專利名稱：精密加工激光切割機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光切割機(jī)，特別是涉及一種能夠?qū)崟r(shí)提高激光加工質(zhì)量的精密激光切割機(jī)。
背景技術(shù)：
隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，對激光切割機(jī)的需求日益增加。在激光切割機(jī)需求量增加的同時(shí)，對激光加工質(zhì)量的要求也不斷提高。影響激光加工質(zhì)量的主要因素是激光束的聚焦光斑質(zhì)量和熱致形變引起的焦斑位置漂移，它決定著待加工工件的加工精度。
為了克服常規(guī)激光切割機(jī)加工精度不高、切點(diǎn)易漂移等缺陷，可以在激光切割機(jī)上使用平面或球面變形反射鏡、波前探測器、分光鏡、后向反射器、聚焦透鏡或準(zhǔn)直透鏡等光學(xué)元件，利用波前探測器、變形反射鏡、波前控制器形成的閉環(huán)反饋系統(tǒng)，由波前控制器將波前探測器探測得到的信號經(jīng)過控制算法轉(zhuǎn)化為變形反射鏡的控制信號，驅(qū)動變形反射鏡改變波前形狀，實(shí)現(xiàn)擾動波前誤差的實(shí)時(shí)校正，從而使到達(dá)待切割物上的聚焦光斑質(zhì)量良好。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問題是克服激光和待切割物的相互作用引起的湍流擾動和常規(guī)激光切割機(jī)由于激光自身波前畸變、聚焦透鏡熱致形變引起的波前畸變、聚焦光斑質(zhì)量變壞和漂移，提供一種能夠?qū)崟r(shí)改善聚焦光斑質(zhì)量的精密激光切割機(jī)。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案一是激光切割機(jī)包括球面變形反射鏡、分光鏡、波前探測器、電控系統(tǒng)等，其特點(diǎn)在于球面變形反射鏡把激光聚焦到待切割物上，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光作為波前探測器的信標(biāo)光，波前探測器探測到熱致擾動的信標(biāo)光后，由電控系統(tǒng)驅(qū)動球面變形反射鏡改變面形補(bǔ)償激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動。準(zhǔn)直的激光經(jīng)球面變形反射鏡后，經(jīng)分光鏡反射會聚至待切割物，其聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光經(jīng)分光鏡全部透射或部分透射至準(zhǔn)直透鏡，波前探測器探測準(zhǔn)直后的弧光信標(biāo)波前中的某一頻率的擾動波前，從而驅(qū)動球面變形反射鏡改變面形以補(bǔ)償聚焦激光與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱致擾動，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
本發(fā)明技術(shù)解決方案二是精密激光切割機(jī)包括平面變形反射鏡、分光鏡、聚焦透鏡、波前探測器、電控系統(tǒng)等，其特點(diǎn)在于聚焦透鏡把激光聚焦到待切割物上，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光作為波前探測器的信標(biāo)光，波前探測器探測到的信標(biāo)光攜帶了切割點(diǎn)發(fā)熱引起的熱致擾動、聚焦透鏡變形引起的波前畸變，從而驅(qū)動平面變形反射鏡改變面形，來補(bǔ)償激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動、聚焦透鏡的變形像差等。準(zhǔn)直的激光經(jīng)平面變形反射鏡、分光鏡后，聚焦透鏡把它會聚至待切割物，其聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光經(jīng)聚焦透鏡準(zhǔn)直后全部透過或部分透過分光鏡，然后傳輸至波前探測器，波前探測器探測準(zhǔn)直后的弧光中的某一頻率的擾動波前，從而驅(qū)動平面變形反射鏡改變面形以補(bǔ)償聚焦透鏡的熱變形引起的波前畸變、聚焦激光與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動等，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案三是精密激光切割機(jī)包括球面變形反射鏡、后向反射器件、分光鏡、聚焦透鏡、波前探測器一、波前探測器二、電控系統(tǒng)等，其特點(diǎn)在于所述的球面變形反射鏡把激光聚焦到待切割物上，激光的聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光透過分光鏡被準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后作為波前探測器一的信標(biāo)光；透過分光鏡的少部分激光經(jīng)后向反射器的后向反射回光作為波前探測器二的信標(biāo)光，兩個(gè)波前探測器探測的信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡改變面形補(bǔ)償激光的通道擾動、激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動、分光鏡的熱致變形等誤差。準(zhǔn)直的激光經(jīng)球面變形反射鏡后，成為會聚光束，會聚光束經(jīng)分光鏡反射至待切割物，會聚光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光經(jīng)分光鏡全部透射或部分透射至準(zhǔn)直透鏡，波前探測器一探測準(zhǔn)直后的弧光信標(biāo)波前中的某一頻率的擾動波前作為信標(biāo)光；少部分激光透過分光鏡，經(jīng)后向反射器件的反射回光作為波前探測器二的信標(biāo)光，兩信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成相應(yīng)控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡改變面形以補(bǔ)償激光光路擾動、聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動、分光鏡的熱變形等，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案四是精密激光切割機(jī)系統(tǒng)包括平面變形反射鏡、后向反射器件、分光鏡、聚焦透鏡、波前探測器一、波前探測器二、電控系統(tǒng)等，其特點(diǎn)在于所述的聚焦透鏡把激光聚焦到待切割物上，激光的聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光被聚焦透鏡準(zhǔn)直后透過分光鏡作為波前探測器一的信標(biāo)光；透過分光鏡的少部分激光經(jīng)后向反射器的后向反射回光作為波前探測器二的信標(biāo)光，兩束信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動平面變形反射鏡改變面形補(bǔ)償激光的通道擾動、激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動、分光鏡的熱致變形等誤差。準(zhǔn)直的激光經(jīng)平面變形反射鏡、分光鏡后，被會聚透鏡會聚至待切割物，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光經(jīng)聚焦透鏡準(zhǔn)直后透過分光鏡，波前探測器一探測準(zhǔn)直后的弧光中的某一頻率的擾動波前作為信標(biāo)光；少部分準(zhǔn)直的激光透過分光鏡，經(jīng)后向反射器件的反射回光作為波前探測器二的信標(biāo)光，兩信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合以后形成相應(yīng)控制信號驅(qū)動平面變形反射鏡改變面形以補(bǔ)償激光光路擾動、聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動、分光鏡的熱變形等，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明利用變形反射鏡、波前探測器、波前控制器等形成閉環(huán)反饋系統(tǒng)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動，或同時(shí)補(bǔ)償激光本身像差、光路擾動、分光鏡的熱變形等，使高功率切割激光能夠具有良好的聚焦光斑質(zhì)量，提高切割精度。


圖1為本發(fā)明技術(shù)解決方案之一的精密加工激光切割機(jī)示意圖；圖2為本發(fā)明技術(shù)解決方案之二的精密加工激光切割機(jī)示意圖；圖3為本發(fā)明技術(shù)解決方案之三中精密加工激光切割機(jī)示意圖；圖4為本發(fā)明技術(shù)解決方案之四的精密加工激光切割機(jī)示意圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，本發(fā)明技術(shù)解決方案之一的實(shí)施例包括待切割物1、球面變形反射鏡3、分光鏡2、準(zhǔn)直透鏡4、波前探測器5、電控系統(tǒng)6等，準(zhǔn)直的激光經(jīng)球面變形反射鏡3后，成為會聚光束，會聚光束經(jīng)分光鏡2反射至待切割物1，激光與待切割物相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光經(jīng)分光鏡2全部透射或部分透射至準(zhǔn)直透鏡4，波前探測器5探測準(zhǔn)直后的弧光信標(biāo)波前中的某一頻率的擾動波前，從而驅(qū)動球面變形反射鏡3改變面形以補(bǔ)償激光光路擾動以及聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動，提高激光的聚焦光斑質(zhì)量，使切割精密。
如圖2所示，本發(fā)明技術(shù)解決方案之二的實(shí)施例包括待切割物1、聚焦透鏡2、平面變形反射鏡3、分光鏡4、波前探測器5、電控系統(tǒng)6等，準(zhǔn)直的激光經(jīng)平面變形反射鏡3和分光鏡4后，由聚焦透鏡2會聚至待切割物1，聚焦光斑與待切割物1相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光被聚焦透鏡準(zhǔn)直后透過分光鏡2全部透射或部分透射波前探測器5，波前探測器5探測弧光信標(biāo)波前中的某一頻率的擾動波前，從而驅(qū)動平面變形反射鏡3改變面形以補(bǔ)償聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
上述方案之一所述的精密激光切割機(jī)其特征在于使用球面變形反射鏡把激光會聚至待切割物上，其曲率可以是球面曲率或者是非球面曲率。方案之二所述的激光切割機(jī)其特征在于使用聚焦透鏡把激光會聚至待切割物上。方案一和方案二使用的變形反射鏡的驅(qū)動器可以使用壓電陶瓷驅(qū)動器、電致伸縮陶瓷驅(qū)動器、磁致伸縮合金驅(qū)動器等對面形進(jìn)行修正。這種系統(tǒng)利用激光與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射中的某一頻率的波前作為波前探測信標(biāo)。波前探測器只對弧光中的某一頻率的波前進(jìn)行探測。系統(tǒng)中的分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的某一波段全部透射或部分透射。
方案一和方案二可以補(bǔ)償切點(diǎn)產(chǎn)生的熱量引起的波前畸變，使切點(diǎn)穩(wěn)定，在一定程度上提高了聚焦光斑質(zhì)量。但是它門均不能探測和補(bǔ)償激光本身的波前畸變。這兩種方案適宜于激光聚焦光斑與待切其割物相互作用引起的熱致擾動為大量的情況。
如圖3所示，本發(fā)明技術(shù)解決方案之三實(shí)施例包括待切割物1、后向反射器件2、分光鏡3、球面變形反射鏡4、準(zhǔn)直透鏡5、波前探測器6、波前探測器7、電控系統(tǒng)8等，球面變形反射鏡3把準(zhǔn)直后的激光聚焦到待切割物1上，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光透過分光鏡3，由準(zhǔn)直透鏡5準(zhǔn)直后作為波前探測器6的信標(biāo)光；透過分光鏡3的少部分激光經(jīng)后向反射器的后向反射回光作為波前探測器7的信標(biāo)光，波前探測器6和波前探測器7探測的兩束信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡4改變面形補(bǔ)償激光本身像差、通道擾動、激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動、分光鏡的熱致變形等誤差，其數(shù)據(jù)融合方法可以采用文獻(xiàn)“共光路供模塊自適應(yīng)光學(xué)數(shù)據(jù)融合方法。光學(xué)學(xué)報(bào)，Vol.24，P131～136，2004”公開的幾種數(shù)據(jù)融合方法，如斜率融合、波面融合、電壓融合等方法。
如圖4所示，本發(fā)明技術(shù)解決方案之四實(shí)施例包括待切割物1、聚焦透鏡2、平面變形反射鏡3、分光鏡4、后向反射器件5、波前探測器6、波前探測器7、電控系統(tǒng)8等，聚焦透鏡2把準(zhǔn)直的激光聚焦到待切割物1上，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光經(jīng)聚焦透鏡2準(zhǔn)直后透過分光鏡4作為波前探測器6的信標(biāo)光，透過分光鏡3的少部分激光經(jīng)后向反射器的后向反射回光作為波前探測器7的信標(biāo)光，兩束信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動平面變形反射鏡4改變面形補(bǔ)償激光本身像差、通道擾動、激光與待切割物的相互作用引起的熱致擾動、分光鏡的熱致變形等誤差。其數(shù)據(jù)融合方法可以采用文獻(xiàn)“共光路/共模塊自適應(yīng)光學(xué)數(shù)據(jù)融合方法。光學(xué)學(xué)報(bào)，Vol.24，P131～136，2004”公開的幾種數(shù)據(jù)融合方法，如斜率融合、波面融合、電壓融合等方法。
上述的方案三和方案四的特征在于激光的聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光作為波前探測器6的信標(biāo)光，該信標(biāo)光攜帶了激光與待切割物產(chǎn)生的熱致擾動；同時(shí)分光鏡透射的少部分激光經(jīng)后向反射器反射后形成入射波的偽共軛(有關(guān)后向反射器作為偽相位共軛器件可以參見文獻(xiàn)“角反射器陣列作為偽相位共軛器件的保真度分析”。強(qiáng)激光與離子束，Vol.13，P287～P290，2001)，該偽相位共軛波前作為波前探測器7的信標(biāo)，它攜帶了激光本身像差、分光鏡的熱變形像差等。兩種信標(biāo)經(jīng)過數(shù)據(jù)融合以后形成相應(yīng)控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡或平面變形反射鏡改變面形以補(bǔ)償激光光路擾動、聚焦激光光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱擾動、分光鏡的熱變形等，使激光的聚焦光斑質(zhì)量良好，切割精密。
方案三和方案四中的兩個(gè)波前探測器分別探測了攜帶激光與待切割物相互作用引起的熱致擾動弧光后向反射回光波前，攜帶激光本身像差、分光鏡的熱致變形像差的激光信標(biāo)波前，相比實(shí)施例一和實(shí)施例二而言，方案3和方案4實(shí)現(xiàn)了對全光路的像差探測和校正，可以更進(jìn)一步提高加工精度。但是實(shí)施例1和實(shí)施例2結(jié)構(gòu)相對簡單，在激光本身像差與激光與待切割物相互作用引起的熱致像差相比較，后者為主要像差時(shí)，使用實(shí)施例1和實(shí)施例2可以節(jié)約成本，減少開支。
本發(fā)明方案一和方案三的球面變形反射鏡曲率可以是球面曲率，也可以是非球面曲率，球面曲率和非球面曲率的變形反射鏡可以直接把準(zhǔn)直的切割激光會聚成一個(gè)光斑，可以避免使用會聚透鏡帶來的吸熱變形。
本發(fā)明的方案一至方案四中所用的分光鏡由于需要把切割所用的激光全部反射，以便聚焦光斑不損失能量，并且該反射鏡又必須把切割產(chǎn)生的弧光進(jìn)行透射，所以該分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的弧光波段全部透射或部分透射。
方案三和方案四使用的后向反射器件可以是角椎棱鏡陣列、微珠反射陣列或相位共軛器件。這幾種光學(xué)元件均可以把入射波前以偽共軛或共軛的波前進(jìn)行后向反射，以便波前探測器探測的波前斜率信息真實(shí)的反映入射波前信息。
本發(fā)明四個(gè)方案中采用的波前探測器，可以是哈特曼波前傳感器，如文獻(xiàn)“Hartmann Sensers for Optical Testing”Robert J.Zielinski.B.MartinLevine，Brain MoNeil.SPIE Vol.314，P398，1997)公開的哈特曼波前傳感器，或中國專利申請?zhí)?00310100168.1中所公開的基于微棱鏡陣列的哈特曼波前傳感器，還可以是曲率傳感器等其他波前探測器。采用的電控系統(tǒng)包括波前處理機(jī)和高壓放大器，波前處理機(jī)把波前探測器探測的波前斜率信息實(shí)時(shí)計(jì)算，并形成控制信號，經(jīng)高壓放大器后驅(qū)動變形反射鏡改變面形補(bǔ)償激光本身像差和各種擾動像差。
權(quán)利要求
1.精密加工激光切割機(jī)，其特征在于包括球面變形反射鏡、分光鏡、準(zhǔn)直透鏡、波前探測器、電控系統(tǒng)，使用球面變形反射鏡把激光會聚至待切割物上，準(zhǔn)直的激光經(jīng)球面變形反射鏡后，成為會聚光束，其聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光經(jīng)分光鏡全部透射或部分透射至準(zhǔn)直透鏡，波前探測器探測準(zhǔn)直后的弧光中的某一頻率的擾動波前，形成控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡補(bǔ)償熱致像差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述的球面變形反射鏡曲率可以是球面曲率，也可以是非球面曲率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的某一波段全部透射或部分透射。
4.精密加工激光切割機(jī)，其特征在于包括平面變形反射鏡、分光鏡、聚焦透鏡、波前探測器、電控系統(tǒng)，使用聚焦透鏡把激光會聚至待切割物上，準(zhǔn)直的激光經(jīng)平面變形反射鏡、分光鏡后，聚焦透鏡把它會聚至待切割物，其聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生后向反射弧光，該后向反射弧光經(jīng)聚焦透鏡準(zhǔn)直后全部透過或部分透過分光鏡，然后傳輸至波前探測器，并由波前控制器形成控制信號驅(qū)動平面變形反射鏡補(bǔ)償熱致像差。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的某一波段全部透射或部分透射。
6.精密加工激光切割機(jī)，其特征在于包括球面變形反射鏡、分光鏡、后向反射器件、準(zhǔn)直透鏡、兩個(gè)波前探測器、電控系統(tǒng)，使用后向反射器件定向反射形成的共軛波前作為激光本身信標(biāo)，使用切割點(diǎn)產(chǎn)生的后向反射弧光作為熱致擾動信標(biāo)，準(zhǔn)直的激光經(jīng)球面變形反射鏡后，成為會聚光束，其聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光經(jīng)分光鏡全部透射或部分透射至準(zhǔn)直透鏡，一個(gè)波前探測器探測準(zhǔn)直后的弧光信標(biāo)波前中的某一頻率的擾動波前作為信標(biāo)光；另一個(gè)波前探測器探測透過分光鏡的少部分激光經(jīng)后向反射器件定向反射回光作為信標(biāo)光。兩束信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動球面變形反射鏡改變面形補(bǔ)償全光路像差。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述的球面變形反射鏡曲率可以是球面曲率，也可以是非球面曲率。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的某一波段全部透射或部分透射。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述的后向反射器件可以是角椎棱鏡陣列、微珠反射陣列或相位共軛器件。
10.精密加工激光切割機(jī)，包括平面變形反射鏡、分光鏡、聚焦透鏡、后向反射器件、兩個(gè)波前探測器、電控系統(tǒng)，其特征在于使用后向反射器件定向反射形成的共軛波前作為激光本身信標(biāo)，使用切割點(diǎn)產(chǎn)生的后向反射弧光作為熱致擾動信標(biāo)，準(zhǔn)直的激光經(jīng)平面變形反射鏡、分光鏡后，被聚焦透鏡會聚至待切割物，聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的后向反射弧光經(jīng)聚焦透鏡準(zhǔn)直后透過分光鏡，一個(gè)波前探測器探測準(zhǔn)直后的弧光中的某一頻率的擾動波前作為信標(biāo)光；另一個(gè)波前探測器探測少部分透過分光鏡，并經(jīng)后向反射器定向反射回的功能激光共軛波前作為信標(biāo)光，兩束信標(biāo)光經(jīng)數(shù)據(jù)融合后形成控制信號驅(qū)動平面變形反射鏡改變面形補(bǔ)償全光路像差。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述的后向反射器件可以是角椎棱鏡陣列、微珠反射陣列或相位共軛器件。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的精密加工激光切割機(jī)，其特征在于所述的分光鏡的膜系設(shè)計(jì)為對激光全部反射，對遠(yuǎn)離激光波段的某一波段全部透射或部分透射。
全文摘要
精密加工激光切割機(jī)，利用待切割物與聚焦激光相互作用產(chǎn)生的弧光作為波前探測器的信標(biāo)波前，或者同時(shí)利用少部分激光經(jīng)后向反射器的反射回光作為激光自身像差信標(biāo)，并由波前控制器把波前探測器得到的信號經(jīng)過控制算法形成控制信號或者經(jīng)數(shù)據(jù)融合形成控制信號，驅(qū)動電控系統(tǒng)使變形反射鏡產(chǎn)生相應(yīng)形變，補(bǔ)償聚焦光斑與待切割物相互作用產(chǎn)生的熱量引起的熱致擾動，或者同時(shí)補(bǔ)償激光自身的波前像差和分光鏡的熱變形像差，最終使到達(dá)待切割物的高能激光具有良好的聚焦光斑質(zhì)量。這種精密加工激光切割機(jī)避免了直接使用會聚透鏡導(dǎo)致的吸熱變形，并避免了激光自身像差產(chǎn)生的焦斑質(zhì)量惡化和位置漂移，可以將焦點(diǎn)精確定位，從而提高激光切割機(jī)的加工精度。
文檔編號B23K26/00GK1730225SQ20051008625
公開日2006年2月8日 申請日期2005年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月19日
發(fā)明者胡詩杰, 許冰, 王海英 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所