一種sem用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)的制作方法
【專利摘要】.本實(shí)用新型所述的一種SEM用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)，包括載荷傳感器、定位銷、導(dǎo)軌、導(dǎo)線、載荷顯示器、帶有反向螺紋的螺絲桿、螺母、旋轉(zhuǎn)鈕和臂桿。在該裝置中，當(dāng)試樣被拉伸或壓縮時(shí)，拉力或壓力通過臂桿作用在定位銷，通過定位銷上的載荷傳感器傳遞信號(hào)給載荷顯示器，從而顯示出作用在試樣上的拉力或壓力大小的數(shù)值。向左旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕時(shí)，螺母分別向兩端移動(dòng)；反之，從兩端向中間移動(dòng)。從而實(shí)現(xiàn)控制拉力或壓力大小的目的。
【專利說明】—種SEM用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是一種SEM用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)，尤其涉及樣品臺(tái)的制備與研發(fā)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，公知的技術(shù)中在用的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)是普通的樣品臺(tái)和進(jìn)口的多功能樣品臺(tái)。現(xiàn)有的普通樣品臺(tái)只有放置樣品并使其移動(dòng)位置的功能，也有少數(shù)能對(duì)樣品進(jìn)行拉伸和壓縮等操作，但不能對(duì)作用在樣品上的拉力或壓力實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的控制，也不能防止樣品因受力過大而損壞試樣。進(jìn)口的多功能樣品臺(tái)包括機(jī)械裝夾樣品的部分及其電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和自動(dòng)控制系統(tǒng)，由于實(shí)行機(jī)電一體的控制，因而機(jī)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，難以實(shí)用化。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足，本實(shí)用新型提供一種具有能對(duì)作用在樣品上的拉力或壓力實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的控制而且結(jié)構(gòu)簡單的樣品臺(tái)，該樣品臺(tái)能防止試樣因受力過大而損壞試樣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所述的一種SEM用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)，包括載荷傳感器、定位銷、導(dǎo)軌、導(dǎo)線、載荷顯示器、帶有反向螺紋的螺絲桿、螺母、旋轉(zhuǎn)鈕和臂桿。載荷顯示器通過導(dǎo)線和載荷傳感器相連；定位銷與載荷傳感器和臂桿連接；定位銷可在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)；螺母分別安在螺絲桿上并呈對(duì)稱分布；試樣放在兩螺母中間；旋轉(zhuǎn)鈕安在螺絲桿最下端。在該裝置中，當(dāng)試樣被拉伸或壓縮時(shí)，拉力或壓力通過臂桿作用在定位銷，通過定位銷上的載荷傳感器傳遞信號(hào)給載荷顯示器，從而顯示出作用在試樣上的拉力或壓力大小的數(shù)值。向左旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕時(shí)，螺母分別向兩端移動(dòng)；反之，從兩端向中間移動(dòng)。從而實(shí)現(xiàn)控制拉力或壓力大小的目的。
[0004]本實(shí)用新型的有益效果是:能對(duì)作用在樣品上的拉力或壓力的大小實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的控制，也可防止試樣因受力過大而損壞試樣，而且結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、實(shí)用性強(qiáng)。
[0005]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0006]圖1為本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007]圖中，I是載荷傳感器，2是定位銷，3是導(dǎo)軌，4是導(dǎo)線，5是載荷顯示器，6是臂桿，7是試樣，8是螺絲桿，9是旋轉(zhuǎn)鈕，10是螺母。
[0008]【具體實(shí)施方式】:
[0009]如圖所示，本實(shí)用新型包括:載荷傳感器、定位銷、導(dǎo)軌、導(dǎo)線、載荷顯示器、帶有反向螺紋的螺絲桿、螺母、旋轉(zhuǎn)鈕和臂桿。載荷顯示器通過鋁合金套管的導(dǎo)線和載荷傳感器相連；定位銷與載荷傳感器和臂桿連接；定位銷可在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)；螺母分別安在螺絲桿上并呈對(duì)稱分布；試樣放在兩螺母中間；旋轉(zhuǎn)鈕安在螺絲桿最下端。在該裝置中，當(dāng)試樣被拉伸或壓縮時(shí)，拉力或壓力通過臂桿作用在定位銷，通過定位銷上的載荷傳感器傳遞信號(hào)給載荷顯示器，從而顯示出作用在試樣上的拉力或壓力大小的數(shù)值。向左旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕時(shí)，螺母分別向兩端移動(dòng)；反之，從兩端向中間移動(dòng)。從而實(shí)現(xiàn)控制拉力或壓力大小的目的。
【權(quán)利要求】
1.本實(shí)用新型所述的一種SEM用能顯示作用力大小的樣品臺(tái)，包括載荷傳感器、定位銷、導(dǎo)軌、導(dǎo)線、載荷顯示器、帶有反向螺紋的螺絲桿、螺母、旋轉(zhuǎn)鈕和臂桿，其特征在于:載荷顯示器通過導(dǎo)線和載荷傳感器相連；定位銷與載荷傳感器和臂桿連接；定位銷可在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)；螺母分別安在螺絲桿上并呈對(duì)稱分布；試樣放在兩螺母中間；旋轉(zhuǎn)鈕安在螺絲桿最下端。
【文檔編號(hào)】H01J37/20GK203800008SQ201420208472
【公開日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月28日
【發(fā)明者】王志剛, 孫齊磊, 石磊, 郭霞, 董延恒, 史璐玉 申請(qǐng)人:山東建筑大學(xué)