專利名稱：離子源孔同預(yù)定離子束路徑的對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到一種用于離子注入站中對(duì)工件進(jìn)行離子束處理的離子注入機(jī)，更具體地說(shuō)是一種使引出元件孔(弧隙)及引出電極間隙同預(yù)定的束路徑精確定位并對(duì)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和方法。
用來(lái)將摻雜劑引入半導(dǎo)體片子的一種現(xiàn)有技術(shù)是使離子束沿束的行進(jìn)路徑并選擇性地安置硅片使其截取離子束。此技術(shù)已用于離子注入機(jī)中來(lái)對(duì)片子進(jìn)行離子材料濃度可控的摻雜。
Eaton NV 200氧離子注入機(jī)是一例商用離子注入設(shè)備。這種現(xiàn)有技術(shù)的離子注入機(jī)采用了一種帶有陰極的氧離子源，它包括一個(gè)用來(lái)提供電子以離化氧分子的燈絲。陰極發(fā)射的電子被加速通過(guò)含有濃度受到控制的氧氣的區(qū)域。電子同氣體分子相互作用產(chǎn)生能量并使分子離化。一但離化，帶電的氧分子就沿行進(jìn)路徑被加速，從而形成用于半導(dǎo)體片子注入的離子束。授予Shubaly的美國(guó)專利4,714,834公開(kāi)了一種采用陰極燈絲的離子源。
離子源結(jié)構(gòu)的另一種方案包括采用不需要陰極和陰極燈絲的微波離子源。用微波提供功率的離子源以回旋共振頻率激發(fā)離化室中的自由電子。這些電子同氣體分子進(jìn)行碰撞，使分子離化，在離子室中提供離子和更多的自由電子。這些離子然后承受到加速電場(chǎng)并以離子束的形式離開(kāi)離化室。Hipple等人的美國(guó)專利4,883,968公開(kāi)了一種這樣的共振離子源。Hipple等人的968專利公開(kāi)作為一個(gè)整體被本申請(qǐng)列為參考。
離子注入設(shè)備運(yùn)行中的一個(gè)關(guān)鍵因素是產(chǎn)生的離子束路徑相對(duì)于所需的預(yù)定束行進(jìn)路徑的精確性如何。在離化或電弧室中產(chǎn)生的離子通過(guò)細(xì)長(zhǎng)的孔或弧隙而離開(kāi)離化室。離子束沿束路徑被位于電弧室附近的激勵(lì)引出電極產(chǎn)生的電場(chǎng)加速。引出電極由二個(gè)半圓形盤(pán)組成，彼此分隔形成一個(gè)離子借以通過(guò)的細(xì)長(zhǎng)縫隙。
為了獲得同預(yù)定束路徑重合的束路徑，弧隙和引出電極間隙的位置和對(duì)準(zhǔn)是很關(guān)鍵的?；∠逗鸵鲭姌O間隙都必須定位成同預(yù)定束路徑軸向?qū)?zhǔn)。在現(xiàn)有技術(shù)的離子注入裝置中，由于弧隙同離子束源機(jī)箱之間的累積位置公差，難以使弧隙相對(duì)于預(yù)定束路徑精確對(duì)準(zhǔn)。
源機(jī)箱支持著與產(chǎn)生離子束相關(guān)的各元件。在現(xiàn)有技術(shù)裝置中，弧隙制作在引出元件或安置于電弧室上的板上。電弧室由離子源裝置支持。離子源裝置安裝在離子源裝置支持筒中。支持筒固定于絕緣子。絕緣子連接于離子束源機(jī)箱上。與相對(duì)于離子束源機(jī)箱而定位弧隙相關(guān)的公差，使弧隙同預(yù)定束路徑的適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)變成一項(xiàng)困難、費(fèi)錢(qián)又費(fèi)時(shí)間的事情。而且，由于電極板安裝在附著在離子束源機(jī)箱并從其伸出的結(jié)構(gòu)上，弧隙同引出電極間隙的對(duì)準(zhǔn)也很困難。
本發(fā)明涉及一種方法和設(shè)備，它克服了弧隙同引出電極間隙相互之間以及同預(yù)定束路徑的定位和對(duì)準(zhǔn)困難。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例組成的離子注入設(shè)備包括一個(gè)離子束源機(jī)箱和一個(gè)離子源裝置。離子束源裝置的一部分伸入到源機(jī)箱中并由離子源裝置支持筒環(huán)繞和支持。離子源裝置包括一個(gè)側(cè)面敞開(kāi)式電弧室。電弧室確定一個(gè)可離化的氣體進(jìn)入的內(nèi)室。電弧室的敞口側(cè)由一個(gè)含有一離子借以離開(kāi)電弧室的細(xì)長(zhǎng)孔或弧隙的引出元件或板封閉。在離化室中提供能源以離化其中的氣體。
離子注入設(shè)備包括一個(gè)自對(duì)中的夾緊裝置。引出元件固定于夾緊裝置的支持環(huán)。支持環(huán)放置在開(kāi)口環(huán)夾和固定卡環(huán)之間，開(kāi)始時(shí)可相對(duì)于開(kāi)口環(huán)夾和固定卡環(huán)作橫向移動(dòng)。引出元件(帶有裝于其上的夾緊裝置)固定于對(duì)準(zhǔn)夾具的安裝面。夾緊裝置被可移走地安裝于對(duì)準(zhǔn)夾具面。對(duì)準(zhǔn)夾具當(dāng)安裝在離子源機(jī)箱上時(shí)，使引出元件弧隙同預(yù)定的束路線對(duì)準(zhǔn)，并使夾緊裝置定位成開(kāi)口環(huán)夾同離子源裝置支持筒的一端重疊。開(kāi)口環(huán)夾被夾于離子源裝置支持筒。因?yàn)閵A緊裝置是自對(duì)中且在支持環(huán)和開(kāi)口環(huán)卡之間可橫向操作，故即使支持筒相對(duì)于預(yù)定束路徑偏離中心，也能保持弧隙同預(yù)定束路徑的軸向?qū)?zhǔn)。然后將對(duì)準(zhǔn)夾具從離子束源機(jī)箱移走。
采用使引出元件弧隙相對(duì)于離子源裝置機(jī)箱定位的對(duì)準(zhǔn)夾具，消除了現(xiàn)有技術(shù)離子注入設(shè)備的累積定位公差。對(duì)準(zhǔn)夾具使弧隙可沿預(yù)定束路徑軸線精確定位。自對(duì)中夾緊裝置使對(duì)準(zhǔn)夾具在孔同預(yù)定離子束獲得合適的對(duì)準(zhǔn)后可以移走。
根據(jù)本發(fā)明的另一種方面，引出元件包括平的前后側(cè)。電弧室的敞開(kāi)側(cè)包括一個(gè)圓壁連接表面，它被彈性裝在引出元件的背面以便電弧室同引出元件之間密封。采用對(duì)準(zhǔn)夾具使引出元件沿同預(yù)定離子束路徑軸向?qū)?zhǔn)的方向準(zhǔn)確地定位，并且用夾緊裝置固定于離子源裝置支持筒，而不是將引出元件安裝到電弧室。這種設(shè)計(jì)適應(yīng)電弧室在離子源裝置支持筒中位置的輕微偏離，同時(shí)保持了產(chǎn)生的離子束同預(yù)定離子束路徑的軸向?qū)?zhǔn)。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，本設(shè)備還包括一個(gè)含有由二個(gè)分開(kāi)的半圓組成的引出電極的離子加速電極裝置。半圓片支持成相互間隔，從而確定一個(gè)離子沿束路徑被加速時(shí)借以通過(guò)的引出電極間隙。引出電極間隙同引出元件弧隙對(duì)準(zhǔn)。
半圓片分別固定于第一和第二支持腿。各支持腿被安裝在相應(yīng)的角軌上。此軌道平行于預(yù)定的束路徑并在相對(duì)的方向成角。一個(gè)馬達(dá)用來(lái)使各支持腿沿其相應(yīng)的角軌一致地移動(dòng)。當(dāng)支持腿沿其相應(yīng)的軌道一致地移動(dòng)時(shí)，引出電極間隙的寬度就改變，從而可用來(lái)調(diào)節(jié)離子束。
從結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明最佳實(shí)施例的詳細(xì)描述中，本發(fā)明的各種目的、優(yōu)點(diǎn)和特征將更好理解。


圖1是離子注入設(shè)備的示意圖；圖2是離子束裝置的局部示意圖，包括一個(gè)離子束源機(jī)箱、一個(gè)界面板、一個(gè)絕緣子以及一個(gè)離子源裝置支持筒；圖3是離子束源裝置的局部剖面圖；圖4是其上安裝有對(duì)準(zhǔn)夾具和夾緊裝置的離子源裝置機(jī)箱和離子源裝置支持筒的局部剖面及正面圖；圖5A是離子電弧室的局部平面和局部剖面圖；圖5B是圖5A電弧室的局部正面和局部剖面圖；圖6A是夾緊裝置的前視圖；圖6B是圖6A夾緊裝置的剖面圖7A是圖3和圖4所示對(duì)準(zhǔn)夾具的前視圖；圖7B是圖7A對(duì)準(zhǔn)夾具從圖7A的切割線7B-7B看的部分正面和部分剖面圖；圖8A是其上安裝有圖6A夾緊裝置的圖7A對(duì)準(zhǔn)夾具的前視圖；圖8B是其上安裝有圖6A夾緊裝置的圖7A對(duì)準(zhǔn)夾具的局部背視圖；圖9是離子源裝置機(jī)箱上安裝有可變間隙電極的離子束源裝置的正面圖；圖10A是可變間隙電極板裝置的前視圖；圖10B是圖10A可變間隙電極板裝置的后視圖；圖10C是可變間隙電極板裝置的剖面圖；圖11A是引出元件的前視圖；圖11B是圖11A引出元件從圖11A的切割線11B-11B看的剖面圖；以及圖11C是圖11A引出元件的背視圖。
圖1是描述離子注入設(shè)備10的總示意圖，此設(shè)備具有一個(gè)產(chǎn)生離子并沿路徑加速離子以形成一個(gè)離子束14的離子束源裝置12。束14中的離子從離子束源裝置12行進(jìn)一段路徑以撞擊到注入站16處的工件(未示出)上。在典型的注入站中，離子束14撞擊硅片(未示出)以選擇性地將對(duì)硅片摻雜并產(chǎn)生半導(dǎo)體片子的離子顆粒引入。
在圖1所示離子注入系統(tǒng)10中，離子束14行進(jìn)一固定的路徑。借助于使硅片選擇性地通過(guò)離子束14而移動(dòng)，達(dá)到對(duì)離子注入劑量的控制。Eaton公司市售的NV-20A型注入機(jī)是一例現(xiàn)有技術(shù)的注入系統(tǒng)10。離子束源裝置12采用微波發(fā)生器或燈絲來(lái)激發(fā)圖3、4、5A和5B所示的離子發(fā)生或電弧室18中的自由電子。電子同注入電弧室內(nèi)部的氣體分子碰撞而產(chǎn)生離子。產(chǎn)生的離子從電弧室18由圖3、10A、10B和10C所示的引出電極20加速并形成離子束14。進(jìn)入注入室16的離子由引出電極20提供的初始能量為例如40-50Kev。
離子束14通過(guò)一段真空的路徑而到達(dá)注入站16。真空路徑由圖1所示的真空泵24a、24b、24c來(lái)提供。構(gòu)成離子束14的離子進(jìn)入將帶電離子向注入站16彎轉(zhuǎn)的分析磁鐵26。由于離子同分析磁鐵26所建立的磁場(chǎng)相互作用，帶有多重電荷的離子和原子數(shù)不對(duì)的不同種離子從束14中消失。在分析磁鐵26和注入站16之間行進(jìn)的離子在撞擊注入站16中的片子之前，被加速電極22加速到更高的能量。
控制電路(未示出)對(duì)到達(dá)注入站16的注入劑量進(jìn)行監(jiān)測(cè)，并根據(jù)注入站16處硅片所需的摻雜水平而增減離子束濃度。監(jiān)測(cè)離子束劑量的技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中是熟知的，一般是采用與離子束相交的法拉弟筒30來(lái)監(jiān)測(cè)束劑量。注入站16包括一個(gè)可移動(dòng)的片子支座32。在裝載可動(dòng)支座32的過(guò)程中，片子由機(jī)械手36從片盒34取出并通過(guò)裝料鎖(末示出)插入注入室38?？蓜?dòng)支座32由馬達(dá)40帶動(dòng)繞中央軸42旋轉(zhuǎn)以便使置于可動(dòng)支座32外緣的片子通過(guò)離子束14。
圖2更詳細(xì)地示出了根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的離子束源裝置12。離子束源裝置12包括一個(gè)立方形的源機(jī)箱44。源機(jī)箱44由鋁組成并有一個(gè)在機(jī)箱垂直側(cè)壁48a、48b、48c、48d上分別有四個(gè)進(jìn)出窗口46a、46b、46c、46d與之連接的內(nèi)腔45。轉(zhuǎn)至圖3，一個(gè)接地的離子束線板(beam line plate)50被固定到源機(jī)箱44的垂直面48b。此接地束線板50包括一個(gè)開(kāi)槽的石墨襯底52，離子束14在其向分析磁鐵26行進(jìn)時(shí)通過(guò)它而離開(kāi)離子束源裝置12。裝在接地束線板50中切削出的圓形溝槽中的O形環(huán)54使離子束源機(jī)箱44和束線板50之間保持真空密封。當(dāng)離子注入設(shè)備10運(yùn)行時(shí)，源機(jī)箱內(nèi)腔45中保持真空。離子束源機(jī)箱44同接地的束線板50電連接在一起。如從圖2和3可見(jiàn)，界面板56固定在接地束線板50對(duì)面的源機(jī)箱垂直面48a和絕緣子58之間。
轉(zhuǎn)到圖3、4、5A和5B，形成束14的離子在電弧室18中產(chǎn)生。電弧室18確定一個(gè)內(nèi)室60并有一敞開(kāi)側(cè)62。電弧室包括一個(gè)燈絲64和一個(gè)擋板66。待要離化的氣體經(jīng)過(guò)氣體入口68被注入到電弧室內(nèi)。
如從圖3和4可很清楚地看見(jiàn)那樣，電弧室18由伸出部70支持于離子源裝置69的一端。一對(duì)彈簧71使電弧室18相對(duì)于引出元件72偏移。引出元件72(圖11A、11B和11C)的形狀為矩形，其一邊73平坦，此面即安裝電弧室18。如從圖11B可最清楚地看到，引出元件的反側(cè)74是凹的或稍微向內(nèi)彎。引出元件72在元件的相對(duì)邊上包括二個(gè)精確周邊定位槽75和另外四個(gè)周邊槽76，一邊二個(gè)。精確周邊定位槽75同細(xì)長(zhǎng)橢圓孔或弧隙78的中心軸對(duì)準(zhǔn)，在電弧室18中產(chǎn)生的離子通過(guò)78離開(kāi)電弧室并沿離子束路徑被引出電極20加速。引出電極20(圖3、10A、10B和10C)被加電并相對(duì)于電弧室18的電位而可控地偏置，以加速?gòu)囊鲈∠?8離開(kāi)電弧室18出來(lái)的離子。
轉(zhuǎn)至圖3和4，離子源裝置支持筒80圍繞并支持著離子源裝置69。支持筒80由諸如鋁的導(dǎo)電材料組成并伸過(guò)源機(jī)箱進(jìn)出口46a。支持筒80同源機(jī)箱進(jìn)出口46b同軸，且包括一個(gè)支撐絕緣子5 8的法蘭盤(pán)81。靠近法蘭盤(pán)81的支持筒中的二個(gè)切口84提供了到燈絲64(圖5A和5B)的電源引線83的空間。遠(yuǎn)離法蘭盤(pán)81的支持筒80的一端，圍繞著電弧室18，且包括一個(gè)在支持筒80的內(nèi)緣加工的環(huán)形臺(tái)階部分82。如從圖3可見(jiàn)，離子源裝置支持筒80的法蘭盤(pán)81連接到絕緣子58并由58支持。絕緣子58使離子源機(jī)箱44同產(chǎn)生和加速離子離開(kāi)電弧室18的正激勵(lì)電壓隔離開(kāi)來(lái)。
為了確保產(chǎn)生的離子束14遵循預(yù)定的束路徑，引出元件弧隙78同引出電極20彼此正確對(duì)準(zhǔn)并相對(duì)于離子束源機(jī)箱44精確地定位，這是非常重要的。引出元件弧隙78或引出電極20相對(duì)離子束源機(jī)箱44的適當(dāng)定位如果失敗，將導(dǎo)致難以使離子束路徑14同預(yù)定的所需束路徑相重合，且難以控制注入站16中處理片子的離子劑量。
在本發(fā)明中，引出元件弧隙78利用可移走地安裝在源機(jī)箱44(圖4)上的對(duì)準(zhǔn)夾具90而相對(duì)于離子束源機(jī)箱44被精確地定位，源機(jī)箱44準(zhǔn)確地將引出元件72定位在源機(jī)箱44的內(nèi)腔45之中，使弧隙78同預(yù)定的束路徑恰當(dāng)?shù)剌S向?qū)?zhǔn)。引出元件72安裝于自對(duì)中的夾緊裝置92(圖6A和6B)的一個(gè)支持環(huán)94。支持環(huán)94由向外開(kāi)口的開(kāi)口環(huán)卡107可移動(dòng)地支持，107開(kāi)始時(shí)松馳地連接于制動(dòng)環(huán)108。亦即，在夾緊裝置的初始條件中，支持環(huán)94和引出元件72可相對(duì)于松馳地連接的開(kāi)口環(huán)卡107和制動(dòng)環(huán)108作橫向滑動(dòng)或運(yùn)動(dòng)。
引出元件72(其上安置有夾緊裝置92)被安裝于對(duì)準(zhǔn)夾具90(圖8A和8B)。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)夾具90安裝在源機(jī)箱44上時(shí)，開(kāi)口環(huán)卡107被固定在離子源裝置支持筒80的端部。因?yàn)橐鲈?2保持固定于對(duì)準(zhǔn)夾具，且因?yàn)橹С汁h(huán)94和引出元件72可相對(duì)于開(kāi)口環(huán)卡107作橫向運(yùn)動(dòng)，故引出元件72保持同預(yù)定的離子束路徑對(duì)準(zhǔn)，同時(shí)開(kāi)口環(huán)卡107固定于支持筒80。在開(kāi)口環(huán)卡107固定于支持筒80之后，制動(dòng)環(huán)108被緊緊地連接于開(kāi)口環(huán)卡107，確保支持環(huán)94和引出元件72就位。然后從引出元件72松開(kāi)對(duì)準(zhǔn)夾具90并從離子源機(jī)箱44移走。使弧隙78直接對(duì)離子束源機(jī)箱44定位，消除了現(xiàn)有技術(shù)離子注入裝置的累積公差。
圖4、7A、7B、8A和8B所示的對(duì)準(zhǔn)夾具90，同圖3、4、6A、 6B、8A和8B所示的自對(duì)中夾緊裝置92結(jié)合起來(lái)使用。引出元件72固定于夾緊裝置92的一個(gè)支持環(huán)94。然后將引出元件72(其上裝有夾緊裝置92)安裝于對(duì)準(zhǔn)夾具90的前安裝表面96。
如從圖4可見(jiàn)，對(duì)準(zhǔn)夾具90包括一個(gè)固定于離子束源機(jī)箱44垂直面48c的安裝法蘭盤(pán)98。其上固定有夾緊裝置92和引出元件72(圖8A和8B)的對(duì)準(zhǔn)夾具90，通過(guò)源機(jī)箱垂直側(cè)面進(jìn)出窗口46c被插入，而對(duì)準(zhǔn)夾具的安裝法蘭盤(pán)98被安裝于源機(jī)箱垂直面48c。對(duì)準(zhǔn)夾具90的尺寸定為使弧隙78準(zhǔn)確地定位并同預(yù)定的束路徑軸向?qū)?zhǔn)，此時(shí)安裝法蘭盤(pán)98緊緊地卡在源機(jī)箱垂直面48c上，而安裝法蘭盤(pán)98的前面99支持二個(gè)從界面板56伸出的定位鈕102(圖2和9)。用二個(gè)通過(guò)安裝法蘭盤(pán)98中的開(kāi)口105擰入源機(jī)箱垂直面48c中螺紋孔106的螺釘104a、104b(104a為內(nèi)六角螺釘，104b為對(duì)準(zhǔn)帶肩螺釘)，使對(duì)準(zhǔn)夾具90固定于源機(jī)箱44。
夾緊裝置92是自對(duì)中的并將引出元件72固定于離子源裝置支持筒80，同時(shí)保持引出元件弧隙78相對(duì)于源機(jī)箱44因而也是預(yù)定的束路徑的位置，轉(zhuǎn)到圖6A和6B，除支持環(huán)94外，夾緊裝置92還包括外向開(kāi)口環(huán)卡107和制動(dòng)環(huán)108。開(kāi)口環(huán)卡107包括一個(gè)在其背面上的環(huán)形槽109(圖8A)，其尺寸定為在離子源裝置支持筒80的環(huán)形臺(tái)階部位82上可自由地滑動(dòng)。擰緊三個(gè)帶肩螺釘110以便將制動(dòng)環(huán)108固定于開(kāi)口環(huán)卡107但允許支持環(huán)94在開(kāi)口環(huán)卡107和制動(dòng)環(huán)108之間自由運(yùn)動(dòng)。其余六個(gè)制動(dòng)螺釘111保持松馳直至夾緊裝置被固定于支持筒80，如將要解釋的那樣。支持環(huán)94包括二個(gè)向內(nèi)伸出的凸片114。凸片114包括四個(gè)螺紋孔116和二個(gè)引出元件定位釘118。
引出元件72的二個(gè)精密縫75同薄片引出元件定位釘118相互配合以便使引出元件相對(duì)于支持環(huán)94作精確定位。然后用四個(gè)帶肩螺釘120旋入帶螺紋的薄片孔116中將引出元件72固定于支持環(huán)凸片114。帶肩螺釘120在安裝到支持筒80時(shí)固定得松一些，使引出元件74可作有限的軸向運(yùn)動(dòng)(約1/32英寸)以適應(yīng)離子注入設(shè)備10運(yùn)行過(guò)程中的熱膨脹。支持片114還包括二個(gè)定位孔121。
轉(zhuǎn)到圖7A、7B、8A和8B，夾緊裝置92連同固定于支持環(huán)片114的引出元件72，借助于使自前安裝表面96凸出的二個(gè)對(duì)準(zhǔn)夾具定位釘122同支持環(huán)片114上的二個(gè)定位孔121相互對(duì)準(zhǔn)，而被安裝到對(duì)準(zhǔn)夾具90的前安裝表面96上。對(duì)準(zhǔn)夾具定位釘122和薄片定位孔121確保了引出元件72的準(zhǔn)確定位，從而也確定了對(duì)準(zhǔn)夾具90上弧隙78的準(zhǔn)確定位。四個(gè)卡銷124(圖4和7B)伸過(guò)對(duì)準(zhǔn)夾具90并包括柄。擰緊卡銷使柄126將引出元件72和夾緊裝置92固定于對(duì)準(zhǔn)夾具的安裝表面96。柄126可旋轉(zhuǎn)，以致在夾緊裝置92固定于支持筒80之后，可將對(duì)準(zhǔn)夾具90從引出元件72和夾緊裝置92移走。
如從圖4可清楚地看出，其中安裝有夾緊裝置92的對(duì)準(zhǔn)夾具90通過(guò)進(jìn)出窗口46c被插入到離子束源機(jī)箱44中。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)夾具90通過(guò)進(jìn)出窗口46c插入時(shí)，開(kāi)口環(huán)卡107的環(huán)形槽109在離子源裝置支持筒80的端面上滑動(dòng)。對(duì)準(zhǔn)夾具90的源機(jī)箱安裝法蘭盤(pán)98被定位成平坦地落在源機(jī)箱垂直側(cè)壁48c上，而安裝法蘭盤(pán)98的前端面99緊靠界面板定位鈕102。這就確保了對(duì)準(zhǔn)夾具90的精確定位，從而也確保了引出元件70和弧隙78相對(duì)于源機(jī)箱44和預(yù)定束路徑的精確定位。對(duì)準(zhǔn)夾具螺釘104a和104b通過(guò)安裝法蘭盤(pán)98的孔105被插入并擰入源機(jī)箱螺紋孔106以對(duì)準(zhǔn)夾具90并將其固定于源機(jī)箱44。
夾緊裝置92被松馳地安裝，以使開(kāi)口環(huán)卡107相對(duì)于支持筒80自對(duì)中。擰緊內(nèi)六角螺釘128，使開(kāi)口環(huán)卡環(huán)形槽109張口以便將夾緊裝置92固定于支持筒80的環(huán)形臺(tái)階部位82。然后擰緊此時(shí)還能使對(duì)準(zhǔn)夾具90就位的六個(gè)松馳的制動(dòng)環(huán)螺釘111中的五個(gè)(圖6A和6B)，以確保支持環(huán)94和引出元件處于恰當(dāng)?shù)奈恢?，亦即，固定于支持筒但保持弧?8同預(yù)定束路徑軸向?qū)?zhǔn)?？ㄤN124和對(duì)準(zhǔn)夾具螺栓104被松開(kāi)并通過(guò)進(jìn)出窗口46c移走對(duì)準(zhǔn)夾具90。然后擰緊其余松馳的制動(dòng)環(huán)螺釘111。當(dāng)引出元件72被固定于支持筒80的時(shí)候，電弧室18的敞開(kāi)側(cè)62同引出元件72的平坦側(cè)73相連并密封。
由于引出元件72被從安裝表面96精確地置于對(duì)準(zhǔn)夾具上，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)夾具安裝法蘭盤(pán)98被固定于源機(jī)箱側(cè)壁48c時(shí)，就同預(yù)定的束路徑對(duì)準(zhǔn)了。而且，由于在擰緊制動(dòng)環(huán)螺釘111前，支持環(huán)94開(kāi)始時(shí)可相對(duì)于開(kāi)口環(huán)卡107及與之連接的制動(dòng)環(huán)108作橫向運(yùn)動(dòng)，即使支持筒80尚未完全地對(duì)中于預(yù)定的束路線，也可使引出元件72在對(duì)準(zhǔn)夾具上恰當(dāng)?shù)囟ㄎ唬藭r(shí)開(kāi)口環(huán)卡107固定于支持筒80。在開(kāi)口環(huán)卡107固定于支持筒之后，擰緊制動(dòng)環(huán)螺釘111就使支持環(huán)94緊固在開(kāi)口環(huán)卡107和制動(dòng)環(huán)108之間。這就確保了引出元件72處于恰當(dāng)?shù)奈恢貌⒂捎诓捎脤?duì)準(zhǔn)夾具90而獲得了同預(yù)定的束路徑的適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)。然后可將對(duì)準(zhǔn)夾具90移走而引出元件弧隙78將保持對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。
轉(zhuǎn)至圖3、9、10A、10B和10C，引出電極20是可變間隙電極裝置130的一部分。可變間隙電極裝置130包括引出電極20、二個(gè)石墨支持足132、133、二個(gè)支持足導(dǎo)軌168、170、二個(gè)鋁的電極支持板134、135、一個(gè)含有二個(gè)半環(huán)150a、150b的環(huán)形場(chǎng)環(huán)150、一個(gè)安裝板136、以及一個(gè)電極安裝室137。
在對(duì)準(zhǔn)夾具90從離子束源機(jī)箱44移走之后，將可變間隙電極130安裝于離子束源機(jī)箱44?？勺冮g隙電極裝置安裝板136緊密配合于源機(jī)箱垂直側(cè)壁48c并緊靠界面板56上的二個(gè)定位鈕102并由螺栓184和185(見(jiàn)圖9)固定在源機(jī)箱44上。當(dāng)可變間隙電極裝置130被安裝于源機(jī)箱44時(shí)，引出電極20、電極支持板134和135、環(huán)形場(chǎng)環(huán)150、以及支持足132和133的一部分伸入到源機(jī)箱的內(nèi)腔45中。
轉(zhuǎn)至圖10A、10B和10C，引出電極20由二個(gè)匹配的石墨半圓盤(pán)裝置20a和20b組成。在裝配的時(shí)候，半圓盤(pán)裝置20a和20b被對(duì)準(zhǔn)于一個(gè)公共的垂直平面，此平面垂直于預(yù)定的束路徑，二半圓盤(pán)分隔開(kāi)以確定一個(gè)離子從弧隙78出來(lái)借以通過(guò)的細(xì)長(zhǎng)縫隙。引出電極間隙140必須同預(yù)定的離子束路徑和引出元件弧隙78精確地對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)采用對(duì)準(zhǔn)夾具90來(lái)定位時(shí)，相對(duì)于同一垂直側(cè)壁48c使引出電極20定位以及定位鈕102，確保了引出電極間隙140同引出元件弧隙78的精確對(duì)準(zhǔn)，這是由于引出元件弧隙78也位于同一參考面并使用相同的定位鈕。
每個(gè)半圓盤(pán)裝置20a和20b都由一個(gè)引出電極板半圓盤(pán)138a和138b、一個(gè)接地板半圓盤(pán)148a和148b、三個(gè)陶瓷絕緣球144、二個(gè)安裝彈簧的絕緣帶肩螺釘143、一個(gè)引出電極板可置換邊緣插入片141a和141b、以及一個(gè)背板半圓盤(pán)可置換邊緣插入片142a和142b所組成?？芍脫Q插入片141a、141b、142a和142b固定于它們各自的半圓盤(pán)138a、138b、148a和148b并確定引出電極間隙140。插入片起保護(hù)其相關(guān)半圓盤(pán)免遭加速離子同半圓盤(pán)碰撞所引起的損傷的作用，可按要求更換并在重裝時(shí)重新對(duì)準(zhǔn)。
引出電極板半圓盤(pán)138a采用伸過(guò)半圓盤(pán)的安裝彈簧的帶肩螺釘143對(duì)，連同配合于半圓盤(pán)外緣附近的腔145中以提供分隔的三個(gè)陶瓷球144，按彼此分隔開(kāi)的關(guān)系而被固定于背板半圓盤(pán)148a，從圖10C可最清楚地看到平行的關(guān)系。相似地，引出電極板半圓盤(pán)138b按平行分隔的關(guān)系被固定于接地板半圓盤(pán)148b。
支持足132和133伸過(guò)安裝板136中的開(kāi)縫窗口158。如從圖10C可最清楚地看出，伸過(guò)各窗口158并固定于支持足132和133和安裝板136的是一個(gè)柔性條狀波紋管160。波紋管160防止離化過(guò)程中產(chǎn)生的污染物進(jìn)入電極安裝室137。
電極安裝室137分別將支持足132和133的一端172和174以及支持足導(dǎo)軌168和170分別包圍起來(lái)。室側(cè)壁188支持一個(gè)馬達(dá)162和一皮帶164。軸承支持的齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)166伸過(guò)室壁。各支持足132和133的相應(yīng)端172和174分別可滑動(dòng)地裝于支持足導(dǎo)軌168和170。導(dǎo)軌168和170被傾斜，二個(gè)傾斜方向相反。
啟動(dòng)馬達(dá)162來(lái)驅(qū)動(dòng)皮帶164和齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)166。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)166機(jī)械上連接于支持足132和133并沿其相應(yīng)導(dǎo)軌168和170一致地移動(dòng)支持足。由于導(dǎo)軌168和170沿相反方向傾斜，支持足132和133的運(yùn)動(dòng)就使引出電極間隙140的寬度變化。在最佳實(shí)施例中，支持足132和133沿其相應(yīng)的導(dǎo)軌168和170的行程約為2.5英寸。二導(dǎo)軌以對(duì)預(yù)定束路線偏離相反的3.5度的傾角而傾斜。當(dāng)支持足132和133處于其最靠近于引出元件72的行程端點(diǎn)，行程和傾斜角產(chǎn)生引出電極間隙的寬度為0.093英寸且在其離引出元件72最遠(yuǎn)行程的端點(diǎn)，引出電極間隙寬度為0.400英寸。
可變間隙電極裝置130的裝配按下列順序進(jìn)行?？勺冮g隙電極裝置130被局部地安裝于電極安裝室137中伸過(guò)安裝板窗口158的支持足132和133以及支持足導(dǎo)軌168和170被固定處。然后，用螺釘156將一個(gè)電極支持板135固緊于一個(gè)支持足132，而另一電極支持足134固緊于支持足133(圖10B)。
這一零件然后被置于重復(fù)可變間隙電極裝置130在源機(jī)箱44上的安裝位置的夾具(未示出)之中。模擬半圓盤(pán)裝置20a和20b以及場(chǎng)環(huán)半環(huán)150a和150b和支持件重量的重物(未示出)被裝于相應(yīng)的支持足132和133。這些重物引起各支持足發(fā)生與它們?cè)陔x子注入設(shè)備10運(yùn)行時(shí)將要發(fā)生的相同程度的偏移。然后在相應(yīng)的安裝板開(kāi)縫窗口158之內(nèi)使支持足132和133一直向前移動(dòng)，并在前方位置內(nèi)小心地定位。待有引出電極半圓盤(pán)裝置20a和20b固定于其上的各支持板134和135的安裝表面被精密加工以產(chǎn)生一個(gè)平坦的垂直安裝表面。使用鉆夾(未示出)在各支持板134和135中鉆出二個(gè)安裝孔，然后將孔攻出螺紋。
然后將零件從加工夾移走并將引出電極半圓盤(pán)裝置20a和20b以及場(chǎng)環(huán)半環(huán)150a和150b安裝在電極支持板134和135上。用二個(gè)伸過(guò)接地板半圓盤(pán)148b的精密對(duì)準(zhǔn)螺釘146(圖10C中只能見(jiàn)到其中一個(gè))將半圓盤(pán)裝置20b固定于電極支持板134，并擰進(jìn)支持板134安裝表面中的帶螺紋安裝孔中。相似地，用二個(gè)精密對(duì)準(zhǔn)螺釘(未示出)將半圓盤(pán)裝置20a固定于電極支持板135。
在電極支持板134和135遠(yuǎn)離半圓盤(pán)的一端，將環(huán)形場(chǎng)環(huán)150固定于支持板。場(chǎng)環(huán)150由二個(gè)半環(huán)150a和150b組成，二個(gè)半環(huán)由導(dǎo)線152(如圖10A所見(jiàn))通電，導(dǎo)線152還為前引出電極板半圓盤(pán)138a通電。于是，場(chǎng)環(huán)150的電位等于電極板20電位的一半。另一個(gè)前引出電極板半圓盤(pán)138b由導(dǎo)線151選擇性地加電以提供更多樣的電場(chǎng)強(qiáng)度從而能更好地控制離子注入過(guò)程。場(chǎng)環(huán)150用陶瓷絕緣子154來(lái)同支持板134和135進(jìn)行電絕緣。
當(dāng)可變間隙電極裝置130被安裝在源機(jī)箱垂直側(cè)壁48c時(shí)，引出電極半圓盤(pán)裝置20a和20b以及場(chǎng)環(huán)半環(huán)150a和150b的重量使支持足132和133偏移，其偏移程度與電極支持板134和135的安裝表面被切削、鉆孔和攻螺紋時(shí)在加工夾具中所模擬過(guò)的相同。將支持板136安裝到定位鈕102以及在加工支持板134和135時(shí)如上所述地對(duì)支持足的偏移進(jìn)行模擬，導(dǎo)致引出電極間隙140同預(yù)定的束路徑和弧隙78軸向?qū)?zhǔn)。
用螺栓184和185將安裝板136固定于源機(jī)箱44。安裝板136的底表面176包括一個(gè)其外緣附近帶有一個(gè)O形環(huán)178的溝槽，用來(lái)確保同源機(jī)箱垂直側(cè)壁48c的可靠密封。電極安裝室137的底表面180也有一個(gè)溝槽和O形環(huán)的組合件182，用來(lái)密封安裝板136。用螺栓186(圖9中示出了一個(gè))將室137固定于安裝板136。室137側(cè)壁188的上表面187也包括一個(gè)密封室蓋192的溝槽和O形環(huán)的組合件190。這就使室可被抽真空并且處于同離子束源機(jī)箱內(nèi)腔45相同的真空壓力下。
雖然本發(fā)明已在一定程度的特例范圍內(nèi)加以描述，但本技術(shù)領(lǐng)域的一般熟練人員不言自明，對(duì)本發(fā)明所述的實(shí)施例可做某些補(bǔ)充或修改或刪除而不超越所附權(quán)利要求所列舉的本發(fā)明的構(gòu)思或范圍。
權(quán)利要求
1.一種產(chǎn)生離子并沿預(yù)定的束路徑加速離子以對(duì)工件進(jìn)行處理的離子注入設(shè)備(10)，此設(shè)備包括一個(gè)含有一個(gè)離子束源裝置，它包含一個(gè)確定內(nèi)部區(qū)域(45)并至少有一個(gè)帶有同內(nèi)部區(qū)域連接的進(jìn)出窗口(46c)的側(cè)壁(48c)的離子束源機(jī)箱(44)、一個(gè)伸入到源機(jī)箱內(nèi)部區(qū)域的離子源裝置(69)，而它含有一個(gè)帶敞開(kāi)側(cè)(62)并確定可離化氣體進(jìn)入其中的內(nèi)室(60)的電弧室(18)、一個(gè)至少圍繞包括電弧室的離子源裝置一部分的離子源裝置支持筒(80)、一個(gè)含有細(xì)長(zhǎng)孔(78)的引出元件(72)、一個(gè)用來(lái)使電弧室敞開(kāi)側(cè)對(duì)引出元件形成偏移以封閉引出裝置的偏移裝置(71)、以及一個(gè)使內(nèi)室中氣體離化從而產(chǎn)生通過(guò)上述引出裝置的細(xì)長(zhǎng)孔而離開(kāi)電弧內(nèi)室的離子的能源，此離子注入設(shè)備的特征是一個(gè)含有可移動(dòng)地固定在制動(dòng)環(huán)(108)和周長(zhǎng)可調(diào)的開(kāi)口環(huán)(107)之間的支持環(huán)(94)的夾緊裝置(92)，此支持環(huán)包括一個(gè)用來(lái)將引出元件固定于其上的安裝裝置(114)，開(kāi)口環(huán)包括側(cè)壁內(nèi)的一個(gè)環(huán)形槽(109)，槽的尺寸定為在圍繞電弧室的離子源裝置支持筒的一端(82)上滑移并在開(kāi)口環(huán)周長(zhǎng)調(diào)整時(shí)嚙合支持筒從而使引出元件固定于離子源裝置支持筒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的離子注入設(shè)備(10)，進(jìn)一步特征在于一個(gè)對(duì)準(zhǔn)夾具(90)，它包括一個(gè)夾緊支持元件和一個(gè)組合安裝元件(98)，夾緊支持元件具有一個(gè)安裝表面(96)和一個(gè)用來(lái)將固定于其上的夾緊裝置(92)和引出元件(72)可移走地固定于安裝表面且大小適合于通過(guò)源機(jī)箱進(jìn)出窗口(46c)的固定裝置(124)和(126)，所采用的安裝元件可移走地固定于鄰近進(jìn)出窗口的源機(jī)箱(44)，對(duì)準(zhǔn)夾具的尺寸定為當(dāng)安裝元件被固定于源機(jī)箱時(shí)，引出元件孔(78)同預(yù)定的束路徑軸向?qū)?zhǔn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的離子注入設(shè)備(10)，其中離子束源裝置(12)的進(jìn)一步特征是一種可變間隙電極裝置(130)，它包含一個(gè)含有二個(gè)相互隔開(kāi)確定引出電極間隙(140)的相匹配的半圓盤(pán)裝置(20a)和(20b)的引出電極(20)，二個(gè)支持足(132)和(133)、二個(gè)支持足導(dǎo)軌(168)和(170)以及一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(166)，各半圓盤(pán)裝置固定于各支持足靠近一端處，各支持足的另一端同各支持足導(dǎo)軌嚙合，各支持足沿其導(dǎo)軌行進(jìn)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接于各支持足并選擇性地運(yùn)行以推動(dòng)支持足沿各自的導(dǎo)軌移動(dòng)，支持足軌道沿相反方向傾斜，使當(dāng)支持足沿其各自路徑運(yùn)動(dòng)時(shí)，引出電極電隙發(fā)生變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的離子注入設(shè)備(10)，其中可變間隙電極裝置(12)的進(jìn)一步特征是帶有可固定于離子束源機(jī)箱(44)密封地覆蓋進(jìn)出窗口(46c)的安裝板(136)的機(jī)箱室(137)，足支持導(dǎo)軌(168)和(170)以及嚙合置于室內(nèi)的足支持導(dǎo)軌的足支持部分(132)和(133)，安裝板包括二個(gè)分開(kāi)的開(kāi)縫窗口(158)，通過(guò)它足支持部分支持著伸入到源機(jī)箱內(nèi)部區(qū)(45)的半圓盤(pán)裝置，開(kāi)縫窗口的尺寸定為允許足支持沿其各自路徑運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的離子注入設(shè)備(10)，其特征還在于引出元件(72)在其一個(gè)側(cè)面(73)上包括一個(gè)平坦的壁部分，且其中電弧室(18)的敞開(kāi)側(cè)(62)包括一個(gè)嚙合外圍表面以密封嚙合引出元件平坦壁部分，且其中偏移裝置(71)包括一組彈簧連接并使電弧室緊靠引出元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的離子注入設(shè)備(10)，其特征還在于引出元件孔(78)是一個(gè)橢圓形縫。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的離子注入設(shè)備(10)，其中夾緊裝置支持環(huán)(94)的進(jìn)一步特征是至少二個(gè)從其中伸出的凸出物(114)，此凸出物為安裝引出元件(72)提供支持，至少二個(gè)凸出物包括一個(gè)或更多個(gè)與引出元件中相應(yīng)定位孔或縫(75)配合的定位凸出(118)，以便相對(duì)于夾緊裝置支持環(huán)精確地定位引出元件孔(78)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的離子注入設(shè)備(10)，其中對(duì)準(zhǔn)夾具安裝表面(96)的進(jìn)一步特征是至少二個(gè)同夾緊裝置支持環(huán)(94)中的定位孔或縫(121)配合的定位凸出(122)，以便相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)夾具(90)精確地定位引出元件孔(78)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的離子注入設(shè)備(10)，其特征還在于夾緊裝置支持環(huán)(94)中的一個(gè)或更多個(gè)定位孔或縫(121)位于一個(gè)或更多個(gè)凸出物(114)中。
10.一種用來(lái)將離子源裝置引出元件(72)定位在離子束源裝置機(jī)箱(44)中內(nèi)部區(qū)域(45)的方法，機(jī)箱(44)在側(cè)壁(48c)中至少有一個(gè)進(jìn)出窗口(46c)，而離子源裝置支持筒(80)伸入源裝置機(jī)箱內(nèi)部區(qū)，使引出元件的孔(78)同預(yù)定的離子束路徑軸向?qū)?zhǔn)，此方法的特征是下列步驟a)將引出元件固定于帶有用來(lái)嚙合支持筒的周邊可調(diào)開(kāi)口環(huán)(107)的自對(duì)中夾緊裝置(92)的支持環(huán)(94)；b)將其上固定有夾緊裝置的引出元件安裝于對(duì)準(zhǔn)夾具(90)的安裝表面(96)；c)將包括安裝表面的對(duì)準(zhǔn)夾具的一部分，插過(guò)離子束源裝置機(jī)箱的側(cè)壁進(jìn)出窗口，使開(kāi)口環(huán)靠近支持筒的一端(82)；d)將對(duì)準(zhǔn)夾具安裝于離子束源裝置機(jī)箱，對(duì)準(zhǔn)夾具的尺寸定為使引出元件同預(yù)定的束路線軸向?qū)?zhǔn)；e)調(diào)節(jié)開(kāi)口環(huán)使夾緊裝置固定于支持筒；f)從引出元件分離對(duì)準(zhǔn)夾具；以及g)從源機(jī)箱移走對(duì)準(zhǔn)夾具。
11.權(quán)利要求10的使離子源裝置引出元件(72)定位的方法，其進(jìn)一步的特征是下列步驟h)將帶有一個(gè)敞開(kāi)側(cè)(62)的離化電弧室(60)定位在支持筒(80)中，使其敞開(kāi)側(cè)密封連接于引出元件。
12.一種安裝引出電極裝置(130)，使由半圓盤(pán)裝置確定的間隙(140)在安裝板固定于離子束源裝置機(jī)箱時(shí)同預(yù)定的離子束路徑軸向?qū)?zhǔn)的方法，引出電極裝置(130)包括二個(gè)分隔開(kāi)的半圓盤(pán)裝置(20a)和(20b)、二個(gè)支持板(134)和(135)、二個(gè)支持足(132)和(133)、以及一個(gè)離子源裝置安裝板(136)，半圓盤(pán)裝置固定于各自的支持板，支持板固定于各自的支持足，而支持足伸過(guò)安裝板中由安裝板支持的縫(158)，此方法的特征是下列步驟a)裝配安裝板、支持足和支持板以組成一個(gè)部分地裝配的引出電極裝置；b)將此部分地裝配的引出電極裝置支持在加工夾具中；c)對(duì)支持足加上重物以模擬安裝于離子束源裝置機(jī)箱的完全裝配好的引出電極裝置的支持足的偏移；d)精確地加工各支持板的半圓盤(pán)裝置的安裝表面，使當(dāng)完全裝配好的引出電極裝置安裝于離子束源裝置機(jī)箱時(shí)，半圓盤(pán)裝置間隙同預(yù)定的束路徑軸向?qū)?zhǔn)；e)從支持足移走重物；f)將半圓盤(pán)裝置安裝于它們各自的支持板的半圓盤(pán)裝置安裝表面；以及g)將離子源裝置機(jī)箱安裝板固定于源裝置機(jī)箱。
13.一種用于離子注入系統(tǒng)(10)的離子源裝置(12)，此離子源裝置包括a)一個(gè)確定內(nèi)部區(qū)(45)和進(jìn)出窗口(46c)的離子束源機(jī)箱(44)；b)一個(gè)由源機(jī)箱支持并伸入到內(nèi)部區(qū)的支持筒(80)；c)一個(gè)帶有敞開(kāi)側(cè)(62)并確定一個(gè)可離化的源材料進(jìn)入其中的腔(60)的離子電弧室(18)，電弧室至少由支持筒局部環(huán)繞并支持于支持筒之中；以及d)一個(gè)密封連接電弧室敞開(kāi)側(cè)的引出元件(72)，引出元件包括一個(gè)電弧室腔中產(chǎn)生的離子通過(guò)它離開(kāi)電弧室的弧隙(78)，該離子源裝置的特性為弧隙定位結(jié)構(gòu)具有i)一個(gè)嚙合于支持筒的夾緊元件(107)和(108)支持引出元件；以及ii)用來(lái)使上述弧隙同預(yù)定的束路線對(duì)準(zhǔn)的定位裝置(94)和(114)，定位裝置適合于相對(duì)源裝置機(jī)箱精確定位且在將夾緊元件沿橫過(guò)預(yù)定離子束路徑的方向固定于支持筒端之前可相對(duì)于夾緊元件移動(dòng)。
14.權(quán)利要求13的離子源裝置(12)，其進(jìn)一步特征是定位裝置(94)和(114)包括同引出元件(72)中定位縫(75)配合以使引出元件弧隙(78)同預(yù)定離子束路徑軸向?qū)?zhǔn)的定位柱(118)。
15.權(quán)利要求14的離子源裝置(12)，其進(jìn)一步特征是定位裝置(94)和(114)包括含有二個(gè)向內(nèi)延伸的凸出部(114)和從上述凸出部伸出的定位柱(118)的支持環(huán)(94)。
16.權(quán)利要求13的離子源裝置(12)，其進(jìn)一步特征是夾緊元件(107)和(108)包括一個(gè)周邊可調(diào)的開(kāi)口環(huán)(107)。
17.權(quán)利要求15的離子源裝置(12)，其進(jìn)一步特征是引出元件(72)被安裝于支持環(huán)凸出部(114)。
18.權(quán)利要求16的離子源裝置(12)，其進(jìn)一步特征是夾緊元件(107)和(108)還包括一個(gè)連接于正對(duì)著支持筒(80)的開(kāi)口環(huán)(107)的表面的制動(dòng)環(huán)(108)。
全文摘要
在一種離子注入設(shè)備中，一種可移走的對(duì)準(zhǔn)夾具90，同一種自對(duì)中的夾緊裝置92一起，被用來(lái)使引出元件孔精確地定位到同預(yù)定的束路線對(duì)準(zhǔn)。引出元件72固定于夾緊裝置的支持環(huán)94，而夾緊裝置安裝于對(duì)準(zhǔn)夾具。被安裝于源機(jī)箱的對(duì)準(zhǔn)夾具同預(yù)定束路線精密對(duì)準(zhǔn)。夾緊裝置的開(kāi)口環(huán)107固定于圍繞著離子發(fā)生電弧室18的支持筒80。由于夾緊裝置是自對(duì)中的，故不危害引出元件孔的對(duì)準(zhǔn)。在移走對(duì)準(zhǔn)夾具之后，將可變間隙引出電極裝置130固定于源機(jī)箱。
文檔編號(hào)H01J37/08GK1119338SQ9510813
公開(kāi)日1996年3月27日 申請(qǐng)日期1995年6月29日 優(yōu)先權(quán)日1994年6月29日
發(fā)明者F·R·特魯愛(ài)拉 申請(qǐng)人:易通公司