專利名稱：激光加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在工作臺(tái)表面具備與內(nèi)部的空間部連通的孔，通過(guò)將上述 空間部連接于負(fù)壓源，而將工件吸附于工作臺(tái)表面的激光加工機(jī)。
背景技術(shù)：
一般地，在印刷基板(以下，稱為"工件")上加工孔的激光加工機(jī)， 通過(guò)將工件吸附于工作臺(tái)上來(lái)進(jìn)行固定的。由于這些被激光鉆孔加工的工 件大小各式各樣，因此以往提出有，例如將工作臺(tái)主體的內(nèi)部用隔開(kāi)部件 隔開(kāi)，并能夠配合工件來(lái)改變吸附區(qū)域的激光加工機(jī)(參照專利文獻(xiàn)l)。 于是，不僅能夠可靠地將工件吸附于工作臺(tái)，而且真空源能夠有效地動(dòng)作。另外，還存在這樣的激光加工機(jī)，即，在一臺(tái)激光機(jī)上設(shè)置多個(gè)激光 照射部，并且預(yù)先在工作臺(tái)上配置多個(gè)工件，并幾乎同時(shí)加工多個(gè)工件，從而提高加工效率的激光加工機(jī)(參照專利文獻(xiàn)2 )。 專利文獻(xiàn)l:日本專利特開(kāi)2000-334593號(hào)7>1艮。 專利文獻(xiàn)2:日本專利特開(kāi)2000-263271號(hào)7>才艮在使用上述的真空源固定工件的激光加工機(jī)的情況下，為了將工件從 工作臺(tái)上取下，而需要將工作臺(tái)內(nèi)部空間部的壓力(負(fù)壓)設(shè)為接近大氣 壓的值，然而上述文獻(xiàn)1及2記栽的激光加工機(jī)是設(shè)置電磁閥，并通過(guò)使 該電磁閥動(dòng)作而將工作臺(tái)內(nèi)部的空間部與大氣連接，從而將工件從工作臺(tái) 上取下。上述電磁閥，通過(guò)使工作臺(tái)內(nèi)部的空間部與大氣進(jìn)行斷開(kāi)、連接，從 而能夠?qū)⒐ぜ潭ㄓ诠ぷ髋_(tái)，或者從工作臺(tái)上取下，其配設(shè)于離開(kāi)工作臺(tái) 的位置，并通過(guò)軟管與工作臺(tái)內(nèi)部的空間部連接。該軟管，針對(duì)每個(gè)電磁 閥至少需要一根，因而在工作臺(tái)移動(dòng)及停止時(shí)會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。因此，即使工作臺(tái)在加工位置停止，軟管的振動(dòng)也不會(huì)立即結(jié)束，當(dāng) 在該振動(dòng)結(jié)束之前開(kāi)始加工時(shí)，則軟管的振動(dòng)傳到工作臺(tái)會(huì)使加工精度降
低。另一方面，如果待機(jī)到軟管的振動(dòng)結(jié)束為止，則會(huì)降低加工效率。特別是軟管的口徑較大時(shí)，由于其剛性^量較大，因此傳給工作臺(tái) 的振動(dòng)也變大，對(duì)加工精度的影響也變大。另外，到其結(jié)束為止的時(shí)間也 變長(zhǎng)，因而加工效率也降低。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種可提高加工效率及加工精度的激 光加工機(jī)。技術(shù)方案1涉及的發(fā)明是一種激光加工機(jī)，在栽置工件的工作臺(tái)(2) 表面，具備與內(nèi)部的空間部(2A、 2B)連通的孔(2b)，通過(guò)將上述空間 部(2A、 2B)與負(fù)壓源(l)連接，而將工件吸附于上述工作臺(tái)(2)表面， 其特征在于，:沒(méi)置將上述空間部(2A、 2B)與大氣或者上述負(fù)壓源(1)連接的壓 力切換裝置(6)，并將該壓力切換裝置(6)配置于上述工作臺(tái)(2)。技術(shù)方案2涉及的發(fā)明，在技術(shù)方案1所述的激光加工機(jī)的基礎(chǔ)上， 上i^H力切換裝置(6 )，構(gòu)成為具有與上述負(fù)壓源(1 )連接的負(fù)壓室(Rl); 壓力切換室(R3、 R4),其與上述工作臺(tái)(2)的內(nèi)部的空間部(2A、 2B) 連通，并且與上述負(fù)壓室(Rl)及大氣連接；閘門部件(25a、 25b )，其 使上述壓力切換室(R3、 R4)選擇性地與上述負(fù)壓室(Rl)或者大氣中 的一方連接；驅(qū)動(dòng)上述閘門部件(25a、 25b)的閘門部件驅(qū)動(dòng)單元(7a、 7b);控制上述閘門部件(25a、 25b )的驅(qū)動(dòng)的閘門部件控制單元(6a)。技術(shù)方案3涉及的發(fā)明，在技術(shù)方案2所述的激光加工機(jī)的基礎(chǔ)上， 上iiii力切換室(R3、 R4)，內(nèi)藏上述閘門部件(25a、 25b )，并且具有 與上述負(fù)壓室(Rl)連接的第一貫穿孔(30a、 30c)，和與上述大氣連接 的第二貫穿孔(31a、 31c)，將上述閘門部件(25a、 25b )構(gòu)成為，在開(kāi)位置和閉位置自由地切換， 其中開(kāi)位置為，使上述笫一貫穿孔(30a、 30c)開(kāi)放，并且關(guān)閉上述第二 貫穿孔(31a、 31c)的位置；閉位置為，關(guān)閉上述第一貫穿孔(30a、 30c)， 并且使上述第二貫穿孔(31a、 31c)開(kāi)放的位置。
技術(shù)方案4涉及的發(fā)明，在技術(shù)方案2或3所述的激光加工機(jī)的^ 上，上述激光加工機(jī)具有上述工作臺(tái)(2)內(nèi)部的多個(gè)空間部(2A、 2B)， 并且上述壓力切換裝置(6)，構(gòu)成為具有 一個(gè)上述負(fù)壓室(Rl);和與 這些工作臺(tái)(2)內(nèi)部的多個(gè)空間部(2A、 2B)相對(duì)應(yīng)的數(shù)量的上述壓力 切換室(R3、 R4)及上述閘門部件(25a、 25b )。技術(shù)方案5涉及的發(fā)明，在才支術(shù)方案1至4所述的任意一項(xiàng)激光加工 機(jī)的基礎(chǔ)上，上述壓力切換裝置(6)，被安裝在上述工作臺(tái)(2)的下面.根據(jù)技術(shù)方案1涉及的發(fā)明，由于將壓力切換裝置直接配設(shè)在工作臺(tái) 上，因此可以不需要用于壓力切換的軟管，由此，工作臺(tái)停止在加工位置 就能夠立即在工件上開(kāi)始鉆孔加工，從而能夠提高加工效率。另外，由于 軟管的振動(dòng)不傳給工作臺(tái)，因此也能夠提高加工精度。根據(jù)技術(shù)方案2涉及的發(fā)明，通過(guò)利用比電磁閥更大口徑的閘門部件 來(lái)切換工作臺(tái)內(nèi)部的空間部的壓力，能夠快速地切換工作臺(tái)內(nèi)部的空間部 的壓力，因而提高了加工效率。根據(jù)技術(shù)方案3涉及的發(fā)明，將閘門內(nèi)藏于壓力切換室，通過(guò)使該閘 門部件移動(dòng)，而選擇性地關(guān)閉與負(fù)壓室連接的第一貫穿孔，和與大氣連接 的第二貫穿孔的中的一方，從而切換工作臺(tái)內(nèi)部的空間的壓力，由此能夠 將壓力切換裝置作成簡(jiǎn)單的構(gòu)成。才艮據(jù)4支術(shù)方案4涉及的發(fā)明，即使激光加工機(jī)具有工作臺(tái)內(nèi)部的多個(gè) 空間，也可以不需要用于壓力切換的軟管，因此不用像專利文獻(xiàn)l記載的、 針對(duì)每個(gè)工作臺(tái)內(nèi)部的空間部都需要多個(gè)軟管的激光加工機(jī)那樣，需要逐 一整理軟管，并且也不會(huì)因這多個(gè)軟管的振動(dòng)而降低加工效率和加工精 度。根據(jù)技術(shù)方案5涉及的發(fā)明，通過(guò)將壓力切換裝置配設(shè)在工作臺(tái)的下 面，而作成一種筒單的構(gòu)造，并且不會(huì)阻礙例如工件的安裝、取下，也不 會(huì)妨礙作業(yè)。


圖1為本發(fā)明涉及的激光加工機(jī)的空氣配管圖。 圖2為本發(fā)明涉及的激光加工機(jī)的壓力切換裝置附近的平面剖視圖。圖3為圖2中的A-A剖視圖。圖4為圖2中的B-B剖視圖。符號(hào)說(shuō)明如下l...負(fù)壓源；2…工作臺(tái)；2A…空間部；2B…空間部；2b…工作臺(tái)表面 的孔；6…壓力轉(zhuǎn)換裝置；6a…閘門部件控制單元；7a、 7b…汽缸；25a、 25b…閘門(閘門部件)；30a、 30c…第一貫穿孔；31a、 31b…第二貫穿孔； Rl…空間部(負(fù)壓室)；R3、 R4…間隙(壓力切換室)。
具體實(shí)施方式
接著，基于附圖對(duì)本申請(qǐng)發(fā)明涉及的激光加工機(jī)的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。 圖1是本發(fā)明涉及的激光加工機(jī)的空氣配管圖。工作臺(tái)2的構(gòu)成為在XY 方向自由移動(dòng)，并且具有在內(nèi)部被隔板2a劃分為兩個(gè)的空間部2A、 2B。 在工作臺(tái)2的表面，設(shè)置有與該空間部2A、 2B連接的多個(gè)貫穿孔2b…， 通過(guò)將空間部2A、 2B"&為負(fù)壓，而能夠固定兩個(gè)工件。空間部2A、 2B 通過(guò)壓力切換裝置6及軟管15而與負(fù)壓源1連接。壓力切換裝置6，被直 接安裝在工作臺(tái)2的下面。壓力計(jì)5a 5c表示空間部2A、 2B及軟管15 內(nèi)部的壓力。另夕卜在本實(shí)施方式中，雖然由隔板2a將工作臺(tái)內(nèi)部的空間 部2A、 2B分割成兩部分，然而該空間部也可以被進(jìn)一步分割，另外，也 可以是將在內(nèi)部具有空間部的多個(gè)工作臺(tái)連結(jié)起來(lái)的構(gòu)成。接下來(lái)，對(duì)壓力切換裝置6進(jìn)行說(shuō)明。圖2是從本發(fā)明涉及的激光加 工機(jī)的工作臺(tái)的下側(cè)，見(jiàn)察到的壓力切換裝置6附近的平面剖視圖，圖3為 圖2中的A-A剖視圖，圖4為圖2中的B-B剖視圖。如圖2所示，壓力切換裝置6的內(nèi)部，被分割成空間部(負(fù)壓室) Rl，以及作為與上述工作臺(tái)2內(nèi)部的空間部2A、 2B連通的預(yù)備室的空間 部R21和空間部R22。在空間部Rl和空間部R21之間，配置有隔壁20a、 20b;隔壁20a、 20b之間的間隙R3，其作為切換工作臺(tái)2內(nèi)部的空間部 2A壓力的壓力切換室；內(nèi)藏于該間隙R3的閘門(閘門部件)25a。另夕卜， 在空間部R1和空間部R22之間，還配置有隔壁20c、 20d;隔壁20c、 20d之間的間隙R4，其作為切換工作臺(tái)2內(nèi)部的空間部2A壓力的壓力切
換室；內(nèi)藏于該間隙R4的閘門(閘門部件)25b。上述20a、 20b與閘門 25a的間隔，以及隔壁20c、 20d與閘門25的間隔幾乎為0。在隔壁20a和隔壁20b上，在相對(duì)置的位置上分別形成有貫穿孔30a、 30b，貫穿孔30a，為連接作為負(fù)壓室的空間部R1和作為壓力切換室的間 隙R3的第一貫穿孔。在隔壁20c和隔壁20d上，在相對(duì)置的位置上分別 形成有貫穿孔30c、 30d，貫穿孔30c，也為連接作為負(fù)壓室的空間部Rl 和作為壓力切換室的間隙R4的第一貫穿孔。另外，在隔壁20b上形成有貫穿孔21b，其與容納有閘門25a的隔壁 20a、 20b之間的間隙R3的后方側(cè)R3i相連通，并在該隔壁20a、 20b之間 的間隙的后方側(cè)R3i上形成有與大氣連接的貫穿孔31a.因此，貫穿孔31a， 成為連接作為壓力切換室的間隙R3和大氣的第二貫穿孔。同樣，在隔壁20d上形成有貫穿孔21d，其與收納有閘門25b的隔壁 20c、 20d之間的間隙的后側(cè)方R4i相連通，并在該隔壁20c、 20d之間的 間隙的后方側(cè)(圖2中收納有閘門25b的部分)上，形成有與大氣連 接的貫穿孔31b。因此，貫穿孔21d，也成為連接作為壓力切換室的間隙 R4和大氣的第二貫穿孔。汽缸(閘門部件驅(qū)動(dòng)單元)7a、 7b,接受來(lái)自閘門部件控制單元6a (參 見(jiàn)圖1)的信號(hào)，分別4吏閘門25a、 25b動(dòng)作，空間部Rl通過(guò)軟管15而 與負(fù)壓源1連接?？臻g部R21通過(guò)貫穿孔35與工作臺(tái)2的空間部2A連接。 另外，空間部22通過(guò)貫穿孔36與工作臺(tái)2的空間部2B連接。上述閘門25a、 25b構(gòu)成為，在開(kāi)位置和閉位置分別獨(dú)立且自由地切換， 其中開(kāi)位置為，使第一貫穿孔30a、 30c開(kāi)放，而關(guān)閉第二貫穿孔31a、 31b 的位置(例如圖2的閘門25b的位置)；閉位置為，關(guān)閉第一貫穿孔30a、 30c，并且^f吏笫二貫穿孔31a、 31b開(kāi)放的位置(例如圖2的閘門25a的位 置)。在閘門25b為開(kāi)位置的情況下，如圖2及圖3所示，在閘門25b的前 端側(cè)與外殼22之間(隔壁20c、 20d之間的間隙的前方側(cè))R42形成有空 隙，而開(kāi)放笫一貫穿孔30c。另夕卜，在閘門25a為閉位置的情況下，如圖2及圖4所示，在閘門25a的后端側(cè)(汽缸7a側(cè))與外殼22之間(隔壁20a、 20b之間的間隙的后 方側(cè))R3i形成有空隙，而開(kāi)放第二貫穿孔31a。另外，這些閘門25a、 25b，由于進(jìn)行同樣的動(dòng)作，在閘門25a為開(kāi)位 置的情況下，在閘門25a的前端側(cè)與外殼22之間(隔壁20a、 20b之間的 間隙的前方側(cè))R32形成有空隙，而在閘門25b為閉位置的情況下，在閘 門25b的后端側(cè)(汽缸7b側(cè))與外殼22間(隔壁20c、 20d之間的間隙 的后方側(cè))R4i形成有空隙。另夕卜，在閘門25b (25a)為開(kāi)位置的情況下，貫穿孔30d (30b)與預(yù) 備室R22 (R21)連通，壓力切換室R4 (R3)經(jīng)由該預(yù)備室R22 (R21) 及貫穿孔36 (35)，與工作臺(tái)內(nèi)部的空間2B (2A)連接。此外，在閘門 25a (25b)為開(kāi)位置的情況下，貫穿孔21b (21d)與預(yù)備室R21 (R22) 連通，壓力切換室R3 (R4)經(jīng)由該預(yù)備室R21 (R22)及貫穿孔35 (36)， 與工作臺(tái)內(nèi)部的空間2A (2B)連通。因此，不論閘門25a、 25b處于開(kāi)位 置，還是處于閉位置，壓力切換室R3、 R4總是通過(guò)其空隙部與工作臺(tái)2 內(nèi)部空間2A、 2B連通。壓力切換裝置6，這樣地具有一個(gè)負(fù)壓室R1，和與工作臺(tái)2在內(nèi)部所 具有的空間部2A、 2B相對(duì)應(yīng)的數(shù)量的壓力切換室R3、 R4及閘門25a、 25b，成為緊密的構(gòu)成。接著，對(duì)本實(shí)施方式涉及的激光加工機(jī)的作用進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)操作人員 打開(kāi)負(fù)壓源l的開(kāi)關(guān)時(shí)，將工件載置于工作臺(tái)2上。當(dāng)工件被栽置于工作 臺(tái)上時(shí)，搮作人員例如通過(guò)操作^fe等，將控制信號(hào)從閘門部件控制單元 6a發(fā)向汽缸7a、 7b， ^"吏載置有工件一側(cè)的閘門25a、 25b向開(kāi)位置移動(dòng)。 例如，如圖3所示，當(dāng)閘門25b移動(dòng)到開(kāi)位置時(shí)，設(shè)置在外殼22的與大 氣連通的貫穿孔(第二貫穿孔)31b及貫穿孔21d，被閘門25b關(guān)閉。另 一方面，空間部Rl經(jīng)由貫穿孔30c、間隙R42及貫穿孔30d與空間部R22 連接。由于空間部R22與空間部2B連接，因此空間部2B與負(fù)壓源1連 接，從而工件被固定。工件被固定后，工作臺(tái)2移動(dòng)到任意的加工位置，當(dāng)工作臺(tái)2在加工 位置停止時(shí)，激光加工機(jī)開(kāi)始鉆孔加工。在結(jié)束工件的加工后，操作人員 使閘門25a、 25b向閉位置移動(dòng)。
另一方面，例如，如圖4所示，當(dāng)閘門25a移動(dòng)到閉位置時(shí)，貫穿孔 (第一貫穿孔)30a被閘門25a關(guān)閉。其結(jié)果，空間部2A被從負(fù)壓源1 切斷。另外，通過(guò)移動(dòng)閘門25a，設(shè)置于外殼22的貫穿孔31a與隔壁20a、 20b之間的間隙的后方側(cè)R3i連接。該間隙R3i經(jīng)由貫穿孔21b與空間部 R21連接。其結(jié)果，空間部2A與大氣連接，而解除工件的固定，操作人 員將加工完的工件取下。根據(jù)以上的構(gòu)成，在使工件吸附于工作臺(tái)2時(shí)，打開(kāi)閘門25a、 25b， 而在將工件從工作臺(tái)2上取下時(shí)，關(guān)閉閘門25a、 25b即可。另外，間門25a、 25b的開(kāi)閉動(dòng)作實(shí)質(zhì)上是相同的，將省略關(guān)于該閘門 25a、 25b的開(kāi)閉動(dòng)作的重復(fù)說(shuō)明。
權(quán)利要求
1. 一種激光加工機(jī)，在載置工件的工作臺(tái)表面，具備與內(nèi)部的空間部連通的孔，通過(guò)將上述空間部與負(fù)壓源連接，而將工件吸附于上述工作臺(tái)表面，其特征在于，設(shè)置將上述空間部與大氣或者上述負(fù)壓源連接的壓力切換裝置，并將該壓力切換裝置配置于上述工作臺(tái)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)，其特征在于， 上i^力切換裝置，構(gòu)成為具有與上述負(fù)壓源連接的負(fù)壓室；壓力切換室，其與上述工作臺(tái)的內(nèi)部的空間部連通，并且與上述負(fù)壓室及大氣 連接；閘門部件，其使上i^力切換室選擇性地與上述負(fù)壓室或者大氣中 的一方連接；驅(qū)動(dòng)上述閘門部件的閘門部件驅(qū)動(dòng)單元；控制上述閘門部件 的驅(qū)動(dòng)的閘門部件控制單元。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工機(jī)，其特征在于， 上i^力切換室，內(nèi)藏上述閘門部件，并且具有與上述負(fù)壓室連接的第 一貫穿孔和與上述大氣連接的第二貫穿孔，將上述閘門部件構(gòu)成為，在開(kāi)位置和閉位置自由地切換，其中開(kāi)位置 為，使上述第一貫穿孔開(kāi)放，并且關(guān)閉上述第二貫穿孔的位置；閉位置為， 關(guān)閉上述第一貫穿孔，并JU吏上述第二貫穿孔開(kāi)放的位置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的激光加工機(jī)，其特征在于， 上述激光加工機(jī)具有上述工作臺(tái)內(nèi)部的多個(gè)空間部，并且上述壓力切換裝置，構(gòu)成為具有 一個(gè)上述負(fù)壓室；和與這些工作臺(tái)內(nèi)部的多個(gè)空間 部相對(duì)應(yīng)的數(shù)量的上述壓力切換室及上述閘門部件。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的激光加工機(jī)，其特征 在于，上述壓力切換裝置，被安裝在上述工作臺(tái)的下面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠使加工效率提高的激光加工機(jī)。該激光加工機(jī)，在工作臺(tái)(2)表面具備與內(nèi)部的空間部連通的孔，通過(guò)將空間部與負(fù)壓源連接，而將工件吸附于工作臺(tái)表面，其特征在于，設(shè)置將這些工作臺(tái)內(nèi)部的空間部與大氣或者負(fù)壓源(1)連接的壓力切換裝置(6)，并將該壓力切換裝置(6)配置于工作臺(tái)。壓力切換裝置(6)，具有與負(fù)壓源連接的空間部(R1)；與工作臺(tái)內(nèi)部的空間部連通的空間部(R21、R22)；設(shè)置于這些空間部(R1)及(R21、R22)之間的壓力切換室(R3、R4)，并通過(guò)閘門(25a、25b)，使壓力切換室(R3、R4)選擇性地與空間部(R1)或者大氣中的一方連通。
文檔編號(hào)B23K26/00GK101396766SQ20081016744
公開(kāi)日2009年4月1日 申請(qǐng)日期2008年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日
發(fā)明者鈴木賢司 申請(qǐng)人:日立比亞機(jī)械股份有限公司