專(zhuān)利名稱(chēng)：靶材生產(chǎn)用夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種靶材生產(chǎn)用夾具。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)表面形成電極膜通常采用磁控濺射鍍膜的方法。濺射是一種 物理氣相淀積(PVD)的鍍膜方式，其是用帶電粒子轟擊濺射靶材，使得靶材表面原子因受 到帶電粒子的碰撞而發(fā)生能量和動(dòng)量的轉(zhuǎn)移，從表面逸出并淀積在襯底上的過(guò)程。利用磁 控濺射工藝可在襯底表面形成金屬、合金或電介質(zhì)薄膜。濺射靶材是磁控濺射鍍膜過(guò)程所需的關(guān)鍵耗材，為了滿(mǎn)足鍍膜的需要，根據(jù)材料 劃分，靶材的種類(lèi)有多種，如金屬、合金、陶瓷和硼化物等不同材料的靶材。由于半導(dǎo)體制 造領(lǐng)域的特點(diǎn)，對(duì)靶材的要求也較傳統(tǒng)材料行業(yè)要高，對(duì)靶材的參數(shù)要求分為一般要求和 特殊要求(即較高要求)，一般要求的參數(shù)如靶材尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、 N/0/C/S的成分比例、晶粒尺寸與缺陷控制比例；特殊要求的參數(shù)包含表面粗糙度、電阻 值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(即氧化物)的含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密 度與超細(xì)晶粒等。由于對(duì)靶材的要求極為嚴(yán)格，因此在靶材生產(chǎn)過(guò)程中就更加需要節(jié)約原材料。現(xiàn) 有技術(shù)中采用鋸割的方法生產(chǎn)靶材的過(guò)程是，將待鋸割的靶材原料夾持在電動(dòng)鋸床上進(jìn)行 鋸割，由于鋸床的結(jié)構(gòu)限制，夾持住的靶材原料被切割到最后幾枚時(shí)，往往會(huì)出現(xiàn)切偏或切 歪的現(xiàn)象，不符合靶材的要求，導(dǎo)致靶材原料的浪費(fèi)。以現(xiàn)有技術(shù)中鉻靶的生產(chǎn)過(guò)程為例， 將鉻錠直接夾持在電動(dòng)鋸床上進(jìn)行鋸割，這樣造成了約IOOmm長(zhǎng)的鉻錠因無(wú)法鋸割出滿(mǎn)足 要求的靶材而浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種靶材生產(chǎn)用夾具，以在靶材鋸割過(guò)程中節(jié)約靶材原 料，以節(jié)約靶材的生產(chǎn)成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案一種靶材生產(chǎn)用夾具，包括本體，所述本體的一端具有用于固定靶材原料的開(kāi)口，所述開(kāi)口的橫截面的形狀 與靶材原料橫截面形狀相適配，且所述開(kāi)口的橫截面與所述本體的中軸線(xiàn)垂直，所述開(kāi)口 具有貫穿其內(nèi)壁的若干螺孔；與所述若干螺孔相適配的若干螺釘。優(yōu)選的，所述若干螺孔的中軸線(xiàn)與其所在位置處的切線(xiàn)垂直，且所述若干螺孔的 中軸線(xiàn)的交點(diǎn)為所述開(kāi)口的橫截面的中心點(diǎn)。優(yōu)選的，所述螺孔的個(gè)數(shù)為四個(gè)，且兩兩相對(duì)，四個(gè)螺孔的中軸線(xiàn)垂直相交。優(yōu)選的，所述本體具有一空腔。優(yōu)選的，所述空腔呈圓柱狀。[0014]優(yōu)選的，所述開(kāi)口橫截面為圓形。優(yōu)選的，所述開(kāi)口的直徑大于靶材原料的直徑。優(yōu)選的，所述空腔與所述開(kāi)口相導(dǎo)通，且所述空腔的直徑小于開(kāi)口的直徑。優(yōu)選的，所述本體為鐵管。優(yōu)選的，所述開(kāi)口的橫截面為方形，所述開(kāi)口的邊長(zhǎng)大于與其對(duì)應(yīng)的靶材原料的 邊長(zhǎng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的靶材生產(chǎn)用夾具，可將現(xiàn)有技術(shù)中因無(wú)法繼續(xù)正確鋸割 而浪費(fèi)的靶材原料固定在夾具的開(kāi)口處，之后將夾具夾持在電動(dòng)鋸床上，由于夾具具有一 定的長(zhǎng)度，相當(dāng)于延長(zhǎng)了靶材原料的長(zhǎng)度，可使設(shè)備能夠有效的夾緊夾具，同時(shí)通過(guò)夾具上 的螺釘和螺孔的配合，可使夾具夾緊剩余的靶材原料，進(jìn)而在鋸割過(guò)程中不易出現(xiàn)抖動(dòng)，并 且所述開(kāi)口的橫截面與夾具本體的中軸線(xiàn)垂直，也保證了不會(huì)將靶材原料鋸斜，進(jìn)而保證 了不會(huì)將靶材原料切偏或切歪，使鋸割出的靶材符合要求，進(jìn)而節(jié)約了靶材原料，節(jié)約了靶 材的生產(chǎn)成本。

通過(guò)附圖所示，本實(shí)用新型的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢(shì)將更加清晰。在全部附 圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在 于示出本實(shí)用新型的主旨。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一公開(kāi)的靶材生產(chǎn)用夾具的剖面圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例三公開(kāi)的靶材生產(chǎn)用夾具的剖面圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例三公開(kāi)的靶材生產(chǎn)用夾具的右視圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例三公開(kāi)的靶材生產(chǎn)用夾具的剖面圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新 型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí) 用新型內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。其次，本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于 說(shuō)明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在 此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長(zhǎng)度、寬度及深度的三維空 間尺寸。正如背景技術(shù)部分所述，采用現(xiàn)有技術(shù)中直接將靶材原料夾持在電動(dòng)鋸床上進(jìn)行 鋸割的方法，待鋸割到最后幾枚靶材時(shí)，會(huì)出現(xiàn)切偏或切歪的現(xiàn)象，導(dǎo)致靶材原料的浪費(fèi)。 發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)切偏或切歪現(xiàn)象的原因主要是，由于靶材原料切割到最后幾枚時(shí)，靶材原 料過(guò)短而導(dǎo)致不易夾緊，在鋸割過(guò)程中容易晃動(dòng)而切偏或切歪。實(shí)施例一[0031]基于上述原因，本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種靶材生產(chǎn)用夾具，其剖面圖如圖1， 該夾具包括本體11，所述本體11的一端具有用于固定靶材原料的開(kāi)口 12，所述開(kāi)口 12的橫 截面的形狀與靶材原料橫截面形狀相適配，且所述開(kāi)口的橫截面與所述本體的中軸線(xiàn)垂 直，所述開(kāi)口 12具有貫穿其內(nèi)壁的若干螺孔13 ；與所述若干螺孔相適配的若干螺釘。需要強(qiáng)調(diào)的是，對(duì)于位于夾具本體11 一端的開(kāi)口 12的形狀，本實(shí)施例中不做具 體限定，只要與靶材原來(lái)橫截面形狀相適配即可，如靶材原料為圓柱形，則開(kāi)口橫截面為圓 形，如靶材原料的橫截面為方形或其它多邊形，相應(yīng)的，開(kāi)口的橫截面為與靶材原料橫截面 相對(duì)應(yīng)的方形或多邊形，本實(shí)施例中僅以開(kāi)口橫截面為圓形進(jìn)行舉例說(shuō)明。并且，本實(shí)施例中的開(kāi)口 12的橫截面與本體11的中軸線(xiàn)垂直，保證了靶材原料固 定于夾具中后，在鋸割過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)鋸斜的現(xiàn)象，鋸割過(guò)程中，在保證靶材原料被很好的 固定于夾具中的情況下，只要鋸割線(xiàn)與夾具垂直了，則必然會(huì)與靶材原料垂直，也就不會(huì)鋸 斜靶材原料了。同時(shí)，由于貫穿開(kāi)口內(nèi)壁的若干螺孔和與螺孔相適配的螺釘?shù)拇嬖?，進(jìn)一步的使 靶材原料更緊固的夾持在夾具中，以防止鋸割過(guò)程中靶材原料的抖動(dòng)而導(dǎo)致的鋸偏或使鋸 條折斷現(xiàn)象的發(fā)生。另外，本實(shí)施例中的夾具本體可以為實(shí)體的，也可以為中空的，或者實(shí)體中具有空 腔等，同時(shí)對(duì)夾具的材料也不做具體限定，可以為鐵、其他金屬或不易因受力而變形的其它 材料，具體選擇由實(shí)際情況而定，可綜合考慮原料成本和材料本身的特性等。需要說(shuō)明的是，無(wú)論夾具本體11是如何設(shè)計(jì)的，在開(kāi)口 12底部都會(huì)存在相對(duì)于開(kāi) 口內(nèi)壁凸出的底面，可用來(lái)限制夾具所夾持住的靶材原料的長(zhǎng)度，即通過(guò)控制開(kāi)口的深度 來(lái)限制夾具夾持住的靶材原料的長(zhǎng)度，因此開(kāi)口的深度要適當(dāng)，過(guò)長(zhǎng)則會(huì)造成原料的浪費(fèi)， 過(guò)短則不易夾緊，在鋸割過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)晃動(dòng)或切偏等現(xiàn)象，而導(dǎo)致原料報(bào)廢。現(xiàn)有技術(shù)中使用的電動(dòng)鋸床用于夾緊靶材原料的夾緊部分為前后兩個(gè)部分，以保 證夾緊靶材原料，使其在鋸割過(guò)程中不易晃動(dòng)，以避免切偏，但是當(dāng)靶材原料過(guò)短時(shí)，電動(dòng) 鋸床后面的夾緊部分則無(wú)法使用到，使得剩余的靶材原料只能置于前面的夾緊部，在這種 情況下，這些剩余的靶材原料則不易被夾緊，進(jìn)而會(huì)容易鋸偏而報(bào)廢。本實(shí)施例公開(kāi)的靶材生產(chǎn)用夾具，將現(xiàn)有技術(shù)中剩余的靶材原料固定在夾具中， 通過(guò)夾具開(kāi)口周邊的螺釘固定，實(shí)際上相當(dāng)于延長(zhǎng)了原料的長(zhǎng)度，再將夾具和靶材原料一 起夾持在電動(dòng)鋸床上，使電動(dòng)鋸床能夠有效的夾緊夾具，進(jìn)而方便鋸割，避免鋸偏和據(jù)斜。電動(dòng)鋸床夾持夾具時(shí)應(yīng)注意，盡量使電動(dòng)鋸床的夾緊部夾持住夾具的前部(即靠 近靶材原料的部分)，以方便鋸割；鋸割線(xiàn)應(yīng)與夾具垂直，以防鋸斜；鋸割線(xiàn)離夾具開(kāi)口處 和靶材原料不應(yīng)太遠(yuǎn)，以防止鋸割過(guò)程中產(chǎn)生顫動(dòng)；應(yīng)當(dāng)保證夾具和靶材原料的夾持穩(wěn)當(dāng)、 牢靠，不能有抖動(dòng)，以防止鋸割過(guò)程中夾具或靶材原料的移動(dòng)，而折斷鋸條；另外，還要防止 夾壞靶材原料的加工表面和靶材原料的變形。實(shí)施例二本實(shí)施例公開(kāi)的夾具在上一實(shí)施例的基礎(chǔ)上更加具體化，其中，本實(shí)施例中限定 夾具本體一端開(kāi)口處的若干螺孔的中軸線(xiàn)與其所在位置處的切線(xiàn)垂直，且所述若干螺孔的中軸線(xiàn)的交點(diǎn)為所述開(kāi)口的橫截面的中心點(diǎn)，更優(yōu)選的，所述螺孔的個(gè)數(shù)為四個(gè)，且兩兩相 對(duì)，四個(gè)螺孔的中軸線(xiàn)垂直相交，即螺孔的中軸線(xiàn)一定要通過(guò)開(kāi)口橫截面的中心點(diǎn)處的十字線(xiàn)?？刹捎檬止潭ǖ姆椒?，通過(guò)螺釘固定靶材原料，由于螺孔的對(duì)稱(chēng)分布，可以防止 靶材原料的偏移和抖動(dòng)，使夾具對(duì)靶材原料的夾持更加緊固。實(shí)施例三本實(shí)施例公開(kāi)的夾具在以上兩個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上更加具體化，如圖2和圖3所示， 圖2為本實(shí)施例公開(kāi)的夾具的剖面圖，圖3為該夾具的右視圖，本實(shí)施例中的夾具本體21 具有一空腔23，可以節(jié)省原料，且空腔23呈圓柱狀，同時(shí)，所述開(kāi)口 22橫截面為圓形，并且， 所述開(kāi)口 22的直徑稍大于靶材原料的直徑，所述空腔23與所述開(kāi)口 22相導(dǎo)通，且所述空 腔23的直徑小于開(kāi)口 22的直徑。其中，圖3中，標(biāo)號(hào)24為夾具開(kāi)口 22端的外環(huán)，標(biāo)號(hào)25為開(kāi)口 22的內(nèi)環(huán)，標(biāo)號(hào)沈 表示空腔23的橫截面為圓形。本實(shí)施例中的夾具的本體可以為鐵管，也可為其它金屬材料寸。本實(shí)施例中的夾具，由于空腔23為圓柱狀，且與開(kāi)口 22相導(dǎo)通，在節(jié)省原料的同 時(shí)，還可保證夾具本體關(guān)于中軸線(xiàn)對(duì)稱(chēng)，即材料分布均勻，這樣在鋸割過(guò)程中，一方面可以 減輕電動(dòng)鋸床的負(fù)荷，還可方便鋸割，進(jìn)一步減輕鋸割過(guò)程中的抖動(dòng)，使鋸割過(guò)程更加容易 控制。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中僅限定開(kāi)口和空腔的形狀，對(duì)本體外壁的形狀未作具 體限定，即該夾具的橫截面可為外方內(nèi)圓，或內(nèi)外均為圓形，或其它形狀。另外，需要說(shuō)明的是，所述開(kāi)口的直徑可略大于靶材原料的直徑，以便于在不損傷 靶材原料表面的情況下，將靶材原料放入開(kāi)口內(nèi)，也便于螺釘對(duì)靶材原料的固定。并且，當(dāng)夾具的橫截面為圓環(huán)形時(shí)，即夾具的空腔為圓柱形的通孔，夾具開(kāi)口處的 外直徑可以大于夾具空腔處的外直徑，也可以小于或者等于夾具空腔處的外直徑，當(dāng)夾具 的橫截面為方形環(huán)或其它多邊形環(huán)時(shí)亦然。本實(shí)施例公開(kāi)的夾具適合于對(duì)圓柱形的靶材原料的鋸割，如圓柱形的鉻錠。下面 以針對(duì)圓柱形鉻錠的夾具對(duì)本實(shí)施例公開(kāi)的夾具的制作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。如夾具長(zhǎng)度為20cm的鐵管，其內(nèi)直徑比鉻錠直徑小km，外直徑比鉻錠直徑大 4cm，之后可在該鐵管的橫截面處車(chē)一個(gè)直徑比鉻錠直徑大5mm向內(nèi)凹2cm深度的圓環(huán)，即 形成開(kāi)口，再采用十字固定的方法在開(kāi)口處的外圓環(huán)上打四個(gè)螺孔，用螺釘來(lái)固定鉻錠，以 使其在鋸割時(shí)不能偏移或抖動(dòng)，制作出的夾具剖面如圖4所示。相應(yīng)的，對(duì)于方形的靶材原料，夾具的開(kāi)口的橫截面為方形，與橫截面為圓形的開(kāi) 口類(lèi)似，所述開(kāi)口的邊長(zhǎng)大于與其對(duì)應(yīng)的靶材原料的邊長(zhǎng)，可以便于將靶材原料放入開(kāi)口 內(nèi)，也便于螺釘對(duì)靶材原料的固定。同樣的，開(kāi)口橫截面為方形的夾具的本體橫截面的外環(huán) 也可為圓形，也可為方形，或者其他形狀，這里不做具體限定。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上 的限制。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例披露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型。任何 熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的 等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì) 以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的 范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種靶材生產(chǎn)用夾具，其特征在于，包括本體，所述本體的一端具有用于固定靶材原料的開(kāi)口，所述開(kāi)口的橫截面的形狀與靶 材原料橫截面形狀相適配，且所述開(kāi)口的橫截面與所述本體的中軸線(xiàn)垂直，所述開(kāi)口具有 貫穿其內(nèi)壁的若干螺孔；與所述若干螺孔相適配的若干螺釘。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述若干螺孔的中軸線(xiàn)與其所在位置處 的切線(xiàn)垂直，且所述若干螺孔的中軸線(xiàn)的交點(diǎn)為所述開(kāi)口的橫截面的中心點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾具，其特征在于，所述螺孔的個(gè)數(shù)為四個(gè)，且兩兩相對(duì)，四 個(gè)螺孔的中軸線(xiàn)垂直相交。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于，所述本體具有一空腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾具，其特征在于，所述空腔呈圓柱狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的夾具，其特征在于，所述開(kāi)口橫截面為圓形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的夾具，其特征在于，所述開(kāi)口的直徑大于靶材原料的直徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾具，其特征在于，所述空腔與所述開(kāi)口相導(dǎo)通，且所述空腔 的直徑小于開(kāi)口的直徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾具，其特征在于，所述本體為鐵管。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的夾具，其特征在于，所述開(kāi)口的橫截面為方形，所 述開(kāi)口的邊長(zhǎng)大于與其對(duì)應(yīng)的靶材原料的邊長(zhǎng)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種靶材生產(chǎn)用夾具，包括本體，所述本體的一端具有用于固定靶材原料的開(kāi)口，所述開(kāi)口的橫截面的形狀與靶材原料橫截面形狀相適配，且所述開(kāi)口的橫截面與所述本體的中軸線(xiàn)垂直，所述開(kāi)口具有貫穿其內(nèi)壁的若干螺孔；與所述若干螺孔相適配的若干螺釘。本實(shí)用新型的靶材生產(chǎn)用夾具，可將無(wú)法繼續(xù)正確鋸割的靶材原料固定在夾具的開(kāi)口處，將夾具夾持在電動(dòng)鋸床上，相當(dāng)于延長(zhǎng)了靶材原料的長(zhǎng)度，使設(shè)備能夠有效的夾緊夾具，同時(shí)通過(guò)夾具上的螺釘和螺孔的配合，在鋸割過(guò)程中不易出現(xiàn)抖動(dòng)，保證了不會(huì)將靶材原料切偏或切歪，使鋸割出的靶材符合要求，節(jié)約了靶材原料，節(jié)約了靶材的生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B23D59/00GK201841420SQ20102058971
公開(kāi)日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者周偉君, 姚力軍, 潘杰, 王學(xué)澤 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司