專利名稱：涂敷頭的組裝裝置及安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請(qǐng)發(fā)明涉及將涂敷液等液體涂敷到半導(dǎo)體基板或液晶基板等涂敷 對(duì)象物上的縫隙型液體涂敷裝置所使用的涂敷頭的組裝、維護(hù)或更換等使 用的涂敷頭的組裝裝置、組裝方法及安裝方法，尤其涉及大型涂敷頭的組 裝裝置及安裝方法。
背景技術(shù)：
以往，作為將抗蝕劑等涂敷液涂敷到半導(dǎo)體基板或液晶基板等涂敷對(duì) 象物，尤其是方形涂敷對(duì)象物上時(shí)使用的裝置，有縫隙型液體涂敷裝置(縫 隙型涂敷機(jī))。這種形式的液體涂敷裝置與旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)相比較，具有涂敷液 的消耗量少、成本低的優(yōu)點(diǎn)。
近年來(lái)，在液晶或平板顯示面板領(lǐng)域，基板尺寸不斷增大，隨著基板 尺寸增大，將涂敷液涂敷到基板等上所使用的涂敷頭也變大。當(dāng)涂敷頭小 時(shí)，數(shù)名作業(yè)者抱著涂敷頭移動(dòng)進(jìn)行涂敷頭的組裝或更換，但隨著涂敷頭 變大，作業(yè)者進(jìn)行組裝或更換變得不容易。鑒于此，提出了更換涂敷頭時(shí)
使用的涂敷用模(夕、V)移動(dòng)裝置(參照專利文獻(xiàn)i)。
并且，由于新的涂敷頭一般是在分解部件的狀態(tài)下交貨，因此交貨后
需要組裝涂敷頭的作業(yè)。更具體為，涂敷頭為通過(guò)安裝2個(gè)涂敷頭組件而 組裝起來(lái)的裝置， 一般采用通過(guò)在兩個(gè)組件之間夾著薄的墊片形成縫隙噴 嘴用間隙的結(jié)構(gòu)。因此，在更換墊片改變縫隙噴嘴的寬度的情況下，有必 要進(jìn)行涂敷頭的分解和組裝。并且，為了清掃涂敷頭的內(nèi)部，作為解決問(wèn) 題的對(duì)策有時(shí)也需要進(jìn)行涂敷頭的分解和組裝。這樣一來(lái)，由于在使用涂 敷頭時(shí)涂敷頭的組裝和分解作業(yè)是必需的，因此提出過(guò)涂敷頭組裝和分解 時(shí)使用的模涂敷機(jī)(夕'< 〕一卜)的組裝裝置(參照專利文獻(xiàn)2)。
但是，作為背景技術(shù)說(shuō)明過(guò)的前者的涂敷用模移動(dòng)裝置為用來(lái)裝卸或 移動(dòng)涂敷頭的裝置。因此，在安裝新的涂敷頭時(shí)，有必要預(yù)先用上述組裝裝置等在其他某個(gè)地方組裝涂敷頭，但沒(méi)有公開(kāi)具體的組裝方法。
并且，后者的模涂敷機(jī)的組裝裝置如上所述為用于組裝涂敷頭的裝置。 該組裝裝置具備平面精度高的模座，能夠以高的組裝精度在該模座上進(jìn)行 涂敷頭的組裝，但沒(méi)有具體公開(kāi)組裝的部件的搬入方法和組裝成的涂敷頭 (模涂敷機(jī))的搬出方法等。
由于組裝成的涂敷頭的重量比組裝前各零部件的重量重，而且不是容 易搬動(dòng)的形狀，因此搬入搬出的作業(yè)和改變方向的作業(yè)的作業(yè)性極其差。 尤其是大型涂敷頭是非常重的裝置，改變涂敷頭朝向的作業(yè)變得極其困難。 因此，涂敷頭組裝裝置和安裝裝置怎樣能夠準(zhǔn)確并且容易地進(jìn)行構(gòu)成 涂敷頭的零部件或涂敷頭的移載、方向的改變、搬入搬出等作業(yè)是極其重 要的。但是，現(xiàn)有技術(shù)的組裝裝置和移動(dòng)裝置如上所述對(duì)于這樣的作業(yè)沒(méi) 有具體的公開(kāi)。日本特開(kāi)平11-138082號(hào)公報(bào) [專利文獻(xiàn)2]日本特開(kāi)2004-33882號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于這樣的問(wèn)題點(diǎn)，以提供一種至少能夠準(zhǔn)確并且容易地 組裝涂敷頭、能夠?qū)⑼糠箢^安裝到液體涂敷裝置中的組裝裝置和組裝方法 為課題，而且，還以提供一種不必使用另外的移載設(shè)備就能夠迅速并且容 易地將組裝好的涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中的涂敷頭組裝裝置和組裝方 法為課題。
上述課題通過(guò)本申請(qǐng)的各項(xiàng)權(quán)利要求所記載的如下方案解決。 艮口，該技術(shù)方案1記載的發(fā)明為一種涂敷頭的組裝裝置，該涂敷頭的 組裝裝置是裝配一對(duì)涂敷頭片而構(gòu)成的，在安裝到液體涂敷裝置中的狀態(tài)
下噴出涂敷到涂敷對(duì)象物上的液體，其特征在于，具有起重機(jī)，用于吊
起并移動(dòng)涂敷頭或涂敷頭片；組裝臺(tái)，載置一個(gè)涂敷頭片或涂敷頭；以及， 載置臺(tái)，載置另一個(gè)涂敷頭片；組裝臺(tái)能夠在載置一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1 位置和將在組裝臺(tái)上組裝好的涂敷頭搬入搬出液體涂敷裝置時(shí)的第2位置 之間轉(zhuǎn)動(dòng)；通過(guò)用起重機(jī)吊起載置于載置臺(tái)上的另一個(gè)涂敷頭片，將另一 個(gè)涂敷頭片重疊到載置在第1位置的組裝臺(tái)上的一個(gè)涂敷頭片上，能夠組裝涂敷頭；并且能夠用起重機(jī)吊起載置在轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置狀態(tài)下的組裝臺(tái)
上的涂敷頭，將其搬入并安裝于液體涂敷裝置。
技術(shù)方案1記載的發(fā)明的涂敷頭組裝裝置由于采用上述結(jié)構(gòu)，組裝臺(tái)
能夠在第1位置與第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)，因此當(dāng)將一個(gè)涂敷頭片搬入到涂敷 頭的組裝裝置中時(shí)，通過(guò)使組裝臺(tái)預(yù)先轉(zhuǎn)動(dòng)到第1位置，能夠?qū)⒁粋€(gè)涂敷 頭片以適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)載置到組裝臺(tái)上；在組裝臺(tái)上組裝好涂敷頭后，當(dāng)將涂 敷頭安裝到液體涂敷裝置中時(shí)，通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置，能夠使涂 敷頭朝向適合安裝到液體涂敷裝置中的方向。這樣一來(lái)，如果采用本發(fā)明， 在涂敷頭組裝完成后，通過(guò)使組裝臺(tái)從第1位置轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置，能夠使 組裝好的涂敷頭變成適于安裝到液體涂敷裝置中的狀態(tài)，能夠準(zhǔn)確并且迅 速地使組裝好的涂敷頭變成適于搬出的狀態(tài)，并安裝到液體涂敷裝置中。 并且，如果采用本發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置，不用使用另外的設(shè)備，僅用 本發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置就能夠進(jìn)行涂敷頭的組裝或分解、將涂敷頭安 裝到液體涂敷裝置中或取出。即，由于僅用本發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置就 能夠進(jìn)行從涂敷頭的組裝到與液體涂敷裝置之間的搬入搬出這一連串的作 業(yè)，因此能夠效率極佳地進(jìn)行一連串的作業(yè)。
并且，由于將組裝好的涂敷頭搬入到液體涂敷裝置中的作業(yè)只是用起 重機(jī)吊起移動(dòng)的作業(yè)和使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的作業(yè)，因此不需要人工抱著涂敷頭 或使用其他的裝置進(jìn)行移動(dòng)，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭 的組裝裝置使用。
本發(fā)明第2技術(shù)方案所記載的發(fā)明為技術(shù)方案1的涂敷頭組裝裝置， 組裝臺(tái)的第2位置是使載置到該組裝臺(tái)上的涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝 置的方向的位置，通過(guò)使載置了組裝好的涂敷頭的組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到上述第2 位置，能夠使載置在該組裝臺(tái)上的涂敷頭朝向安裝的方向，能夠用起重機(jī) 吊起該朝向安裝方向的狀態(tài)下的涂敷頭，將其搬入并安裝于液體涂敷裝置。
第2技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位 置時(shí)，能夠使載置到組裝臺(tái)上的涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置中的方向， 然后通過(guò)用起重機(jī)吊起該狀態(tài)下的涂敷頭而搬入到液體涂敷裝置中，能夠 準(zhǔn)確、容易并且迅速地將涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中。
第3技術(shù)方案所記載的本發(fā)明為技術(shù)方案1或方案2記載的涂敷頭的組裝裝置，載置臺(tái)具有裝卸自由地設(shè)置在其兩端位置上的支承組件，以 及，具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)支架，該旋轉(zhuǎn)軸由設(shè)置在該支承組件上的軸承以能 夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)進(jìn)行支承；該旋轉(zhuǎn)支架能夠自由裝卸地安裝于另一個(gè)涂敷頭 片的兩端；通過(guò)用上述起重機(jī)吊起安裝在該另一個(gè)涂敷頭片的兩端的旋轉(zhuǎn) 支架，能夠吊起該另一個(gè)涂敷頭片；能夠用設(shè)置在上述載置臺(tái)上的支承組 件的軸承以能夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)支承懸吊狀態(tài)下的該另一個(gè)涂敷頭片的兩端的 旋轉(zhuǎn)支架的上述旋轉(zhuǎn)軸，通過(guò)使被支承著的該旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，能夠使另一個(gè) 涂敷頭片的朝向向著下述方向，即裝配到載置在上述組裝臺(tái)上的上述一個(gè) 涂敷頭片上的方向；通過(guò)用上述起重機(jī)吊起旋轉(zhuǎn)到該朝向上的上述另一個(gè) 涂敷頭片，使另一個(gè)涂敷頭片重疊在上述組裝臺(tái)上的一個(gè)涂敷頭片上，能 夠組裝上述涂敷頭。
第3技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于在將另一個(gè)涂敷頭片 載置到載置臺(tái)上后，能夠容易地旋轉(zhuǎn)該另一個(gè)涂敷頭片，因此能夠容易并 且迅速地改變另一個(gè)涂敷頭片的方向使其變成適合于安裝到一個(gè)涂敷頭片 上的方向。因此，能夠容易并且迅速地組裝涂敷頭并將組裝好的涂敷頭安 裝到液體涂敷裝置中。并且，由于不需要在載置到載置臺(tái)上之前預(yù)先用人 工或者其他的設(shè)備改變另一個(gè)涂敷頭的朝向，因此尤其適合于作為重量較 重的大型涂敷頭的組裝裝置使用。
第4技術(shù)方案所記載的發(fā)明為上述方案1至方案3中的任一個(gè)方案的 涂敷頭組裝裝置，具有設(shè)置了起重機(jī)的搬送單元以及設(shè)置了載置臺(tái)和組裝 臺(tái)的組裝單元；搬送單元和組裝單元在能夠互相靠近、離開(kāi)的狀態(tài)下組合; 搬送單元和組裝單元中的至少上述搬送單元具有使其能夠在地面上移動(dòng)的 移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
第4技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于設(shè)置了起重機(jī)的搬送 單元與設(shè)置了載置臺(tái)和組裝臺(tái)的組裝單元在能夠互相靠近、離開(kāi)的狀態(tài)下 組合，因此能夠?qū)⒒ハ嘀g的位置關(guān)系自由地設(shè)定或改變成容易作業(yè)的位 置關(guān)系，提高了涂敷頭的組裝或分解、與液體涂敷裝置之間的裝卸等一連 串作業(yè)的作業(yè)性。并且，由于搬送單元能夠在地面上移動(dòng)，因此不是將涂 敷頭片搬送到涂敷頭的組裝裝置那里，而是使搬送單元移動(dòng)到涂敷頭片那 里，能夠?qū)⒃撏糠箢^片搬入到涂敷頭的組裝裝置中。這樣一來(lái)，由于能夠?qū)⒆鳛榻M裝零部件的涂敷頭片的移動(dòng)作業(yè)抑制在最小限度內(nèi)，因此尤其適 合于作為重量較重的大型涂敷頭的組裝裝置使用。
第5技術(shù)方案所記載的發(fā)明為一種將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵接面
重合的狀態(tài)下裝配構(gòu)成的、安裝到液體涂敷裝置中而使用的涂敷頭的組裝
方法，使一個(gè)涂敷頭片呈抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)；將另一個(gè)涂敷 頭片在其抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下重疊到一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配兩涂敷頭 片，由此組裝涂敷頭；在使組裝好的該涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的 方向后，在該安裝朝向的狀態(tài)下將該涂敷頭搬入并安裝到液體涂敷裝置。
第5技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于將抵接面朝向下側(cè)的 狀態(tài)下的另 一個(gè)涂敷頭片重疊到抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)下的一個(gè) 涂敷頭片上而進(jìn)行組裝，組裝好涂敷頭，因此能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地 進(jìn)行組裝作業(yè)。
第6技術(shù)方案所記載的本發(fā)明為一種將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵接 面重合的狀態(tài)下裝配構(gòu)成的、安裝到液體涂敷裝置中而使用的涂敷頭的組 裝方法，用起重機(jī)吊起一個(gè)涂敷頭片，在使其呈抵接面水平并且朝向上側(cè) 的狀態(tài)下將該一個(gè)涂敷頭片載置到組裝臺(tái)上；在使其抵接面朝向下側(cè)的狀 態(tài)下，用起重機(jī)吊起另一個(gè)涂敷頭片，將另一個(gè)涂敷頭片重疊到組裝臺(tái)上 的一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配兩涂敷頭片，由此組裝涂敷頭；在使組裝好的該 涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的方向后，在該安裝朝向的狀態(tài)下用起重 機(jī)吊起該涂敷頭，搬入并安裝到液體涂敷裝置。
第6技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于能夠用起重機(jī)吊起涂 敷頭片或涂敷頭進(jìn)行組裝，搬入、安裝到液體涂敷裝置中，因此能夠準(zhǔn)確、 容易并且迅速地進(jìn)行安裝作業(yè)。并且，由于不需要預(yù)先用人工或者其他的 設(shè)備改變另一個(gè)涂敷頭的朝向，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷 頭的組裝方法使用。
第7技術(shù)方案所記載的發(fā)明為方案6所記載的涂敷頭的安裝方法，組 裝臺(tái)能夠在載置一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置和使組裝臺(tái)上組裝好的涂敷頭 朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；使組裝好的涂敷頭 朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的工序通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到上述第2位置 而進(jìn)行。第7技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)能
夠使在組裝臺(tái)上組裝好的涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的方向，因此之 后通過(guò)用起重機(jī)吊起該狀態(tài)下的涂敷頭將涂敷頭搬入到液體涂敷裝置中， 能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地將涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中。
第8技術(shù)方案所記載的發(fā)明為方案7所記載的涂敷頭的安裝方法，安 裝的方向?yàn)橥糠箢^的液體噴出口位于下側(cè)、并且互相重合的抵接面為垂直 的方向。
第8技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，涂敷頭的液體噴出口位于 下側(cè)、并且互相重合的抵接面為朝向垂直的方向，該方向?yàn)橄蛳路絿姵鲆?體的液體涂敷裝置的涂敷頭的朝向。因此，在將涂敷頭安裝到這樣的液體 涂敷裝置中的情況下，能夠用起重機(jī)保持該方向地吊起朝向上述方向的涂 敷頭，能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地將涂敷頭搬入并安裝到液體涂敷裝置中。
第9技術(shù)方案所記載的發(fā)明為方案7或方案8所記載的涂敷頭安裝方 法，在使另一個(gè)涂敷頭片的抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下用起重機(jī)吊起另一個(gè) 涂敷頭片的工序?yàn)槭褂眯D(zhuǎn)支架與支承組件的工序，該旋轉(zhuǎn)支架能夠自由 裝卸地安裝到另一個(gè)涂敷頭片的兩端，該支承組件在能夠使該旋轉(zhuǎn)支架旋 轉(zhuǎn)的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行支承；上述工序是通過(guò)下述步驟而進(jìn)行的，即將旋轉(zhuǎn) 支架安裝到在使抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)下載置到載置臺(tái)上的另一 個(gè)涂敷頭片的兩端，用起重機(jī)吊起該另一個(gè)涂敷頭片后，將支承組件設(shè)置 到載置臺(tái)兩端的位置上，使另一個(gè)涂敷頭片下降，用支承組件支承安裝在 該另一個(gè)涂敷頭片兩端的旋轉(zhuǎn)支架，然后使另一個(gè)涂敷頭片旋轉(zhuǎn)，使其抵 接面朝向下側(cè)，用起重機(jī)進(jìn)行起吊。
第9技術(shù)方案所記載的發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，由于用支承組件支承安裝 在另一個(gè)涂敷頭片兩端的旋轉(zhuǎn)支架，能夠使另一個(gè)涂敷頭片旋轉(zhuǎn)，因此能 夠容易并且迅速地使另一個(gè)涂敷頭片的抵接面朝向下側(cè)，能夠用起重機(jī)吊 起。
發(fā)明效果
如上所述，如果采用本申請(qǐng)發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置，由于組裝臺(tái)能 夠在第1位置和第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)，因此當(dāng)將一個(gè)涂敷頭片搬入到涂敷頭 的組裝裝置中時(shí)，通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第1位置，能夠?qū)⒁粋€(gè)涂敷頭片以適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)載置到組裝臺(tái)上；在組裝臺(tái)上組裝好涂敷頭后，當(dāng)將涂敷頭安 裝到液體涂敷裝置中時(shí)，通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置上，能夠使涂敷頭 朝向適合安裝到液體涂敷裝置的方向。這樣一來(lái)，如果采用本發(fā)明，在涂 敷頭組裝完成后，通過(guò)使組裝臺(tái)從第1位置轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置，能夠使組裝 好的涂敷頭變成適于安裝到液體涂敷裝置中的狀態(tài)，能夠準(zhǔn)確、容易并且 迅速地使組裝好的涂敷頭變成適于搬出的狀態(tài)、安裝到液體涂敷裝置中。 并且，如果采用本發(fā)明的涂敷頭組裝裝置，不用使用另外的設(shè)備，僅用本 發(fā)明的涂敷頭組裝裝置就能夠進(jìn)行涂敷頭的組裝或分解、將涂敷頭安裝到 液體涂敷裝置中或取出。即，由于僅用本發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置就能夠 進(jìn)行從涂敷頭的組裝到與液體涂敷裝置之間的搬入搬出這一連串的作業(yè)， 因此能夠效率極佳地進(jìn)行一連串的作業(yè)。
并且，由于將組裝好的涂敷頭搬入到液體涂敷裝置中的作業(yè)只是用起 重機(jī)吊起移動(dòng)的作業(yè)和使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的作業(yè)，因此不需要人工抱著涂敷頭 或使用其他的裝置進(jìn)行移動(dòng)，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭 的組裝裝置使用。
并且，當(dāng)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置時(shí)，能夠使載置到組裝臺(tái)上的涂敷 頭朝向安裝到液體涂敷裝置中的方向，然后通過(guò)用起重機(jī)吊起該狀態(tài)下的 涂敷頭而搬入到液體涂敷裝置中，能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地將涂敷頭安 裝到液體涂敷裝置中。
另外，由于在將另一個(gè)涂敷頭片載置到載置臺(tái)上后，能夠容易地旋轉(zhuǎn) 該另一個(gè)涂敷頭片，因此能夠容易并且迅速地改變另一個(gè)涂敷頭片的方向 使其變成適合于安裝到一個(gè)涂敷頭片上的方向。因此，能夠容易并且迅速 地組裝涂敷頭并將組裝好的涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中。并且，由于不 需要在載置到載置臺(tái)上之前預(yù)先用人工或者其他的設(shè)備改變另一個(gè)涂敷頭 的朝向，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭的組裝裝置使用。
并且，由于設(shè)置了起重機(jī)的搬送單元與設(shè)置了載置臺(tái)和組裝臺(tái)的組裝 單元在能夠互相靠近、離開(kāi)的狀態(tài)下組合，因此能夠?qū)⒒ハ嘀g的位置關(guān) 系自由地設(shè)定或改變成容易作業(yè)的位置關(guān)系，提高了涂敷頭的組裝或分解、 與液體涂敷裝置之間的裝卸等一連串作業(yè)的作業(yè)性。并且，由于搬送單元 能夠在地面上移動(dòng)，因此不是將涂敷頭片搬送到涂敷頭的組裝裝置那里，而是使搬送單元移動(dòng)到涂敷頭片那里，能夠?qū)⒃撏糠箢^片搬入到涂敷頭的 組裝裝置中。這樣一來(lái)，由于能夠?qū)⒆鳛榻M裝零部件的涂敷頭片的移動(dòng)作 業(yè)抑制在最小限度內(nèi)，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭的組裝 裝置使用。
并且，如上所述，如果采用本申請(qǐng)發(fā)明的涂敷頭的組裝方法，由于將 抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下的另一個(gè)涂敷頭片重疊到抵接面水平并且朝向上 側(cè)的狀態(tài)下的一個(gè)涂敷頭片上而進(jìn)行組裝，組裝好涂敷頭，因此能夠準(zhǔn)確、 容易并且迅速地進(jìn)行組裝作業(yè)。
并且，能夠用起重機(jī)吊起涂敷頭片或涂敷頭進(jìn)行組裝，搬入、安裝到 液體涂敷裝置中，因此能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地進(jìn)行安裝作業(yè)。并且， 由于不需要預(yù)先用人工或者其他的設(shè)備改變另一個(gè)涂敷頭的朝向，因此尤 其適合于作為重量較重的大型涂敷頭的組裝方法使用。
并且，由于通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)能夠使在組裝臺(tái)上組裝好的涂敷頭朝向 安裝到液體涂敷裝置的方向，因此之后通過(guò)用起重機(jī)吊起該狀態(tài)下的涂敷 頭將涂敷頭搬入到液體涂敷裝置中，能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地將涂敷頭 安裝到液體涂敷裝置中。
并且，涂敷頭的液體噴出口位于下側(cè)、并且互相重合的抵接面為朝向 垂直的方向，該方向?yàn)橄蛳路絿姵鲆后w的液體涂敷裝置的涂敷頭的朝向。 因此，在將涂敷頭安裝到這樣的液體涂敷裝置中的情況下，能夠用起重機(jī) 保持該方向地吊起朝向上述方向的涂敷頭，能夠準(zhǔn)確、容易并且迅速地將 涂敷頭搬入并安裝到液體涂敷裝置中。
并且，由于用支承組件支承安裝在另一個(gè)涂敷頭片兩端的旋轉(zhuǎn)支架， 能夠使另一個(gè)涂敷頭片旋轉(zhuǎn)，因此能夠容易并且迅速地使另一個(gè)涂敷頭片 的抵接面朝向下側(cè)，能夠用起重機(jī)吊起。


圖1為表示構(gòu)成作為本申請(qǐng)發(fā)明的實(shí)施例的涂敷頭組裝裝置的搬送單 元及組裝單元的示意圖。
圖2為表示本申請(qǐng)發(fā)明的實(shí)施例的搬送單元的俯視圖。 圖3為表示圖2所示的搬送單元的主視圖。圖4為表示圖2所示搬送單元的側(cè)視圖。 圖5為表示圖2所示搬送單元的后視圖。
圖6為表示搬送單元的吊車的鋼絲繩頂端的吊鉤的放大主視圖。 圖7為表示用圖3所示的搬送單元懸吊涂敷頭片的狀態(tài)的主視圖。 圖8為表示用圖3所示的搬送單元懸吊涂敷頭的狀態(tài)的主視圖。 圖9為表示本申請(qǐng)發(fā)明的實(shí)施例的組裝單元的俯視圖。 圖10為表示圖7所示組裝單元的主視圖。 圖11為表示圖7所示組裝單元的側(cè)視圖。
圖12為表示組裝單元的組裝臺(tái)的旋轉(zhuǎn)位置的圖IO的A-A線剖視圖， 圖12 (A)為表示組裝臺(tái)的第1位置的圖，圖12 (B)為表示組裝臺(tái)的第2 位置的圖。
圖13 (A)為表示懸吊用支架安裝到第2涂敷頭片上的狀態(tài)的立體圖， 圖13 (B)為表示旋轉(zhuǎn)用支架安裝到第1涂敷頭片上的狀態(tài)和支承旋轉(zhuǎn)用 支架的V形塊的立體圖。
圖14為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖15為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖16為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖17為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖18為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖19為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖20為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖21為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖22為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖23為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖24為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖25為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖26為表示涂敷頭組裝作業(yè)的狀態(tài)的涂敷頭組裝裝置的側(cè)視圖。 圖27為表示將位置對(duì)齊用板安裝到第2涂敷頭片的后端面上的狀態(tài)的 立體圖。
圖28為表示安裝涂敷頭的液體涂敷裝置的立體圖。圖29為表示安裝到液體涂敷裝置中的涂敷頭的分解立體圖。
標(biāo)記說(shuō)明
1.涂敷頭的組裝裝置；2.搬送單元；3.組裝單元；10.搬送單元的 腿部；11.腿部框；12.小腳輪；20.吊車(起重機(jī))；22.吊車主體；24.升 降體；24a.升降部；24b.升降臂；24c.加強(qiáng)體；24d.軌道；26.吊車 的滑動(dòng)桿；26a.滑動(dòng)體；26b.滑動(dòng)桿主體；26c.延長(zhǎng)桿；26d.控制桿； 28.鋼絲繩；28a.吊鉤；29.垂吊具；30.臂升降機(jī)構(gòu)；32.升降導(dǎo)軌； 34.鏈條；36.支承滑輪；38.巻繞部；40.吊車操縱手柄；42.垂吊用 支架；42a.止動(dòng)孔；42b.卡合孔；44.旋轉(zhuǎn)用支架；44a.止動(dòng)孔；44b.卡 合孔；44c.軸部；46. V型塊(支承塊)；46a. V型槽；48.位置對(duì)齊用 板；49a.把手；49b.吊鉤；50.組裝單元的腿部；50a.腿部構(gòu)件；50b.小 腳輪；52.組裝單元主體；52a.組件底座；54.載置臺(tái)；60.轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)； 61.軸承；62.軸；63.輸出軸；64.減速器；65.輸入軸；66.轉(zhuǎn)動(dòng)手 柄；70.組裝臺(tái)；72.支座；74.組裝臺(tái)座；76.搬入搬出底座；101.液 體涂敷裝置；102.底座；102a、 102b.側(cè)壁；103.工作臺(tái)；104.基板； 105a、 105b.導(dǎo)軌；110.涂敷機(jī)構(gòu)；120.涂敷頭；121、 122.涂敷頭片； 121a、 122a.齒頂部；121b、 122b.抵接面；123.襯墊;123a.凹陷部; 124.液體注入口； 125.通孔；126.空洞部；131.空氣排出口； 140.維 護(hù)機(jī)構(gòu)；141.更換滑動(dòng)體；142.升降動(dòng)力缸(升降裝置)；148.滑動(dòng)體 可動(dòng)部；160.保護(hù)蓋；SI.空間；S2.間隙
具體實(shí)施例方式
一種涂敷頭的組裝裝置，該涂敷頭的組裝裝置是裝配一對(duì)涂敷頭片而 構(gòu)成的，在安裝到液體涂敷裝置中的狀態(tài)下噴出涂敷到涂敷對(duì)象物上的液 體，具有用于吊起并移動(dòng)涂敷頭或涂敷頭片的起重機(jī)、載置一個(gè)涂敷頭片
或涂敷頭的組裝臺(tái)、以及載置另一個(gè)涂敷頭片的載置臺(tái)；組裝臺(tái)能夠在載
置一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置和將在組裝臺(tái)上組裝好的涂敷頭搬入搬出液
體涂敷裝置時(shí)的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；通過(guò)用起重機(jī)吊起載置于載置臺(tái)上的 另一個(gè)涂敷頭片，將另一個(gè)涂敷頭片重疊到載置在第1位置的組裝臺(tái)上的 一個(gè)涂敷頭片上，能夠組裝涂敷頭；而且能夠用起重機(jī)吊起載置在轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置狀態(tài)下的組裝臺(tái)上的涂敷頭，將其搬入并安裝于液體涂敷裝置。
組裝臺(tái)的第2位置是使載置到該組裝臺(tái)上的涂敷頭朝向安裝到液體涂
敷裝置的方向的位置，通過(guò)使載置有組裝好的涂敷頭的組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到上述
第2位置，能夠使載置在該組裝臺(tái)上的涂敷頭朝向安裝的方向，能夠用起 重機(jī)吊起該朝向安裝方向的狀態(tài)下的涂敷頭，將其搬入并安裝到液體涂敷 裝置中。
并且，載置臺(tái)具有裝卸自由地設(shè)置在其兩端位置上的支承組件，以及 具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)支架，該旋轉(zhuǎn)軸由設(shè)置在該支承組件上的軸承以能夠旋 轉(zhuǎn)的狀態(tài)進(jìn)行支承；該旋轉(zhuǎn)支架能夠自由裝卸地安裝于另一個(gè)涂敷頭片的 兩端；將旋轉(zhuǎn)支架安裝到載置在載置臺(tái)上的另一個(gè)涂敷頭片的兩端，通過(guò) 用起重機(jī)吊起該旋轉(zhuǎn)支架，能夠吊起另一個(gè)涂敷頭片；在吊起另一個(gè)涂敷 頭片的狀態(tài)下能夠用設(shè)置在載置臺(tái)兩端位置上的支承組件的軸承以能夠旋 轉(zhuǎn)的狀態(tài)支承安裝在該另一個(gè)涂敷頭片兩端的旋轉(zhuǎn)支架的上述旋轉(zhuǎn)軸，通 過(guò)使另一個(gè)涂敷頭片旋轉(zhuǎn)，能夠使該另一個(gè)涂敷頭片的朝向向著裝配到載 置在組裝臺(tái)上的一個(gè)涂敷頭片的方向；通過(guò)用起重機(jī)吊起旋轉(zhuǎn)到該朝向上 的另一個(gè)涂敷頭片，使另一個(gè)涂敷頭片重疊在轉(zhuǎn)動(dòng)到第1位置上的組裝臺(tái) 上的上述一個(gè)涂敷頭片上，能夠組裝涂敷頭。
而且，具有設(shè)置了起重機(jī)的搬送單元以及設(shè)置了載置臺(tái)和組裝臺(tái)的組 裝單元；搬送單元和組裝單元在能夠互相靠近、離開(kāi)的狀態(tài)下組合；搬送 單元和組裝單元中的至少上述搬送單元具有使其能夠在地面上移動(dòng)的移動(dòng) 機(jī)構(gòu)。
并且，是一種將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵接面重合的狀態(tài)下裝配構(gòu) 成的、安裝到液體涂敷裝置中而使用的涂敷頭的組裝方法，使一個(gè)涂敷頭 片呈抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)；將另一個(gè)涂敷頭片在其抵接面朝向 下側(cè)的狀態(tài)下重疊到一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配兩涂敷頭片，由此組裝涂敷頭; 在使組裝好的該涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的方向后，在該安裝朝向 的狀態(tài)下將該涂敷頭搬入并安裝到液體涂敷裝置中。
并且，是一種將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵接面重合的狀態(tài)下裝配構(gòu) 成的、安裝到液體涂敷裝置中而使用的涂敷頭的組裝方法，用起重機(jī)吊起 一個(gè)涂敷頭片，在使其呈抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)下將一個(gè)涂敷頭片載置到組裝臺(tái)上；在使其抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下，用起重機(jī)吊起另一 個(gè)涂敷頭片，將另一個(gè)涂敷頭片重疊到組裝臺(tái)上的一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配 兩涂敷頭片，由此組裝涂敷頭；在使組裝好的該涂敷頭朝向安裝到液體涂 敷裝置的方向后，在該安裝朝向的狀態(tài)下用起重機(jī)吊起該涂敷頭，搬入并 安裝到液體涂敷裝置。
并且，組裝臺(tái)能夠在載置一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置和使組裝臺(tái)上組 裝好的涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；使組 裝好的涂敷頭朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的工序通過(guò)使組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到 上述第2位置而進(jìn)行。
而且，安裝的方向?yàn)橥糠箢^的液體噴出口位于下側(cè)、并且互相重合的 抵接面為垂直的方向。
并且，在使另一個(gè)涂敷頭片的抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下用起重機(jī)吊起 另一個(gè)涂敷頭片的工序?yàn)槭褂眯D(zhuǎn)支架與支承組件的工序，該旋轉(zhuǎn)支架能 夠自由裝卸地安裝到另一個(gè)涂敷頭片的兩端，該支承組件在能夠使該旋轉(zhuǎn) 支架旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行支承；上述工序是通過(guò)下述步驟而進(jìn)行的，即 將旋轉(zhuǎn)支架安裝到在使抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)下載置到載置臺(tái)上 的另一個(gè)涂敷頭片的兩端，用起重機(jī)吊起該另一個(gè)涂敷頭片后，將支承組 件設(shè)置到載置臺(tái)兩端的位置上，使另一個(gè)涂敷頭片下降，用支承組件支承 安裝在該另一個(gè)涂敷頭片兩端的旋轉(zhuǎn)支架，然后使另一個(gè)涂敷頭片旋轉(zhuǎn)， 使其抵接面朝向下側(cè)，用起重機(jī)進(jìn)行起吊。
下面用附圖詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)發(fā)明涉及的涂敷頭的組裝裝置及安裝方法 的優(yōu)選實(shí)施例。在該說(shuō)明之前首先簡(jiǎn)單說(shuō)明作為組裝對(duì)象的涂敷頭及安裝 該涂敷頭的液體涂敷裝置。
液體涂敷裝置用于以均勻的厚度將抗蝕劑或鉻涂敷液等液體涂敷到半 導(dǎo)體基板或液晶基板等涂敷對(duì)象物的表面上。
如圖28所示，液體涂敷裝置101具有底座102和設(shè)置在底座102上的 中央部位的工作臺(tái)103，作為涂敷對(duì)象的基板104載置在該工作臺(tái)103上。 底座102的兩側(cè)邊緣分別形成有垂直豎起的側(cè)壁102a、 102b，在這些側(cè)壁 102a、 102b的上面鋪設(shè)有導(dǎo)軌105a、 105b。并且，在導(dǎo)軌105a、 105b的上面設(shè)置有能夠行走狀態(tài)下的涂敷機(jī)構(gòu)110，涂敷機(jī)構(gòu)110具有在下端具有
噴嘴的、升降自由的涂敷頭120。因此，當(dāng)使涂敷機(jī)構(gòu)110行走并且從底座 102的下端噴嘴噴出涂敷液時(shí)，噴出的涂敷液以同樣的膜厚非遍布地從基板 104表面的涂敷開(kāi)始端涂敷到結(jié)束端。
涂敷頭120在液體涂敷裝置101上裝卸自由，如圖29所示由被分割的 2片涂敷頭片121、 122和在被夾在兩片涂敷頭片121、 122之間的狀態(tài)下組 裝的襯墊123構(gòu)成。2片涂敷頭片121、 122分別由細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方體形金屬(不 銹鋼)制組件構(gòu)成，在互相重疊的抵接面121b、 122b (參照?qǐng)D27、圖29) 的下端，形成有突出成銳角形狀的齒頂部121a、 122a。
襯墊123由沖壓成3字形狀的薄板制成，當(dāng)襯墊123被夾在2片涂敷 頭片121、 122之間時(shí)，該〕字形凹陷部123a在這些涂敷頭片121、 122的 齒頂部121a、 122a之間形成縫隙狀的噴出口。 BP，噴出口縫隙的寬度由襯 墊123的厚度決定。噴出口的長(zhǎng)度由凹陷部123a的長(zhǎng)度決定。噴出口的長(zhǎng) 度與基板104上涂敷液的涂敷寬度(基板104的寬度方向上的涂敷長(zhǎng)度) 相對(duì)應(yīng)。
在第1涂敷頭片121上部其長(zhǎng)度方向(涂敷頭120的寬度方向)的中 央部位，形成有用來(lái)注入涂敷液的液體注入口 124，在其長(zhǎng)度方向的兩端附 近，分別形成有空氣排出口 131。并且，在同一第1涂敷頭片121的中間部 位，形成有用來(lái)使從液體注入口 124注入的液體向?qū)挾确较驍U(kuò)散的空洞部 126。該空洞部126在與第2涂敷頭片122相對(duì)的一側(cè)的側(cè)面(抵接面121b) 上開(kāi)口。并且，形成有用來(lái)將這些液體注入口 124、空氣排出口 131和空洞 部126連通的3個(gè)通孔125?？斩床?26與噴出口連通，空洞部126內(nèi)的液 體被噴出口變成一定的厚度，從噴出口下方的頂端開(kāi)口部噴出。該噴出口 的頂端開(kāi)口部形成涂敷頭120下端噴嘴部的噴嘴口。
并且，如圖28所示，液體涂敷裝置101具有維修涂敷頭120的維護(hù)機(jī) 構(gòu)140。維護(hù)機(jī)構(gòu)140設(shè)置在底座102上比工作臺(tái)103靠前的一側(cè)(圖28 中的左下側(cè))，具有能夠向維護(hù)機(jī)構(gòu)的橫向上拉出的滑動(dòng)體可動(dòng)部148。
當(dāng)作業(yè)者將涂敷頭120設(shè)置到液體涂敷裝置101上時(shí)，首先像圖28中 雙點(diǎn)劃線所示那樣向橫向拉出維護(hù)機(jī)構(gòu)140的滑動(dòng)體可動(dòng)部148，在這種狀 態(tài)下將涂敷頭120載置到滑動(dòng)體可動(dòng)部148上(參照?qǐng)D28的箭頭B)，使滑動(dòng)體可動(dòng)部148回到原來(lái)的位置。由此，涂敷頭120搬入到維護(hù)機(jī)構(gòu)140 上。然后，使涂敷機(jī)構(gòu)110移動(dòng)到維護(hù)機(jī)構(gòu)140的位置，使涂敷機(jī)構(gòu)110 位于搬入的涂敷頭120正上方的位置上，在這種狀態(tài)下將涂敷頭120安裝 到涂敷機(jī)構(gòu)110上。并且，當(dāng)取出安裝好的涂敷頭120時(shí)，在將取出的涂 敷頭120載置到維護(hù)機(jī)構(gòu)140上之后，通過(guò)與這里說(shuō)明過(guò)的順序相反的順 序能夠簡(jiǎn)單地將涂敷頭120搬出液體涂敷裝置101之外。 下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明涂敷頭的組裝裝置。
如圖1的示意圖所示那樣，涂敷頭的組裝裝置1具有設(shè)置了后述的吊 車20的搬送單元2和設(shè)置了后述的載置臺(tái)54和組裝臺(tái)70的組裝單元3。
如從圖2到圖5所示的那樣，其中搬送單元2具有與地板接觸的腿部 10和設(shè)置在腿部10上的吊車20，搬送單元2的腿部10具有四方形腿部框 11和安裝到腿部框11下側(cè)的多個(gè)小腳輪12 (參照?qǐng)D3)。并且，吊車20 的下部固定在腿部框11的上側(cè)。
并且，搬送單元2側(cè)視為〕字形狀(參照?qǐng)D4)，在腿部10的上方形成 腿部10和后述的升降體24之間的空間Sl (參照?qǐng)D4)。并且，如后述那樣， 通過(guò)使組裝單元3位于該腿部10上方的空間Sl的部分內(nèi)，能夠裝配配置 搬送單元2和組裝單元3 (參照?qǐng)D15)。并且，在各腿部框11下端的位置 上根據(jù)情況安裝有4個(gè)作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)的小腳輪12。由于具有這樣的小腳輪 12，因此搬送單元2能夠自由地在地面上移動(dòng)。
如圖3所示，吊車20具有從腿部10向上垂直延伸的吊車主體22、能 夠升降地安裝在吊車主體22上的升降體24、以能夠水平移動(dòng)的狀態(tài)設(shè)置到 升降體24上的滑動(dòng)桿26、從滑動(dòng)桿26的兩端下垂的一對(duì)鋼絲繩28，以及 安裝在滑動(dòng)桿26的靠近中央位置上的一對(duì)垂吊具29 (參照?qǐng)D3)。
吊車主體22的高度比組裝單元3的高度高。并且，吊車主體22上設(shè) 置有能夠升降地保持升降體24的臂升降機(jī)構(gòu)30 (參照?qǐng)D5)。臂升降機(jī)構(gòu) 30具有設(shè)置在吊車主體22兩側(cè)的一對(duì)升降導(dǎo)軌32;垂吊并支承升降體 24的鏈條34;安裝在吊車主體22上端的位置上，巻繞鏈條34的支承滑輪 36;鏈條34的巻繞部38;以及用來(lái)使巻繞部38旋轉(zhuǎn)的吊車操縱手柄40。 其中，升降導(dǎo)軌32為引導(dǎo)升降體24升降移動(dòng)的裝置。并且，巻繞部38安 裝到吊車主體22上。如圖3所示，升降體24具有被設(shè)置于吊車主體22上的升降導(dǎo)軌32在 能夠升降移動(dòng)的狀態(tài)下卡住的升降部24a，以及從升降部24a的上端水平向 前方(圖4中的左方)延伸的一對(duì)升降臂24b。這樣一來(lái)，升降臂24b被能 夠升降地安裝在吊車主體22上的升降部24a懸臂支承著。并且，升降臂24b 與腿部框11的長(zhǎng)度方向Dl (參照?qǐng)D1)平行延伸，升降臂24b的長(zhǎng)度比后 述的組裝單元3的寬度尺寸Wl (參照?qǐng)D9)長(zhǎng)。因此，當(dāng)裝配搬送單元2 和組裝單元3時(shí)(參照?qǐng)D15)，能夠使從滑動(dòng)桿26上垂下的鋼絲繩28或垂 吊具29位于組裝單元3的任意位置的上方。另外，標(biāo)記"24c"表示增強(qiáng) 升降部24a與升降臂24b的固定狀態(tài)的加強(qiáng)體，標(biāo)記"24d"表示設(shè)置在升 降臂24b上的軌道。
滑動(dòng)桿26具有在滑動(dòng)自由的狀態(tài)下設(shè)置到各升降臂24b的軌道24d 上的滑動(dòng)體26a，沿與升降臂24b交叉的方向在滑動(dòng)體26a上延伸的滑動(dòng)桿 主體26b，以及通過(guò)延長(zhǎng)桿26c安裝到滑動(dòng)桿主體26b上的控制桿26d?；?動(dòng)體26a沿進(jìn)退方向Dl (參照?qǐng)D4)在升降體24上滑動(dòng)自由。于是，當(dāng)直 接握持控制桿26d沿進(jìn)退方向Dl推拉時(shí)，滑動(dòng)體26a沿進(jìn)退方向Dl在升 降體24的軌道24d上滑動(dòng)，整個(gè)滑動(dòng)桿26沿進(jìn)退方向Dl移動(dòng)。這樣一來(lái)， 滑動(dòng)桿26能夠在控制桿26d的控制下滑動(dòng)，由此能夠改變從滑動(dòng)桿26垂 下的鋼絲繩28的位置。
滑動(dòng)桿主體26b與升降臂24b正交(參照?qǐng)D2)，沿水平方向延伸。并 且，在滑動(dòng)桿主體26b的兩端分別安裝有鋼絲繩28，在滑動(dòng)桿主體26b的 靠近中央的中間位置上安裝有一對(duì)垂吊具29。即，滑動(dòng)桿26上分別安裝有 2根鋼絲繩28和2個(gè)垂吊具29。
2根鋼絲繩28都在向下側(cè)延伸的頂端具有吊鉤28a (參照?qǐng)D6)。吊鉤 28a具有防脫落用的爪，由此能夠防止鉤掛在吊鉤28a上的支架等部件脫 落。并且，兩根鋼絲繩的長(zhǎng)度相同，主要用于懸吊圖29所示的涂敷頭片121 (或122)(參照?qǐng)D7)。因此，當(dāng)使用兩根鋼絲繩28懸吊涂敷頭片121 (或 122)時(shí)，能夠?qū)⑼糠箢^片121 (或122)維持水平并懸吊支承涂敷頭片121 (或122)。
垂吊具29 (參照?qǐng)D3)在懸吊組裝好的涂敷頭120時(shí)使用(參照?qǐng)D8)。 如后面將要敘述的那樣，當(dāng)將涂敷頭120搬入液體涂敷裝置101時(shí)，吊鉤49b安裝到涂敷頭120上。該吊鉤49b鉤掛垂吊具29，使用吊車20吊起涂 敷頭120。另外，垂吊具29的結(jié)構(gòu)與吊鉤28a相同，因此省略其詳細(xì)說(shuō)明。
這種結(jié)構(gòu)的搬送單元2當(dāng)使臂升降機(jī)構(gòu)30的吊車操縱手柄40正向旋 轉(zhuǎn)(本實(shí)施例為圖5中的向右旋轉(zhuǎn))時(shí)，鏈條34被巻繞部38巻繞，升降 體24上升?；蛘?，當(dāng)使吊車操縱手柄40逆向旋轉(zhuǎn)(本實(shí)施例中為圖5中 的左向旋轉(zhuǎn))，鏈條34從巻繞部38上抽出，升降體24下降。
如圖9至圖11所示，組裝單元3具有與地面接觸的腿部50 (參照?qǐng)D 10)、設(shè)置在腿部50上的組裝單元主體52、設(shè)置在組裝單元主體52上的載 置臺(tái)54和組裝臺(tái)70(參照?qǐng)D9)，以及用來(lái)使組裝臺(tái)70轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)60。 而且，組裝單元3具有能夠自由脫離地安裝在該組裝單元3上的、后述的 V型塊46 (參照?qǐng)D13)，以及自由裝卸地安裝在涂敷頭片121、 122或涂敷 頭120上使用的支架類42、 44、 49a、 49b (參照?qǐng)D8、圖13)。
組裝單元3 (參照?qǐng)D10)的腿部50具有支承組裝單元的4條腿部構(gòu)件 50a和安裝在各腿部構(gòu)件50a下部的小腿輪50b。組裝單元3的腿部50的 高度比搬送單元2的腿部10的高度高，搬送單元2的腿部10能夠插入位 于組裝單元3的腿部50上的組裝單元主體52下側(cè)的間隙S2內(nèi)?！熠啵ㄟ^(guò) 將搬送單元2的腿部10插入組裝單元主體52下側(cè)的4條腿部構(gòu)件50a之 間形成的間隙S2內(nèi)，能夠裝配配置搬送單元2和組裝單元3 (參照?qǐng)D15)。 換言之，能夠使組裝單元主體52位于搬送單元2的腿部10上方的空間Sl (參照?qǐng)D4)內(nèi)，用組裝單元3跨過(guò)搬送單元2的腿部10，通過(guò)變成這種 狀態(tài)能夠裝配配置搬送單元2和組裝單元3。并且，在各腿部構(gòu)件50a的下 端根據(jù)情況安裝有4個(gè)小腿輪50b。由于具有這樣的小腿輪50b，組裝單元 3能夠在地面上自由地移動(dòng)。
并且，在組合配置搬送單元2和組裝單元3的狀態(tài)下(參照?qǐng)D15)，當(dāng) 向組裝單元3 —側(cè)移動(dòng)搬送單元2時(shí)，能夠使搬送單元2與組裝單元3接 觸，在接觸的狀態(tài)下能夠使兩個(gè)單元2、 3整體地移動(dòng)。反之，即使在向搬 送單元2 —側(cè)移動(dòng)組裝單元3的情況下，同樣能夠使搬送單元2與組裝單 元3接觸，在接觸的狀態(tài)下能夠使兩個(gè)單元2、 3整體地移動(dòng)。這樣一來(lái)， 能夠簡(jiǎn)單地使兩個(gè)單元2、 3整體地移動(dòng)。
載置臺(tái)54和組裝臺(tái)70配置在組裝單元3上。載置臺(tái)54和組裝臺(tái)70都是載置涂敷頭120或涂敷頭片121、 122等細(xì)長(zhǎng)部件的工作臺(tái)，能夠沿組 裝單元主體52的長(zhǎng)度方向載置涂敷頭120或涂敷頭片121、 122。并且，在 將組裝單元3與搬送單元2相鄰組合配置的情況下，將載置臺(tái)54配置到吊 車20 —側(cè)、將組裝臺(tái)70配置到與吊車20 —側(cè)相反的一側(cè)地配置組裝單元 3 (參照?qǐng)D15)。
載置臺(tái)54固定到組裝單元主體52上，載置臺(tái)54的上表面為向水平方 向擴(kuò)寬的平面。并且，在載置臺(tái)54的上表面上粘貼有緩沖材料(未圖示)。 因此，能夠防止當(dāng)將涂敷頭片等載置物載置到載置臺(tái)54上時(shí)損傷載置物。 作為緩沖材料可以列舉例如氨基甲酸乙酯制的海綿狀物等。并且，如后面 將要敘述的那樣，本實(shí)施例中載置臺(tái)54作為載置構(gòu)成涂敷頭120的零部件 中從后面搬入的第1涂敷頭片121的場(chǎng)所使用。并且，雖然本實(shí)施例中為 了能夠在2個(gè)地方支承載置的第1涂敷頭片121而將載置臺(tái)54隔開(kāi)間隔分 割配置在2個(gè)地方，但也可以設(shè)置在3個(gè)以上的地方或連成一體。
用于使組裝臺(tái)70 (參照?qǐng)D9)轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)60具有通過(guò)設(shè)置在組 裝單元主體52上的軸承61旋轉(zhuǎn)自由地支承著的軸62，設(shè)置在組裝單元主 體52上、用輸出軸63連接到軸62上的減速器64，安裝在減速器64的輸 入軸65 (參照?qǐng)D9)上的轉(zhuǎn)動(dòng)手柄66。因此，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄66時(shí)，軸 62以規(guī)定的減速比減速后的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
組裝臺(tái)70通過(guò)支座72—體地固定在軸62上。因此，當(dāng)軸62旋轉(zhuǎn)時(shí)， 組裝臺(tái)70也一體旋轉(zhuǎn)。
如果更詳細(xì)說(shuō)明，組裝臺(tái)70具有當(dāng)搬入搬出第2涂敷頭片122時(shí)作為 承載涂敷頭片的支臺(tái)使用的組裝臺(tái)座74(參照?qǐng)D12)，以及在與涂敷頭120 的安裝目的地的液體涂敷裝置101之間搬入搬出涂敷頭120時(shí)作為承載它 的支臺(tái)使用的搬入搬出底座76。
組裝臺(tái)座74的承載載置物的載置面(圖12 (A)的狀態(tài)下為上表面) 74a為平面。并且，載置面74a上粘貼有緩沖材料(未圖示)。因此，當(dāng)將 第2涂敷頭片122等載置物載置到組裝臺(tái)座74上時(shí)能夠防止損傷載置物。 另外，本實(shí)施例中組裝臺(tái)座74如后面將要敘述的那樣作為載置兩涂敷頭片 121、 122中先搬入的第2涂敷頭片122的場(chǎng)所使用。并且，雖然本實(shí)施例 中為了能夠在2個(gè)地方支承載置的第2涂敷頭片122而將組裝臺(tái)座74隔開(kāi)間隔分割配置在2個(gè)地方，但也可以設(shè)置在3個(gè)以上的地方或連成一體。
搬入搬出底座76如圖9或圖12 (A)所示為配置在組裝臺(tái)座74的軸 62端部上的部件， 一體地固定到軸62上。并且，搬入搬出底座76的表面 (面向組裝臺(tái)座74—側(cè)的面)76a為平面，搬入搬出底座76的該表面76a 與組裝臺(tái)座74的載置面74a之間的夾角為直角。即，組裝臺(tái)座74和搬入 搬出底座76以互相成直角的狀態(tài)配置。
組裝臺(tái)70能夠在圖9至圖11和圖12 (A)所示位置的第1位置和圖 12 (B)所示位置的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)。第1位置上組裝臺(tái)座74的載置面 水平，搬入搬出底座76的載置面垂直。該第1位置為將第2涂敷頭片122 載置到組裝臺(tái)70的組裝臺(tái)座74上時(shí)的位置。另外，第2位置上搬入搬出 底座76的載置面為水平，組裝臺(tái)座74的載置面垂直。該第2位置為在與 安裝目的地的液體涂敷裝置101之間搬入搬出組裝后的涂敷頭120時(shí)的位 置。
于是，當(dāng)使轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的轉(zhuǎn)動(dòng)手柄66正向旋轉(zhuǎn)(圖10中向右旋轉(zhuǎn)) 到限定位置時(shí)，組裝臺(tái)70轉(zhuǎn)動(dòng)，組裝臺(tái)座74與圖中沒(méi)有表示的定位塊相 抵接，組裝臺(tái)70移動(dòng)到第1位置并被定位在該位置上。并且，當(dāng)使轉(zhuǎn)動(dòng)手 柄66逆向旋轉(zhuǎn)(圖10中向左旋轉(zhuǎn))到限定位置時(shí)，組裝臺(tái)70逆向轉(zhuǎn)動(dòng)， 搬入搬出底座76與圖中沒(méi)有表示的其他的定位塊相抵接，組裝臺(tái)70移動(dòng) 到第2位置并被定位在該位置上。
如圖13所示，垂吊用支架42為安裝在涂敷頭片121、 122兩端使用的 部件，具有用于安裝到涂敷頭片121、 122上的止動(dòng)孔42a和供鋼絲繩28 的吊鉤28a鉤掛的卡合孔42b。因此，在將該垂吊用支架42安裝到涂敷頭 片121、 122上的情況下，能夠?qū)⒙菟?未圖示)穿插到止動(dòng)孔42a中連接 安裝。并且，由于垂吊用支架42為安裝在涂敷頭片121、 122兩端使用的 部件，因此2個(gè)一組使用。另外，圖13中省略了涂敷頭片121、 122的朝 上側(cè)的抵接面121b、 122b的狀態(tài)的圖示。
旋轉(zhuǎn)用支架44為安裝到涂敷頭片121、 122兩端使用的部件，具有用 來(lái)安裝到涂敷頭片121、 122上的止動(dòng)孔44a、夾著止動(dòng)孔44a形成在兩側(cè) 的卡合孔44b、以及向支架外面突出的軸部44c。因此，是與垂吊用支架42 一樣為能夠通過(guò)將螺栓(未圖示)穿插到止動(dòng)孔42a中進(jìn)行連接來(lái)安裝到涂敷頭片121、 122上的部件，能夠2個(gè)一組使用。并且，卡合孔44b為供 鋼絲繩28的吊鉤28a鉤掛的結(jié)構(gòu)，軸部44c為能夠由后面說(shuō)明的V型塊 46的V型槽46a以能夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)支承的部件。
V型塊46在其上面具有V字形截面形狀的V型槽46a。該V型塊46 為裝卸自由地安裝到設(shè)置在組裝單元3的組裝單元主體52上的一對(duì)組件底 座52a上的部件，2個(gè)一組使用。在第1涂敷頭片121載置到載置臺(tái)54上 時(shí)，組件底座52a被配置在位于該第1涂敷頭片121兩端位置外側(cè)的位置 上。并且，V型塊46在處于使V型槽46a延伸的方向與將第1涂敷頭片 121載置到載置臺(tái)54上時(shí)的長(zhǎng)度方向一致的狀態(tài)下安裝到組件底座52a上。 這樣一來(lái)， 一對(duì)V型塊46在夾著載置臺(tái)54的狀態(tài)下安裝到組件底座52a 上。因此，如果在V型塊46安裝到組件底座52a上的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)用支架 44使安裝在兩端的第1涂敷頭片121下降到載置臺(tái)54的位置，則通過(guò)V 型塊46的V型槽46a能夠在使旋轉(zhuǎn)用支架44的軸部44c可以旋轉(zhuǎn)的狀態(tài) 下對(duì)其進(jìn)行支承。
下面用圖14到圖26說(shuō)明用上述結(jié)構(gòu)的涂敷頭組裝裝置組裝涂敷頭120 的作業(yè)和將組裝好的涂敷頭120安裝到液體涂敷裝置101中的作業(yè)。另外， 由于圖14到圖26簡(jiǎn)易地表示了涂敷頭組裝裝置的結(jié)構(gòu)，因此在說(shuō)明詳細(xì) 結(jié)構(gòu)的情況下參照?qǐng)D2至圖13進(jìn)行說(shuō)明。
首先，將收容有第2涂敷頭片122的殼體122c搬送到升降體24的正 下方位置上(參照?qǐng)D14)，打開(kāi)殼體122c的蓋122d (參照?qǐng)D15)。此時(shí)， 使第2涂敷頭片122的與第1涂敷頭片121接觸的抵接面122b處于上側(cè)、 并且使成為第2涂敷頭片122的噴出口的齒頂部122a朝向搬送單元2的吊 車主體22 —側(cè)的狀態(tài)地配置殼體122c。另外，在第2涂敷頭片122較重的 情況下，也可以不移動(dòng)收容有第2涂敷頭片122的殼體122c而直接使涂敷 頭組裝裝置移動(dòng)到該殼體122c的位置。這一點(diǎn)在搬入第1涂敷頭片121時(shí) 也一樣。
然后，通過(guò)螺栓固定將垂吊用支架42 (參照?qǐng)D13 (A))安裝到處于收 容到殼體122c的狀態(tài)下的第2涂敷頭片122的兩端。另外，將垂吊用支架 等支架安裝到第2涂敷頭片122上時(shí)，在第2涂敷頭片122與支架之間設(shè) 置用來(lái)防止損傷的圖中沒(méi)有表示的密封件。這一點(diǎn)在將支架安裝到第1涂敷頭片121上時(shí)也一樣。
接著，使用搬送單元2的控制桿26d將滑動(dòng)桿26移動(dòng)到升降臂24b的 頂端。然后使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，從巻繞部38中抽出鏈條34，使升降 體24下降，使2根鋼絲繩28頂端的吊鉤28a鉤掛在安裝于第2涂敷頭片 122兩端的垂吊用支架42的卡合孔42b中(參照?qǐng)D14、圖6)。
然后使吊車操縱手柄40正轉(zhuǎn)，用巻繞部38巻繞鏈條34，使升降體24 上升到第2涂敷頭片122的高度比組裝臺(tái)70高的位置。然后，用控制桿26d 將升降體24的滑動(dòng)桿26后退移動(dòng)到升降臂24b的根部一側(cè)(吊車主體22 一側(cè))，使懸吊狀態(tài)下的第2涂敷頭片122移動(dòng)到組裝臺(tái)70的正上方，使 吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，使第2涂敷頭片122緩慢下降移動(dòng)，移載到組裝臺(tái) 70上(參照?qǐng)D15)。然后，從垂吊用支架42中取下吊鉤28a。另外，當(dāng)將 第2涂敷頭片122移載到組裝臺(tái)70上時(shí)，在移載之前預(yù)先使組裝臺(tái)70轉(zhuǎn) 動(dòng)到第1位置(參照?qǐng)D12 (A))。當(dāng)將第2涂敷頭片122移載到第1位置 狀態(tài)下的組裝臺(tái)70上時(shí)，第2涂敷頭片122在抵接面122b水平并且朝上 一側(cè)的狀態(tài)下移載到組裝臺(tái)70上。
當(dāng)?shù)?涂敷頭片122的移載結(jié)束時(shí)，將收容了第1涂敷頭片121的殼 體121c搬送到與搬送單元2相鄰的位置(參照?qǐng)D16)，打開(kāi)殼體121c的蓋 121d (參照?qǐng)D15)。此時(shí)使第1涂敷頭片121的與第2涂敷頭片122接觸的 抵接面121b處于上側(cè)、并且使第1涂敷頭片121的齒頂部121a處于朝向 與搬送單元2的吊車主體22—側(cè)相反的一側(cè)的狀態(tài)下配置殼體121c。并且， 通過(guò)螺栓緊固按與第2涂敷頭片122時(shí)的順序相同的順序?qū)⒋沟跤弥Ъ?2 安裝到第1涂敷頭片121的兩端(參照?qǐng)D16)。
接著，使用控制桿26d將滑動(dòng)桿26移動(dòng)到升降體24的升降臂24b的 頂端，然后使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，使升降體24下降，使2根鋼絲繩28 頂端的吊鉤28a鉤掛在安裝于第1涂敷頭片121兩端的垂吊用支架42的卡 合孔42b中。然后使吊車操縱手柄40正轉(zhuǎn)，使升降體24上升到第1涂敷 頭片121的高度比載置臺(tái)54高的位置。然后，用控制桿26d將滑動(dòng)桿26 移動(dòng)到升降臂24b的后端一側(cè)，使懸吊狀態(tài)下的第1涂敷頭片121移動(dòng)到 載置臺(tái)54的正上方，使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，使第1涂敷頭片121緩慢 下降移動(dòng)，移載到載置臺(tái)54上(參照?qǐng)D17)。然后，從垂吊用支架42中取下吊鉤28a。
接著，將第1涂敷頭片121兩端的支架由垂吊用支架42更換(參照?qǐng)D 18)成旋轉(zhuǎn)用支架44 (參照?qǐng)D13 (B))。另外，由于當(dāng)將第1涂敷頭片121 載置到載置臺(tái)54上時(shí)，第1涂敷頭片121的兩端變成從載置臺(tái)54的端部 突出的狀態(tài)，變成不妨礙將支架安裝到第1涂敷頭片121兩端的周圍的狀 態(tài)，因此能夠簡(jiǎn)單地將支架安裝到第1涂敷頭片121的兩端。并且，通過(guò) 從兩端支承位于兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)用支架44的軸部44c，安裝了旋轉(zhuǎn)用支架44 的第1涂敷頭片121處于能夠旋轉(zhuǎn)地被支承的狀態(tài)。
接著，將2個(gè)吊鉤28a鉤掛到安裝在第1涂敷頭片121兩端的旋轉(zhuǎn)用 支架44的卡合孔44b中(參照?qǐng)D18、圖13 (B))。然后使吊車操縱手柄 40正轉(zhuǎn)，使升降體24上升，使第1涂敷頭片121處于懸掛在載置臺(tái)54上 方的狀態(tài)。
然后通過(guò)螺栓固定將用來(lái)能夠旋轉(zhuǎn)地支承第1涂敷頭片121的V型塊 46 (參照?qǐng)D13 (B))設(shè)置到位于組裝單元主體52上的載置臺(tái)54兩外側(cè)的 組件底座52a上(參照?qǐng)D19)。另夕卜，此時(shí)使V型塊46的V型槽46a的延 伸方向與第l涂敷頭片121的延伸方向即組裝單元主體52的長(zhǎng)度方向相同 地將V型塊46設(shè)置到組裝單元主體52的組件底座52a上。
當(dāng)使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)、使升降體24下降時(shí)，由于旋轉(zhuǎn)用支架44 的軸部44c處于與V型塊46的V型槽46a相抵接的狀態(tài)，因此如果在該 狀態(tài)下從旋轉(zhuǎn)用支架44的卡合孔44b中取出2個(gè)吊鉤28a，則第1涂敷頭 片121經(jīng)由旋轉(zhuǎn)用支架44的軸部44c由V型塊46被支承為能夠旋轉(zhuǎn)的狀 態(tài)(參照?qǐng)D20)。
當(dāng)在這種狀態(tài)下使第1涂敷頭片121圍繞軸部44c旋轉(zhuǎn)180°時(shí)，第1 涂敷頭片121變成朝向組裝到組裝臺(tái)70上的第2涂敷頭片122的方向。然 后將吊車20的2個(gè)吊鉤28a分別鉤掛到通過(guò)這樣旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)到上側(cè)的旋轉(zhuǎn)用 支架44的其他卡合孔44b中。接著使吊車操縱手柄40正轉(zhuǎn)，使升降體24 上升，使第1涂敷頭片121變成懸掛在載置臺(tái)54上方的狀態(tài)(參照?qǐng)D21 )。
然后從載置臺(tái)54上取下V型塊46，使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，使升降 體24下降，再次將第1涂敷頭片121載置到載置臺(tái)54上。接著從第1涂 敷頭片121的兩端取下旋轉(zhuǎn)用支架44。此時(shí)，第1涂敷頭片121變成朝向安裝到組裝臺(tái)70上的第2涂敷頭片122的方向的狀態(tài)。并且，在此時(shí)垂吊 用支架42仍安裝在第2涂敷頭片122上的情況下，在此從第2涂敷頭片122 上取下垂吊用支架42 (參照?qǐng)D22)。然后，用帶有洗凈液的棉布等擦拭沒(méi) 有安裝支架狀態(tài)下的兩涂敷頭片121、 122，進(jìn)行清掃和洗凈。
洗凈作業(yè)后，將襯墊123 (參照?qǐng)D27)載置到組裝臺(tái)70上的第2涂敷 頭片122的上面(即第2涂敷頭片122的與第1涂敷頭片121的抵接面121b 重疊的抵接面122b—側(cè))上。另外，在將襯墊123載置到第2涂敷頭片122 上時(shí)，之前清掃和洗凈襯墊123的與第2涂敷頭片122的接觸面。然后將 襯墊123載置到第2涂敷頭片122上，進(jìn)行位置對(duì)齊，然后清掃和洗凈襯 墊123的與第1涂敷頭片121的接觸面，確認(rèn)處于位置對(duì)齊的狀態(tài)。
接著，通過(guò)螺栓連接將用于涂敷頭片之間位置對(duì)齊的位置對(duì)齊用板48 安裝到載置在組裝臺(tái)70上的第2涂敷頭片122上(參照?qǐng)D27)，另一方面， 將垂吊用支架42安裝到第1涂敷頭片121的兩端(參照?qǐng)D22)。如圖所示， 位置對(duì)齊用板48為安裝到第2涂敷頭片122的后端面上使用的部件。這樣 一來(lái)，如果預(yù)先將位置對(duì)齊用板48安裝到第2涂敷頭片122上的話，則將 第1涂敷頭片121組裝到第2涂敷頭片122上時(shí)，能夠簡(jiǎn)單并且迅速地對(duì) 齊兩涂敷頭片121、 122的后端面的位置。
接著將鋼絲繩28的吊鉤28a鉤掛到垂吊用支架42的卡合孔42b中， 使吊車操縱手柄40正轉(zhuǎn)、使升降體24上升，將第1涂敷頭片121吊起。 并且，用控制桿26d使滑動(dòng)桿26移動(dòng)到升降體24的頂端，使第l涂敷頭 片121位于第2涂敷頭片122的上方，然后使吊車操縱手柄40逆轉(zhuǎn)，使升 降體24下降，使第1涂敷頭片121的朝向下側(cè)的抵接面121b與第2涂敷 頭片122的朝向上側(cè)的抵接面122b位置對(duì)齊，并且在中間夾著襯墊123的 狀態(tài)下重疊，通過(guò)螺栓連接組裝第2涂敷頭片122和第1涂敷頭片121，組 裝涂敷頭120 (參照?qǐng)D23)。
當(dāng)通過(guò)以上的作業(yè)組裝好涂敷頭120時(shí)，取下安裝到第2涂敷頭片122 上的位置對(duì)齊用板48，取下第1涂敷頭片121兩端的垂吊用支架42。然后 將圖中沒(méi)有表示的保護(hù)蓋160 (參照?qǐng)D26)安裝到涂敷頭120的噴嘴狀噴 出口部分上。
然后，轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄66 (參照?qǐng)D9)，使組裝臺(tái)70圍繞長(zhǎng)度方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)90° (參照?qǐng)D24)，從第1位置(參照?qǐng)D12 (A))轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置。 這樣一來(lái)，被保護(hù)蓋160保護(hù)的由齒頂部121a、 122a構(gòu)成的噴出口部分處 于下側(cè)，載置到組裝臺(tái)70上的涂敷頭120在載置到保護(hù)蓋160上的狀態(tài)下 載置到搬入搬出底座76上，朝向安裝到液體涂敷裝置101的方向。
在這種狀態(tài)下，將把手49a、吊鉤49b、安裝到液體涂敷裝置101上時(shí) 使用的圖中沒(méi)有表示的附件安裝到位于上側(cè)的涂敷頭120的上面(參照?qǐng)D 8、圖25)。另外，吊鉤49b為用吊車20吊起涂敷頭120時(shí)作為鉤掛垂吊具 29的部分使用的部件，把手49a為將垂吊的涂敷頭120引導(dǎo)到所希望的狀 態(tài)時(shí)由作業(yè)者使用的部件。
然后，將吊車20的2個(gè)垂吊具29鉤掛到吊鉤49b上，使吊車操縱手 柄40正轉(zhuǎn)，吊起涂敷頭120 (參照?qǐng)D26)。此時(shí)，涂敷頭120的高度位于 比液體涂敷裝置101的滑動(dòng)體可動(dòng)部148 (參照?qǐng)D28)高的位置。并且， 在吊起涂敷頭120之前或之后移動(dòng)搬送單元2，使涂敷頭120與滑動(dòng)體可動(dòng) 部148平行。然后用控制桿26d將滑動(dòng)桿26移動(dòng)到升降體24的頂端，將 懸吊狀態(tài)下的涂敷頭120載置到液體涂敷裝置101的、處于拉出狀態(tài)下的 滑動(dòng)體可動(dòng)部148上。
如先前說(shuō)明過(guò)的那樣，由于當(dāng)將組裝臺(tái)70移動(dòng)到第2位置時(shí)涂敷頭120 朝向安裝到液體涂敷裝置101的方向，因此通過(guò)使吊車20緩慢地下降、將 涂敷頭120載置到滑動(dòng)體可動(dòng)部148上，能夠容易并且快速地將涂敷頭120 搬入液體涂敷裝置101中。當(dāng)涂敷頭120的搬入結(jié)束時(shí)，從吊鉤4%上取 下垂吊具29，并且從涂敷頭120上取下把手49a和吊鉤49b。然后使拉出 狀態(tài)的滑動(dòng)體可動(dòng)部148回到原來(lái)的位置，如果這樣，滑動(dòng)體可動(dòng)部148 上的涂敷頭120在涂敷機(jī)構(gòu)IIO行走的范圍內(nèi)移動(dòng)。因此，通過(guò)使涂敷機(jī) 構(gòu)110在涂敷頭120的正上方移動(dòng)，能夠?qū)⑼糠箢^120安裝到液體涂敷裝 置101的涂敷機(jī)構(gòu)110中。另外，由于取出安裝在液體涂敷裝置101中的 涂敷頭120的順序是將安裝順序倒過(guò)來(lái)進(jìn)行就可以，因此這里省略其說(shuō)明。
如從以上說(shuō)明能夠明白的那樣，如果采用實(shí)施例的涂敷頭的組裝裝置 1，由于組裝臺(tái)70能夠在第1位置與第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)，因此搬入第2涂 敷頭片122時(shí)能夠使組裝臺(tái)70轉(zhuǎn)動(dòng)到第1位置，組裝涂敷頭后將涂敷頭120 安裝到液體涂敷裝置101中時(shí)能夠使組裝臺(tái)70轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置。如果使用這樣的組裝臺(tái)，則在涂敷頭組裝完成后只要將組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置，就
能夠容易并且迅速地使組裝好的涂敷頭朝向適合安裝到液體涂敷裝置的方 向。因此，能夠容易并且迅速地將組裝好的涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中。
并且，如果采用本發(fā)明的涂敷頭的組裝裝置，由于從涂敷頭的組裝到 與液體涂敷裝置之間的搬入搬出這一連串的作業(yè)都只需用本發(fā)明的涂敷頭 的組裝裝置就能夠進(jìn)行，因此能夠效率極佳地進(jìn)行一連串的作業(yè)。
并且，由于從涂敷頭片搬入涂敷頭組裝裝置的搬入工序到組裝好的涂 敷頭搬出液體涂敷裝置的搬出工序的所有作業(yè)工序都只是使用吊車的作業(yè) 或轉(zhuǎn)動(dòng)組裝臺(tái)的作業(yè)，不需要人工抱著涂敷頭等運(yùn)輸，因此尤其適合于作 為重量較重的大型涂敷頭的組裝裝置使用。
并且，由于能夠在載置臺(tái)上使搬入的涂敷頭片旋轉(zhuǎn)，因此能夠容易并 且迅速地將涂敷頭片的方向改變成適合組裝時(shí)的方向。因此，能夠容易并 且迅速地組裝涂敷頭。并且，由于不需要在搬入之前預(yù)先用人工或者其他 的設(shè)備改變涂敷頭的朝向，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭的 組裝裝置使用。
并且，由于是設(shè)置了吊車的搬送單元與設(shè)置了載置臺(tái)和組裝臺(tái)的組裝 單元在能夠接近或分開(kāi)的狀態(tài)下組合的裝置，因此能夠自由地將互相之間 的位置關(guān)系設(shè)定、改變成易于作業(yè)的位置關(guān)系，提高了涂敷頭的組裝或分 解、與液體涂敷裝置之間的裝卸等一連串作業(yè)的作業(yè)性。并且，由于搬送 單元能夠在地面上移動(dòng)，因此不是將涂敷頭片搬送到涂敷頭的組裝裝置那 里，而是使搬送單元移動(dòng)到涂敷頭片那里，能夠?qū)⒃撏糠箢^片搬入到涂敷 頭的組裝裝置中。這樣一來(lái)，由于能夠?qū)⒆鳛榻M裝零部件的涂敷頭片的移 動(dòng)作業(yè)抑制在最小限度內(nèi)，因此尤其適合于作為重量較重的大型涂敷頭的 組裝裝置使用。
另外，本申請(qǐng)發(fā)明并不局限于以上的實(shí)施例，在不脫離其宗旨的范圍 內(nèi)可以進(jìn)行種種變形。
例如，用于吊起涂敷頭120或涂敷頭片121、 122的卡合孔可以考慮各 種各樣的形態(tài)。雖然上述實(shí)施例中涂敷頭片121、 122不具備用于卡住鋼絲 繩28的吊鉤28a的卡合孔，而是裝卸自由地安裝形成有卡合孔42b、 44b 等卡合結(jié)構(gòu)的支架42、 44或吊鉤49b，根據(jù)需要安裝它們能夠利用卡合孔等卡合結(jié)構(gòu)，但也可以在涂敷頭片121、 122自身上預(yù)先形成卡合孔。艮卩， 包含卡合孔的部分既可以是與涂敷頭片121、 122成為一體的結(jié)構(gòu)，也可以 是裝卸自由的結(jié)構(gòu)(也可以是形成在裝卸自由的構(gòu)件上)。
并且，也可以將用來(lái)固定滑動(dòng)桿26相對(duì)于升降體24的位置的鎖定結(jié) 構(gòu)設(shè)置在升降體24與滑動(dòng)桿26之間。例如，可以列舉分別在升降體24與 滑動(dòng)桿26的相對(duì)置的滑動(dòng)面上形成插入孔，在使升降體24的插入孔和滑 動(dòng)桿26的插入孔的位置一致的狀態(tài)下，將l根鎖定銷插入兩插入孔中，鎖 定滑動(dòng)桿26的位置這樣的結(jié)構(gòu)。
并且，雖然組裝臺(tái)70的搬入搬出底座76為在與液體涂敷裝置101之 間搬入搬出涂敷頭120時(shí)載置涂敷頭120的地方，但不一定需要載置臺(tái)用 的底座，只要是使涂敷頭120準(zhǔn)確地朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的部 件就可以。例如，既可以是本實(shí)施例這樣的當(dāng)使組裝臺(tái)70移動(dòng)到第2位置 時(shí)，僅用搬入搬出底座76就能夠使涂敷頭120準(zhǔn)確地朝向安裝到液體涂敷 裝置的方向的結(jié)構(gòu)，也可以是通過(guò)搬入搬出底座76與組裝臺(tái)座74協(xié)調(diào)動(dòng) 作能夠使涂敷頭120準(zhǔn)確地朝向安裝到液體涂敷裝置的方向的結(jié)構(gòu)。雖然 本實(shí)施例中涂敷頭120安裝到液體涂敷裝置101的方向?yàn)閲姵隹诓糠殖?的姿勢(shì)，但在例如朝向斜方向的狀態(tài)為安裝到液體涂敷裝置的方向的情況 下，相當(dāng)于搬入搬出底座76的部件也許不是載置用的底座，但是使涂敷頭 120朝向規(guī)定的安裝方向的部件。這樣一來(lái)，搬入搬出底座76可以說(shuō)是當(dāng) 使組裝臺(tái)70移動(dòng)到第2位置時(shí)，使涂敷頭120朝向安裝方向并保持在該方 向上的搬入搬出位置保持部件的一個(gè)實(shí)施例。
權(quán)利要求
1. 一種涂敷頭的組裝裝置，該涂敷頭的組裝裝置是裝配一對(duì)涂敷頭片而構(gòu)成的，在安裝到液體涂敷裝置的狀態(tài)下噴出涂敷到涂敷對(duì)象物上的液體，其特征在于，具有起重機(jī)，用于吊起并移動(dòng)上述涂敷頭或上述涂敷頭片；組裝臺(tái)，載置一個(gè)涂敷頭片或上述涂敷頭；以及，載置臺(tái)，載置另一個(gè)涂敷頭片；上述組裝臺(tái)能夠在載置上述一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置和將上述涂敷頭搬入搬出上述液體涂敷裝置時(shí)的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；通過(guò)用上述起重機(jī)吊起載置于上述載置臺(tái)上的上述另一個(gè)涂敷頭片，將上述另一個(gè)涂敷頭片重疊到載置在上述第1位置的上述組裝臺(tái)上的上述一個(gè)涂敷頭片上，能夠組裝上述涂敷頭；并且能夠用上述起重機(jī)吊起載置在轉(zhuǎn)動(dòng)到上述第2位置的狀態(tài)下的上述組裝臺(tái)上的上述涂敷頭，將其搬入并安裝于上述液體涂敷裝置。
2. 如權(quán)利要求1所述的涂敷頭的組裝裝置，其特征在于， 上述組裝臺(tái)的第2位置是使載置到該組裝臺(tái)上的上述涂敷頭朝向安裝到上述液體涂敷裝置的方向的位置；通過(guò)使載置了組裝好的上述涂敷頭的上述組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到上述第2位置， 能夠使載置到該組裝臺(tái)上的上述涂敷頭朝向上述安裝方向；能夠用上述起 重機(jī)吊起朝向該安裝方向的狀態(tài)下的上述涂敷頭，將其搬入并安裝于上述 液體涂敷裝置。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的涂敷頭的組裝裝置，其特征在于， 上述載置臺(tái)具有裝卸自由地設(shè)置在其兩端位置上的支承組件，以及，具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)支架，該旋轉(zhuǎn)軸由設(shè)置在該支承組件上面的軸承以能夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)進(jìn)行支承；該旋轉(zhuǎn)支架能夠自由裝卸地安裝于上述另一個(gè)涂敷頭片的兩端； 通過(guò)用上述起重機(jī)吊起安裝在該另一個(gè)涂敷頭片的兩端的旋轉(zhuǎn)支架，能夠吊起該另一個(gè)涂敷頭片；能夠用設(shè)置在上述載置臺(tái)上的支承組件的軸 承以能夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)支承懸吊狀態(tài)下的該另一個(gè)涂敷頭片的兩端的旋轉(zhuǎn)支 架的上述旋轉(zhuǎn)軸，通過(guò)使被支承著的該旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，能夠使另一個(gè)涂敷頭 片的朝向向著下述方向，即裝配到載置在上述組裝臺(tái)上的上述一個(gè)涂敷頭 片上的方向；通過(guò)用上述起重機(jī)吊起旋轉(zhuǎn)到該朝向上的上述另一個(gè)涂敷頭 片，使上述另一個(gè)涂敷頭片重疊在上述組裝臺(tái)上的一個(gè)涂敷頭片上，能夠 組裝上述涂敷頭。
4. 如權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的涂敷頭的組裝裝置，其特征在于，該涂敷頭的組裝裝置具有設(shè)置了上述起重機(jī)的搬送單元，以及，設(shè)置了上述載置臺(tái)和上述組裝臺(tái)的組裝單元；上述搬送單元和上述組裝單元在能夠互相靠近、離開(kāi)的狀態(tài)下組合； 上述搬送單元和上述組裝單元中的至少上述搬送單元具有使其能夠在地面上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
5. —種涂敷頭的組裝方法，所述涂敷頭將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵 接面重合的狀態(tài)下裝配構(gòu)成，安裝到液體涂敷裝置中而使用，其特征在于，使一個(gè)涂敷頭片呈抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)； 將另一個(gè)涂敷頭片在其抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下重疊到上述一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配兩涂敷頭片，由此組裝上述涂敷頭；在使組裝好的該涂敷頭朝向安裝到上述液體涂敷裝置的方向后，在該安裝朝向的狀態(tài)下將該涂敷頭搬入并安裝到上述液體涂敷裝置。
6. —種涂敷頭的組裝方法，所述涂敷頭將一對(duì)涂敷頭片在使彼此的抵 接面重合的狀態(tài)下裝配構(gòu)成，安裝到液體涂敷裝置中而使用，其特征在于，用起重機(jī)吊起一個(gè)涂敷頭片，在使其呈抵接面水平并且朝向上側(cè)的狀 態(tài)下將該一個(gè)涂敷頭片載置到組裝臺(tái)上；在使其抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下，用起重機(jī)吊起另一個(gè)涂敷頭片，將 該另一個(gè)涂敷頭片重疊到上述組裝臺(tái)上的上述一個(gè)涂敷頭片上來(lái)裝配兩涂敷頭片，由此組裝上述涂敷頭；在使組裝好的該涂敷頭朝向安裝到上述液體涂敷裝置的方向后，在該 安裝朝向的狀態(tài)下用起重機(jī)吊起該涂敷頭，搬入并安裝到上述液體涂敷裝 置。
7. 如權(quán)利要求6所述的涂敷頭的組裝方法，其特征在于， 上述組裝臺(tái)能夠在載置上述一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置和使組裝臺(tái)上組裝好的上述涂敷頭朝向安裝到上述液體涂敷裝置的方向的第2位置之間 轉(zhuǎn)動(dòng)；使組裝好的上述涂敷頭朝向安裝到上述液體涂敷裝置的方向的工序通 過(guò)使上述組裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到上述第2位置而進(jìn)行。
8. 如權(quán)利要求7所述的涂敷頭的組裝方法，其特征在于， 上述安裝的方向?yàn)橥糠箢^的液體噴出口位于下側(cè)、并且互相重合的抵接面為垂直的方向。
9. 如權(quán)利要求7或8所述的涂敷頭的組裝方法，其特征在于， 在使上述另 一個(gè)涂敷頭片的抵接面朝向下側(cè)的狀態(tài)下用起重機(jī)吊起上述另一個(gè)涂敷頭片的工序?yàn)槭褂眯D(zhuǎn)支架與支承組件的工序，該旋轉(zhuǎn)支架 能夠自由裝卸地安裝到上述另一個(gè)涂敷頭片的兩端，該支承組件在能夠使 該旋轉(zhuǎn)支架旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行支承；上述工序是通過(guò)下述步驟而進(jìn)行的，即將上述旋轉(zhuǎn)支架安裝到在使抵 接面水平并且朝向上側(cè)的狀態(tài)下載置到載置臺(tái)上的上述另一個(gè)涂敷頭片的 兩端，用起重機(jī)吊起該另一個(gè)涂敷頭片后，將上述支承組件設(shè)置到上述載 置臺(tái)兩端的位置上，使上述另一個(gè)涂敷頭片下降，用上述支承組件支承安 裝在該另一個(gè)涂敷頭片兩端的上述旋轉(zhuǎn)支架，然后使上述另一個(gè)涂敷頭片 旋轉(zhuǎn)，使其抵接面朝向下側(cè)，用起重機(jī)進(jìn)行起吊。
全文摘要
提供一種能夠容易并且迅速地將涂敷頭的零部件移載到組裝臺(tái)等上、而且能夠容易并且迅速地將組裝好的涂敷頭安裝到液體涂敷裝置中的涂敷頭的組裝裝置。涂敷頭的組裝裝置具有起吊涂敷頭等用的吊車(20)、載置一個(gè)涂敷頭片的組裝臺(tái)(70)、以及載置另一個(gè)涂敷頭片的載置臺(tái)(54)；組裝臺(tái)(70)能夠在載置一個(gè)涂敷頭片時(shí)的第1位置與將組裝好的涂敷頭搬出到液體涂敷裝置中時(shí)的第2位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)涂敷頭組裝好后將組裝臺(tái)(70)轉(zhuǎn)動(dòng)到第2位置時(shí)，組裝臺(tái)(70)上的涂敷頭朝向適合于安裝到液體涂敷裝置的方向，在這種狀態(tài)下能夠用吊車(20)吊起安裝。
文檔編號(hào)B23P21/00GK101450443SQ20081017803
公開(kāi)日2009年6月10日 申請(qǐng)日期2008年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月6日
發(fā)明者德永英樹(shù) 申請(qǐng)人:平田機(jī)工株式會(huì)社