專利名稱：電子束產(chǎn)生裝置及其系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從并聯(lián)連接在一臺高壓直流電源上的多個電子槍中發(fā)生電子束的電子束產(chǎn)生裝置及其系統(tǒng)。
一般，在電子束產(chǎn)生裝置中從高壓直流電源往電子槍部分加負(fù)極性的直流高壓，從而對電子槍中所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，使其被作為電子束而輸出。
在此情況下，由于電子槍的最大容量是有限的，所以采取在一臺高壓直流電源上連接2個電子槍等方式。在需要獲得更大的電子束的情況下，設(shè)置多臺上述電子束產(chǎn)生裝置。
若這樣設(shè)置多臺電子束產(chǎn)生裝置，則導(dǎo)致設(shè)置空間增大，因此，采用在一臺大容量高壓直流電源上連接多個電子槍的這種構(gòu)成，設(shè)法使裝置實現(xiàn)小型化。
圖7是表示這種原有的電子束產(chǎn)生裝置的一例的電路構(gòu)成圖。
在圖7中，1是通過斷路器3而被連接在圖中未表示出的交流電源上并把交流變換成直流的高壓直流電源，在該高壓直流電源1的高壓輸出端子4上并聯(lián)地連接有2個電子槍21、22。
然而，在這種構(gòu)成的電子束產(chǎn)生裝置中，由于在高壓輸出端子4上并聯(lián)地連接有2個電子槍21、22，所以，若在任一個電子槍上發(fā)生短路等故障，則電流全部流入發(fā)生故障的部分，因此，不得不使高壓直流電源停止工作。
另一方面，為使整個裝置實現(xiàn)小型化，最好在一臺高壓直流電源上增加并聯(lián)連接的電子槍數(shù)(N)。但是，問題是N數(shù)字越大，電子槍部分的故障發(fā)生率越高，結(jié)果造成發(fā)生故障時的電子槍空缺數(shù)增大。
本發(fā)明正是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種能使整個裝置小型化，能穩(wěn)定地獲得輸出大的電子束的電子束產(chǎn)生裝置。
本發(fā)明為了達(dá)到上述目的，采取以下技術(shù)方案一種電子束產(chǎn)生裝置，把電子槍連接到使交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，對該電子槍所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束，其特征在于連接在上述高壓直流電源的輸出端子上的電子槍設(shè)成多個并聯(lián)，能分別斷開的，當(dāng)流入到這些電子槍內(nèi)的電流超過預(yù)定值時判斷為有故障，并將相應(yīng)的電子槍從上述高壓直流電源上斷開。
一種電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于具有高壓直流電源，用于輸入交流電壓，而產(chǎn)生直流電壓；交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；多個電子槍，它們被分別并聯(lián)地連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，通過加高壓而對發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束；開關(guān)裝置，它與各個電子槍相對應(yīng)，分別設(shè)置在電子槍的輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)進(jìn)行設(shè)置，用于通過上述開關(guān)裝置來檢測電子槍中流過的電流；以及控制裝置，用于從上述各個檢測器輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過電子槍內(nèi)流過的電流設(shè)定值時，判斷為故障，而向上述交流斷路器發(fā)出斷路指令，再向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后，向上述交流斷路器發(fā)出閉合指令。
所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于
在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)，設(shè)置在維護(hù)、檢修電子槍時被斷開的開關(guān)。
所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)，設(shè)置在維護(hù)、檢修電子槍時被斷開的開關(guān)，同時，設(shè)置對輸出端子側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
一種電子束產(chǎn)生裝置，它把具有控制驅(qū)動電路的電子槍連接到把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，同時經(jīng)過絕緣變壓器把交流電壓加到上述控制驅(qū)動電路上，以此來對由上述電子槍所發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束，其特征在于與上述高壓直流電源的輸出端子相連接的多個電子槍，并聯(lián)地設(shè)置成能分別斷開的狀態(tài)，同時，各個電子槍的控制驅(qū)動電路能從上述絕緣變壓器上斷開，當(dāng)這些電子槍上所流過的電流超過預(yù)定值時，被判斷為故障，把相應(yīng)的電子槍從上述高壓直流電源上斷開，同時把控制驅(qū)動電路從絕緣變壓器上斷開。
一種電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于設(shè)有高壓直流電源，它輸入交流電壓而產(chǎn)生直流電壓；第1交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；電子槍，它們并列地分別被連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，并具有多個控制驅(qū)動電路，它們通過加高壓來對產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速以輸出電子束；絕緣變壓器，它輸入交流電壓，具有能耐上述直流電壓的直流絕緣能力，而且次級側(cè)端子的一端連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，另一端連接在各個電子槍的控制驅(qū)動電路上；第2交流斷路器，它設(shè)置在該絕緣變壓器的初級側(cè)；
第1和第2開關(guān)裝置，它們與上述各個電子槍和控制驅(qū)動電路相對應(yīng)，分別被設(shè)置在其輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)進(jìn)行設(shè)置，用于檢測通過上述第1開關(guān)裝置而流入電子槍的電流；以及控制裝置，它從上述各個檢測器輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過流入電子槍內(nèi)的電流設(shè)定值時，判斷為故障，而向上述第1交流斷路器發(fā)出斷路指令，然后，向上述第2斷路器發(fā)出斷路指令，接著向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的第1和第2開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后向上述第1和第2交流斷路器發(fā)出閉合指令。
所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置在維護(hù)、檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)。
所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置在維護(hù)、檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)，同時分別設(shè)置對上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
一種電子束產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于在把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，連接具有控制驅(qū)動電路的電子槍，該控制驅(qū)動電路被布置在電子槍的高電位側(cè)，至少對該電子槍的輸出電流進(jìn)行控制；同時，通過絕緣變壓器把交流電壓加到上述控制驅(qū)動電路上，以此來對上述電子槍所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，從而輸出電子束。
所述的電子束產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于使上述控制驅(qū)動電路具有光通信功能，以便和處于接地電位的主控制盤之間進(jìn)行控制信號和運轉(zhuǎn)信息信號的發(fā)送和接收。
采用下列方法來構(gòu)成電子束產(chǎn)生裝置。
與本發(fā)明1相對應(yīng)的發(fā)明是在把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上連接電子槍，對由該電子槍所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速而取出電子束的這種電子束產(chǎn)生裝置中，與上述高壓直流電源的輸出端子相連接的多個電子槍，以并聯(lián)方式設(shè)置許多個并且能分別單獨斷開，這些電子槍內(nèi)所流過的電流若超過預(yù)定值，則被判斷為故障，并將該電子槍從上述高壓直流電源上斷開。
與本發(fā)明2相對應(yīng)的發(fā)明具有高壓直流電源，用于輸入交流電壓，輸出直流電壓；交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；多個電子槍，它們被分別并聯(lián)地連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，通過加高壓而對發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束；開關(guān)裝置，它與各個電子槍相對應(yīng)，分別設(shè)置在電子槍的輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)地進(jìn)行設(shè)置，用于通過上述開關(guān)裝置來檢測電子槍中流過的電流；以及控制裝置，用于從上述各個檢測器中輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過電子槍內(nèi)流過的電流設(shè)定值時，判斷為故障，向上述交流斷路器發(fā)出斷路(トリップ)指令，向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后，向上述交流斷路器發(fā)出閉合指令。
與本發(fā)明3相對應(yīng)的發(fā)明是在本發(fā)明1或2相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置中，在上高壓直流電源的輸出端子一側(cè)設(shè)置了一種在維護(hù)、檢修上述電子槍時進(jìn)行斷開的開關(guān)。
與本發(fā)明4相對應(yīng)的發(fā)明是在與本發(fā)明1或權(quán)利要求2相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置中，在上述高壓直流電源的輸出端子一側(cè)設(shè)置一種當(dāng)維護(hù)、檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)，同時設(shè)置對輸出端子一側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
所以，與本發(fā)明1至4相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置，當(dāng)電子槍發(fā)生故障時暫且使交流側(cè)的斷路器斷開，在一瞬間僅使發(fā)生故障的電子槍斷開，然后再接通斷路器，僅使其余的電子槍能工作，所以能穩(wěn)定地獲得輸出大的電子束，而且由交流一側(cè)切斷電流，因此，不需要在直流一側(cè)設(shè)置大型直流斷路器，根據(jù)電子槍的數(shù)量來設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的開關(guān)裝置即可。所以能降低整個裝置的價格并實現(xiàn)小型化。
再者，與上述發(fā)明3和發(fā)明4相對應(yīng)的發(fā)明，在維修電子槍時通過把開關(guān)斷開，即使在高壓直流電源內(nèi)部的電容器已被充電的狀態(tài)下也能安全地進(jìn)行電子槍檢修。
與本發(fā)明5相對應(yīng)的發(fā)明是一種電子束產(chǎn)生裝置，它把具有控制驅(qū)動電路的電子槍連接到把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，同時經(jīng)過絕緣變壓器把交流電壓加到上述控制驅(qū)動電路上，以此來對由上述電子槍所發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束。
其特征在于與上述高壓直流電源的輸出端子相連接的多個電子槍，并聯(lián)地設(shè)置成能分別斷開的狀態(tài)，同時，各個電子槍的控制驅(qū)動電路能從上述絕緣變壓器上斷開，當(dāng)這些電子槍上所流過的電流超過預(yù)定值時，被判斷為故障，把該電子槍從上述高壓直流電源上斷開，同時把控制驅(qū)動電路從絕緣變壓器上斷開。
與本發(fā)明6相對應(yīng)的發(fā)明具有高壓直流電源，它輸入交流電壓，發(fā)生直流電壓；
第1交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；電子槍，它們并列地分別被連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，具有多個控制驅(qū)動電路，以便通過加高壓來對發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束；絕緣變壓器，它輸入交流電壓，具有能耐上述直流電壓的直流絕緣能力，而且次級側(cè)端子的一端連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，另一端連接在各個電子槍的控制驅(qū)動電路上；第2交流斷路器，它設(shè)置在該絕緣變壓器的初級側(cè)；第1和第2開關(guān)裝置，它們與上述各個電子槍和控制驅(qū)動電路相對應(yīng)，分別被設(shè)置在其輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)進(jìn)行設(shè)置，用于檢測通過上述第1開關(guān)裝置而流入電子槍內(nèi)的電流；以及控制裝置，它從上述各個檢測器中輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過流入電子槍內(nèi)的電流設(shè)定值時，判斷為故障，向上述第1交流斷路器發(fā)出斷路指令，然后，向上述第2斷路器發(fā)出斷路指令，接著向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的第1和第2開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后向上述第1和第2交流斷路器發(fā)出閉合指令。
與本發(fā)明7相對應(yīng)的發(fā)明是在與本發(fā)明5或本發(fā)明6相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置中，在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置在檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)。
與本發(fā)明8相對應(yīng)的發(fā)明是在與本發(fā)明5或6相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置中，在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置在檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)，同時分別設(shè)置對上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
所以，與上述本發(fā)明5至8相對應(yīng)的發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置，在電子槍發(fā)生故障時，能僅把發(fā)生故障的電子槍從上述高壓直流電源上斷開，同時把控制驅(qū)動電路從絕緣變壓器上斷開，然后僅僅使剩余的電子槍工作，所以，能穩(wěn)定地獲得輸出較大的電子束，而且，由于在交流側(cè)切斷電流，所以不需要在直流側(cè)設(shè)置大型直流斷路器，只要根據(jù)電子槍的數(shù)量設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的開關(guān)裝置即可。因此，能降低整個裝置的價格并使其小型化。
再者，與上述本發(fā)明7或8相對應(yīng)的發(fā)明，通過在檢修電子槍時把開關(guān)切斷，即使高壓直流電源內(nèi)部的電容器處于充電狀態(tài)，也能安全地檢修電子槍。
本發(fā)明的效果如上所述，若采用本發(fā)明，則在1臺大容量高壓直流電源上能連接多個電子槍，而且，在電子槍發(fā)生故障時也能使停止工作的電子槍數(shù)量減少到最低限度。所以，能夠提供一種電子束輸出穩(wěn)定，體積小的電子束產(chǎn)生裝置。
以下參照附圖，詳細(xì)說明
具體實施例方式

圖1是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第1實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第2實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖3是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第3實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第4實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖5是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第5實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第6實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖7是表示過去的電子束產(chǎn)生裝置例子的電路結(jié)構(gòu)圖。
以下根據(jù)附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的實施例。
圖1是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置的第1實施例的電路構(gòu)成圖。對其中和圖7相同的部分標(biāo)注同一符號。
在圖1中，1是把通過斷路器3從交流電源中輸入的交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源，在該高壓直流電源1的高壓輸出端子4上連接具有N個(表示N=5的例子)分支的母線2。
在該母線2的各個分支點上，分別通過串聯(lián)用于檢測電流的檢測器41~45和斷路器31~35而連接電子槍21~25。
另一方面，5是輸入下述電流檢測信號的控制裝置，該信號是由各個檢測器41~45檢測出來的，從分支點流入到電子槍21~25內(nèi)。該控制裝置5在根據(jù)從各個檢測器中輸入的檢測信號判斷出某一電子槍發(fā)生故障時，向斷路器3發(fā)出斷路指令，同時在經(jīng)過極短暫的時間后向與故障電子槍相對應(yīng)的切斷開關(guān)發(fā)出斷開指令，然后再向斷路器發(fā)出閉合指令。
在此情況下，控制裝置5對由檢測器41~45所檢測出的流入電子槍21~25內(nèi)的電流的變化進(jìn)行監(jiān)視，根據(jù)流入到電子槍內(nèi)的電流值是否超過了預(yù)先設(shè)定值來判斷有無故障。在此，作為判斷標(biāo)準(zhǔn)的電流設(shè)定值，其設(shè)定方法是預(yù)先設(shè)定為以下兩種一定值一種是電子槍的額定電流值乘上裕度(容限)sf(sf≥1)；另一種是通常設(shè)定的工作電流值乘上裕度(容限)sf(sf≥1)。
在這樣構(gòu)成的電子束產(chǎn)生裝置中，通常切斷開關(guān)31~35處于閉合狀態(tài)，N個電子槍21~25全都被連接到母線2上，通過加直流電壓而發(fā)生電子束。
當(dāng)處于這種狀態(tài)時，例如電子槍21發(fā)生故障，根據(jù)從檢測器41向控制裝置5內(nèi)輸入的檢測信號，從流入到電子槍21內(nèi)的電流的變化中檢測出電子槍21的故障，于是向斷路器3發(fā)出斷路指令，經(jīng)過極短暫的時間后向切斷開關(guān)31發(fā)出切斷指令，使電子槍21從母線2上斷開。然后向斷路器3發(fā)出閉合指令。
這樣，在電子槍發(fā)生故障的情況下，暫且使交流側(cè)的斷路器3斷開，在一瞬間僅把發(fā)生故障的電子槍斷開，然后再使斷路器閉合，能僅僅使剩余的電子槍工作，所以，能穩(wěn)定地獲得輸出功率大的電子束，而且在交流側(cè)切斷電流，因此，在直流側(cè)不需要大型直流斷路器，只要按分支的數(shù)量來設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的切斷開關(guān)即可，所以，能降低整個裝置的價格并實現(xiàn)小型化。
圖2是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第2實施例的電路構(gòu)成圖，對與圖1相同的部分標(biāo)注同一符號，其說明從略，這里僅對不同的部分加以說明。
圖2所示的電子束產(chǎn)生裝置，在各個電子槍21~25上分別帶有用于控制電流等的單獨控制驅(qū)動電路51~55，該單獨控制驅(qū)動電路51~55布置在電子槍21~25的高壓部分上，所以，必須通過具有直流絕緣能力的變壓器6來供給功率。
因此，在第2實施例中，通過斷路器8把絕緣變壓器6的初級側(cè)連接到交流電源上，使其次級側(cè)的一端A與高壓直流電源1的輸出端子4相連接，使另一端B與具有N個分支點的母線7相連接。并且，使單獨控制驅(qū)動電路51~55的一端C與電子槍21~25相連接，使另一端D通過切斷開關(guān)61~65與母線7相連接。
在這樣構(gòu)成的電子束產(chǎn)生裝置中，通常切斷開關(guān)31~35、61~65全部閉合，N個電子槍21~25、單獨控制驅(qū)動電路51~55全都被連接在母線2和7上，通過加直流高壓而發(fā)生電子束。
當(dāng)處于這種狀態(tài)時，例如當(dāng)電子槍21發(fā)生故障，從檢測器41向控制裝置5內(nèi)輸入該檢測信號時，由控制裝置5根據(jù)流入到電子槍21內(nèi)的電流的變化來判斷出電子槍21發(fā)生故障，向斷路器3發(fā)出斷路指令，使高壓直流電源1的輸出為零，然后也向變壓器6的輸入側(cè)的斷路器8發(fā)出斷路指令，使單獨驅(qū)動電路的電流為零。
接著，控制裝置5向故障電子槍21所對應(yīng)的切斷開關(guān)31、61發(fā)出切斷指令，使電子槍21及其單獨控制驅(qū)動電路51從母線2、7上斷開。
然后，控制裝置5向變壓器6的輸入側(cè)的斷路器8發(fā)出閉合指令，使單獨控制驅(qū)動電路51動作，接著發(fā)出斷路器3閉合指令，使高壓直流電源1重新開始工作。
在此情況下，控制裝置5和第1實施例一樣，對由檢測器41~45所檢測出的流入到電子槍21~25內(nèi)的電流的變化進(jìn)行監(jiān)視，根據(jù)流入到電子槍內(nèi)的電流值是否超過了設(shè)定值來判斷有無故障。其方法有兩種一種是預(yù)先把作為判斷標(biāo)準(zhǔn)的電流設(shè)定值設(shè)定為由以下兩種算法所求得的一定值，即電子槍的額定電流值乘上裕度sf(sf≥1)，或者通常設(shè)定的運行電流值乘上裕度sf(sf≥1)。另一種是在單獨控制驅(qū)動電路中所指定的當(dāng)時的實際電流指令值乘上某一裕度，使該值和時間一起進(jìn)行變化。
在這種構(gòu)成的電子束產(chǎn)生裝置中，也是在電子槍發(fā)生故障的情況下，暫且使交流側(cè)的斷路器3斷開，然后使變壓器6的輸入側(cè)的斷路器8斷開，使單獨控制驅(qū)動電路的電流為零后，在瞬間僅使故障電子槍斷開，然后向變壓器6的輸入側(cè)斷路器8發(fā)出閉合指令，使單獨控制驅(qū)動電路51運轉(zhuǎn)，接著向斷路器3發(fā)出閉合指令，使高壓直流電源1重新開始運轉(zhuǎn)，這樣能僅僅使正常的電子槍工作。所以，和第1實施例一樣，能穩(wěn)定地獲得輸出大的電子束，而且因為在交流側(cè)切斷電流，所以，在直流側(cè)不用設(shè)置大型直流斷路器，只要按分支數(shù)量來設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的切斷開關(guān)即可。因此能降低整個裝置的價格，能實現(xiàn)裝置的小型化。
進(jìn)一步也可以作為這樣一種系統(tǒng)，即把K51~55布置在電子槍的高電位側(cè)，同時對電子槍的動作狀態(tài)進(jìn)行控制。電子槍的動作狀態(tài)，例如以燈絲(ヒ-タ)電流為首，還有真空度等。在構(gòu)成該系統(tǒng)的情況下，由于能對每個電子槍單獨發(fā)出控制信號，所以能任意設(shè)定各個電子槍的輸出電流值等等，能大大提高運轉(zhuǎn)的自由度和可靠性。
并且，在K51~55中，分別引出了無圖示的光纖，分別連接在無圖示的主控制盤上。在這種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中，因為能用光收發(fā)信號，所以在信號傳輸方面不必考慮高電位部分和地電位部分接地、短路造成危害。例如，可適用于發(fā)出電子槍燈絲電流值的指令信號以及電子槍加速管內(nèi)的真空度監(jiān)視信號等。
圖3是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第3實施例的電路結(jié)構(gòu)圖，對于和圖1相同的部分標(biāo)注同一符號，其說明從略，在此對不同之處加以說明。
第3實施例是在高壓直流電源1的輸出端子4和母線2之間設(shè)置開關(guān)9，其他結(jié)構(gòu)與圖1相同。
若采用這種結(jié)構(gòu)，則除具有與第1實施例相同的作用效果外，在檢修電子槍的情況下通過使開關(guān)9斷開，即使高壓直流電源1內(nèi)部的電容器處于被充電狀態(tài)下，也能安全地進(jìn)行電子槍檢修。
圖4是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第4實施例的電路結(jié)構(gòu)圖。其中與圖2相同的部分標(biāo)注相同的符號，其說明從略，在此對不同之處加以說明。
第4實施例在高壓直流電源1的輸出端子4和母線2之間設(shè)置開關(guān)9，同時在變壓器6的次級端子B和母線7之間設(shè)置開關(guān)10，其他結(jié)構(gòu)與圖2相同。
若采用這種結(jié)構(gòu)，則除具有和實施例2相同的作用效果外，在檢修電子槍的情況下，通過使開關(guān)9、10斷開，與第3實施例一樣，即使高壓直流電源1內(nèi)的電容器處于被充電的狀態(tài)下，也能確保安全地檢修電子槍。
圖5是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第5實施例的電路結(jié)構(gòu)圖，對其與圖1相同的部分標(biāo)注同一符號，其說明從略中，在此對不同之處加以說明。
第5實施例是在高壓直流電源1的輸出端子4和母線2之間設(shè)置開關(guān)9，并且在母線2和地之間也設(shè)置開關(guān)11，其他結(jié)構(gòu)與圖1相同。
這種結(jié)構(gòu)，通常若接通開關(guān)9，斷開開關(guān)11，則具有與第1實施例相同的作用效果，此外檢修或更換電子槍的情況下，通過使開關(guān)9斷開，使開關(guān)11閉合，即可使高電位部分接地，所以，能安全地進(jìn)行作業(yè)。
圖6是表示本發(fā)明的電子束產(chǎn)生裝置第6實施例的電路結(jié)構(gòu)圖，對其與圖2相同的部分標(biāo)注同一符號，其說明從略，在此對其不同之處加以說明。
第6實施例是在高壓直流電源1的輸出端子4和母線2之間設(shè)置開關(guān)9，同時在變壓器6的次級端子B和母線7之間設(shè)置開關(guān)10，并且在母線2和地之間設(shè)置開關(guān)11，同時母線7和地之間也設(shè)置開關(guān)12，其他結(jié)構(gòu)與圖2相同。
這種結(jié)構(gòu)，通常使開關(guān)9、10閉合，使開關(guān)11、12斷開，即可獲得與第1實施例相同的作用效果，此外，在檢修或更換電子槍的情況下，使開關(guān)9、10斷開，使開關(guān)11、12閉合，即可使高電位部分接地，所以，能安全地進(jìn)行作業(yè)。
權(quán)利要求
1．一種電子束產(chǎn)生裝置，把電子槍連接到使交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，對該電子槍所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束，其特征在于連接在上述高壓直流電源的輸出端子上的電子槍設(shè)成多個并聯(lián)，能分別斷開的，當(dāng)流入到這些電子槍內(nèi)的電流超過預(yù)定值時判斷為有故障，并將相應(yīng)的電子槍從上述高壓直流電源上斷開。
2．一種電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于具有高壓直流電源，用于輸入交流電壓，而產(chǎn)生直流電壓；交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；多個電子槍，它們被分別并聯(lián)地連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，通過加高壓而對產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束；開關(guān)裝置，它與各個電子槍相對應(yīng)，分別設(shè)置在電子槍的輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)進(jìn)行設(shè)置，用于通過上述開關(guān)裝置來檢測電子槍中流過的電流；以及控制裝置，用于從上述各個檢測器輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過電子槍內(nèi)流過的電流設(shè)定值時，判斷為發(fā)生故障，而向上述交流斷路器發(fā)出斷路指令，再向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后，向上述交流斷路器發(fā)出閉合指令。
3．如權(quán)利要求1或2所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)，設(shè)置在維護(hù)、檢修電子槍時被斷開的開關(guān)。
4．如權(quán)利要求1或2所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)，設(shè)置在維護(hù)、檢修電子槍時被斷開的開關(guān)，同時，設(shè)置對輸出端子側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
5．一種電子束產(chǎn)生裝置，它把具有控制驅(qū)動電路的電子槍連接到把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，同時經(jīng)過絕緣變壓器把交流電壓加到上述控制驅(qū)動電路上，以此來對由上述電子槍所發(fā)生的電子進(jìn)行加速，輸出電子束，其特征在于與上述高壓直流電源的輸出端子相連接的多個電子槍，并聯(lián)地設(shè)置成能分別斷開的狀態(tài)，同時，各個電子槍的控制驅(qū)動電路能從上述絕緣變壓器上斷開，當(dāng)這些電子槍上所流過的電流超過預(yù)定值時，被判斷為故障，把相應(yīng)的電子槍從上述高壓直流電源上斷開，同時把控制驅(qū)動電路從絕緣變壓器上斷開。
6．一種電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于設(shè)有高壓直流電源，它輸入交流電壓而產(chǎn)生直流電壓；第1交流斷路器，它被設(shè)置在該高壓直流電源的輸入側(cè)；電子槍，它們并列地分別被連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，并具有多個控制驅(qū)動電路，它們通過加高壓來對產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速以輸出電子束；絕緣變壓器，它輸入交流電壓，具有能耐上述直流電壓的直流絕緣能力，而且次級側(cè)端子的一端連接在上述高壓直流電源的輸出端子上，另一端連接在各個電子槍的控制驅(qū)動電路上；第2交流斷路器，它設(shè)置在該絕緣變壓器的初級側(cè)；第1和第2開關(guān)裝置，它們與上述各個電子槍和控制驅(qū)動電路相對應(yīng)，分別被設(shè)置在其輸入側(cè)；檢測器，它們分別與上述各個電子槍相對應(yīng)進(jìn)行設(shè)置，用于檢測通過上述第1開關(guān)裝置而流入電子槍的電流；以及控制裝置，它從上述各個檢測器輸入檢測信號，當(dāng)該檢測信號超過流入電子槍內(nèi)的電流設(shè)定值時，判斷為故障，而向上述第1交流斷路器發(fā)出斷路指令，然后，向上述第2斷路器發(fā)出斷路指令，接著向與發(fā)生故障的電子槍相對應(yīng)的第1和第2開關(guān)裝置發(fā)出斷開指令，然后向上述第1和第2交流斷路器發(fā)出閉合指令。
7．如權(quán)利要求5或6所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置，在維護(hù)、檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)。
8．權(quán)利要求5或6所述的電子束產(chǎn)生裝置，其特征在于在上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)分別設(shè)置，在維護(hù)、檢修上述電子槍時被斷開的開關(guān)，同時分別設(shè)置對上述高壓直流電源的輸出端子側(cè)和上述絕緣變壓器的次級側(cè)進(jìn)行接地的開關(guān)。
9．一種電子束產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于在把交流電壓變換成直流電壓的高壓直流電源的輸出端子上，連接具有控制驅(qū)動電路的電子槍，該控制驅(qū)動電路被布置在電子槍的高電位側(cè)，至少對該電子槍的輸出電流進(jìn)行控制；同時，通過絕緣變壓器把交流電壓加到上述控制驅(qū)動電路上，以此來對上述電子槍所產(chǎn)生的電子進(jìn)行加速，從而輸出電子束。
10．如權(quán)利要求9所述的電子束產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于使上述控制驅(qū)動電路具有光通信功能，以便和處于接地電位的主控制盤之間進(jìn)行控制信號和運轉(zhuǎn)信息信號的發(fā)送和接收。
全文摘要
電子束發(fā)生裝置，具有輸入交流電壓，產(chǎn)生直流電壓的高壓直流電源；設(shè)置在該電源輸入側(cè)的交流斷路器；分別并朕在該電源輸出端的多個電子槍；設(shè)在各電子槍輸入側(cè)的斷路器；對應(yīng)各電子槍以檢測經(jīng)切斷開關(guān)而流入槍內(nèi)電流的檢測器；控制裝置，從各檢測器輸入檢測信號，當(dāng)該信號超過流入槍內(nèi)的電流設(shè)定值時，判斷為發(fā)生故障，向交流斷路器發(fā)斷路指令，向故障電子槍對應(yīng)的切斷開關(guān)發(fā)斷開指令，之后再向交流斷路器發(fā)閉合指令。
文檔編號H01J29/00GK1237779SQ9910071
公開日1999年12月8日 申請日期1999年2月10日 優(yōu)先權(quán)日1998年2月23日
發(fā)明者小倉靖弘 申請人:東芝株式會社