專利名稱：分配系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及到使用在一個工作點中的多個工作裝置同時進行多種工作操作的系統(tǒng)和方法。
尤其是，本發(fā)明涉及到用于控制分配系統(tǒng)分配小劑量的液體到多個基板上如電子元件包上的設(shè)備和方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)前技術(shù)的多種分配系統(tǒng)被用來分配定量的液體活粘結(jié)劑在各種應(yīng)用中。其中一個應(yīng)用是集成電路板裝置。在這個應(yīng)用中，分配系統(tǒng)被使用在帶有壓縮材料的壓縮集成電路中和使用密封劑進行底料填充倒裝芯片集成電路的步驟中。當(dāng)前的技術(shù)系統(tǒng)也同樣用來分配環(huán)氧液滴或焊劑到電路板和集成電路上。環(huán)氧液滴和焊劑用來將元件連接到電路板上或集成電路中。
上面描述的分配系統(tǒng)包括那些由Speedline技術(shù)公司制造和銷售的分配系統(tǒng)。在當(dāng)今高密度包裝的模式下，內(nèi)部環(huán)節(jié)關(guān)聯(lián)性不斷增加，同時這些環(huán)節(jié)間的間隙在減少，因此很難提高分配系統(tǒng)的生產(chǎn)能力。
典型的分配系統(tǒng)中，泵和分配裝置被安裝在可移動裝置上用于泵和分配裝置在計算機系統(tǒng)或控制器控制的補助馬達間接變速裝置驅(qū)動下沿著三個相互垂直的軸(x，y，z)移動。在電路板或其它基板的指定位置上分配液滴，泵和分配裝置沿著水平的x軸和y軸移動到指定位置。接下來泵和分配裝置沿著垂直的z軸下降到泵的管口和分配裝置在基板上方的一個合適的分配高度上。泵和分配裝置分配液滴，然后沿著z軸上升并沿著x軸和y軸移動到新的位置，并沿z軸下降分配下一個液滴。如上面描述的包裝或底層填料的申請，如果泵和分配器沿著x軸和y軸按照指定分配路徑移動，泵和分配裝置被典型的控制來分配線性材料。
在一些情況下，這種分配系統(tǒng)的分配效率，可通過速率限制，在這個速率下特定的分配泵裝置能夠精確并且可控的分配材料液滴或線。在其它情況下，這樣的系統(tǒng)的生產(chǎn)效率，可以由速率限制，在這樣的速率下能夠加載進入或離開機器。仍在其它情況下，這些系統(tǒng)的生產(chǎn)效率可能被該步驟要求的條件所限制，例如，加熱基板到特定的溫度所需要的時間，或如在底料填充應(yīng)用中用于將被分配材料形成流動所需要的時間。在所有這些情況下和應(yīng)用中，對于單獨分配系統(tǒng)的生產(chǎn)能力的一些限制。
在制造集成電路的過程中，生產(chǎn)需求常常超出單獨分配系統(tǒng)的生產(chǎn)能力。為克服生產(chǎn)能力的問題，多種獨立的分配系統(tǒng)被應(yīng)用來實現(xiàn)集體的生產(chǎn)能力。這樣的解決方法通常因為使用了多種機器所以成本很高并且需要附加的工作場地，生產(chǎn)場地是有限制的并且很昂貴。因為希望減少每個生產(chǎn)系統(tǒng)在生產(chǎn)場地中所占的位置的大小。
當(dāng)分配系統(tǒng)與將被分配元件基板或在組成部分一起出現(xiàn)，典型的會應(yīng)用自動可視系統(tǒng)來定位和校準(zhǔn)該部分和該部分中鑒定參數(shù)的實際位置。這樣允許系統(tǒng)對元件自身和元件相對于分配頭定位系統(tǒng)的坐標(biāo)系統(tǒng)的相對位置的變化進行補償。
當(dāng)同時應(yīng)用多種分配頭來達到高的共同的生產(chǎn)能力時，典型的多種分配頭被安排在充分一致的元件上充分一致的執(zhí)行相同的任務(wù)。但是，因為元件本身或在與元件相關(guān)的定位系統(tǒng)中的輕微改變，那么對要對多個分配頭的每一個獨立的進行校對。因為這些校對對于每個分配頭來說都是獨立的，每個分配頭都要具有相對于其基板的獨立位置。
當(dāng)前技術(shù)系統(tǒng)使用多種獨立分配頭達到高的生產(chǎn)能力并該技術(shù)系統(tǒng)為美國專利No.6,007,631題目為“多頭分配系統(tǒng)和方法”中具體描述的，通過在此引述作為參考，并授權(quán)給本發(fā)明的代理人。這個分配系統(tǒng)使用多種獨立分配頭。每個分配頭都安裝在獨立的定位系統(tǒng)上并且在獨立的工作區(qū)域內(nèi)工作。
另外，該系統(tǒng)還帶有兩個輸送機線路來允許在分配頭在對定位在一條線路上的部分進行分配的同時，其它部分沿著另外一條線路進出工作區(qū)域。

發(fā)明內(nèi)容
為了實現(xiàn)多頭分配系統(tǒng)的生產(chǎn)能力優(yōu)勢并且與之相配的雙軌輸送器能夠進一步減小系統(tǒng)的成本和每個印刷機器的占地。更進一步提供在一批機器中連續(xù)的循環(huán)來避免系統(tǒng)地停工期，并且可以保證成品基板的質(zhì)量。由于使用了多種獨立的分配頭在多個在通過系統(tǒng)的棘爪上傳遞的基板上分配，本發(fā)明的實施例相對于上面討論的現(xiàn)有技術(shù)在提高了生產(chǎn)能力的同時進一步減少占地和成本。使用兩條輸送線，每條線都有一個軌道，分配發(fā)生在由第一前方軌道輸送的基板上，同時在第二后面軌道上的棘爪也裝有基板，為下一個分配循環(huán)做準(zhǔn)備。由于工作是連續(xù)進行的，棘爪在第一前面軌道和第二后面軌道上都是充分連續(xù)的為分配定位，減少了停工期和與分配程序相關(guān)的費用。
進一步，在本發(fā)明的一些實施例中，較小的被限制的移動定位系統(tǒng)被用來調(diào)節(jié)基板相對于分配頭的位置。在其它本發(fā)明的實施例中，較小的被限制的移動定位系統(tǒng)被安裝在多種分配頭和普通框架定位系統(tǒng)之間。
在其它本發(fā)明的實施例中，較小的被限制的移動定位系統(tǒng)中的一個可以從一個多頭中拆除而不會使其喪失普遍性。因為每個其它的分配頭的位置將要相對于第一頭的位置進行調(diào)整。獨立的調(diào)整在此仍被用到每一個多種頭上。
在本發(fā)明的其它實施例中，較小的被限制的移動定位系統(tǒng)的移動范圍可以被規(guī)定足夠大可以允許分配泵實施所有用于給定的元件或不需要遠離大的框架定位系統(tǒng)的部分所必須的運動。在這樣的情況下，每個多種分配頭的分配模式可能不同于其它。舉一個申請中的例子，能夠通過這樣的能力得到可以阻擋或者填充請求，在其中一個頭被控制來分配阻擋材料的邊界，同時其它分配頭被控制來在阻擋材料內(nèi)以充模式分配填密封劑。
在本發(fā)明的一些實施例中，雙線輸送機與多種棘爪加載設(shè)備組合在一起。在這樣的系統(tǒng)中，當(dāng)這些部分被卸下并且接下來到另外的棘爪上時，分配頭繼續(xù)在固定在一個棘爪上的部分上進行分配。
本發(fā)明的實施例并不局限于分配系統(tǒng)還包括其它設(shè)備，其中多種工作臺同時在多種充分相同的工件上執(zhí)行充分相同的操作。
本發(fā)明的實施例被指向一個用于在多個工件上實施操作的系統(tǒng)。這個系統(tǒng)包括操作部分和加載/卸載部分，安裝在操作部分里的多個獨立可操作工作臺，可操作工作臺在多個工件上執(zhí)行工作，和傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括多個安裝裝置，傳遞系統(tǒng)可用來傳遞安裝裝置進入和離開系統(tǒng)的操作部分。其中多個安裝系統(tǒng)中的一個定位在系統(tǒng)的操作部分中，并且當(dāng)另外一個多個安裝裝置被定位在系統(tǒng)的加載/卸載部分中和工件把持結(jié)構(gòu)被由安裝裝置上拆下時，至少一個多個獨立的工作臺在多個元件上執(zhí)行工作。
本發(fā)明的實施例能夠包括下列特點中的一個或多個。
多個元件能夠被放置在工件把持結(jié)構(gòu)中，工件把持結(jié)構(gòu)安裝在多個安裝裝置上。加載/卸載部分能夠?qū)⒐ぜ殉纸Y(jié)構(gòu)安裝到一個安裝裝置中，使用傳遞系統(tǒng)優(yōu)先將安裝裝置傳遞進入操作部分中，使用獨立的可操作的工作臺在多個工件上執(zhí)行工作。加載/卸載部分進一步的操作將工件把持結(jié)構(gòu)由多個安裝裝置中的一個上卸載下來。
本發(fā)明進一步實施例能夠包括一個和多個下列特點。工件可以是電子基板和工作臺可以是分配頭。工件把持結(jié)構(gòu)可以是盤并且是可以保持電子基板的盤。盤可以是AUER工藝載體。安裝裝置可以是用來把持工件把持結(jié)構(gòu)的棘爪。在工件上可以進行將分配底料填充到電子基板上的工作。可視的排列設(shè)備可以包括排列獨立的可操作的工作臺到多個工件上。
本發(fā)明的實施例進一步包括用于使用帶有操作部分和加載/卸載部分的設(shè)備在多個工件上執(zhí)行操作的方法；多個獨立可操作的工作臺定位在操作部分中，工作臺分別在多個工件上進行工作；和傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括第一和第二安裝裝置，傳遞系統(tǒng)用來傳遞第一和第二安裝裝置分別的進入或離開系統(tǒng)的操作部分和離開或進入加載/卸載部分。該方法包括在傳遞安裝裝置進入操作部分使用獨立的可操作工作臺在多個工件上實施工作之前將工件把持結(jié)構(gòu)安裝到第一安裝裝置上。使用傳遞系統(tǒng)移動第一安裝裝置進入可操作部分，使用多個可操作工作臺中的至少一個在多個工件上執(zhí)行工作，同時使用傳遞系統(tǒng)移動第二安裝裝置到卸載部分并且當(dāng)?shù)谝缓偷诙惭b裝置被分別定位，在操作部分和加載/卸載部分，當(dāng)工件把持結(jié)構(gòu)由第二安裝裝置上卸載后在第一安裝裝置的工件上執(zhí)行工作。
本發(fā)明的實施例進一步包括重復(fù)前面的步驟，例如完成了在工件把持結(jié)構(gòu)中放置的多個工件上工作以后，將工件把持結(jié)構(gòu)由安裝裝置上卸載下來，在近似相同的時間段內(nèi)，那些沒有被執(zhí)行工作的工件被傳送進入工作區(qū)域。
可以通過在詳細描述和權(quán)利要求中對下列特征的回顧，對本發(fā)明有更全面的了解。


參考附圖，以便更好的了解本發(fā)明，以下是對附圖的簡單描述圖1是本發(fā)明一個實施例中分配系統(tǒng)的透視圖；圖2是圖1中描述的分配器側(cè)面透視圖，顯示了一個本發(fā)明實施例的基板操作系統(tǒng)；圖3是本發(fā)明一個實施例中使用的框架系統(tǒng)的透視圖。
圖3B是本發(fā)明一個實施例中使用的可替換框架系統(tǒng)的透視圖；圖4是本發(fā)明一個實施例中分配元件的透視圖；圖5是本發(fā)明一個實施例工藝載體加載部分的透視6是本發(fā)明一個實施例工藝載體被拉出的工藝載體加載部分的透視圖。
圖7是圖1中顯示的本發(fā)明一個實施例的分配系統(tǒng)的頂視圖。
圖8是本發(fā)明帶有多種料斗的分配系統(tǒng)的可替換實施例。
本發(fā)明的詳細描述本發(fā)明實施例為可以在基板上例如電路板和其它電子元件上執(zhí)行分配操作的多頭分配系統(tǒng)。如本領(lǐng)域業(yè)內(nèi)人士所熟知的那樣，本發(fā)明的實施例不僅僅局限于分配系統(tǒng)，還包括其它系統(tǒng)其中多種工作臺在多個充分一致的基板和工件上平行的執(zhí)行充分一致的操作。本發(fā)明實施例能夠被定向為元件放置系統(tǒng)，BGA放置系統(tǒng)，激光焊接系統(tǒng)，自動光學(xué)檢查系統(tǒng)和機械系統(tǒng)。本發(fā)明實施例不局限于將材料分配在電路板或底料填充電子元件上，實施例不局限于使用多種頭分配系統(tǒng)，而且可以使用在單頭申請中。其它實施例和步驟是可能的并且是可預(yù)見的。
參考圖1-3中描述的本發(fā)明實施例中的多種頭分配單元。圖1顯示的是多個分配系統(tǒng)10的透視圖。分配系統(tǒng)10包括操作系統(tǒng)部分11和基板處理系統(tǒng)部分101，兩個部分一起完成由基板處理系統(tǒng)部分的電子元件的傳遞工作，在操作系統(tǒng)部分分配到電子元件上，并且將電子元件移動到基板處理部分。
首先具體描述的是操作系統(tǒng)部分11。更進一步的參考圖1并涉及到圖2，操作部分11包括下方隔間12，主要系統(tǒng)控制器14，基礎(chǔ)框架16，安裝表面18，監(jiān)視器和其它圖形用戶界面19，和用于分配單元54a和54b的框架定位系統(tǒng)28。分配單元54a和54b包括分配頭外殼46a和46b。下方隔間12被用于存放電子和空氣動力控制器和主要系統(tǒng)控制器14?；A(chǔ)框架16為框架定位系統(tǒng)28和安裝表面18提供基礎(chǔ)。
框架定位系統(tǒng)28(圖2)被用來移動在獨立的基板表面上的每個分配單元。圖2中的框架系統(tǒng)28是充分相同的，但是是獨立的，為每個分配器提供獨立運動。眾所周知在圖2中描述的兩個這樣的框架系統(tǒng)，可以使用任何數(shù)量的這樣的框架系統(tǒng)。在圖3中顯示的是圖2中一個框架系統(tǒng)28的擴大圖和低端透視圖。每個框架定位系統(tǒng)包括Y軸定位部分和X軸定位部分。Y軸定位部分包括線形軸承20a和20b線性解碼器帶狀刻度22，和線性發(fā)電機磁鐵軌跡24?？蚣芏ㄎ幌到y(tǒng)28包括框架十字交叉梁48，十字交叉梁48通過線性軸承滑塊26a，26b，和26c也就是線性軸承軌道20a和20b可移動的安裝在基礎(chǔ)框架16的Y軸中。線性軸承滑塊26a可移動的安裝在線性軸承軌道20b上并且線性軸承滑塊26b和26c可移動的安裝在線性軸承軌道20a上?？蚣芏ㄎ幌到y(tǒng)28的Y軸部分進一步包括解碼器閱讀頭34和線性發(fā)動機線圈36。解碼器閱讀頭安裝在與線性編碼器帶狀刻度22很接近的地方，從那里可以讀取到位置信息。編碼器通過線性編碼器帶狀刻度22和編碼器閱讀頭34實現(xiàn)其功能，編碼器可以使用一定數(shù)量的不同的編碼器系統(tǒng)實施其功能，包括那些由Renishaw PLC，ofGloustershire，1JK制造的。
框架定位系統(tǒng)28的X軸部分包括分配頭框架或車架30a，線性軸承32a和32b，并且線性軸承滑塊50a，50b和50c。分配頭外殼30a使用線性軸承滑塊50a和50b可移動的安裝在框架交叉梁48和線性軸承32a上，并且使用線性軸承滑塊50c(沒有顯示)安裝到線性軸承32b上。分配頭外殼30a由線性發(fā)動機線圈42a驅(qū)動。分配頭外殼30a的位置通過編碼器閱讀頭(沒有顯示)感知，編碼器閱讀頭在結(jié)構(gòu)上和安裝到Y(jié)軸的編碼器閱讀頭34相似。X軸編碼器頭被安裝接近于編碼器并且由編碼器帶狀刻度38讀取位置信息。
機械影像照相機(沒有顯示)分配頭46a和46b，和分配單元54a和54b，分別的安裝在分配頭框架30a和30b中。分配頭46a和46b安裝在分配頭外殼30a和30b中。分配頭46a和46b為分配單元/泵提供54a和54b在Z軸上的運動。例如，分配頭46a和46b能夠通過許多方式完成。同樣的，分配單元54a和54b可以使用多個不同的分配頭或泵完成。分配單元和分配頭或泵可以是在美國專利No.6,395,334題目為“多頭分配系統(tǒng)和方法”中揭示的。已經(jīng)授權(quán)本發(fā)明的代理人可以在這里作為參考。
在一個可供選擇的實施例中，多種分配頭被安裝在一個框架系統(tǒng)中，如圖3B中顯示的那樣。在圖3B中，優(yōu)于獨立分配頭，兩部分非獨立的頭被安裝在一個框架上?？蚣芙徊媪貉b置28包括框架交叉梁48，X車架30a和30b，分配單元54a和54b，和分配頭框架46a和46b。車架30a使用線性軸承滑塊50a和50b可移動的安裝在框架交叉梁48和線性軸承32a上，X車架30b使用線性軸承滑塊52a和52b可移動的安裝到框架交叉梁48和線性軸承32a上。X車架30a使用線性軸承滑塊可移動的安裝到框架30交叉梁48和線性軸承32b上。X車架30b使用線性軸承滑塊可移動的安裝到框架交叉梁48上并且線性軸承32b。和30b分享普通一套軸承軌道32a和32b，普通的編碼器帶狀刻度38和普通的線性發(fā)動機磁性軌道40。X車架30a由線性發(fā)動機線圈42a驅(qū)動。X車架也是由線性發(fā)動機線圈(未顯示)驅(qū)動。X車架30a的位置由在結(jié)構(gòu)上相似并且安裝到Y(jié)軸的編碼器閱讀頭34的編碼器閱讀頭(未顯示)感知。X車架30b的位置由在結(jié)構(gòu)上相似并且安裝到Y(jié)軸的編碼器閱讀頭34的編碼器閱讀頭(未顯示)感知。
這些X軸編碼器閱讀頭被安裝在接近于解碼器帶狀刻度38并且由解碼器帶狀刻度38閱讀位置信息。線性軸承31a和31b在分配外殼46a和46b之間定位并且普通的框架系統(tǒng)28提供一個在兩個分配頭54a和54b和普通框架系統(tǒng)28之間受限制的移動定位系統(tǒng)。這樣，在系統(tǒng)中包括單獨的框架系統(tǒng)，分配頭54a和54b能夠調(diào)節(jié)其在Y軸方向的各自的位置來與基板的位置相適應(yīng)。
仍是在另一個可選擇實施例中，在分配頭外殼中增加的第二分配單元能夠由給定的分配頭分配兩種不同的材料或由不同配置的分配單元中分配相同的材料，例如在圖3B中顯示的，從兩種不同尺寸的針頭中分配，兩個分配頭能夠被并排的安裝在每個框架上的一個單獨的寬的分配頭外殼中。在每個框架上的分配頭能夠相對于對方固定在X和Y軸上。如果沒有預(yù)先設(shè)定或需要使用第二分配單元，分配頭外殼46a和/或46b可以被建造來消除需要提供給第二可選擇的分配單元的出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)和特征。
為了達到準(zhǔn)確的分配，在一個單獨的分配程序開始以前已知將要被分配的基板的位置和高度對于分配單元來說是很有用的。例如，可視排列系統(tǒng)能夠用在分配程序中，可以確定精確的高度和位置。精確的分配能夠要求多種的途徑的環(huán)氧和其它材料在芯片下的毛細管中流動并且每個在芯片上都相互連接。
分配單元54a和54b將它們的特點聯(lián)合起來使用在分配單元中達到精確和高效分配步驟。參考圖4分配系統(tǒng)10的每個頭包括獨立的帶有針口徑測量器100的位置，重量刻度102，預(yù)先分配盤104和針清潔器106。每個位置可以進一步包括彎曲的針探測器(未顯示)針口徑測量器100包括活塞或開關(guān)，101，臺階塊103，和測量步驟盤105。由激活活塞與針接觸針的高度確定。如果被安裝在分配頭外殼30a中，臺階塊103用來校準(zhǔn)無接觸激光Z-高度傳感器。這個激光Z高度傳感器能夠包括這些由德國的Micro-Epsilon公司制造的工具。
如果標(biāo)準(zhǔn)的臺階盤105被安裝在分配頭外殼30a內(nèi)，用來校準(zhǔn)接觸Z傳感器。這個Z傳感器包括那些屬于美國專利No.6,093,251，中描述的，在這里做以參考。
在圖4中，當(dāng)盤相關(guān)聯(lián)重量刻度被移動時，可以看見重量刻度102的圓錐基礎(chǔ)圓柱。重量刻度通常包括盤，或圓柱形隔間，和可移動蓋子，這些允許分配進入隔間，但是進一步的能夠作為防護裝置和靜電防護裝置。
重量刻度系統(tǒng)和方法利用相同的，包括那些在在美國專利申請No.09/705,080，現(xiàn)在的專利號為No.6,541,063的美國申請和美國專利申請，No.09/928,112，中的描述的，在這里作為參考。
預(yù)先分配盤104代替基板，這樣預(yù)先分配能夠在先于在真正基板上的分配實施。
預(yù)先分配步驟允許針的情況和在分配針末端的材料的特殊情況更加接近于仿效在真正的工件上分配結(jié)束后的情況。預(yù)先分配步驟將先生產(chǎn)的產(chǎn)品與后生產(chǎn)的產(chǎn)品之間的變化最小化。預(yù)先分配步驟是典型的來規(guī)劃用于實現(xiàn)接下來的那些能夠改變針的狀態(tài)的動作，例如分配進入重量刻度盤或清洗針。預(yù)先分配盤104能夠包括能夠被移動用于清洗和更換用于其它用處的陶瓷嵌入物。使用超過一個的預(yù)先分配盤104允許增加初步分配在先于操作器干涉被需要之前的數(shù)量。
針清洗器106包括針清洗器在美國專利申請No.09/974,022中描述的那樣，在這里引用做以參考彎曲針探測器能夠作為針校準(zhǔn)位置的一部分被包括在內(nèi)。彎曲針探測器可以帶有一個與之相連接的類似于開關(guān)101的開關(guān)?？稍谶@個開關(guān)的頂端表面上帶有一個縫隙，當(dāng)針是直的時候就可以進入。如果針要不是直的，就可以激活開關(guān)，激活開關(guān)能夠在對針進行適當(dāng)?shù)某C正時進行校正測量。
包括在系統(tǒng)10中并且與包括在系統(tǒng)10中的多種分配器的每個相關(guān)聯(lián)的進一步特征，是機械可視排列和機械可視檢驗。
可視處理機能夠控制并且處理由安裝在框架系統(tǒng)上的照相機發(fā)來的信號，并且能夠為系統(tǒng)控制器提供處理的可視信號。照相機可以用來在為了排列目裝載進入分配系統(tǒng)的工件上定位基準(zhǔn)標(biāo)志；用來在材料已經(jīng)被分配，或者一些其它的操作被執(zhí)行后的工件檢查；和用來識別加載進入分配系統(tǒng)中的工件的類型。
正如所提到的那樣，為了適當(dāng)?shù)膫鬟f基板到一定位置來準(zhǔn)備分配，多種頭分配單元10包括基板處理系統(tǒng)部分101，如圖1和2中所示?；逄幚硐到y(tǒng)部分101在基板在分配單元10的操作部分中的操作進行前和工作完成后，準(zhǔn)備和傳遞基板。如圖1和圖2中所示，基板處理系統(tǒng)部分包括料斗110，升降機112，棘爪114a，114b，114c，和114d，工藝載體116軌道118a和118b，推動器120，往返工藝載體122和高架夾子126。往返工藝載體包括夾緊裝置124。料斗110由多個工藝載體116提供裝載，每個工藝載體支撐一個和多個基板或，一排或多排基板。這些工藝載體116可能是已知的型號，例如AUER工藝載體，或任何其它合適于用于分配的芯片或其它基板的傳遞裝置。堆狀的料斗110被安裝在靠近基板處理系統(tǒng)部分101前部的位置。一堆料斗能夠包括四個料斗110，盡管一堆也可以放置更多的料斗110?？蛇x擇的，每一堆中可以包括少于4個的料斗。在每個料斗里面重疊著很多工藝載體116。例如，每個料斗可以包含5，10，12或更多工藝載體。料斗110可沿著升降機112的高度沿z軸方向運動。料斗110在z軸方向上的運動允許料斗移動到一定位置，工藝載體水平的排列由料斗110縫隙中移動出來或返回到料斗110縫隙中去。升降機112指出工藝載體116可以由料斗110移出的縫隙和跟隨其后的工藝載體的高度。升降機112進一步執(zhí)行對料斗的掃描來執(zhí)行工藝載體的出現(xiàn)/不出現(xiàn)的檢查。升降機112能夠連續(xù)由較高的位置移動到較低位置這樣所有的工藝載體116都可以通過傳感器，因此有效的顯示哪個工藝載體出現(xiàn)過。
參考圖7，棘爪114a，114b，114c和114d水平放置在軌道118上。棘爪114a和114b，放置在普通后面軌道118a上，當(dāng)棘爪114c和114d放置在普通的前面軌道118b上。棘爪118由基板處理部分101延伸出來并且穿過操作部分11。棘爪114a和114b被定位靠近另外一個在后面軌道118a上。棘爪114c和114d被定位靠近另外一個在前面軌道118b上。棘爪114包括通常的能夠被用來接收將要被制造的任何結(jié)構(gòu)基板的頂部盤117。頂部盤117能夠由棘爪上被移動，這樣一個替換的頂部盤和帶有不同結(jié)構(gòu)的頂部盤117可用來接收不同的基板。進一步，在一些申請中，頂部盤能夠被加熱。棘爪114被進一步的設(shè)計來由料斗110接受一個和多個工藝載體116。在優(yōu)選實施例中，每個棘爪114a，114b，114c和114d接收兩個基板工藝載體116。在例子中顯示的，每個工藝載體116包括三列電子元件。在這些例子中，每個棘爪上可以同時有6列電子元件。
推動器120被定位在料斗110外側(cè)末端。推進器能夠通過空氣動力動作，或可選擇的，推動器能夠使用一個補助馬達間接變速裝置和其它驅(qū)動裝置驅(qū)動。工藝載體往返122被優(yōu)選的定位在伺服發(fā)動機一起，但是可選擇的能夠被通過空氣動力學(xué)激活。參考圖5和圖6，工藝載體往返122被定位在料斗110的內(nèi)部邊緣，并且包括夾緊裝置124其安裝高度與在料斗中的工藝載體充分相同這樣夾緊裝置124在x軸運動時，由箭頭75指示，向著料斗由料斗中獲取工藝載體?？蛇x擇的，夾緊裝置124能夠被構(gòu)造在x軸和z軸上運動，這樣夾緊裝置就可以以不同高度和位置將工藝載體116從料斗110中移動出來。
參考圖2，5和6高架夾子126在料斗110和棘爪114之間處理和傳遞工藝載體116。高架夾子126包括平行的邊部盤128，每個都帶有沿著各自邊部盤128的內(nèi)邊延伸的框架。框架提供了窄隔板用來支撐工藝載體116的縱向邊緣，當(dāng)工藝載體從料斗110中移出時。高架夾子114由空氣動力驅(qū)動并且能夠由棘爪114上方的位置移動到工藝載體116的接收位置上。高架夾子126不需要空氣動力的驅(qū)動，但是可能由伺服發(fā)動機或其它驅(qū)動。另外，高架夾子的平行邊盤128，如圖2中顯示的，具有開和關(guān)兩種位置，可以進一步移動相互遠離或靠近中心線，這樣增大或減小兩個平行邊盤之間的距離。當(dāng)高架夾子126關(guān)閉了，工藝載體能夠被推進兩個平行盤之間的空間內(nèi)并且被其邊緣支撐，沿著平行邊盤的底邊運動來進行傳遞。
移動帶有基板的工藝載體116由在料斗110中的位置到達棘爪114上的固定位置，這樣在棘爪穿過分配系統(tǒng)時完成在基板上分配工作。工藝載體116定位在料斗110中把持準(zhǔn)備要被分配的電子元件。推進器120被激活來推動工藝載體116由料斗110外部邊界以至于工藝載體部分的由料斗110延伸出來。高架夾子126被定位在料斗110的內(nèi)部邊緣的開放位置上。往返工藝載體122，也定位在料斗116的內(nèi)部邊緣上，使用安裝在往返工藝載體上的夾緊裝置124達到高架夾子126。如圖5中顯示的那樣，夾緊裝置124抓住工藝載體116并且縮回，由料斗110中拉出工藝載體并且將工藝載體116拉進高架夾子126中位置上。平行邊緣盤128在其內(nèi)部末端帶有停止元件129。當(dāng)夾緊裝置124完成在X軸上的工藝載體116的一次移動，夾緊裝置頂在停止元件129上將工藝載體保持在高架夾子126上的位置，這樣工藝載體116被充分的貼近的保持在這個位置上。
夾緊圓柱131安裝在高架夾子126的長平行邊部盤128的內(nèi)表面上保證工藝載體116在高架夾子126內(nèi)部。當(dāng)工藝載體116是安全可靠的，夾緊裝置124松開夾緊并且工藝載體往返122退回到非工作位置。這樣在料斗110內(nèi)部的工藝載體116的原始位置不是一個因素，因為工藝載體116被重復(fù)的并且是可靠的定位在高架夾子里面。
使用在高架夾子中的被安全定位的工藝載體，高架夾子126從靠近料斗110的位置移動到棘爪114a，114b，114c和114d其中一個的上方位置。高架夾子能夠首先運送用于放置在棘爪114a上的單獨工藝載體116。例如工藝載體116定位在棘爪上并且通過一個固定的把持工藝載體在位置中的真空系統(tǒng)牢固的固定在位置上?？梢赃x擇激活或不激活真空系統(tǒng)來固定整個棘爪?？蛇x擇的，真空也可以被應(yīng)用于個別的棘爪中的特殊的工藝載體定位。真空傳感器可以定位在棘爪114a，114b，114c和114d的一個或多個上。當(dāng)如果一個或幾個工藝載體116中的部分沒有出現(xiàn)或者位置不適當(dāng)情況下提供反饋。例如，如果一個或幾個部分沒有放置在頂部盤真空縫隙的適當(dāng)位置上，那里就會發(fā)生空氣泄漏到真空孔中。因為氣流，會損失一些真空，傳感器就會探測到低真空水平，當(dāng)高架夾子126返回到料斗110中去拉出下一個工藝載體116時棘爪114a保持在原位置。使用上面描述的相同的方法，第二工藝載體116由料斗110中移出并且使用高架夾子126運送到棘爪114a上的第二位置上。為了牢固的將工藝載體固定在棘爪114a上，完全裝滿棘爪114a。在可選擇的結(jié)構(gòu)中，例如如果工藝載體116每個都包含一排基板，棘爪114可能有安排超過兩個的工藝載體116的空間。夾子126因此被用來在棘爪114上加載與特殊結(jié)構(gòu)供給的一樣多數(shù)量的工藝載體116。
棘爪114b與棘爪114a共用一個軌道，如圖2和圖7中所示那樣。例如棘爪114b與棘爪114a相互臨近定位在分配系統(tǒng)10的后面軌道118a上。高架夾126，重復(fù)定位步驟，跟隨工藝載體被放置在棘爪114a上的相同的步驟加載第一和第二工藝載體116到棘爪114b上。裝滿的棘爪114a和114b沿著后軌118a進入到分配系統(tǒng)10的工作部分進行分配過程。如圖7中顯示的棘爪114a和114b使用氣動促動器在工作區(qū)域?qū)⑵浞珠_，分開的距離可以調(diào)整。在加載站中，棘爪114a和114b之間沒有固定的空間，提供更加緊密的系統(tǒng)。棘爪當(dāng)被定位在分配器的操作部分可以被分開所要求的距離。這樣分配頭能夠被相對于對方一定的距離適當(dāng)?shù)亩ㄎ徊⑶壹?14a和114b能夠分開來調(diào)整分配器在各自棘爪上的分配能力?？烧{(diào)整的距離使得分配系統(tǒng)10的加載區(qū)域結(jié)構(gòu)緊湊。
當(dāng)棘爪114a和114b沿著箭頭72指示的方向進入操作部分，分配步驟開始。在圖2和圖7中顯示的兩個分配頭可以單獨移動。這樣當(dāng)棘爪114a和114b進入到分配位置，分配頭移動到分配部分邊緣在棘爪定位處。例如，在棘爪114a和114b上分配時分配頭移動到系統(tǒng)的后面部分，這樣當(dāng)棘爪114c和114d在分配頭28進行分配后被移動時，分配可以在棘爪114a和114b上充分同時發(fā)生。這樣在近似的在一批棘爪上分配完成的時間內(nèi)，可以達到完全的生產(chǎn)能力和分配器的最大使用限度，其它裝載的棘爪被移動進分配器。循環(huán)進行分配步驟。
典型的，分配過程包括使用接觸或非接觸高度傳感器測量基板上表面在Z軸方向上的高度的各個步驟，使用機械可視系統(tǒng)的方法確定基板的在X和Y軸上的精確位置，根據(jù)精確位置計算任何需要的X/Y偏移量校正值，并且實施在模式菜單中描述的需要的分配步驟。模式菜單提供程序的方法通過這個方法指示分配系統(tǒng)使用什么方法將什么材料分配到基板上面。
另外，在分配前，可視系統(tǒng)能夠通過對在棘爪中的基板上的排列檢查實施大量排列，允許對多種基板同時進行檢查。照相機和其它硬件能夠被組合進入分配系統(tǒng)中的材料處理系統(tǒng)部分。當(dāng)分配步驟正在進行，使用在材料處理部分的可視系統(tǒng)在棘爪上排列基板準(zhǔn)備下一次分配循環(huán)。這樣就可以得知每個基板的排列相對于其在棘爪本身上的基準(zhǔn)位置的位置。通過在被插入分配前檢查排列，其優(yōu)點是更進一步提高產(chǎn)出效率，分配器中的可視系統(tǒng)，帶有獲得由材料處理部分獲得的預(yù)先排列信息的通路，只需要檢查在棘爪上基準(zhǔn)位置，優(yōu)于檢查在棘爪上的基板的排列基準(zhǔn)，因為在棘爪上的基板的排列基準(zhǔn)可能有很多。另外，在材料處理部分的離線照相機能夠?qū)嵤┓峙浜髾z查。
在分配過程中，電子基板在棘爪114a和114b上接收材料，通過附加的工藝載體載有的基板裝載棘爪114c和114d。
這樣在被沿著后邊軌道118a傳遞的基板上實施過程，同時在前面軌道118b上操作加載程序，如圖7中顯示的那樣。在棘爪114c和114d上的加載過程是對在棘爪114a和114b的上的加載過程的重復(fù)。當(dāng)加載完成了，棘爪114c和114d橫穿前面軌道118b進入操作部分11在箭頭74所指示的方向上到達分配位置。完成分配過程，分配頭沿著各自的框架系統(tǒng)28移動重新定位在前面軌道上準(zhǔn)備下一次分配過程。棘爪114a和114b橫穿后面的軌道沿著X軸返回到基板處理系統(tǒng)中的加載/卸載區(qū)域的休息位置。
棘爪114a和114b準(zhǔn)備用來卸載。工藝載體116在棘爪114a上114b上被由其移動位置返回到料斗110中，高架夾子126由棘爪114a移動工藝載體116并且將其傳遞到料斗110內(nèi)部邊緣。定位工藝載體往返裝置122將工藝載體推回到料斗110中。如圖6中顯示的那樣，夾緊裝置124留在封閉的位置來將工藝載體部分的推進料斗中。工藝載體往返裝置122縮回。第二推動器125，安裝在工藝載體往返裝置上，延伸到工藝載體116后面的位置上。工藝載體往返裝置122第二次接近來完成推動工藝載體116進入料斗110的動作。第二推進器125允許使用帶有如果使用夾緊裝置124將工藝載體完全推進料斗110中所需的時間相比充分短的運動過程的工藝載體往返裝置122?？蛇x擇的，可以使用夾緊裝置124將工藝載體推進料斗110中而不使用安裝在工藝載體往返裝置上的第二推進器125。工藝載體116都由先前的處理位置回到相同的料斗縫隙中。在每個工藝載體中的電子元件被跟蹤通過放置電子元件在相同的工藝載體位置中，在位于其移動出的相同的料斗中的相同的位置中。
在本發(fā)明的實施例中，料斗有多個被準(zhǔn)備用來分配的工藝載體，并且升降機在不同的高度定位料斗接收工藝載體。在一個可選擇實施例中，連續(xù)流動的裝載和卸載機器被用于將工藝載體插入到分配系統(tǒng)中并在分配結(jié)束后將工藝載體移出分配系統(tǒng)。料斗出現(xiàn)在一個位置上并且在處理結(jié)束后由分離位置復(fù)原。一列未被加工的料斗和另外一列加工完的料斗之間允許有間隔時間。
在本發(fā)明的實施例中，高架夾子用來將工藝載體由料斗運輸?shù)郊ι?，和由棘爪到料斗。在其它本發(fā)明的實施例中，如果需要，高架夾子能夠適合于自動轉(zhuǎn)換棘爪的頂部盤，這樣改進系統(tǒng)中位置變換的操作。進一步，加熱頂盤，并且如果頂盤有殘余熱量，頂盤將要必須在手工處理以前冷卻。通過高架夾子自動的替換頂盤節(jié)省很多冷卻時間。
在本發(fā)明的實施例中，單獨升降機被用來移動料斗到不同高度并且為兩個分配頭提供基板?？蛇x擇的本發(fā)明實施例能夠包括定位在基板處理系統(tǒng)的另一邊的第二升降機來進一步提供料斗到系統(tǒng)中。使用兩個升降機使可使用到系統(tǒng)中的料斗數(shù)量增加了一倍，因此充分的增加了在操作之間的時間間隔，這是生產(chǎn)的時間成本。
另外，多個料斗堆被引入系統(tǒng)中，可以為一個，二個，三個，四個和更多料斗被定位在圍繞這基板處理系統(tǒng)的各自的區(qū)域內(nèi)。在圖8中所描述的本發(fā)明的實施例中帶有二重料斗堆，使得料斗在數(shù)量上增加也可以減少操作干涉的需要。
在本發(fā)明的實施例中，升降機用于預(yù)先加熱并且/或后加熱部分在機械過程之外通過減少選通過程時間來增加產(chǎn)量。同樣的加熱連續(xù)的流動的加載設(shè)備/卸載設(shè)備能夠減少循環(huán)時間并且增加產(chǎn)量，同時也通過使所有部分經(jīng)歷相同的熱分布來將程序變化最小化。更進一步，加熱升降機和連續(xù)流動加載裝置允許系統(tǒng)來監(jiān)視預(yù)先加熱和后加熱時間。
在描述當(dāng)前發(fā)明的分配系統(tǒng)的示圖中，顯示的是右手系統(tǒng)。系統(tǒng)的涉及模式允許系統(tǒng)被建造為右手或左手方向。系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計允許系統(tǒng)被建造為右手或左手方向的。兩個方向中的任意一個裝配系統(tǒng)都應(yīng)該允許系統(tǒng)的使用者達到生產(chǎn)力和工作流程達到最優(yōu)化，以便于在給定的工具通過將材料處理位置定位在裝載和卸載操作能夠達到最高效的實施位置上。
在本發(fā)明的實施例中，一些在分配系統(tǒng)中基板處理部分的激勵器是氣動的。顯然對于本領(lǐng)域技術(shù)人員伺服驅(qū)動或步驟驅(qū)動系統(tǒng)也能夠用來開動分配系統(tǒng)中的裝置，比如高價架子工藝載體往返裝置，料斗，和棘爪。
已經(jīng)在此描述了至少一個本發(fā)明的實施例，多種變通，修改和改進很容易的為本領(lǐng)域內(nèi)專業(yè)人員所實現(xiàn)，這樣的變通，修改和改進都包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。因此，前述的描寫僅是示例，并不意味著限制。本發(fā)明的范圍僅受到下面的權(quán)力要求書及其等同物的限定。
權(quán)利要求
1.一種用于在多個工件上實施操作的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括操作部分和加載/卸載部分；位于操作部分中的一個以上的獨立可操作工作臺，工作臺分別在多個工件上實施工作；傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括一個以上的安裝裝置，傳遞系統(tǒng)可用來傳遞安裝系統(tǒng)進入和離開系統(tǒng)操作部分，一個以上的工件被放置在工件把持結(jié)構(gòu)中，工件把持結(jié)構(gòu)被安裝在一個以上的安裝裝置上；加載/卸載裝置將工件把持結(jié)構(gòu)加載到其中一個安裝裝置上，然后安裝裝置通過傳遞系統(tǒng)進入操作部分，使用獨立可操作工作臺在多個工件上實施工作；加載/卸載部分進一步用來將工件把持結(jié)構(gòu)由多個安裝裝置中的一個上卸載下來，其中多個安裝裝置中的一個定位在系統(tǒng)的操作部分并且通過多個獨立可操作工作臺中的至少一個在工件上實施工作，當(dāng)多個安裝裝置中的另一個定位在系統(tǒng)的加載/卸載部分時工件把持結(jié)構(gòu)由安裝裝置上卸載。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中工件是電子基板并且工作臺是用于在電子基板上分配物質(zhì)的分配頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中工件把持結(jié)構(gòu)是盤并且該盤用來把持電子基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3中所述的系統(tǒng)，其中盤是AUER工藝載體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中安裝裝置是用于把持工件把持結(jié)構(gòu)的棘爪。
6.根據(jù)權(quán)利要求5中所述的系統(tǒng)，其中棘爪包括可移動的頂盤，頂盤被建造和排列用于接受不同規(guī)格的工件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的系統(tǒng)，更進一步包括用于從棘爪上夾緊和移動頂盤頂部夾子。
8.根據(jù)權(quán)利要求5中所述的系統(tǒng)，其中棘爪包括真空裝置，真空裝置被建造和排列來將工件把持裝置牢固的固定在棘爪上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，進一步包括用于探測在棘爪上真空程度來測定工件的存在的探測器。
10.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的系統(tǒng)，其中在工件上實施的工作是在電子基板上分配底層填充物。
11.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中在工件上實施的工作包括拿起和放下操作。
12.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中在工件上實施的工作包括檢查步驟。
13.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中在工件上實施的工作包括工件的激光焊接。
14.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中每個單獨操作的工作臺進一步包括可視排列裝置用來排列單獨操作的工作臺到多個工件上。
15.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中安裝裝置包括可視排列設(shè)備用于排列工件到安裝裝置上。
16.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中傳遞系統(tǒng)包括用于把持多個安裝裝置的升降系統(tǒng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16中所述的系統(tǒng)，進一步包括多個安裝在升降系統(tǒng)中的料斗，其中每個料斗在安裝裝置加載進入工作區(qū)域前和在安裝裝置由工作區(qū)域中卸載后接收安裝裝置。
18.根據(jù)權(quán)利要求17中所述的系統(tǒng)，其中料斗被加熱。
19.根據(jù)權(quán)利要求16中所述系統(tǒng)，進一步包括至少兩個用于把持多個安裝裝置并且用于充分連續(xù)的傳遞多個安裝裝置的升降系統(tǒng)。
20.根據(jù)權(quán)利要求16中所述的系統(tǒng)，其中升降系統(tǒng)包括用于指示升降系統(tǒng)中的安裝裝置位置的傳感器。
21.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的系統(tǒng)，其中加載/卸載部分進一步包括用于充分連續(xù)加載進入操作區(qū)域的工件和卸載離開操作區(qū)域的工件的輸送機系統(tǒng)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21中所述的系統(tǒng)，其中輸送機系統(tǒng)被加熱。
23.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的系統(tǒng)，其中分配頭包括用于將焊劑分配在工件上的針。
24.根據(jù)權(quán)利要求23中所述的系統(tǒng)，進一步包括用于測量每個多種分配頭的針相對于工件高度的針測量器。
25.根據(jù)權(quán)利要求24中所述的系統(tǒng)，其中針測量器包括彎曲針探測器。
26.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的系統(tǒng)，進一步包括用于測量分配到工件上的物質(zhì)的重量的重量計。
27.根據(jù)權(quán)利要求26中所述的系統(tǒng)，進一步包括用于在開始在工件上操作前接收一定數(shù)量分配在工件上的物質(zhì)的預(yù)分配盤。
28.根據(jù)權(quán)利要求1中所述系統(tǒng)，其中多個獨立可操作的工作臺在多個工件中的一個上實施工作。
29.一種在多個工件上使用帶有操作部分和加載/卸載部分的設(shè)備實施操作的方法；多個獨立可操作工作臺定位在操作部分，工作臺各自在多個工件上實施工作；傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括第一和第二安裝裝置，傳遞系統(tǒng)可分別的用來傳遞第一和第二安裝裝置進入和離開系統(tǒng)的操作部分和離開和進入加載/卸載部分；多個工件被放置在工件把持結(jié)構(gòu)中，工件把持結(jié)構(gòu)安裝在第一和第二安裝裝置上；加載/卸載部分可用來將工件把持結(jié)構(gòu)加載到一個安裝裝置上和將工件把持結(jié)構(gòu)由一個安裝裝置上卸載，該方法包括(a)在將安裝裝置傳遞進入操作部分使獨立可操作的工作臺在多個工件上實施工作之前，將工件把持結(jié)構(gòu)安裝到第一安裝裝置上；(b)使用傳遞系統(tǒng)移動第一安裝裝置進入操作部分通過多個可操作工作臺中的至少一個在多個工件上實施工作；(c)使用傳遞系統(tǒng)移動第二安裝裝置進入卸載部分；(d)當(dāng)?shù)谝缓偷诙惭b裝置被分別定位時，在操作部分和加載/卸載部分中，當(dāng)將工件把持結(jié)構(gòu)由第二安裝裝置中卸載時在第一安裝裝置的工件上實施工作。
30.根據(jù)權(quán)利要求29中所述的方法，其中步驟(a)進一步包括將工件把持結(jié)構(gòu)推到部分伸出位置；抓緊部分伸出的工件把持結(jié)構(gòu)，和將工件把持結(jié)構(gòu)拉到安裝裝置上的用于傳遞進入操作部分的位置。
31.根據(jù)權(quán)利要求29中所述的方法，進一步包括在移動第一安裝裝置進入操作部分之前加熱第一安裝裝置。
32.根據(jù)權(quán)利要求29中所述的方法，進一步包括重復(fù)步驟(a)，(b)和(c)這樣在完成了在包含在工件把持結(jié)構(gòu)中的多個工件上的工作后，工件把持結(jié)構(gòu)由安裝裝置上卸載下來，在相似的時間段內(nèi)，沒有被加工的工件被傳遞到操作部分。
33.一種用于在多個工件上實施操作的設(shè)備包括操作部分和加載/卸載部分；位于操作部分中的多個獨立的可操作的工作臺，每個工作臺可在多個工件上實施工作；和傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括多個安裝裝置，傳遞系統(tǒng)用來傳遞安裝裝置進入和離開系統(tǒng)的操作部分，其中多個工件被放置在工件把持結(jié)構(gòu)中，工件把持結(jié)構(gòu)安裝在多個安裝裝置上，并且多個安裝裝置中的一個被定位在系統(tǒng)的操作部分并且由多個獨立可操作工作臺中的至少一個在多個工件上實施工作，同時多個安裝裝置中的另一個定位在系統(tǒng)的加載/卸載部分并且工件把持結(jié)構(gòu)由安裝裝置上被卸載下來。
34.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中多個工件是電子基板并且工作臺是分配頭。
35.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中工件把持結(jié)構(gòu)是盤并且該盤用來把持電子基板。
36.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中安裝裝置是用于把持工件把持結(jié)構(gòu)的棘爪。
37.根據(jù)權(quán)利要求36中所述的設(shè)備，其中棘爪包括可互換的頂盤，每個可互換的頂盤被建造和排列用來接收不同規(guī)格的多個工件。
38.根據(jù)權(quán)利要求36中所述的設(shè)備，其中棘爪包括真空裝置，真空裝置被建造和排列為將工件把持結(jié)構(gòu)固定在棘爪上。
39.根據(jù)權(quán)利要求38中所述的設(shè)備，進一步包括用于探測棘爪上真空程度來測定在棘爪上多個工件之一的出現(xiàn)的探測器。
40.根據(jù)權(quán)利要求35中所述的設(shè)備，其中多種獨立分配頭安裝在普通的框架上。
41.根據(jù)權(quán)利要求40中所述的設(shè)備，其中多種獨立分配頭之一分配第一模式到電子基板上和另一個多個獨立分配頭分配第二模式到電子基板上。
42.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，進一步包括用于在工作區(qū)域內(nèi)排列工作臺和多個工件的可視排列系統(tǒng)。
43.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，進一步包括用于測量每個多種分配頭上的針的相對于多個工件的高度的針測量器。
44.根據(jù)權(quán)利要求43中所述的設(shè)備，其中針測量器包括彎曲針探測器。
45.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，進一步包括用于測量分配到工件上的物質(zhì)的重量的重量計。
46.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，進一步包括用于在開始在工件上操作前接收一定數(shù)量分配在工件上的物質(zhì)的預(yù)分配盤。
47.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中傳遞系統(tǒng)包括至少一個有安裝裝置定位在其中的料斗，料斗包括安裝裝置可以從其中移出并能返回到其中的多個架子。
48.根據(jù)權(quán)利要求47中所述的設(shè)備，其中至少一個料斗包括用來感應(yīng)在料斗中安裝裝置出現(xiàn)位置的傳感器。
49.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中實施在多個工件上的工作包括在電子基板上分配底層填充物。
50.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中在多個工件上實施的工作包括拿起和放下操作。
51.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中在多個工件上實施的工作包括用于檢查多個工件的檢查步驟。
52.根據(jù)權(quán)利要求33中所述的設(shè)備，其中在多個工件上實施的工作包括在多個工件上的激光焊接步驟。
53.一種用來在多個工件上實施操作的設(shè)備，包括操作部分和加載/卸載部分，操作部分包括框架系統(tǒng)。多個可操作工作臺與框架系統(tǒng)相連接，工作臺分別在多個工件上實施工作；和傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)包括多個安裝裝置，傳遞系統(tǒng)用來傳遞安裝裝置進入或離開系統(tǒng)的操作部分，其中多個工件被放置在工件把持結(jié)構(gòu)中，工件把持結(jié)構(gòu)安裝在多個安裝裝置上，和多個安裝裝置中的一個定位在系統(tǒng)的操作部分中并且通過多個可操作工作臺中的至少一個在多個工件上實施工作，同時多個安裝裝置定位在系統(tǒng)中的加載/卸載部分并且工作把持結(jié)構(gòu)由安裝裝置上被卸載下來。
54.根據(jù)權(quán)利要求53中所述的設(shè)備，其中每個多個可操作工作臺可在多個工件中的一個上實施單獨的工作操作。
55.根據(jù)權(quán)利要求53中所述的設(shè)備，其中多個工件為電子基板并且工作臺為分配頭。
56.根據(jù)權(quán)利要求53中所述的設(shè)備，其中工件把持結(jié)構(gòu)是盤和該盤用于把持電子基板。
57.根據(jù)權(quán)利要求53中所述的設(shè)備，其中每個多個可操作工作臺在Y軸方向上單獨移動來在多個工件的一部分上實施操作。
全文摘要
一種用于實施在多個工件上(114)的操作的系統(tǒng)(10)和方法，包括操作部分(11)和加載/卸載部分(101)，定位在操作部分中的多個單獨可操作的工作臺(54)，每個工作臺都可用來在多個工件(114)上執(zhí)行工作，包括多個安裝裝置(114)的傳遞系統(tǒng)，傳遞系統(tǒng)能夠用來傳遞安裝裝置進入和離開操作部分(11)。
文檔編號B23P19/00GK1738695SQ200380108623
公開日2006年2月22日 申請日期2003年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月11日
發(fā)明者小戴維·S·皮科克, 托馬斯·C·普恩蒂西, 布賴恩·P·普雷斯科特, 托馬斯·珀塞爾, 加里·T·弗里曼, 凱文·J·科特曼切, 斯科特·A·里德, 小厄爾利·斯威特, 穆雷·D·斯科特, 保羅·L·赫蒙德, 羅伯特·W·特蕾西 申請人:斯皮德萊技術(shù)公司