專利名稱：包括卡盤和可釋放地位于其上的工件托盤的夾持器具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及如權(quán)利要求1的前序部分陳述的那樣構(gòu)造的夾持器具。這些夾持器具優(yōu)選地用于夾持設(shè)有工具的工件托盤(pallet)或位置 上受限的工件，卡盤(chuck)通常固定地位于機床或壓機(press)的工作 臺上，而工件托盤反復(fù)地可釋^:地精確位于卡盤。
背景技術(shù)：
就公知的夾持器具而言，產(chǎn)生的壓力大多數(shù)通過出于這種目的而 設(shè)置的接觸表面?zhèn)鬟f，且總體張力必須由設(shè)有夾持構(gòu)件的夾持機構(gòu)進 行處理。這種夾持機構(gòu)通常以多個彈簧加載的夾持球為特征，當(dāng)工件 托盤夾在適當(dāng)?shù)奈恢脮r，這些彈簧加載的夾持球與 一種緊固到工件托 盤的夾持柱的夾持表面接合或直接與工件托盤本身接合。雖然已證明 這種類型的夾持器具有過成功^^錄，但對于一些用途而言，當(dāng)工件托 盤能夠?qū)Ω叩膹埩M行處理時往往是有利的。這種用途的 一 個示例 是粉末壓機，在這種粉末壓機中，用于緊壓粉末的壓頭(ram)緊固到工 件托盤上。當(dāng)實際上的模制動作不僅涉及壓頭的面而且尤其涉及壓頭 的內(nèi)和/或外殼體表面時，就需要加上對應(yīng)的高縮回力來將壓頭從壓模 (die)縮回，以能夠?qū)侯^從高度緊壓的粉末塊軸向抽出。因此， 一定 會出現(xiàn)這種情況，即為了將壓頭抽出，需要將30。/。以上的緊壓力在拉 伸方向上施加。換言之，例如，在產(chǎn)生緊壓鐵粉或陶瓷粉時，需要施 加IOO噸的緊壓力，為了移動壓頭，需要將30噸或更大的力在拉伸 方向上施加。在將壓頭緊固到工件托盤上時，當(dāng)然也必須將這些力從 工件托盤傳遞到卡盤。可以理解，這些高抽出力并不能夠由常規(guī)的球 夾持機構(gòu)處理，因為由于這些球的接觸表面非常小，所以表面壓力往往會非常高?？蓮腅P-A-0 255 042獲知一種用于機床的工具的夾持設(shè)備，這種 機床包括卡盤和工具夾持器?？ūP包括從其底側(cè)突出的兩對定心軌 道，這兩對定心軌道在X和Y方向設(shè)有用于對齊的4矣觸表面，工具夾 持器還設(shè)有從卡盤的表面突出的四個柱，這些柱用于在Z方向上對齊 工具夾持器。工具夾持器包括限定用于夾持前面所提及的柱的面的平 坦表面。工具夾持器中還設(shè)有兩對凹槽，這兩對凹槽與這些定心軌道 對齊并以柔性唇部為特征，這樣這些柔性唇部沖妾觸這些軌道?？傊?工具夾持器以用于容納拉桿的中心孔為特征，借助于這種拉桿傳遞將 工件托盤正確地定位于中心所需的夾持力。在這種布置中，卡盤包括 中心定位的球鎖，這種球鎖與這種拉桿配合。將會理解，通過這種拉 桿和球鎖僅可傳遞相對較少的張力。EP-A-0 827 806描述了 一種用于夾持緊縮管接頭(pull-in nipple)的 夾持缸。這種夾持缸設(shè)有用于容納緊縮管接頭的中心孔。夾持缸以第 一外活塞和徑向位于第一外活塞內(nèi)的第二外活塞為特征。設(shè)在這兩個 活塞之間的是多個夾持構(gòu)件，這些夾持構(gòu)件稱為鎖定活塞，這些鎖定 活塞用于將該緊縮管接頭夾持在適當(dāng)?shù)奈恢谩＿@些鎖定活塞接合布置 在緊縮管接頭的前端的凸片，且?guī)讉€鎖定活塞均勻地周向分布。這兩 個活塞可與這些鎖定活塞一起軸向移動，且這些鎖定活塞還可徑向調(diào) 節(jié)。外活塞設(shè)有傾斜表面并通過壓縮彈簧徑向加載，以使鎖定活塞由 傾斜表面徑向向內(nèi)推動。將這些鎖定活塞構(gòu)造成柱塞構(gòu)件。通過液壓 進行活塞釋放。這種夾持缸的一個嚴(yán)重缺陷在于托盤ctz緊縮管接頭 在延伸方向易于彎曲并僅可處理相對較小的力，因為這些鎖定活塞僅 與緊縮管接頭的相當(dāng)小的接觸表面接觸且通過這些鎖定活塞在Z方向 上定位緊縮管接頭的活塞僅由壓縮彈簧在延伸方向加載。還可從EP-A-1 068 919獲知一種夾持器件，這種夾持器件能夠處 理相對較高的傾斜和扭距負(fù)載。這種夾持器件包括定位于機床的工作 范圍內(nèi)的卡盤和用于安裝在卡盤上以夾到卡盤的工件承載裝置?？ūP上的第一定位裝置和工件承載裝置上的第二定位裝置作為對齊構(gòu)件成對配合，以將工件承載裝置在X、 Y和Z方向上定位。為了將工件承載裝置夾在由卡盤上的定位裝置所限定的位置中，同樣也設(shè)有夾持 設(shè)備。夾持設(shè)備包括沿著一種圓環(huán)定位的多個夾持球，這些夾持球的夾持力中的有效線大致位于平行于z軸線的虛圓柱形殼體的區(qū)域上面 或內(nèi)部，這些Z軸線切割第一和第二定位裝置。壓縮負(fù)載主要通過Z 接觸表面從工件承載裝置傳遞到卡盤，當(dāng)夾持卡盤時，工件承載裝置 在這些Z接觸表面靜止。在一方面，雖然這種夾持器件能夠處理相對 較高的壓縮負(fù)載并能夠傳輸高扭距和傾斜力矩，但在另一方面，因為 在開始時所提及的原因，張力的傳輸受限。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于使一種夾持器具更加精致，這種夾持器具包括 卡盤和可釋放地位于其上的工件托盤，以使工件托盤也能夠處理高張 力負(fù)載。出于這種目的，按照權(quán)利要求1設(shè)置根據(jù)本發(fā)明的夾持器具。 本發(fā)明的主旨在于卡盤設(shè)有柱塞型夾持構(gòu)件，這種夾持構(gòu)件接合 工件托盤的外側(cè)面，即在大的表面區(qū)域上方的基本上沿著殼體表面延 伸的夾持表面。這就滿足能夠在將高的張力傳輸?shù)娇ūP時對這些高的 張力進行處理的工件托盤的基本要求，因為與夾持柱相比，沿著工件 托盤的殼體表面延伸的夾持表面為這些夾持構(gòu)件提供大致更大的接 觸表面。本發(fā)明的主題的優(yōu)選實施例和其它方面在從屬權(quán)利要求2至8中 陳述。為了確保工件托盤在被夾持到卡盤時的定位具有絕對的可重復(fù) 精度，將第一定心構(gòu)件布置在卡盤上，這些第一定心構(gòu)件與工件托盤 上的另一定心構(gòu)件配合，以使工件托盤在夾持時相對于卡盤在X和Y 方向上定位。'


現(xiàn)參考附圖對根據(jù)本發(fā)明的夾持器具的優(yōu)選示例方面進行詳細(xì)描述，在這些圖中圖1是包括卡盤和工件托盤的夾持器具的透視圖；圖2a是卡盤的俯視圖；圖2b是工件托盤的仰視透一見圖；圖3是穿過夾持器具的水平截面圖；圖4是穿過處于鎖定狀態(tài)的夾持器具的垂直截面圖；圖5是穿過處于釋放狀態(tài)的夾持器具的垂直截面圖；圖6是示出了卡盤的襯套以及柱塞的透視圖；圖7是以放大比例示出的穿過夾持器具的替代示例方面的垂直截 面圖。才示號列表1卡盤2基體3襯套4中心開孔5基板6定心構(gòu)件7支撐表面8孑匕9狹槽型槽口10柱塞11壓縮彈簧12前部13壓縮表面14槽口15周向肩部16環(huán)狀活塞17底側(cè)18頂側(cè)1920壓力室2122工件托盤23平坦底側(cè)24定心構(gòu)件25接觸表面26殼體表面27周向環(huán)狀凹槽28肩部 /28a 夾持表面29通孔30螺栓31基板3233套環(huán)(collar)34密封件35密封件具體實施方式
參看圖1，圖中示出了包括卡盤l和工件托盤22的夾持器具的透 視圖。卡盤1緊固到基板31,但盡可能將卡盤1直接緊固到機器工作 臺。工件托盤22用于安裝重復(fù)地精確位于卡盤1上的工件。不過， 在本發(fā)明的上下文中，決不將術(shù)語工件托盤理解為僅用于安裝工件， 因為也可將工具和類似的裝置緊固。卡盤1包括沿著襯套3排列的圓柱形基體2。襯套3限定中心開 孔4的范圍，中心開孔4用于安裝工件托盤22并構(gòu)造成大致呈圓柱 形。工件托盤22的平坦底側(cè)23以定心凹槽24為特征，用于在工件 托盤22位于卡盤1上時接合布置在卡盤1上的定心凸輪。與這些定 心凹槽24接合的這些定心凸輪的完全配合將工件托盤22精確地在X 和Y方向上定位，并且當(dāng)限定在卡盤1上時以相對于在繞Z軸線的角 位置定位。工件托盤22構(gòu)造成大致呈圓柱形并設(shè)有環(huán)狀凹槽27，這 種環(huán)狀凹槽27加工在殼體表面26中并限定工件托盤22的外圓周表 面。這種環(huán)狀凹槽27的一個側(cè)壁在用作夾持表面28a時形成肩部28, 在夾持期間，這種夾持表面28a由布置在卡盤1上的夾持構(gòu)件接合， 這將在下面進行描述。夾持表面28a從外部向內(nèi)傾斜，優(yōu)選傾斜或彎 曲。工件托盤22以通孔29為特征，例如，這種通孔29用于將工件 或工具安裝或定位?；w2由多個螺栓30固定連接到基板31上。將 工件或工具定位所需的工件托盤22的緊固件未在圖中示出。參看圖2a，圖中示出了卡盤1的俯視圖，圖中所示出的基板5布 置在卡盤l的底部，卡盤1設(shè)有四個定心凸輪6,這些定心凸輪6用 于將工件托盤22定位。圓扇形支撐表面7在每兩個相鄰的定心凸輪6 之間延伸。這些圓扇形支撐表面7共同形成用于工件托盤22的Z向 止動件。出于清潔目的，這些支撐表面7中的每一個設(shè)有幾個孔8, 可通過這些孔8噴射空氣，以在工件托盤22位于卡盤時清潔工件托 盤22的底側(cè)。參看圖2b,圖中示出了工件托盤22的俯視透視圖，圖中尤其示 出了四個凹槽24,形成這些凹槽24以在平坦的底側(cè)23相交，這些凹 槽24將平坦的底側(cè)23分成四個平坦的4妄觸表面25。這些凹槽24的 形狀和尺寸與卡盤1的四個定心凸輪6相對應(yīng)，以在將工件托盤22 夾持到卡盤1時將工件托盤22在X和Y方向上對齊，并且以其繞Z 軸線的角位置對齊。參看圖3，圖中示出了卡盤1連同位于卡盤1內(nèi)的工件托盤22的水平截面圖，圖中尤其示出了四個柱塞10,這些柱塞10用于將工件托盤22夾持到卡盤1。將這四個柱塞10在襯套3中徑向可移動地安 裝，且相互以90。偏置。將這四個柱塞10中的每一個用兩個壓縮彈簧 11加載，以將這個柱塞以安裝在卡盤1中的工件托盤22的方向徑向 向內(nèi)推動。這些壓縮彈簧ll的縱向中心線平行于這些柱塞10的插入 方向延伸。將實心襯套(liner)3構(gòu)造成使實心襯套3處理作用于這些柱 塞10上的張力。這些柱塞10的前部分12適合于工件托盤22的夾持表面28a的 輪廓，以使每個柱塞10與工件托盤22的形成夾持表面28a的肩部 28(圖l)接觸。優(yōu)選每個柱塞10與夾持表面28a完全表面接觸。這四 個柱塞10的要布置成朝向工件托盤22的前側(cè)面12覆蓋工件托盤22 的總共約320。的圓周，以在這些夾持構(gòu)件、這些柱塞10以及工件托 盤22之間實現(xiàn)相對較大的接觸表面，這與常規(guī)的球夾持機構(gòu)不同， 在常規(guī)的這些夾持機構(gòu)中，這些球僅有點型接觸。卡盤l與工件托盤 22之間的大的接觸表面形成對能夠處理高張力的工件托盤22的基本 要求。但在任何情況下，出于這些柱塞10與夾持表面28a的這種大的 表面接觸的原因，表面增壓相對較小，即便是在高的抽出力有效的情 況下也是如此。參看圖4，圖中示出了穿過處于鎖定狀態(tài)的夾持器具的垂直截面， 以及每個柱塞10怎樣由這些壓縮彈簧11以安裝在卡盤1中的工件托 盤22的方向推動。由于這些彈簧11的偏壓力的原因，該柱塞10以 其起到壓縮表面13的作用的底側(cè)與環(huán)狀凹槽27的肩部28表面接觸， 從而在抵靠卡盤1的基板5向下拉動工件托盤22時形成夾持表面， 直到在以這種方式將該柱塞10在Z方向上定位時該柱塞10以其平坦 的底側(cè)與卡盤1的這些支撐表面接觸。但在任何情形中，夾持表面28a 的輪廓或傾度適合于這些柱塞10的前側(cè)面，以在Z方向上推進這些 柱塞10時，抵靠卡盤1的基板5將工件托盤22向下拉動。除了在Z方向上定位這種工件托盤之外，還在X和Y方向上將這種工件托盤定位，并且當(dāng)夾持到卡盤1上時以在繞Z軸線的角位置定位。正如已在前面說明的那樣，這種定位由進入工件托盤22的定 心凹槽24的卡盤1的定心凸輪6實現(xiàn)。為了釋放夾持在卡盤1中的工件托盤22,在克服這些壓縮彈簧 11的力時，必須將這些柱塞10徑向向外推動。出于這種目的，設(shè)有 以環(huán)狀活塞16的形式的致動器，這種環(huán)狀活塞16包括突出部分17， 所加工的這種突出部分17帶有傾斜壓力表面，以接合對應(yīng)的柱塞10 內(nèi)對應(yīng)的槽口 14。環(huán)狀活塞16的大致平坦的頂側(cè)18與環(huán)狀壓力室 20的下端部同時形成。當(dāng)環(huán)狀活塞16向下移動時，進入柱塞10的槽 口 14的環(huán)狀活塞16的突出部分17將該柱塞10徑向向外推動。優(yōu)選 環(huán)狀活塞16由壓力室20氣動致動，壓力室20在接收壓縮空氣供應(yīng) 的環(huán)狀活塞16的上方延伸。還可提供如液壓或機電致動器，而不是 氣動致動環(huán)狀活塞16。但在任^T情形中，在環(huán)狀活塞16向下移動時， 將這些柱塞IO分別橫向于卡盤1的縱向中心線L和中心開孔4插入。在從截面觀察時，還可明顯地看出基體2是怎樣主要由其頂側(cè)形 成L形狀的，基體2包括大致徑向延伸的基部2a。襯套3設(shè)有周向肩 部15，在將襯套3加上張力時，襯套3通過周向肩部15以其全部表 面支撐在基體2的基部2a的底側(cè)。這種構(gòu)造連同基體2的實心結(jié)構(gòu)以 及襯套3的實心結(jié)構(gòu)一起使高張力能夠由襯套3進行處理并傳遞到基 體2。參看圖5，圖中示出了穿過處于釋放狀態(tài)的夾持器具的垂直截面， 但并未示出壓縮彈簧。為了將工件托盤22從鎖定中釋放，需要將這 些柱塞10徑向向外插入。出于這種目的，壓力室20接收壓縮空氣供 應(yīng)并被增壓，直到將環(huán)狀活塞16向下推動。環(huán)狀活塞16的這種向下 運動使其突出部分17進入柱塞10的槽口 14中，從而將柱塞10徑向 向外推動，直到其后側(cè)面與基體2的內(nèi)側(cè)面接觸，并且能夠使工件托 盤22被從卡盤移出。從圖中還可明顯地看出如何從外部向內(nèi)使形成 夾持表面的環(huán)狀凹槽27的肩部徑向傾斜。參看圖6,圖中示出了卡盤1的襯套3連同柱塞10的透視圖，該 圖尤其使在襯套3中形成的四個狹槽型槽口 9更加明顯，這些槽口 9 中的每一個用于安裝和引導(dǎo)柱塞10。優(yōu)選將每個槽口 9的高度制得非 常精確，以與柱塞10的高度相匹配，以在實現(xiàn)在Z方向上的工件托 盤22的重復(fù)精確定位時，使柱塞10在Z方向?qū)嶋H上完全準(zhǔn)確地位于 槽口 9內(nèi)。優(yōu)選地，每個槽口 9比要安裝在其中的每個柱塞10的前 部12高1至5微米。但在任何情形中，這些柱塞10由襯套3通過表 面接觸而在Z方向上支撐。此外，狹槽型槽口 9與這些柱塞10的精確匹配在較大的程度上 避免塵埃的進入。從圖中可明顯地看出，杯形前部12、下壓縮表面 13和圓槽口 14在這些柱塞14內(nèi)。所示出和描述的夾持設(shè)備的優(yōu)點尤其涉及卡盤的實心結(jié)構(gòu)和這 些柱塞的接觸表面，且工件托盤能夠使非常高的張力分別由工件托盤 和夾持設(shè)備作為整體進行處理。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的夾持器具尤其適用于但并不僅限于粉末壓制 中的用途，在這些用途中，用于緊壓粉末的壓頭緊固到工件托盤上。 但在任何情形中，工件托盤能夠處理將壓頭從壓模抽出所需的高張力 和抽出力。不過，這些夾持器具也適于用在多水平系統(tǒng)中，'這些系統(tǒng)一方面 包括同軸堆疊的幾個卡盤，另一方面包括幾個工具，如相互同軸布置 的管狀壓頭。圖7以放大比例示出了穿過夾持器具的替代示例方面的垂直截面 圖，但僅可明顯地看出夾持器具的細(xì)節(jié)。在此示例中，提供用于釋放 柱塞10a的環(huán)狀活塞16a布置在這些柱塞10a的下面，用于插入柱塞 10a的突出部分17a布置在頂側(cè)，但接著被分配給對應(yīng)的柱塞10a。工 件托盤22a以在頂側(cè)上的周向套環(huán)33為特征，周向套環(huán)33徑向突出 超過工件托盤22a的圓柱形殼體表面。密封件34布置在卡盤la的頂 側(cè)上并在將工件托盤22a夾持在適當(dāng)?shù)奈恢脮r與周向套環(huán)33的底側(cè)接觸。另一個密封件35布置在工件托盤22a的底部的區(qū)域中并與工件托 盤22a的底側(cè)接觸。這兩個密封件34、 35用于將卡盤la相對安全地 密封以免變臟，這些密封件34、 35尤其保護卡盤la的靈敏構(gòu)件不變 臟，如柱塞10a、活塞16a等。
權(quán)利要求
1.一種包括卡盤(1)和可釋放地位于其上的工件托盤(22)的夾持器具，所述卡盤(1)設(shè)有用于將所述工件托盤(22)定位的夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)包括構(gòu)造成柱塞(10)的多個夾持構(gòu)件并以前部(12)為特征，所述前部(12)設(shè)有用于與所述工件托盤(22)的夾持表面(28a)表面接觸的壓縮表面(13)，其特征在于所述工件托盤(22)包括基本上沿其殼體表面(26)延伸的夾持表面(28a)，以在夾持期間與所述柱塞(10)接觸。
2. 如權(quán)利要求所述的夾持器具，其特征在于所述卡盤(l)包 括構(gòu)造成安裝所述工件托盤(22)的中心開孔(4)，且所述柱塞(10)可橫 向于所述開孔(4)的縱向中心線(L)插入。
3. 如權(quán)利要求2所述的夾持器具，其特征在于所述卡盤(l)在 所述開孔(4)的底部設(shè)有支撐表面(7),且所述工件托盤(22)包括在其底 側(cè)的平坦接觸表面(25),在將所述工件托盤(22)在Z方向上夾持到所述 卡盤(1)時，所述平坦接觸表面(25)與所述卡盤(1)的所述支撐表面(7) 接觸。
4. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述工件托盤(22)包括圓柱形殼體表面(26)。
5. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述工件托盤(22)包括在所述殼體表面(26)中形成的環(huán)狀凹槽(27)，所 述環(huán)狀凹槽(27)的一個側(cè)壁形成用作夾持表面(28a)的肩部(28)。
6. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述柱塞(10)由所述卡盤(1)的實心襯套(3)的接觸表面在Z方向上支 撐。
7. 如權(quán)利要求6所述的夾持器具，其特征在于所述柱塞(IO) 安裝在所述襯套(3)的狹槽型槽口 (9)內(nèi)。
8. 如權(quán)利要求7所述的夾持器具，其特征在于每個槽口(9)比 要安裝在其內(nèi)的柱塞(10)的部分高1至5微米。
9. 如權(quán)利要求6至8中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述基體(2)包括大致徑向延伸的基部(2a),且所述襯套(3)設(shè)有周向肩 部(15),通過與所述基體(2)的所述基部(2a)的底側(cè)的表面接觸而在張力 負(fù)載方向支撐所述周向肩部(15)。
10. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述柱塞(10)利用壓縮彈簧(U)加載，所述壓縮彈簧(ll)的縱向中心線 平行于所述柱塞(10)的插入方向延伸。
11. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 定心構(gòu)件(6)布置在所述卡盤(1)上，并與布置在所述工件托盤(22)上的 其它定心構(gòu)件(24)配合，以使所述工件托盤(22)在夾持期間相對于所述 卡盤(l)在X和Y方向上定位。
12. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述卡盤(1)包括至少兩個柱塞(10)，所述柱塞(10)的前部包括至少一 個壓縮表面(13)，每個壓縮表面(13)用于與所述工件托盤(22)的夾持表 面(28a)表面接觸，所述柱塞(10)的壓縮表面(13)總體上覆蓋所述工件托 盤(22)的圓周的至少一半。
13. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 在從截面上觀察時，所述工件托盤(22)構(gòu)造成圓形或矩形，且在所述 工件托盤(22)的殼體表面(26)中加工有周向凹槽(27)，所述周向凹槽(27) 的一個側(cè)壁形成肩部(28),所迷肩部(28)構(gòu)造成用于所述柱塞(10)的夾 持表面(28a)。
14. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述卡盤(I)包括至少四個柱塞(IO)，所述柱塞(10)利用壓縮彈簧(11) 加載，以使工件托盤(22)可安裝在所述卡盤(1)內(nèi)。
15. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述卡盤(l)設(shè)有至少一個遠(yuǎn)程致動的致動器，利用所述致動器，可將 所迷柱塞(10)克服所迷壓縮彈簧(11)的力而插入。
16. 如權(quán)利要求15所述的夾持器具，其特征在于以環(huán)狀活塞(16)的形式構(gòu)造所述致動器，所述環(huán)狀活塞(16)包括突出部分(17)，所 述突出部分(17)以傾斜的壓縮表面為特征，用于插入所述柱塞(IO)。
17. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述工件托盤(22)的夾持表面(28a)從外部向內(nèi)傾斜，且所述柱塞(IO) 的前部(12)適合于所述工件托盤(22)的夾持表面(28a)的輪廓，以使所述 柱塞(10)與所述工件托盤(22)的夾持表面(28a)大表面接觸。
18. 如前面的權(quán)利要求中任何一項所述的夾持器具，其特征在于 所述工件托盤(22a)在其頂側(cè)上i義有周向套環(huán)(33)，所述周向套環(huán)(33) 徑向突出超過所述工件托盤(22a)的殼體表面，且密封件(34)布置在所 述卡盤(la)的頂側(cè)并在夾持期間與所述周向套環(huán)(33)的底側(cè)接觸。
全文摘要
一種包括卡盤(1)和可釋放地位于其上的工件托盤(22)的夾持器具。卡盤(1)設(shè)有用于將工件托盤(22)定位的夾持機構(gòu)。這種夾持機構(gòu)包括構(gòu)造成柱塞(10)的多個夾持構(gòu)件。工件托盤(22)包括夾持表面(28a)，夾持表面(28a)基本上沿著工件托盤(22)的殼體表面(26)延伸，用于在夾持期間通過其設(shè)有壓縮表面(13)的前部(12)與這些柱塞(10)表面接觸。
文檔編號B23B31/02GK101234435SQ20081000506
公開日2008年8月6日 申請日期2008年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月30日
發(fā)明者B·桑德邁耶 申請人:厄羅瓦公司