸轉(zhuǎn)接板的Z軸底板、與Z軸底板活動(dòng)連接的第三反射鏡座座板和設(shè)于第三反射鏡座座板上的第三反射鏡座；第三反射鏡本體通過反射鏡固定環(huán)和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)連接第三反射鏡座；反射鏡固定環(huán)和反射鏡調(diào)節(jié)環(huán)調(diào)節(jié)對第三反射鏡本體位置的微調(diào)功能，使第三反射鏡本體和第二反射鏡本體配合。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:還包括聚焦鏡組件，聚焦鏡組件由聚焦鏡固定套和聚焦鏡本體構(gòu)成，聚焦鏡固定套設(shè)于第三反射鏡組件下方，聚焦鏡本體套設(shè)在聚焦鏡固定套內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述一種薄膜切割光路系統(tǒng)，其特征在于:還包括擴(kuò)束鏡本體，該擴(kuò)束鏡本體設(shè)于激光器與第一反射鏡組件之間、第一反射鏡組件與第二反射鏡組件之間和/或第二反射鏡組 與第三反射鏡組件之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種薄膜切割光路系統(tǒng)，包括用于發(fā)射激光的激光器、與該激光器配合的第一反射鏡組件、與該第一反射鏡組件配合的第二反射鏡組件、與該第二反射鏡組件配合的第三反射鏡組件、X軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件；X軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著X軸方向的X軸導(dǎo)軌，Y軸導(dǎo)軌組件設(shè)有沿著Y軸方向的Y軸導(dǎo)軌；X軸導(dǎo)軌組件和Y軸導(dǎo)軌組件活動(dòng)連接，且X軸導(dǎo)軌組件沿著Y軸導(dǎo)軌位移；第二反射鏡組件和第三反射鏡組件設(shè)于X軸導(dǎo)軌組件上，且第三反射鏡組件和X軸導(dǎo)軌活動(dòng)連接，第三反射鏡組件沿著X軸導(dǎo)軌位移。本發(fā)明采用以上結(jié)構(gòu)，使反射鏡本體安裝簡易、薄膜切割設(shè)備生產(chǎn)效率高，激光能射向工作臺(tái)上不同的位置。
文檔編號B23K26/04GK103223556SQ20131016562
公開日2013年7月31日 申請日期2013年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月7日
發(fā)明者彭信翰 申請人:深圳市木森科技有限公司