專利名稱:硬質包覆層發(fā)揮優(yōu)異的耐崩刀性的表面包覆切削工具的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及表面包覆切削工具(以下稱為包覆工具),在伴有高熱產生并且斷續(xù)的沖擊性負荷作用于切削刃的各種鋼或鑄鐵的高速斷續(xù)切削加工時,由于硬質包覆層具備優(yōu)異的耐崩刀性,因此經長期使用發(fā)揮優(yōu)異的切削性能。
背景技術:
以往通常已知在碳化鎢(以下用WC表示)基硬質合金或碳氮化鈦(以下用TiCN表示)基金屬陶瓷構成的工具基體(以下將這些統(tǒng)稱為工具基體)的表面形成由下述下部層(a)和上部層(b)構成的硬質包覆層而成的包覆工具,并且已知該包覆工具使用于各種鋼或鑄鐵等的切削加工中。(a)下部層:為包括均被化學蒸鍍形成的Ti的碳化物(以下用TiC表示)層、氮化物(以下同樣用TiN表示)層、碳氮化物(以下用TiCN表示)層、碳氧化物(以下用TiCO表示)層及碳氮氧化物(以下用TiCNO表示)層中的一層或二層以上的Ti化合物層,(b)上部層:為被化學蒸鍍形成的氧化鋁層。但是,上述包覆工具存在在較大的負荷施加于切削刃的切削條件下易產生崩刀、缺損等且工具壽命較短之類的問題,因此為了消除該問題,目前提出了幾個提案。例如,專利文獻I中公開了如下內容:硬質包覆層通過具有包括Ti等的碳化物、氮化物、碳氮化物、硼化物、硼氮化物的一種以上形成的內層、及由0.01 0.5 μ m粒度的無定形氧化鋁與結晶化氧化鋁構成的氧化鋁形成的外層的包覆層,從而該包覆層微粒且致密,而且生產率很大。另外,專利文獻2中公開了如下內容:在WC基硬質合金基體的表面上,以2 20μm的平均層厚化學蒸鍍和/或物理蒸鍍包含Al2O3層的硬質包覆層,例如由包括TiC層、TiN層、TiCN層、TiO2層、TiCO層、TiNO層及TiCNO層的Ti化合物層中的一種或兩種以上以及Al2O3層構成的硬質包覆層所形成的表面包覆硬質合金制切削工具中,通過將構成硬質包覆層的Al2O3層由Al2O3的主體具有α型結晶構造,且在上側部與下側部(基體側)具有不同的結晶組織,上側部為柱狀Al2O3層、即柱狀晶粒為縱向排列配置的結晶組織,下側部為粒狀Al2O3層、即粒狀結晶組織的Al2O3層構成,從而提供耐崩刀性優(yōu)異的包覆工具。進而,專利文獻3中公開了如下內容:在母材表面包覆硬質膜的硬質膜包覆部件中,硬質膜包括非柱狀晶組織的Al氧化物或氧氮化物,該硬質膜的膜厚為4至15 μ m,從而提供耐磨損性、耐缺損性優(yōu)異的長壽命的包覆工具。專利文獻1:日本特開昭59-28565號公報專利文獻2:日本特開平10-76406號公報專利文獻3:日本特開平1-83667號公報近年來的現狀如下:對切削加工中的節(jié)省勞力化及節(jié)能化的要求強烈,隨此,包覆工具逐漸在更加苛刻的條件下使用,例如,即使是上述專利文獻I至3所示的包覆工具中,在使用于伴有高熱產生并且斷續(xù)的沖擊性負荷進一步作用于切削刃的高速斷續(xù)切削加工時,由于上部層的韌性不充分,所以也會因切削加工時的高負荷而容易在切削刃上產生崩刀、缺損,其結果在較短時間內達到使用壽命。
發(fā)明內容
因此,本發(fā)明人從上述觀點出發(fā),對即使在使用于伴有高熱產生并且斷續(xù)的沖擊性負荷作用于切削刃的高速斷續(xù)切削加工時,硬質包覆層也具備優(yōu)異的沖擊吸收性,其結果經長期使用發(fā)揮優(yōu)異的耐崩刀性、耐磨損性的包覆工具進行了深入研究,結果獲得了以下見解。S卩,作為硬質包覆層,在所述以往的形成包括氧化鋁的上部層的硬質包覆層中,氧化鋁在與基體垂直方向上以柱狀來形成。因此,高溫硬度和耐磨損性提高,但是相反氧化鋁層的各向異性越高則氧化鋁層的韌性越降低,結果無法發(fā)揮充分的耐崩刀性、耐磨損性,另外工具壽命也不能說是令人滿意的。因此,本發(fā)明人對構成硬質包覆層的上部層的氧化鋁層進行了深入研究,結果發(fā)現了如下新的見解:通過毫不損害氧化鋁層的高溫硬度和耐磨損性,而緩和各向異性以提高韌性,從而能夠提高硬質包覆層的耐崩刀性、耐缺損性。具體地說,構成上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁,因此緩和了氧化鋁層的各向異性,提高了韌性。而且,上述構成的氧化鋁層例如可以通過以下的化學蒸鍍法成膜。在工具基體表面上以反應氣體組成(容量%)為AlCl3:2 3%、三甲基鋁(Al (CH3)3)(以下用 TMA 表示):0.75 1.45%, CO2:4 6%, HCl:1 3%, H2S:0.1 0.5%, H2:剩余,反應氣氛壓力為6 IOkPa,反應氣氛溫度為870 1040°C進行化學蒸鍍法,從而可以得到微粒氧化鋁在膜中分散的柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織。而且,特別是在 氧化鋁層中的微粒氧化鋁的截面的面密度具有沿著層方向以0.5 μ πΓ5 μ m的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài)時,由于存在微粒氧化鋁的面密度低的區(qū)域,能夠很好地發(fā)揮柱狀縱向生長氧化鋁結晶的優(yōu)異的高溫硬度和耐磨損性的特性,且由于存在微粒氧化鋁的面密度高的區(qū)域,能夠很好地發(fā)揮微粒氧化鋁帶來的優(yōu)異的韌性和沖擊吸收性的特性,可在較高的水準上并列持有該上述特性。因此,發(fā)現特別是用于在伴有高熱產生并且斷續(xù)的沖擊性負荷作用于切削刃的鋼或鑄鐵的高速斷續(xù)切削加工時,硬質包覆層也具備優(yōu)異的耐崩刀性、耐缺損性,經長期使用能發(fā)揮優(yōu)異的切削性倉泛。本發(fā)明是基于上述見解而完成的,具有如下特征?!?I) 一種表面包覆切削工具,在由碳化鎢基硬質合金或碳氮化鈦基金屬陶瓷構成的工具基體的表面設置硬質包覆層,其中,所述硬質包覆層包括被化學蒸鍍形成的下部層和上部層,(a)所述下部層,為包括Ti的碳化物層、氮化物層、碳氮化物層、碳氧化物層及碳氮氧化物層中的一層或二層以上、且具有3 20μ m的總計平均層厚的Ti化合物層,(b)所述上部層,為具有2 25 μ m的平均層厚的氧化招層,構成所述(b)的上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁,該微粒氧化鋁為粒狀氧化鋁結晶相、無定形氧化鋁相、或者粒狀氧化鋁結晶相與無定形氧化鋁相的混合相,柱狀縱向生長氧化鋁結晶的平均粒子寬度W為50 2000nm以下,平均縱橫比A為5 50,所述微粒氧化鋁的平均粒徑R為超過50nm且300nm以下,存在于構成上部層的氧化鋁層中的微粒氧化鋁的截面的面密度為5 30%。(2)根據(I)所述的表面包覆切削工具,其中,所述微粒氧化鋁的截面的面密度具有以0.5μπι 5μπι的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài)?!挂韵聦Ρ景l(fā)明進行詳細說明。下部層的Ti化合物層:包括Ti的碳化物層、氮化物層、碳氮化物層、碳氧化物層及碳氮氧化物層中的一層或二層以上的Ti化合物層的下部層可以在通常的化學蒸鍍條件下形成,本身具有高溫強度,該Ti化合物層的存在不僅使硬質包覆層具備高溫強度,而且與工具基體和包括氧化鋁層的上部層都能牢固地密合,因此具有有助于提高硬質包覆層對工具基體的密合性的作用,但是,其總計平均層厚小于3μπι時,由于層厚較薄而無法充分發(fā)揮所述作用,另一方面,若其總計平均層厚超過20 μ m,則晶粒容易粗大化,容易產生崩刀,因此將其總計平均層厚定為3 20 μ m。上部層的氧化鋁層:已知構成上部層的氧化鋁層具備高溫硬度和耐熱性,但其平均層厚小于2 μ m時,無法確保經長期使用的耐磨損性,另一方面,若其平均層厚超過25 μ m,則氧化鋁晶粒容易粗大化,其結果除了降低高溫硬度、高溫強度以外,還降低高速斷續(xù)切削加工時的耐崩刀性、耐缺損性,因此將其平均層厚定為2 25 μ m。進一步地,本發(fā)明在所述構成的基礎上,同時具有以下的條件時,發(fā)揮更加優(yōu)異的效果。上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁。通過這種構成,耐沖擊性提高,表現出優(yōu)異的耐崩刀性。然而,對于柱狀縱向生長氧化鋁結晶的各晶粒,將與基體表面平行的方向的粒子寬度設為《,將其平均值設為平均粒子寬度W時,平均粒子寬度W若小于50nm,則不能確保經長期使用的耐磨損性,另一方面,若超過2000nm,則由于粒子的粗大化而耐崩刀性、耐缺損性降低。因此,柱狀縱向生長氧化鋁結晶的平均粒子寬度W優(yōu)選為50 2000nm。另外,對于柱狀縱向生長氧化鋁的各晶粒,將與基體表面垂直方向的粒子長度設為1,將所述粒子寬度w與I之比設為各晶粒的縱橫比a,進而,將對各個晶粒求出的縱橫比a的平均值設為平均縱橫比A時,若平均縱橫比A小于5,則不能確保作為柱狀縱向生長氧化鋁的特征的高耐磨損性,另一方面,若超過50,則韌性反而降低,耐崩刀性、耐缺損性降低。因此,柱狀縱向生長氧化鋁結晶的平均縱橫比A優(yōu)選為5 50。在此,本發(fā)明中,對柱狀縱向生長氧化鋁的一個粒子進行計測時,將與基體表面平行的方向的規(guī)定方向最大徑稱為粒子寬度w,另一方面,將與基體表面垂直的方向的規(guī)定方向切線直徑稱為粒子長度I。進一步地,對于微粒氧化鋁,將各微粒氧化鋁的粒徑設為r,將其平均值設為平均粒徑R時,平均粒徑R若為50nm以下,則無法發(fā)揮使微粒氧化鋁分散分布帶來的韌性提高效果,另一方面,若超過300nm,則韌性反而降低。因此,微粒氧化鋁的平均粒徑R優(yōu)選為超過50nm且300nm以下。在此,本發(fā)明中,將作為各個微粒氧化鋁的析出相的最長直徑的長軸直徑稱為微粒氧化鋁的粒徑r。此外,本發(fā)明中的微粒氧化鋁是指粒狀氧化鋁結晶相、無定形氧化鋁相、或者粒狀氧化鋁結晶相與無定形氧化鋁相的混合相,將這些統(tǒng)稱為微粒氧化招。另外,對于微粒氧化鋁,若截面的面密度小于5%,則不能發(fā)揮使微粒氧化鋁分散分布的效果,另一方面,若超過30%,則阻礙柱狀縱向生長氧化鋁結晶的生長,耐磨損性反而降低。因此,微粒氧化鋁的截面的面密度優(yōu)選為5 30%。進而,如上所述,微粒氧化鋁不會一樣地分布,而是面密度形成以0.5 μ m 5 μ m的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài),由此韌性進一步提高。其理由在于微粒氧化鋁的面密度低的區(qū)域且耐崩刀性高的區(qū)域有助于高溫硬度、韌性等,通過該面密度變化,并列持有這些性質發(fā)揮優(yōu)異的效果,但若面密度小于周期0.5 μ m,則周期性變化帶來的面密度低的區(qū)域和高的區(qū)域無法充分發(fā)揮各自的效果,另一方面,若超過5 μ m,則無法充分發(fā)揮并列持有因周期性變化帶來的面密度低的區(qū)域和高的區(qū)域的存在而帶來的優(yōu)異的高溫硬度、耐磨損性、韌性、沖擊吸收性這樣的協(xié)同效應。因此,微粒氧化鋁的截面的面密度定為具有以0.5 μ m 5 μ m的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài)。分散分布的微粒氧化鋁的形成:本發(fā)明的微粒氧化鋁可以在通常的化學蒸鍍條件下成膜的上部層的形成過程中進行利用下述條件的化學蒸鍍法來形成。通過向反應氣體中添加成為微粒氧化鋁的核的TMA,能形成分散分布的微粒氧化招。反應氣體組成(容量%):AlCl3: 2 3%、TMA:0.75 1.45%、CO2:4 6%、HCl:1 3%、H2S:0.I 0.5%、H2:剩余、反應氣氛溫度:870 1040°C、反應氣氛壓力:6 lOkPa、圖1表示存在于在上述化學蒸鍍條件下形成的構成本發(fā)明的上部層的氧化鋁層中的微粒氧化鋁的分布形態(tài)的示意簡圖。另外,微粒氧化鋁通過周期性地變化TMA的添加量,從而具有面密度以0.5 μ m
5μ m的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài)而形成。圖2表示其示意簡圖。根據圖3進行更具體的說明。圖3表示采取在上述化學蒸鍍條件下形成的本發(fā)明的微粒氧化鋁周期性地變化的面密度分布的上部層中的、層厚方向位置-面密度的相關性的一例的面密度分布形態(tài)圖。該面密度分布形態(tài)圖可以用以下的方法求得。首先,將上部層分別劃分為與工具基體表面平行的0.1 μ m厚度寬度區(qū)域(圖4中,與工具基體表面平行地畫出的多條平行線隔開的區(qū)域相當于0.1 μ m厚度寬度區(qū)域),使用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍)對長度總計10 μ m內存在于被劃分的各厚度寬度區(qū)域的最大粒徑超過50nm且300nm以下的微粒氧化鋁所占的面積進行測定,求得存在于該0.1 μ m厚度寬度區(qū)域的面密度(%),將在各厚度寬度區(qū)域求得的面密度沿層厚方向圖表化,制作如圖3所示那樣的層厚方向的面密度分布形態(tài)圖。圖5為表示柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織層內的柱狀縱向生長氧化鋁結晶粒子的生長狀態(tài)的示意圖。在本發(fā)明中,在柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織內分散分布有微粒氧化鋁的結構,由于微粒氧化鋁的存在,對柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織施加力時,在一個一個柱狀縱向生長氧化鋁結晶中產生錯動,因此產生大的韌性。其結果是發(fā)揮了耐崩刀性、耐缺損性提高的效果。本發(fā)明的包覆工具包括被化學蒸鍍形成的下部層和上部層作為硬質包覆層,其中,(a)所述下部層,為包括Ti的碳化物層、氮化物層、碳氮化物層、碳氧化物層及碳氮氧化物層中的一層或二層以上、且具有3 20μ m的總計平均層厚的Ti化合物層,(b)所述上部層,為具有2 25 μ m的平均層厚的氧化鋁層,構成所述上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁,由此硬質包覆層的韌性提高,因此即使在伴有鋼或鑄鐵等的高熱產生并且斷續(xù)的沖擊性高負荷作用于切削刃的高速斷續(xù)切削加工中使用時,耐崩刀性、耐缺損性也優(yōu)異,結果經長期使用發(fā)揮優(yōu)異的切削性能,能實現包覆工具的長壽命化。
圖1為表示存在于構成本發(fā)明的上部層的氧化鋁層中的微粒氧化鋁的分布形態(tài)的不意簡圖。圖2為表示采取周期性地變化的面密度分布形態(tài)的上部層中的微粒氧化鋁的示意簡圖。圖3為表示上部層中的層厚方向位置-面密度的相關性的一例的面密度分布形態(tài)圖。圖4為表示用于說明求得圖3的面密度分布形態(tài)圖的方法的示意簡圖。圖5為表示柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織層內的柱狀縱向生長氧化鋁結晶粒子的生長狀態(tài)的示意圖。
具體實施例方式接著,根據實施例具體說明本發(fā)明的包覆工具。[實施例]準備均具有I 3 μ m平均粒徑的WC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3C2粉末、TiN粉末及Co粉末作為原料粉末,將這些原料粉末配合成表I所示的配合組成,進而加入蠟在丙酮中球磨混合24小時,減壓干燥后,以98MPa的壓力沖壓成型為規(guī)定形狀的壓坯,將該壓坯在5Pa的真空中并在1370 1470°C范圍內的規(guī)定溫度保持I小時的條件下真空燒結,燒結后,對切削刃部實施R:0.07mm的刃口修磨加工,由此分別制造出具有IS0.CNMG120412中規(guī)定的刀片形狀的WC基硬質合金制工具基體A E。另外,準備均具有0.5 2μπι平均粒徑的TiCN (以質量比計為TiC/TiN=50/50)粉末、Mo2C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末及Ni粉末作為原料粉末,將這些原料粉末配合成表2所示的配合組成,用球磨機濕式混合24小時并干燥后,以98MPa的壓力沖壓成型為壓坯,將該壓坯在1.3kPa的氮氣氛中并在溫度1540°C保持I小時的條件下燒結,燒結后,對切削刃部分實施R:0.09mm的刃口修磨加工,由此形成了具有ISO標準.CNMG120412的刀片形狀的TiCN基金屬陶瓷制工具基體a e。接著,利用通常的化學蒸鍍裝置,在這些工具基體A E及工具基體a e的表面,進行如下工序。(a)以表3所示的條件且表6所示的目標層厚蒸鍍形成Ti化合物層作為硬質包覆層的下部層。(b)接著,蒸鍍形成包括表4所示的a j的條件且表6所示的目標層厚的上部層(氧化鋁層)的硬質包覆層,制造本發(fā)明包覆工具I 10。(c)另外,在(a)之后,成膜以表4所示的k ο的條件且表6所示的目標層厚的上部層(氧化鋁層)時,邊在表4所示的TMA容量%的最大值與最小值之間周期性地變化添加量邊蒸鍍形成氧化鋁層,由此制造本發(fā)明包覆工具11 15。利用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍)對構成所述本發(fā)明包覆工具I 10的上部層的氧化鋁層進行多視場觀察,結果確認了圖1所示的膜構成示意圖表示的柱狀結晶的粒界及粒內存在微粒氧化鋁的膜結構。另外,利用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍)對構成所述本發(fā)明包覆工具11 15的上部層的氧化鋁層進行多視場觀察,結果確認了圖2所示的膜構成示意圖表示的柱狀結晶的粒界及粒內存在微粒分散相的膜結構。進一步地,利用透射型電子顯微鏡(倍率200000倍)對構成所述本發(fā)明包覆工具I 15的上部層的氧化鋁層進行多視場觀察,并對微粒氧化鋁進行電子束衍射的結果確認了上述微粒氧化鋁為粒狀氧化鋁結晶相、無定形氧化鋁相、或者粒狀氧化鋁結晶相與無定形氧化鋁相的混合相。另外,作為比較的目的,與本發(fā)明包覆工具I 15相同地以表3所示的條件且以表7所示的目標層厚在工具基體A E及工具基體a e的表面蒸鍍形成作為硬質包覆層的下部層的Ti化合物層。接著,以表3及表5所示的條件且表7所示的目標層厚蒸鍍形成包括氧化鋁層的上部層作為硬質包覆層的上部層。此時,不添加TMA來形成柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,由此制作了表7的比較包覆工具I 15。另外,利用掃描型電子顯微鏡(倍率5000倍)測定了本發(fā)明包覆工具I 15及比較包覆工具I 15的各構成層的層厚,測定觀察視場內的五個點的層厚并取平均而求出平均層厚的結果均顯示出了實際上與表6及表7所示的目標層厚相同的平均層厚。另外,對于本發(fā)明包覆工具I 15及比較包覆工具I 15,同樣使用掃描型電子顯微鏡(倍率5000倍),對在工具基體的水平方向上存在于長度總計10 μ m范圍內的柱狀縱向生長氧化鋁結晶,測定構成上部層的氧化鋁層的柱狀縱向生長氧化鋁結晶的粒子寬度w及粒子長度I,求出作為對各個晶粒求出的粒子寬度w的平均值的平均粒子寬度W和作為縱橫比a的平均值的平均縱橫比A,該縱橫比a被定義為作為對各個晶粒求出的粒子寬度w與粒子長度I之比。另外,對于本發(fā)明包覆工具I 10,同樣使用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍),與工具基體的垂直方向上是在氧化鋁層膜厚部分的厚度內且與工具基體的水平方向上是在長度總計IOym內對上部層的氧化鋁層中存在的微粒氧化鋁所占的面積進行測定,求得截面的面密度(%)。另外,對于本發(fā)明包覆工具11 15,同樣使用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍),將構成上部層的氧化鋁層分別劃分為與工具基體表面平行的0.1 μ m厚度寬度區(qū)域,對長度總計10 μ m內存在于被劃分的各厚度寬度區(qū)域的微粒氧化鋁的面積進行測定,求得存在于該0.1ym厚度寬度區(qū)域的微粒氧化鋁的截面的面密度(%)。由于微粒氧化鋁的截面的面密度在層厚方向上交替地采取極大值、極小值的同時周期性地變化,因此分別求得層厚方向的極大值和極小值,對層厚方向的極大值和極小值取平均從而求得極大值和極小值的平均值。另外,對于本發(fā)明包覆工具11 15,同樣使用掃描型電子顯微鏡(倍率50000倍),在與工具基體的水平方向上長度總計10 μ m內對在上部層的氧化鋁層中存在的微粒氧化鋁的粒徑r進行測定,求得對各個微粒氧化鋁求出的粒徑r的平均值即平均粒徑R。表I
權利要求
1.一種表面包覆切削工具,在由碳化鎢基硬質合金或碳氮化鈦基金屬陶瓷構成的工具基體的表面設置硬質包覆層,其特征在于, 所述硬質包覆層包括被化學蒸鍍形成的下部層和上部層, Ca)所述下部層,為包括Ti的碳化物層、氮化物層、碳氮化物層、碳氧化物層及碳氮氧化物層中的一層或二層以上、且具有3 20 μ m的總計平均層厚的Ti化合物層, (b)所述上部層,為具有2 25 μ m的平均層厚的氧化鋁層, 構成所述(b)的上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁,該微粒氧化鋁為粒狀氧化鋁結晶相、無定形氧化鋁相、或者粒狀氧化鋁結晶相與無定形氧化鋁相的混合相,柱狀縱向生長氧化鋁結晶的平均粒子寬度W為50 2000nm,平均縱橫比A為5 50,所述微粒氧化鋁的平均粒徑R為超過50nm且300nm以下,存在于構成上部層的氧化鋁層中的微粒氧化鋁的截面的面密度為5 30%。
2.根據權利要求1所述的表面包覆切削工具,其特征在于,所述微粒氧化鋁的截面的面密度具有以0.5 μ m 5 μ m的周期沿著層厚方向周期性地變化的面密度分布形態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供在高速斷續(xù)切削加工中硬質包覆層發(fā)揮優(yōu)異的耐崩刀性、耐缺損性的表面包覆切削工具。硬質包覆層包括被化學蒸鍍形成的下部層和上部層,(a)所述下部層,為包括Ti的碳化物層、氮化物層、碳氮化物層、碳氧化物層及碳氮氧化物層中的一層或二層以上、且具有3~20μm總計平均層厚的Ti化合物層,(b)所述上部層,為具有2~25μm的平均層厚的氧化鋁層,構成所述上部層的氧化鋁層具有柱狀縱向生長氧化鋁結晶組織,在該組織內分散分布有微粒氧化鋁。
文檔編號B23B27/14GK103084598SQ20121042800
公開日2013年5月8日 申請日期2012年10月31日 優(yōu)先權日2011年10月31日
發(fā)明者龍岡翔, 巖崎直之, 長田晃 申請人:三菱綜合材料株式會社