技術(shù)編號(hào)：2962070
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到一種用于離子注入站中對(duì)工件進(jìn)行離子束處理的離子注入機(jī)，更具體地說是一種使引出元件孔(弧隙)及引出電極間隙同預(yù)定的束路徑精確定位并對(duì)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和方法。用來將摻雜劑引入半導(dǎo)體片子的一種現(xiàn)有技術(shù)是使離子束沿束的行進(jìn)路徑并選擇性地安置硅片使其截取離子束。此技術(shù)已用于離子注入機(jī)中來對(duì)片子進(jìn)行離子材料濃度可控的摻雜。Eaton NV 200氧離子注入機(jī)是一例商用離子注入設(shè)備。這種現(xiàn)有技術(shù)的離子注入機(jī)采用了一種帶有陰極的氧離子源，它包括一個(gè)用來提供電子以離化氧...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。