一種SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，包括地電位區(qū)配電柜和高壓區(qū)配電柜；所述地電位區(qū)配電柜將市電送入電動機(jī)；所述電動機(jī)的輸出軸與絕緣傳動軸一端的法蘭連接，所述絕緣傳動軸另一端的法蘭與發(fā)電機(jī)的輸入軸連接；所述發(fā)電機(jī)的電能通過高壓區(qū)配電柜輸送至高壓區(qū)需電部件。本發(fā)明通過兩次能量形式轉(zhuǎn)化做到高壓隔離輸電，裝置結(jié)構(gòu)簡單，能節(jié)省該種SiC高溫高能離子注入機(jī)的制造成本，縮小設(shè)備體積，且節(jié)省了后期維護(hù)費(fèi)用。
【專利說明】-種SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及Sic高能離子注入機(jī)，屬于第三代半導(dǎo)體SiC器件領(lǐng)域，特別是一種 SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] SiC作為第三代半導(dǎo)體材料，用于制作新一代高效節(jié)能的電力電子器件，并可應(yīng)用 于國民經(jīng)濟(jì)的各個領(lǐng)域。SiC高溫高能離子注入機(jī)的就是把要摻雜元素的離子加速，使獲得 很大動能的雜質(zhì)離子直接進(jìn)入SiC晶片中的晶格，離子注入后退火激活。由于離子加速采 用對地隔離的350KV靜電加速器，由于電壓高，高壓區(qū)需電部件的輸電與地電位的絕緣性 要很好，如果采用現(xiàn)有技術(shù)的油箱式隔離變壓器輸電結(jié)構(gòu)(見圖1)，耐350KV高壓的油箱 式隔離變壓器其體積大，自身重達(dá)1噸，制作成本高，變壓油需定期更換，輸出電纜需要特 制屏蔽絕緣高壓線。
[0003] 如附圖1所示的現(xiàn)有的油箱式隔離變壓器輸電裝置，油箱式隔離變壓器13體積 大，自重大，輸電連接線14必須采用特制高壓線，前期制造成本高，變壓油定期需更換，后 期使用維護(hù)成本高。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種SiC高溫高能離子 注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，實(shí)現(xiàn)高壓區(qū)與地電位的絕緣隔離輸電。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種SiC高溫高能離子注入 機(jī)用高壓隔離輸電裝置，包括地電位區(qū)配電柜和高壓區(qū)配電柜；所述地電位區(qū)配電柜將市 電送入電動機(jī)；所述電動機(jī)的輸出軸與絕緣傳動軸一端的法蘭連接，所述絕緣傳動軸另一 端的法蘭與發(fā)電機(jī)的輸入軸連接；所述發(fā)電機(jī)的電能通過高壓區(qū)配電柜輸送至高壓區(qū)需電 部件。
[0006] 所述電動機(jī)的輸出軸與所述絕緣傳動軸一端的法蘭、所述絕緣傳動軸另一端的法 蘭與所述發(fā)電機(jī)的輸入軸之間均通過彈性膜片聯(lián)軸器連接，彈性膜片聯(lián)軸器是柔性聯(lián)軸 器，能很好的兼容電動機(jī)和發(fā)電機(jī)的軸的角向不對中與軸向不對中誤差，保證良好的動平 衡；膜片數(shù)量的調(diào)整能改變傳遞扭矩大小，改變輸電裝置功率傳遞能力。
[0007] 所述絕緣傳動軸材質(zhì)為硬質(zhì)尼龍或環(huán)氧玻璃纖維，其強(qiáng)度滿足扭矩傳遞與絕緣性 要求,又可以符合高壓絕緣要求；絕緣傳動軸的軸徑改變也能改變傳遞扭矩大小。
[0008] 所述彈性膜片聯(lián)軸器和所述法蘭之間通過螺栓連接；連接螺栓在法蘭上的穿孔是 周向120度均布；所述彈性膜片聯(lián)軸器內(nèi)部與所述螺栓之間、所述法蘭內(nèi)部與所述螺栓之 間均通過墊環(huán)連接；墊環(huán)可以減少磨損和減震，延長整套裝置的使用壽命。
[0009] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所具有的有益效果為：本發(fā)明通過兩次能量形式轉(zhuǎn)化做 到高壓隔離輸電，裝置結(jié)構(gòu)簡單，能節(jié)省該種SiC高溫高能離子注入機(jī)的制造成本，縮小設(shè) 備體積，且節(jié)省了后期維護(hù)費(fèi)用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010] 圖1為現(xiàn)有的輸電裝置示意圖； 圖2為本發(fā)明一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本發(fā)明一實(shí)施例彈性膜片聯(lián)軸器與絕緣傳動軸連接結(jié)構(gòu)主視圖； 圖4為本發(fā)明一實(shí)施例彈性膜片聯(lián)軸器與絕緣傳動軸連接螺栓分布圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 如圖2和圖3所示，市電通過地電位區(qū)配電柜1送到電動機(jī)2,電動機(jī)2得電工作， 電動機(jī)2的輸出軸與彈性膜片聯(lián)軸器3連接，彈性膜片聯(lián)軸器3連接絕緣傳動軸4的一端 的法蘭5,絕緣傳動軸4的另一端連接相同的法蘭5,法蘭5又通過相同的彈性膜片聯(lián)軸器 連接發(fā)電機(jī)5的輸入軸。絕緣傳動軸4與其兩端相連的法蘭5先沾膠裝入后再由銷釘6銷 定，滿足扭矩傳遞要求。
[0012] 如圖3和圖4所示，彈性膜片聯(lián)軸器3本身的法蘭與彈性膜片由螺釘螺母組合12 相連，三個螺釘螺母組合在圓周上120度均布。彈性膜片聯(lián)軸器3與銷定在絕緣傳動軸4 上兩端的法蘭5用螺栓11相連，在彈性膜片聯(lián)軸器3與法蘭5上的裝穿裝螺栓11的地方 設(shè)計(jì)沉孔，孔內(nèi)內(nèi)均設(shè)計(jì)有的墊環(huán)10,墊環(huán)10起到既減震又減少磨損彈性膜片聯(lián)軸器3與 法蘭5的作用，延長整套裝置的使用壽命。
[0013] 上述實(shí)施例闡明的內(nèi)容應(yīng)當(dāng)理解為這些實(shí)施例僅用于更清楚地說明本發(fā)明，而不 用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式 的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，包括地電位區(qū)配電柜（1)和高 壓區(qū)配電柜（7);其特征在于，所述地電位區(qū)配電柜（1)將市電送入電動機(jī)（2);所述電動機(jī) (2)的輸出軸與絕緣傳動軸（4)一端的法蘭（5)連接，所述絕緣傳動軸（4)另一端的法蘭（5) 與發(fā)電機(jī)（6)的輸入軸連接；所述發(fā)電機(jī)（6)的電能通過高壓區(qū)配電柜（7)輸送至高壓區(qū)需 電部件（8)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，其特征在于， 所述電動機(jī)（2)的輸出軸與所述絕緣傳動軸（4) 一端的法蘭（5)、所述絕緣傳動軸（4)另一 端的法蘭（5)與所述發(fā)電機(jī)（6)的輸入軸之間均通過彈性膜片聯(lián)軸器（3)連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，其特征 在于，所述絕緣傳動軸（4)材質(zhì)為硬質(zhì)尼龍或環(huán)氧玻璃纖維。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的SiC高溫高能離子注入機(jī)用高壓隔離輸電裝置，其特征在于， 所述彈性膜片聯(lián)軸器（3)和所述法蘭（5)之間通過螺栓（11)連接；所述彈性膜片聯(lián)軸器（3) 內(nèi)部與所述螺栓（11)之間、所述法蘭（5)內(nèi)部與所述螺栓（11)之間均通過墊環(huán)（10)連接。
【文檔編號】H01J37/317GK104157540SQ201410382427
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】袁衛(wèi)華, 彭立波, 孫雪平, 易文杰 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所