帶電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明為了提高初學(xué)者的帶電粒子束裝置的技能，特征在于，具有：顯示操作畫(huà)面(200)的圖像顯示裝置，該操作畫(huà)面顯示電子顯微鏡的操作項(xiàng)目；存儲(chǔ)裝置，其使輔助按鈕(B122)相關(guān)的信息與圖像(C51)的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且與電子顯微鏡的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)，其中，所述輔助按鈕(B122)相關(guān)的信息顯示從電子顯微鏡的檢測(cè)器取得的圖像(C51)狀態(tài)相關(guān)的信息；以及操作程序，其解析從檢測(cè)器取得的圖像的畫(huà)質(zhì)，根據(jù)作為解析結(jié)果的圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)裝置取得輔助按鈕(B122)，在操作畫(huà)面(200)的預(yù)定位置顯示該取得的輔助按鈕(B122)。
【專利說(shuō)明】帶電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種帶電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序的技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]掃描型電子顯微鏡(以下，稱為電子顯微鏡)的操作中的諸參數(shù)的設(shè)定值即參數(shù)設(shè)定值的組合(以下，稱為觀察條件)的設(shè)定大多基于經(jīng)驗(yàn)。因此，當(dāng)初學(xué)者進(jìn)行電子顯微鏡的操作時(shí)，存在難于掌握電子顯微鏡觀察條件對(duì)拍攝圖像產(chǎn)生什么樣的影響，初學(xué)者的技能遲遲無(wú)法提高的問(wèn)題。
[0003]針對(duì)這種問(wèn)題，專利文獻(xiàn)1、2中記載的技術(shù)，首先在正式拍攝前進(jìn)行基于多個(gè)簡(jiǎn)易觀察條件的拍攝。然后，在顯示部一覽顯示得到的多個(gè)簡(jiǎn)易觀察圖像(電子預(yù)覽:e-preview) 0接著，用戶從顯示的多個(gè)簡(jiǎn)易觀察圖像中選擇所希望的簡(jiǎn)易觀察圖像。于是，由計(jì)算機(jī)設(shè)定所選擇的簡(jiǎn)易觀察圖像中的觀察條件。之后，針對(duì)用戶選擇的簡(jiǎn)易觀察圖像進(jìn)行必要的手動(dòng)調(diào)整，并進(jìn)行拍攝。在顯示部顯示作為該拍攝的結(jié)果而得到的圖像。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本專利第4014916號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本專利第4014917號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]然而，專利文獻(xiàn)1、2中記載的技術(shù)有如下的問(wèn)題點(diǎn)。
[0010](I)初學(xué)者無(wú)法識(shí)別多個(gè)簡(jiǎn)易觀察圖像中的哪個(gè)圖像為最佳。
[0011](2)簡(jiǎn)易觀察圖像是未處理的拍攝圖像，因此初學(xué)者很難掌握多個(gè)簡(jiǎn)易觀察圖像的每個(gè)圖像有何不同。
[0012](3)為了得到多個(gè)簡(jiǎn)易觀察圖像需要時(shí)間。即，得到目的圖像為止的效率較低。
[0013]本發(fā)明是鑒于這樣的背景而提出的，本發(fā)明的課題是能夠提高針對(duì)初學(xué)者的帶電粒子束裝置的技能。
[0014]用于解決課題的手段
[0015]為了解決所述課題，本發(fā)明的特征在于，具有:圖像顯示部，其將顯示帶電粒子束裝置的操作項(xiàng)目的操作畫(huà)面顯示在圖像顯示裝置中；存儲(chǔ)部，其使與從所述帶電粒子束裝置的檢測(cè)器取得的試樣的圖像即試樣圖像的狀態(tài)相關(guān)的信息即狀態(tài)圖像信息與所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且使所述狀態(tài)圖像信息與所述帶電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)；以及處理部，其解析從所述檢測(cè)器取得的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)，根據(jù)作為所述解析結(jié)果的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)部取得所述狀態(tài)圖像信息，在所述操作畫(huà)面的預(yù)定位置顯示該取得的狀態(tài)圖像信息。
[0016]對(duì)于其他的解決手段，在后進(jìn)行說(shuō)明。
[0017]發(fā)明效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠提高針對(duì)初學(xué)者的帶電離子束裝置的技能。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是表示本發(fā)明的電子顯微鏡的一例的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0020]圖2是表示本實(shí)施方式的電子顯微鏡的操作過(guò)程的流程圖。
[0021]圖3是表示本實(shí)施方式的操作畫(huà)面的畫(huà)面例的圖。
[0022]圖4是表示啟動(dòng)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其一)。
[0023]圖5是表示啟動(dòng)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其二)。
[0024]圖6是表示開(kāi)始向試樣照射一次電子束時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0025]圖7是表示用戶進(jìn)行的視野搜索、倍率調(diào)整時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其一)。
[0026]圖8是表示用戶進(jìn)行的視野搜索、倍率調(diào)整時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其二)。
[0027]圖9是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其一)。
[0028]圖10是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其二)。
[0029]圖11是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其三)。
[0030]圖12是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其四)。
[0031]圖13是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其五)。
[0032]圖14是表示圖像保存(拍攝)中的操作畫(huà)面的例子的圖(其六)。
[0033]圖15是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其一)。
[0034]圖16是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其二)。
[0035]圖17是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其三)。
[0036]圖18是表示本實(shí)施方式的觀察條件設(shè)定表的圖。
[0037]圖19是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其四)。
[0038]圖20是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其五)。
[0039]圖21是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其六)。
[0040]圖22是表示用戶確認(rèn)圖像時(shí)以及調(diào)整、變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其七)。
[0041]圖23是表示用戶重新保存(拍攝)圖像時(shí)的操作畫(huà)面的圖。
[0042]圖24是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其一)。
[0043]圖25是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其二)。
[0044]圖26是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其三)。
[0045]圖27是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其四)。
[0046]圖28是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其五)。
[0047]圖29是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其六)。
[0048]圖30是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其七)。
[0049]圖31是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其八)。
[0050]圖32是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其九)。
[0051]圖33是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其十)。
[0052]圖34是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其十一)。
[0053]圖35是表示用戶重新保存(拍攝)圖像時(shí)的操作畫(huà)面的圖。
[0054]圖36是表示用戶重新確認(rèn)圖像時(shí)以及重新調(diào)整、重新變更觀察條件時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖(其十二)。
[0055]圖37是本實(shí)施方式的應(yīng)用輔助畫(huà)面的變形例。

【具體實(shí)施方式】
[0056]接著，適當(dāng)?shù)貐⒄崭綀D對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式(稱作“實(shí)施方式”)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，在各附圖中對(duì)相同的結(jié)構(gòu)要素賦予相同的符號(hào)，并省略說(shuō)明。
[0057][電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)]
[0058]圖1是表示本發(fā)明的電子顯微鏡的一例的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0059]在電子顯微鏡(帶電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng))101中，通過(guò)聚光鏡3以及物鏡8聚焦從電子槍I放射的一次電子束(primary electron beam) 2,并通過(guò)上部偏轉(zhuǎn)器(upperdeflector) 6和下部偏轉(zhuǎn)器(lower deflector) 7向試樣9上照射。通過(guò)檢測(cè)器10檢測(cè)從試樣9產(chǎn)生的信號(hào)電子，經(jīng)由后述的各電路11?17，通過(guò)計(jì)算機(jī)(圖像顯示部、處理部)19來(lái)處理。在圖像顯示裝置18中顯示與掃描位置對(duì)應(yīng)地記錄的信號(hào)。為了在試樣9上使一次電子束2以點(diǎn)狀聚焦，設(shè)置進(jìn)行聚焦X調(diào)整的X方向像散校正器(X-stigmator) 4、進(jìn)行聚焦Y方向調(diào)整的Y方向像散校正器(Y-stigmator) 5，通過(guò)調(diào)整這些控制條件能夠進(jìn)行聚焦X調(diào)整、聚焦Y調(diào)整(像散校正,astigmatism correct1n)。此外,通過(guò)調(diào)整聚光鏡3或物鏡8的勵(lì)磁強(qiáng)度，能夠在試樣9上進(jìn)行聚焦調(diào)整。將以上的電子光學(xué)系統(tǒng)收納在電子顯微鏡筒(帶電粒子束裝置)100中。
[0060]此外,通過(guò)CPU (Central Processing Unit,中央處理單元)等計(jì)算機(jī)19來(lái)控制高電壓控制電路11、聚光鏡控制電路12、X方向像散校正器控制電路13、Y方向像散校正器控制電路14、偏轉(zhuǎn)器控制電路15、物鏡控制電路16以及檢測(cè)信號(hào)控制電路17。各控制電路11?17可以分別設(shè)置，也可以設(shè)置在一個(gè)基板上，或者也可以包含在計(jì)算機(jī)19中。計(jì)算機(jī)19與圖像顯示裝置18、存儲(chǔ)裝置(存儲(chǔ)部)21以及存儲(chǔ)器22連接。如后所述，經(jīng)由在圖像顯示裝置18中顯示的操作畫(huà)面200 (圖3?圖37)，用戶調(diào)整物鏡8的聚焦條件、X方向像散校正器4以及Y方向像散校正器5的像散校正條件。此外，預(yù)先將本實(shí)施方式的操作畫(huà)面200如后所述地與各操作階段對(duì)應(yīng)地保存在存儲(chǔ)裝置21中。此外，如果計(jì)算機(jī)19與未圖示的網(wǎng)絡(luò)連接，則也可以在與該網(wǎng)絡(luò)連接的其他存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)操作畫(huà)面200。
[0061]另外，在存儲(chǔ)器22中展開(kāi)操作程序31，通過(guò)計(jì)算機(jī)19執(zhí)行該操作程序31。操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示操作畫(huà)面200，根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的信息來(lái)控制各部I?17。
[0062]另外，在后進(jìn)行詳細(xì)的敘述，操作畫(huà)面200是根據(jù)用戶的操作階段顯示的各畫(huà)面。
[0063][操作過(guò)程]
[0064]圖2是表示本實(shí)施方式的電子顯微鏡的操作過(guò)程的流程圖。適當(dāng)?shù)貐⒄請(qǐng)D1，按照?qǐng)D2對(duì)本實(shí)施方式的操作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。
[0065]首先，用戶通過(guò)啟動(dòng)未圖示的操作程序來(lái)啟動(dòng)操作畫(huà)面200(圖3?圖37) (SlOl)。另外，試樣9的設(shè)置可以在操作畫(huà)面200啟動(dòng)后進(jìn)行，也可以在操作畫(huà)面200啟動(dòng)前進(jìn)行。
[0066]然后，計(jì)算機(jī)19以默認(rèn)的觀察條件來(lái)掃描試樣9，取得試樣圖像即掃描像(以下，稱作圖像)(S102)。操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示取得的圖像。在此，觀察條件是電子顯微鏡101的參數(shù)設(shè)定值的組合。
[0067]接著，用戶針對(duì)取得的圖像進(jìn)行視野搜索或倍率調(diào)整等(S103)。另外，當(dāng)自動(dòng)設(shè)定了視野、倍率時(shí)，可省略步驟S103的處理。
[0068]計(jì)算機(jī)19以在步驟S103設(shè)定的視野或倍率，隨時(shí)掃描試樣9來(lái)取得圖像，并顯示在圖像顯示裝置18中。
[0069]然后，用戶使計(jì)算機(jī)19將在圖像顯示裝置18中顯示的圖像保存在存儲(chǔ)裝置21中(S104)。在本實(shí)施方式中，將圖像存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中適當(dāng)稱為“拍攝”。
[0070]接著，用戶用所取得的圖像判斷是否滿意(S105)。
[0071]當(dāng)步驟S105的結(jié)果為滿意時(shí)(S105 —是)，用戶結(jié)束處理。
[0072]當(dāng)步驟S105的結(jié)果為不滿意時(shí)(S105—否)，即不良(NG)時(shí)，用戶參考在操作畫(huà)面200的應(yīng)用輔助畫(huà)面202 (圖3)等中顯示的消息等，進(jìn)行觀察條件的調(diào)整或變更(S106)。
[0073]計(jì)算機(jī)19以被調(diào)整、被變更后的觀察條件隨時(shí)掃描試樣9來(lái)取得圖像，并顯示在圖像顯示裝置18中。
[0074]然后，操作程序31將處理返回到步驟S103，用戶使計(jì)算機(jī)19將在圖像顯示裝置18中顯示的圖像重新存儲(chǔ)(拍攝)在存儲(chǔ)裝置21中。
[0075]之后，電子顯微鏡101重復(fù)步驟S103?S106的處理。
[0076][操作畫(huà)面的結(jié)構(gòu)]
[0077]圖3是表示本實(shí)施方式的操作畫(huà)面的畫(huà)面例的圖。
[0078]操作畫(huà)面200具有:操作引導(dǎo)畫(huà)面201、應(yīng)用輔助畫(huà)面202、圖像顯示畫(huà)面203以及操作面板畫(huà)面204。在后適當(dāng)?shù)貙?duì)各畫(huà)面201?204進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
[0079]操作引導(dǎo)畫(huà)面201是表示操作過(guò)程的畫(huà)面。在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中，將當(dāng)前的操作過(guò)程顯示成主項(xiàng)目(符號(hào)Al)、主項(xiàng)目的子項(xiàng)目(符號(hào)A2)。于是，即使是初學(xué)者也能夠容易地掌握操作過(guò)程。
[0080]應(yīng)用輔助畫(huà)面202是顯示針對(duì)拍攝條件的變更或調(diào)整的建議的畫(huà)面
[0081]圖像顯示畫(huà)面203是顯示基于電子顯微鏡101的圖像(掃描像)的畫(huà)面。
[0082]操作面板畫(huà)面204是用于進(jìn)行拍攝條件的變更或調(diào)整的畫(huà)面。
[0083]另外，如后所述地根據(jù)用戶進(jìn)行的操作階段，變更在各畫(huà)面201?204中顯示的內(nèi)容。
[0084]此外，本實(shí)施方式的操作畫(huà)面200以用戶是初學(xué)者為前提。
[0085][各操作階段中的操作畫(huà)面]
[0086]接著，參照?qǐng)D4至圖37，對(duì)各操作階段中的操作畫(huà)面200的顯示內(nèi)容進(jìn)行說(shuō)明。另夕卜，關(guān)于構(gòu)成之后的附圖中的各畫(huà)面201?204的要素，在成為說(shuō)明對(duì)象的畫(huà)面中僅對(duì)必要的要素賦予符號(hào)，并省略其他符號(hào)。此外，對(duì)圖4?圖37中的大部分附圖賦予了操作畫(huà)面200以及各畫(huà)面201?204的符號(hào)，但在各附圖中省略了對(duì)操作畫(huà)面200以及各畫(huà)面201?204的說(shuō)明。
[0087]此外，適當(dāng)?shù)貐⒄請(qǐng)D1，步驟編號(hào)表示圖2中的步驟編號(hào)。
[0088](SlOl)
[0089]首先，圖4以及圖5是操作畫(huà)面啟動(dòng)時(shí)(SlOl)的操作畫(huà)面的例子。
[0090]圖4是表示啟動(dòng)操作畫(huà)面時(shí)的顯示內(nèi)容的圖。
[0091]當(dāng)啟動(dòng)操作畫(huà)面200時(shí)，由于沒(méi)有進(jìn)行試樣9的拍攝，因此不顯示應(yīng)用輔助畫(huà)面202 (圖3)。此外，在圖像顯示畫(huà)面203以及操作面板畫(huà)面204中不顯示任何信息。
[0092]并且，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中表示當(dāng)前的操作階段為“1.準(zhǔn)備”的“試樣設(shè)置確認(rèn)”，顯示確認(rèn)是否設(shè)置試樣9的按鈕All?A13。
[0093]在此，假定試樣9已設(shè)置在電子顯微鏡101上，用戶按下“用已設(shè)置的試樣進(jìn)行觀察”的按鈕A13。
[0094]圖5是表示啟動(dòng)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0095]在圖5的階段中，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中表示當(dāng)前的操作階段為“1.準(zhǔn)備”的“開(kāi)始(照射開(kāi)始)”。
[0096]并且，在操作面板畫(huà)面204中強(qiáng)調(diào)顯示開(kāi)始按鈕D1，當(dāng)用戶按下該開(kāi)始按鈕Dl時(shí)，電子顯微鏡101以預(yù)先設(shè)定的默認(rèn)的觀察條件向試樣9照射電子束來(lái)進(jìn)行拍攝。這樣，通過(guò)強(qiáng)調(diào)顯示接下來(lái)應(yīng)當(dāng)操作的按鈕等，用戶能夠?qū)W習(xí)觀察過(guò)程。
[0097]此外，通過(guò)像這樣強(qiáng)調(diào)顯示接下來(lái)要按下的按鈕，即使是初學(xué)者也能夠毫不疑惑地進(jìn)行操作。
[0098]在本實(shí)施方式中，假定設(shè)定了 “觀察目的=標(biāo)準(zhǔn)的觀察、被蒸鍍的試樣(高真空)作為默認(rèn)的觀察條件。
[0099]在本實(shí)施方式中，在默認(rèn)的觀察條件下取得第一張圖像，以取得的圖像為基礎(chǔ)，通過(guò)后述的處理進(jìn)行參數(shù)的調(diào)整。初學(xué)者雖然不知道如何設(shè)定電子顯微鏡101的參數(shù)較好，但通過(guò)如上所述，用戶無(wú)需從最初開(kāi)始進(jìn)行復(fù)雜的參數(shù)的設(shè)定或觀察條件的選擇。其結(jié)果是，即使是初學(xué)者也能夠容易地進(jìn)行觀察。
[0100]默認(rèn)的觀察條件可以設(shè)定平均的觀察條件，也可以設(shè)定應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的特征明確的觀察條件。由于知道了通過(guò)默認(rèn)的觀察條件進(jìn)行拍攝，因此當(dāng)用戶結(jié)束試樣9的設(shè)置時(shí)，直到取得圖像為止自動(dòng)地進(jìn)行也可以，但是通過(guò)使用戶按下開(kāi)始按鈕Dl等，可以使用戶學(xué)習(xí)過(guò)程。
[0101]另外，當(dāng)按下在操作面板畫(huà)面204顯示的變更按鈕D2時(shí)，顯示觀察條件變更畫(huà)面(例如，在圖17中后述的觀察目的變更畫(huà)面304)，能夠變更觀察目的(關(guān)于觀察目的的變更，參照?qǐng)D17)。另外，在圖5的操作階段，用戶能夠設(shè)定倍率或視野等，但在此省略說(shuō)明。另外，操作面板畫(huà)面204是根據(jù)操作引導(dǎo)畫(huà)面201而變化的畫(huà)面。
[0102]另外，在預(yù)定的階段，操作程序31也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示與確認(rèn)有無(wú)針對(duì)試樣9的涂覆相關(guān)的信息。此外，操作程序31也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示關(guān)于針對(duì)試樣9的蒸鍍的信息、沒(méi)有進(jìn)行涂覆的試樣9的觀察方法(具體而言，選擇用于向低真空觀察轉(zhuǎn)移的真空度的操作過(guò)程)或關(guān)于真空度的信息(高真空觀察、低真空觀察的目的、方法)等與針對(duì)試樣9的預(yù)處理相關(guān)的信息。
[0103]通過(guò)如上所述，在照射一次電子束2前，用戶能夠在操作畫(huà)面200上確認(rèn)涂覆的有無(wú)或獲得針對(duì)試樣的預(yù)處理的知識(shí)。
[0104]另外，在本實(shí)施方式中，在照射一次電子束2前顯示與確認(rèn)涂覆的有無(wú)或預(yù)處理相關(guān)的信息，但并不局限于此，也可以在其他操作階段顯示。
[0105](S102)
[0106]接著，圖6是表示開(kāi)始向試樣照射一次電子束時(shí)(S102:取得圖像)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0107]當(dāng)用戶通過(guò)按下圖5中的開(kāi)始按鈕Dl來(lái)開(kāi)始針對(duì)試樣9照射一次電子束2時(shí)，如圖6所示,操作畫(huà)面200成為不激活,顯示照射狀態(tài)畫(huà)面301。
[0108]照射狀態(tài)畫(huà)面301具有:通過(guò)示意圖表示當(dāng)前的照射狀態(tài)的示意圖畫(huà)面E1、表示當(dāng)前的照射進(jìn)度狀態(tài)的進(jìn)度狀態(tài)畫(huà)面E2、表示當(dāng)前的觀察條件的觀察條件畫(huà)面E3以及取消按鈕E4等。
[0109]在此，作為用戶的學(xué)習(xí)用，也可以代替照射狀態(tài)畫(huà)面301顯示表示電子顯微鏡101的原理、與試樣9的預(yù)處理相關(guān)的說(shuō)明、電子顯微鏡101的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡101的操作過(guò)程、拍攝中的強(qiáng)調(diào)圖像的原理等的學(xué)習(xí)畫(huà)面。
[0110]或者，也可以代替照射狀態(tài)畫(huà)面301顯示表示操作畫(huà)面200中的應(yīng)用輔助畫(huà)面202 (圖3)等各畫(huà)面201?204 (圖3)的項(xiàng)目的說(shuō)明、與電子顯微鏡101的各種調(diào)整參數(shù)相關(guān)的說(shuō)明等的學(xué)習(xí)畫(huà)面。
[0111]尤其，在之后的操作過(guò)程中，經(jīng)常在操作畫(huà)面200上顯示應(yīng)用輔助畫(huà)面202。因此，通過(guò)在應(yīng)用輔助畫(huà)面202上顯示學(xué)習(xí)畫(huà)面，可以期待提高用戶的潛意識(shí)中的知識(shí)。
[0112]另外，這樣的學(xué)習(xí)畫(huà)面也可以與照射狀態(tài)畫(huà)面301 —起顯示。
[0113]即使用戶沒(méi)有注視這樣的學(xué)習(xí)畫(huà)面，通過(guò)在照射一次電子束2時(shí)在短時(shí)間內(nèi)重復(fù)顯示這樣的學(xué)習(xí)畫(huà)面，可以期待用戶的學(xué)習(xí)效果。此外，操作程序31并不僅局限于照射一次電子束2時(shí)或后述的自動(dòng)聚焦調(diào)整中，也可以在用戶的待機(jī)時(shí)間(處理待機(jī)時(shí)間)在圖像顯示裝置18中重復(fù)顯示學(xué)習(xí)畫(huà)面。在此，用戶的待機(jī)時(shí)間是在電子顯微鏡101自動(dòng)地進(jìn)行各種調(diào)整等期間產(chǎn)生的時(shí)間。通過(guò)如上所述，可以期待進(jìn)一步提高針對(duì)用戶的學(xué)習(xí)效果。此外，也可以在試樣室的抽真空期間的用戶的待機(jī)時(shí)間，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示學(xué)習(xí)畫(huà)面。作為用戶的待機(jī)時(shí)間，試樣室的抽真空時(shí)間最長(zhǎng)，因此通過(guò)在該時(shí)間內(nèi)顯示學(xué)習(xí)畫(huà)面，可以期待提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0114]這樣的學(xué)習(xí)畫(huà)面利用用戶的待機(jī)時(shí)間，通過(guò)將接下來(lái)應(yīng)當(dāng)進(jìn)行的操作方法的說(shuō)明或電子顯微鏡101的概念可視化并能夠直觀地掌握，這一點(diǎn)與ATM (Automated TellerMachine,自動(dòng)柜員機(jī))和在因特網(wǎng)的網(wǎng)頁(yè)(web)上顯示的廣告不同。如上所述，本實(shí)施方式與ATM或在因特網(wǎng)的網(wǎng)頁(yè)(Web)上顯示的廣告不同點(diǎn)在于，通過(guò)將接下來(lái)應(yīng)當(dāng)進(jìn)行的操作方法的說(shuō)明或電子顯微鏡101的概念可視化并能夠直觀地掌握，用戶能夠?qū)W習(xí)電子顯微鏡101的原理或與操作方法相關(guān)的知識(shí)。
[0115](S103)
[0116]接著，圖7以及圖8是表示用戶進(jìn)行的視野搜索、倍率調(diào)整時(shí)(S103)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0117]圖7是表不一次電子束的照射剛完成之后的顯不內(nèi)容的圖。
[0118]在此，一次電子束2的照射完成，用戶針對(duì)取得的圖像進(jìn)行倍率的調(diào)整或視野搜索。
[0119]在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中表示當(dāng)前的操作階段為“2.視野搜索”的“倍率調(diào)整、視野搜索”。
[0120]并且，在圖像顯示畫(huà)面203中顯示進(jìn)行了一次電子束2的照射結(jié)果而取得的圖像C41。
[0121]并且，在操作面板畫(huà)面204中顯示用于進(jìn)行電子顯微鏡101的調(diào)整的各種按鈕。
[0122]例如，當(dāng)要變大倍率時(shí)，用戶移動(dòng)在圖像C41的側(cè)面附帶的滑塊C42，由此用戶能夠手動(dòng)進(jìn)行倍率的調(diào)整。例如，當(dāng)要大幅度地變更倍率時(shí)，用戶移動(dòng)滑塊C42，當(dāng)要進(jìn)行細(xì)微的倍率的變更時(shí)，用戶可以操作鼠標(biāo)的滾輪或軌跡球。計(jì)算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的滑塊C42的移動(dòng)距離，使物鏡控制電路16控制物鏡8來(lái)進(jìn)行倍率的變更。
[0123]此外，當(dāng)要使圖像C41的視野移動(dòng)時(shí)，用戶例如通過(guò)拖動(dòng)圖像C41能夠手動(dòng)地移動(dòng)圖像C41的視野。計(jì)算機(jī)19也可以根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的信息，進(jìn)行載物臺(tái)(stage)的移動(dòng)、或通過(guò)偏轉(zhuǎn)器控制電路15使上部偏轉(zhuǎn)器6以及下部偏轉(zhuǎn)器7偏轉(zhuǎn)一次電子束2來(lái)進(jìn)行的圖像偏移。
[0124]在此，對(duì)于視野的移動(dòng)，如果在預(yù)定的倍率以上，則可以將視野的移動(dòng)手段設(shè)成圖像偏移，如果在預(yù)定的倍率以下，則可以將視野的移動(dòng)手段設(shè)成載物臺(tái)移動(dòng)。也就是說(shuō)，當(dāng)倍率在預(yù)定值以上時(shí)，計(jì)算機(jī)19能夠使用圖像偏移，而不能使用載物臺(tái)移動(dòng)。此外，當(dāng)倍率不到預(yù)定值時(shí)，能夠使用載物臺(tái)移動(dòng)，而不能使用圖像偏移，由此可以限制電子顯微鏡101的功能。通過(guò)如上所述，能夠防止用戶進(jìn)行錯(cuò)誤的視野的移動(dòng)。
[0125]如上所述，在本實(shí)施方式中，在圖像C41的近旁(在本實(shí)施方式中為圖像C41的旁邊)顯示倍率、后述的聚焦等參數(shù)調(diào)整的項(xiàng)目或滑塊C42。通過(guò)如上所述，使視線或鼠標(biāo)光標(biāo)的移動(dòng)為最小限，能夠一邊與圖像C41比較，一邊進(jìn)行細(xì)微的調(diào)整。此前，對(duì)設(shè)置在電子顯微鏡101上的操作裝置的旋鈕進(jìn)行操作。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，通過(guò)在圖像C41的近旁顯示的滑塊C42等進(jìn)行倍率等的調(diào)整，因此能夠一邊看著圖像C41 一邊簡(jiǎn)單地進(jìn)行調(diào)整。此外，當(dāng)顯示多個(gè)圖像C41時(shí)，通過(guò)對(duì)每個(gè)圖像C41顯示滑塊C42，用戶能夠容易地進(jìn)行每個(gè)圖像C41的調(diào)整。
[0126]另外，此時(shí)也可以限制操作程序31能夠調(diào)整的倍率的范圍。也就是說(shuō)，可以使用戶不能將倍率設(shè)定成預(yù)定的倍率以上。通過(guò)如上所述，能夠防止用戶錯(cuò)誤地設(shè)定成預(yù)想外的倍率，從而在取得的圖像中發(fā)生不良。
[0127]另外，根據(jù)操作階段，操作程序31適當(dāng)?shù)厍袚Q在圖像顯示畫(huà)面203中顯示的圖像C41的顯示模式。例如在圖7的視野搜索或圖8的圖像確認(rèn)階段，為了優(yōu)化圖像的響應(yīng)，操作程序31設(shè)成提高電子束的掃描速度的顯示模式即“視野搜索模式”。此外，在保存圖像的階段需要清晰的圖像，因此操作程序31放慢掃描速度，設(shè)成顯示高清晰的圖像的“圖像確認(rèn)模式”。當(dāng)前，在操作面板畫(huà)面204的畫(huà)面D41中表示以哪種顯示模式顯示圖像C41。在圖7中，顯示模式為“視野搜索模式”。
[0128]如上所述，操作程序31根據(jù)操作階段適當(dāng)?shù)厍袚Q顯示模式，由此能夠防止忘記操作而引起的作業(yè)效率的下降或錯(cuò)誤。
[0129]此外，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中顯示與顯示模式切換相關(guān)的消息，由此用戶能夠識(shí)別操作程序31正在進(jìn)行怎樣的處理。
[0130]另外，圖7的操作面板畫(huà)面204中的畫(huà)面D42的預(yù)置按鈕D43 (預(yù)置I)，D44(預(yù)置2)是用于以預(yù)先登錄的預(yù)置倍率設(shè)定倍率的按鈕，預(yù)置登錄按鈕D45是用于登錄新的預(yù)置倍率的按鈕。
[0131]另外，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示與按下自動(dòng)亮度按鈕以及自動(dòng)聚焦按鈕的基準(zhǔn)相關(guān)的消息。
[0132]并且，結(jié)束一連串的調(diào)整后，用戶按下在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中顯示的“向下一個(gè)”按鈕A41,由此顯示圖8所示的操作畫(huà)面200。
[0133]圖8是表示圖7中的自動(dòng)調(diào)整中的顯示內(nèi)容的圖。
[0134]在圖8中，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中顯示出表示當(dāng)前的階段為“3.圖像確認(rèn)”的“自動(dòng)調(diào)整”的情況。
[0135]另外，在操作面板畫(huà)面204中顯示的各種按鈕沒(méi)有從圖7變更，但圖像顯示畫(huà)面203中的圖像C51被調(diào)整了倍率，顯示出比圖7高的倍率的圖像。
[0136]在此，用戶為了調(diào)整亮度和對(duì)比度，按下操作面板畫(huà)面204中的“自動(dòng)亮度”按鈕D51。
[0137]另外，在圖8中，在操作面板畫(huà)面204的畫(huà)面D41中表示顯示模式為之前的操作階段的“視野搜索模式”。
[0138]當(dāng)用戶按下“自動(dòng)亮度”按鈕D51時(shí)，進(jìn)行亮度的自動(dòng)調(diào)整(向默認(rèn)的亮度的調(diào)整)。
[0139](S104)
[0140]接著，圖9?圖14是表示圖像保存(拍攝)(S104)中的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0141]圖9是表示自動(dòng)調(diào)整剛結(jié)束之后的顯示內(nèi)容的圖。
[0142]在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中顯示出表示“3.圖像確認(rèn)”結(jié)束，操作階段進(jìn)入下一步的“4.拍攝”的“圖像保存”的消息，并在畫(huà)面A61中顯示催促保存的消息。此外，畫(huà)面D41從“視野搜索”變成“圖像確認(rèn)”。此外，在操作面板畫(huà)面204中顯示的各種按鈕與圖7、圖8相同。
[0143]如圖7中所說(shuō)明的，操作程序31根據(jù)操作階段切換圖像C51的顯示模式，但在圖9的“圖像保存”階段中，將顯示模式設(shè)成得到高清晰度的圖像的“圖像確認(rèn)”模式(操作面板畫(huà)面204中的畫(huà)面D41的符號(hào)D61)。
[0144]此外，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202的畫(huà)面B61中，顯示表示顯示模式被切換成“圖像確認(rèn)”模式的消息。
[0145]此時(shí)，也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示表示自動(dòng)調(diào)整的觀察條件是用于強(qiáng)調(diào)哪個(gè)特征來(lái)拍攝的觀察條件的消息。
[0146]在此，當(dāng)用戶按下在操作面板畫(huà)面204中強(qiáng)調(diào)顯示的“指定保存目的地”按鈕D62時(shí)，顯示圖10的顯示內(nèi)容。
[0147]另外，在此，用戶僅通過(guò)進(jìn)行自動(dòng)亮度調(diào)整來(lái)結(jié)束自動(dòng)調(diào)整，但也可以在圖8或圖9的操作階段，用戶按下“自動(dòng)聚焦”按鈕D63來(lái)進(jìn)行聚焦調(diào)整成進(jìn)行參數(shù)設(shè)定的人判斷為最佳的聚焦值的自動(dòng)聚焦。
[0148]圖10是表示保存目的地設(shè)定階段中的顯示內(nèi)容的圖。
[0149]用戶按下圖9的操作面板畫(huà)面204中的“指定保存目的地”按鈕D62，由此操作程序31如圖10所示地使操作畫(huà)面200為不激活,在操作畫(huà)面200的前面顯示保存目的地設(shè)定畫(huà)面302。
[0150]保存目的地設(shè)定畫(huà)面302與一般的保存目的地的設(shè)定畫(huà)面相同，因此省略詳細(xì)的說(shuō)明。當(dāng)用戶在保存目的地設(shè)定畫(huà)面302中設(shè)定保存目的地并按下登錄按鈕E71時(shí)，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示圖11所示的顯示內(nèi)容。
[0151]圖11以及圖12是表示圖像保存階段中的顯示內(nèi)容的圖。
[0152]圖11以及圖12是用于將顯示的圖像C51保存在存儲(chǔ)裝置21中的操作畫(huà)面200。
[0153]為了保存圖像，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A81中顯示催促按下圖像保存按鈕的消息。
[0154]此外，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202的畫(huà)面B81中顯示催促在進(jìn)行拍攝前按下全畫(huà)面顯示按鈕，從而在較大的畫(huà)面上確認(rèn)圖像的消息。如上所述，操作程序31能夠在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示與操作階段對(duì)應(yīng)的建議。通過(guò)在存儲(chǔ)裝置21中存儲(chǔ)與各操作階段對(duì)應(yīng)的畫(huà)面信息，能夠使操作程序31顯示與操作階段對(duì)應(yīng)的畫(huà)面來(lái)實(shí)現(xiàn)這樣的顯示。
[0155]此外，在圖11的圖像顯示畫(huà)面203中顯示的圖像C51以及操作面板畫(huà)面204中的各種按鈕與圖9沒(méi)有差異，但強(qiáng)調(diào)顯示了操作面板畫(huà)面204中的“圖像保存”按鈕D81。
[0156]在此，當(dāng)用戶按下全畫(huà)面按鈕C81時(shí)，如圖12所示顯示擴(kuò)大了倍率等的圖像C91。圖12的操作畫(huà)面200中的其他畫(huà)面201 (圖11)、202(圖11)以及204與圖11相同，因此省略說(shuō)明。
[0157]通過(guò)如上所述，用戶能夠在擴(kuò)大的狀態(tài)下確認(rèn)圖像。另外，用戶也可以在圖11等中顯示的大小的圖像中進(jìn)行圖像的確認(rèn)、保存。圖像確認(rèn)后，用戶按下操作面板畫(huà)面204中的“圖像保存”按鈕D81。
[0158]另外，此時(shí)也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示圖像確認(rèn)的點(diǎn)。
[0159]圖13以及圖14是表示保存圖像過(guò)程中的操作畫(huà)面200的圖。
[0160]操作引導(dǎo)畫(huà)面201以及操作面板畫(huà)面204的顯示內(nèi)容與圖11、圖12相同，但應(yīng)用輔助畫(huà)面202成為不顯示任何內(nèi)容的狀態(tài)。
[0161]此外，在圖像顯示畫(huà)面203中顯示的圖像ClOl與所保存的像素相配合，按照從上到下的順序顯現(xiàn)圖像。
[0162]并且如圖14所示，在操作畫(huà)面200的前面顯示圖像保存信息畫(huà)面303。在圖像保存信息畫(huà)面303中顯示圖像保存的條件或該條件引起的影響，并且通過(guò)進(jìn)度條Elll顯示圖像保存處理的進(jìn)度。
[0163]另外，在圖像保存處理的等待時(shí)間，操作程序31也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202(圖13)中顯示由此設(shè)想的異?；虿涣枷嚓P(guān)的信息。例如，作為這樣的信息，可以顯示在當(dāng)前的拍攝條件(在此為用于標(biāo)準(zhǔn)的觀察的參數(shù)和保存圖像時(shí)的倍率)下設(shè)想的圖像的異?；虿涣?。
[0164]或者，也可以與圖像保存信息畫(huà)面303 —起顯示表示電子顯微鏡101的原理、針對(duì)試樣9的預(yù)處理的說(shuō)明、電子顯微鏡101的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡101的操作步驟、拍攝中的強(qiáng)調(diào)圖像的原理等的學(xué)習(xí)畫(huà)面。并且，也可以與圖像保存信息畫(huà)面303 —起顯示表示操作畫(huà)面200中的應(yīng)用輔助畫(huà)面202等各畫(huà)面201?204的項(xiàng)目的說(shuō)明、電子顯微鏡101的各種調(diào)整參數(shù)相關(guān)的說(shuō)明等的學(xué)習(xí)畫(huà)面。
[0165]通過(guò)如上所述，可以期待提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0166](S105、S106)
[0167]接著，圖15?圖19是表示用戶確認(rèn)當(dāng)前的圖像是否滿意時(shí)(S105)以及用戶調(diào)整、變更觀察條件(S106)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0168]圖15是表不圖像保存后的顯不內(nèi)容的圖。
[0169]首先，操作引導(dǎo)畫(huà)面201表示當(dāng)前的操作階段為“4.拍攝”的“圖像保存”階段。
[0170]此外，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A121中顯示繼續(xù)按鈕A122和結(jié)束按鈕A123。當(dāng)用戶對(duì)當(dāng)前的圖像不滿意時(shí)，按下用于繼續(xù)觀察的繼續(xù)按鈕A122，操作程序31繼續(xù)進(jìn)行處理(S105 —否)。
[0171]當(dāng)用戶對(duì)當(dāng)前的圖像滿意時(shí)，按下用于結(jié)束觀察的結(jié)束按鈕A123，操作程序31結(jié)束處理(S105 —是)。
[0172]此外，在圖像顯示畫(huà)面203中顯示當(dāng)前的觀察條件下的圖像C51，并且顯示觀察履歷C121。到此為止保存的圖像(觀察履歷C121)與用戶要設(shè)定或要確認(rèn)的信息(文件名或觀察條件)一起顯示。例如，在圖15中顯示在以前保存的圖像作為觀察履歷C121。當(dāng)用戶按下觀察履歷C121時(shí)，擴(kuò)大顯示該圖像。
[0173]此外，當(dāng)用戶將鼠標(biāo)移動(dòng)到在觀察履歷C121中顯示的圖像上時(shí)，也可以顯示該圖像中的詳細(xì)的觀察條件等。
[0174]在操作面板畫(huà)面204中顯示與當(dāng)前的操作階段對(duì)應(yīng)的按鈕等，但在此省略說(shuō)明。
[0175]并且，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示輔助畫(huà)面B121。輔助畫(huà)面B121是將拍攝作為觸發(fā)來(lái)顯示的畫(huà)面。在輔助畫(huà)面B121中顯示向用戶的建議、或記述了與作為圖像信息的圖像C51相關(guān)的狀態(tài)的輔助按鈕B122 (B122a, B122b ;狀態(tài)圖像信息)。另外，輔助畫(huà)面B121是當(dāng)保存圖像時(shí)原則上每次顯示的畫(huà)面。
[0176]在此，操作程序31也可以在圖像顯示裝置18中顯示與當(dāng)前的觀察條件相關(guān)的信肩、O
[0177]如上所述，觀察條件是一次電子束2照射時(shí)的電子顯微鏡101的各種參數(shù)設(shè)定的組合，具體而言，是加速電壓、電流、工作距離、倍率等。這些觀察條件是在試樣9的拍攝前能夠取得的值。另外，工作距離是物鏡下表面與試樣的距離。
[0178]圖像的畫(huà)質(zhì)是亮度分布或銳度等的數(shù)值。圖像的畫(huà)質(zhì)是拍攝后能夠從被拍攝的圖像取得的值。
[0179]與操作階段相關(guān)的信息是在操作面板畫(huà)面204中顯示的內(nèi)容或各操作階段的操作時(shí)間或操作履歷等。與操作階段相關(guān)的信息是能夠在拍攝前、拍攝后取得的信息。與操作階段相關(guān)的信息，是針對(duì)進(jìn)行過(guò)一次的操作，進(jìn)行不顯示輔助按鈕B122的處理等時(shí)使用的信息。
[0180]也就是說(shuō)，與輔助按鈕B122相關(guān)的信息與圖像的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且與電子顯微鏡101的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)到存儲(chǔ)裝置21中。
[0181]如上所述，操作程序31根據(jù)觀察條件、圖像的畫(huà)質(zhì)、與操作階段相關(guān)的信息，來(lái)選擇、顯示輔助按鈕B122，由此用戶能夠容易地掌握當(dāng)前正在發(fā)生怎樣的問(wèn)題。
[0182]計(jì)算機(jī)19解析圖像C51的畫(huà)質(zhì)。然后，操作程序31根據(jù)作為解析結(jié)果的圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)裝置21取得與解析結(jié)果相應(yīng)的輔助按鈕B122相關(guān)的信息。并且，操作程序31在操作畫(huà)面200的預(yù)定位置(在此為應(yīng)用輔助畫(huà)面202)顯示與該取得的輔助按鈕B122相關(guān)的信息作為輔助按鈕B122。
[0183]作為在輔助按鈕B122上顯示的內(nèi)容，除了在圖15中顯示的內(nèi)容外，還有如下的內(nèi)容。
[0184](a)與視野搜索(掃描速度:快)時(shí)相比，缺乏圖像中的凹凸感和立體感。作為出現(xiàn)這樣的癥狀的原因，考慮到充電等。
[0185](b)與視野搜索(掃描速度:快)時(shí)相比，圖像變形。作為出現(xiàn)這樣的癥狀的原因，考慮到充電或針對(duì)試樣的損傷等。
[0186]由于初學(xué)者不知道基于最佳觀察條件的圖像，因此即使實(shí)際上不是最佳的圖像也會(huì)滿意的情況較多。通過(guò)如本實(shí)施方式所示地顯示輔助按鈕B122，提示產(chǎn)生的可能性較高的圖像的癥狀，從而能夠使用戶注意這些癥狀。
[0187]在圖15的例子中，操作程序31解析圖像C51的結(jié)果為在亮度分布中分布偏向高亮度方向，因此操作程序31顯示符號(hào)B122a所示的輔助按鈕B122。此外，操作程序31解析圖像C51的結(jié)果為銳度值較低，因此操作程序31顯示符號(hào)B122b所示的輔助按鈕B122。另外，操作程序31在存儲(chǔ)裝置21中存儲(chǔ)與各觀察條件、圖像的畫(huà)質(zhì)以及操作階段的組合對(duì)應(yīng)的輔助按鈕B122。并且，操作程序31根據(jù)各觀察條件、圖像的畫(huà)質(zhì)以及操作階段的信息來(lái)選擇輔助按鈕B122，由此在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示輔助按鈕B122。
[0188]另外，如圖15所示，操作程序31也可以通過(guò)強(qiáng)調(diào)觀察條件，來(lái)顯示強(qiáng)調(diào)了各輔助按鈕B122記述的癥狀的強(qiáng)調(diào)圖像B123。例如，操作程序31在輔助按鈕B122a上顯示使亮度分布極端地偏向高亮度方向的強(qiáng)調(diào)圖像B123。同樣地，操作程序31在輔助按鈕B122b上顯示使銳度極端地變低的強(qiáng)調(diào)圖像B123。
[0189]強(qiáng)調(diào)圖像B123可以是基于使觀察條件極端的仿真的圖像，也可以準(zhǔn)備預(yù)先進(jìn)行了這樣的仿真的圖像。在此，仿真是使產(chǎn)生在輔助按鈕B122上顯示的癥狀的觀察條件極端化的仿真等。
[0190]在此，當(dāng)用戶按下輔助按鈕B122a時(shí)，操作程序31顯示在圖16中所示的顯示內(nèi)容。
[0191]圖16是表示目的變更中的顯示內(nèi)容的圖。
[0192]用戶看著圖15中的圖像C51，判定畫(huà)面全體閃閃發(fā)光，白線(亮線)進(jìn)入，按下輔助按鈕B122a。于是，為了改善在輔助按鈕B122a記述的癥狀，操作程序31在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示催促將觀察目的變更為“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”的解決畫(huà)面B131。此外，為了變更觀察目的，操作程序31同樣在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A131中顯示催促按下“變更”按鈕D131的消息。在此，操作程序31不自動(dòng)地向下一畫(huà)面遷移，而是由用戶按下“變更”按鈕D131。通過(guò)如上所述，用戶能夠識(shí)別“變更”按鈕D131的位置，能夠提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0193]此外，預(yù)先在存儲(chǔ)裝置21中存儲(chǔ)與圖15的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的畫(huà)面信息。操作程序31選擇與按下的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的畫(huà)面信息，由此顯示圖16中的畫(huà)面A131、B131。
[0194]另外，圖16的操作引導(dǎo)畫(huà)面201表示當(dāng)前的階段為“1.準(zhǔn)備”的“目的變更”。
[0195]此外，操作程序31與操作引導(dǎo)畫(huà)面201對(duì)應(yīng)地顯示操作面板畫(huà)面204。為了向用戶催促變更觀察目的，在操作面板畫(huà)面204中強(qiáng)調(diào)顯示“變更”按鈕D131。
[0196]當(dāng)用戶按照在畫(huà)面A131中記述的內(nèi)容按下“變更”按鈕D131時(shí)，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示圖17所示的顯示內(nèi)容。
[0197]圖17是表示觀察目的變更中的顯示內(nèi)容的圖。
[0198]當(dāng)按下圖16中的“變更”按鈕D131時(shí)，如圖17所示，在操作畫(huà)面200的前面顯示觀察目的變更畫(huà)面304。在此，操作畫(huà)面200的結(jié)構(gòu)與圖16所示的結(jié)構(gòu)相同，因此省略說(shuō)明。
[0199]在觀察目的變更畫(huà)面304中顯示觀察目的設(shè)定按鈕E141。在觀察目的設(shè)定按鈕E141上記述了觀察目的的變更候補(bǔ)。
[0200]將這樣的觀察目的設(shè)定按鈕E141的信息與圖15的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)起來(lái)預(yù)先存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中。操作程序31選擇與按下的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的觀察目的設(shè)定按鈕E141，并顯示在圖像顯示裝置18中。
[0201]另外，操作程序31也可以參照操作履歷，根據(jù)操作履歷，使預(yù)定的觀察目的設(shè)定按鈕E141 (例如，被按下過(guò)一次的觀察目的設(shè)定按鈕E141)不顯示。
[0202]當(dāng)用戶按下一個(gè)觀察目的設(shè)定按鈕E141時(shí)，反白顯示該觀察目的設(shè)定按鈕E141 (符號(hào)E141a)。然后，操作程序31根據(jù)在被按下的觀察目的設(shè)定按鈕E141上記述的內(nèi)容來(lái)設(shè)定觀察條件。在符號(hào)E141a的例子中設(shè)定“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”的觀察條件。另外，被顯示的觀察目的設(shè)定按鈕E141也可以根據(jù)“涂覆”、“非涂覆”等試樣9的狀態(tài)成為不同的顯示。例如，在圖4的階段等中，用戶輸入試樣9的狀態(tài)。
[0203]操作程序31參照在存儲(chǔ)裝置21存儲(chǔ)的觀察條件設(shè)定表41 (圖18)來(lái)設(shè)定觀察條件。
[0204]另外，在圖17的操作階段，也可以在觀察目的變更畫(huà)面304中顯示“涂覆”、“非涂覆”等與試樣9相關(guān)的信息等。
[0205]此外，如圖17所示，操作程序31也可以在觀察目的變更畫(huà)面304中顯示“涂覆試樣高真空模式”、“非涂覆試樣低真空模式”的說(shuō)明標(biāo)簽E143。例如，當(dāng)用戶選擇“非涂覆試樣低真空模式”的說(shuō)明標(biāo)簽E143a時(shí)，操作程序31在觀察目的變更畫(huà)面304中顯示非涂覆試樣的說(shuō)明、不進(jìn)行涂覆較佳的試樣的說(shuō)明、不進(jìn)行涂覆的優(yōu)點(diǎn)、缺點(diǎn)以及設(shè)成低真空模式的方法的說(shuō)明等的信息。
[0206]此外，如圖17所示，也可以在觀察目的設(shè)定按鈕E141內(nèi)，通過(guò)雷達(dá)圖表E144顯示與觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)的觀察條件中的各參數(shù)設(shè)定值。通過(guò)如上所述，用戶能夠容易地確認(rèn)各觀察目的設(shè)定按鈕E141中的觀察條件的特征。
[0207]圖18是表示本實(shí)施方式的觀察條件設(shè)定表的圖。
[0208]在圖18所示的觀察條件設(shè)定表41中的各記錄分別與觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)，針對(duì)每個(gè)觀察目的組合了參數(shù)設(shè)定值(加速電壓、檢測(cè)信號(hào)、掃描方式)。如圖18所示，通過(guò)觀察條件設(shè)定表41中的?、〇、Λ、X等評(píng)價(jià)“凹凸小易見(jiàn)度”或“凹凸大易見(jiàn)度”或“組成信息易見(jiàn)度”等觀察目的。另外，評(píng)價(jià)方法并不局限于圖18所示的?、〇、Λ、Χ，也可以通過(guò)分?jǐn)?shù)等進(jìn)行評(píng)價(jià)。根據(jù)這些評(píng)價(jià)，將觀察目的設(shè)定按鈕Ε141(圖17)與觀察目的對(duì)應(yīng)起來(lái)。在此，如上所述，觀察條件是各參數(shù)設(shè)定值的組合，觀察目的是凹凸的易見(jiàn)度等觀察條件對(duì)圖像的影響。
[0209]當(dāng)按下圖17中的觀察目的設(shè)定按鈕Ε141的任一個(gè)時(shí)，操作程序31根據(jù)與觀察目的設(shè)定按鈕Ε141對(duì)應(yīng)起來(lái)的觀察條件設(shè)定表41的記錄的參數(shù)設(shè)定值來(lái)設(shè)定觀察條件。例如，操作程序31根據(jù)凹凸小以及凹凸大的易見(jiàn)度良好的編號(hào)I記錄的參數(shù)設(shè)定值來(lái)設(shè)定觀察條件。圖18所示的觀察條件設(shè)定表41的各值，是預(yù)先調(diào)整成通過(guò)該值設(shè)定能夠拍攝最低限的圖像的值。另外，觀察條件設(shè)定表41中的參數(shù)設(shè)定值并不局限于加速電壓、檢測(cè)信號(hào)、掃描方式，還有電流、工作距離或倍率等。在此，圖18中的SE (Secondary Electron)是二次電子，BSE(Back Scattered Electron)是背散射電子。另外，觀察條件設(shè)定表41中的各記錄經(jīng)由預(yù)定的對(duì)應(yīng)信息(識(shí)別信息等)與各個(gè)觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)。作為識(shí)別信息，例如有圖18中的編號(hào)(No)等。
[0210]在此，在圖18中設(shè)定了 11個(gè)觀察目的，與此相對(duì)，將圖17中的觀察目的設(shè)定按鈕E141設(shè)成5個(gè)。設(shè)定者通過(guò)選擇在圖18中設(shè)定的觀察目的中的、5個(gè)適于初學(xué)者的觀察目的，來(lái)設(shè)定觀察目的設(shè)定按鈕E141即可。
[0211]此外，觀察條件設(shè)定表41中的一個(gè)記錄成為默認(rèn)的觀察條件。通過(guò)如上所述，用戶不進(jìn)行操作也能夠進(jìn)行與調(diào)整圖像對(duì)應(yīng)的觀察條件的設(shè)定。也就是說(shuō)，用戶實(shí)質(zhì)上僅通過(guò)自動(dòng)操作就能夠進(jìn)行拍攝，用戶始終能夠容易地得到恒定水平的圖像，因此即使是初學(xué)者也能夠容易地進(jìn)行拍攝。
[0212]此外，在觀察目的設(shè)定按鈕E141上顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142。
[0213]預(yù)先將與觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)起來(lái)的強(qiáng)調(diào)圖像E142存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中。當(dāng)選擇、顯示觀察目的設(shè)定按鈕E141時(shí)，操作程序31取得、顯示與該觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)起來(lái)的強(qiáng)調(diào)圖像E142，由此顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142。
[0214]通過(guò)如上所述地顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142，當(dāng)選擇相應(yīng)的觀察目的設(shè)定按鈕E141時(shí)，用戶能夠視覺(jué)地掌握得到怎樣的效果。在專利文獻(xiàn)1、2中，使用戶比較未處理的圖像，因此初學(xué)者很難知道觀察條件的差異導(dǎo)致的圖像的差異。與此相對(duì)，通過(guò)如本實(shí)施方式這樣顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142，即使用戶是初學(xué)者，也能夠容易地掌握選擇觀察目的設(shè)定按鈕E141的效果O
[0215]在此，強(qiáng)調(diào)圖像E142a顯示標(biāo)準(zhǔn)的圖像以便了解是標(biāo)準(zhǔn)的觀察，強(qiáng)調(diào)圖像E142b強(qiáng)調(diào)陰影以便強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)。此外，強(qiáng)調(diào)圖像E142c強(qiáng)調(diào)陰影以便了解表面結(jié)構(gòu)與材料分布的差異，并且對(duì)各材料賦予不同的顏色等。并且，強(qiáng)調(diào)圖像E142d對(duì)各材料賦予不同的顏色等以便了解材料分布的差異，強(qiáng)調(diào)圖像E142e成為圖表狀的圖像以便明白是元素分析。
[0216]強(qiáng)調(diào)圖像E142最強(qiáng)調(diào)以對(duì)應(yīng)的觀察目的(觀察條件)拍攝的情況下的圖像的狀態(tài)。具體而言，強(qiáng)調(diào)圖像E142使用視覺(jué)上強(qiáng)調(diào)或者變形了圖像的狀態(tài)的圖像。如圖17所示，希望使用長(zhǎng)方體或圓柱體等象征性的塊或被簡(jiǎn)化的圖表作為強(qiáng)調(diào)圖像E142，并有效果。
[0217]另外，這些強(qiáng)調(diào)圖像E142是一例，也可以顯示其他強(qiáng)調(diào)圖像。此外，如圖17所示，不僅可以在觀察目的設(shè)定按鈕E141上顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142，也可以在觀察目的設(shè)定按鈕E141的近旁顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142。
[0218]此外，操作程序31參照操作履歷，在已經(jīng)進(jìn)行了拍攝的觀察目的設(shè)定按鈕E141上顯示“拍攝完畢”等信息，由此能夠使用戶容易地選擇未拍攝的觀察目的。
[0219]圖19是表示剛按下圖17中的觀察目的設(shè)定按鈕E141a后的顯示內(nèi)容的圖。
[0220]顯示催促按下觀察目的設(shè)定E153的意思的消息。
[0221]并且，也可以在操作畫(huà)面200的前面顯示的觀察目的變更畫(huà)面304上顯示特殊設(shè)定按鈕E151。
[0222]在圖19的例子中顯示了特殊設(shè)定按鈕E151。特殊設(shè)定按鈕E151并非是必須的設(shè)定，而是與特殊的設(shè)定(特殊設(shè)定)相關(guān)的按鈕。
[0223]當(dāng)用戶按下特殊設(shè)定按鈕E151時(shí)，操作程序31參照存儲(chǔ)裝置21。然后，操作程序31取得與特殊設(shè)定按鈕E151對(duì)應(yīng)起來(lái)的特殊設(shè)定信息。并且，操作程序31在觀察目的變更畫(huà)面304的特殊信息顯示區(qū)域E152中顯示取得的特殊設(shè)定信息。
[0224]在特殊信息顯示區(qū)域E152中顯示與特殊設(shè)定相關(guān)的信息。在圖19的例子中，作為特殊設(shè)定，顯示與涂覆相關(guān)的內(nèi)容。在圖19的例子中，假定在特殊設(shè)定按鈕E151上有能夠進(jìn)行針對(duì)涂覆的設(shè)定的意思的表述。并且，當(dāng)用戶按下特殊設(shè)定按鈕E151時(shí)，操作程序31在特殊信息顯示區(qū)域E152中顯示涂覆了的情況下的觀察上的優(yōu)點(diǎn)、缺點(diǎn)或適于涂覆的試樣9等的信息。并且，操作程序31也可以在特殊信息顯示區(qū)域E152中顯示沒(méi)有進(jìn)行涂覆的試樣9的觀察方法(具體而言，選擇用于向低真空觀察轉(zhuǎn)移的真空度的操作過(guò)程)等。此外，也可以與涂覆相關(guān)的信息一起顯示離子鍍膜或真空蒸鍍等與涂覆方法相關(guān)的信息。
[0225]如上所述，通過(guò)顯示特殊設(shè)定按鈕E151、特殊信息顯示區(qū)域E152，用戶能夠注意特殊設(shè)定的觀察。
[0226]可以在所有的觀察目的變更畫(huà)面304中顯示特殊設(shè)定按鈕E151。或者，也可以當(dāng)按下特定的觀察目的設(shè)定按鈕E141 (圖17)時(shí)，使操作程序31顯示與觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)起來(lái)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中的特殊設(shè)定按鈕E151。
[0227]然后，當(dāng)用戶按照在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A151中顯示的消息按下觀察目的變更畫(huà)面304的“決定”按鈕E153時(shí)，操作程序31參照觀察條件設(shè)定表41。接著，操作程序31對(duì)各電路11?17 (圖1)設(shè)定與按下的觀察目的設(shè)定按鈕E141對(duì)應(yīng)的記錄的參數(shù)設(shè)定值作為觀察條件。
[0228]另外，操作程序31隨時(shí)將到此為止的操作履歷存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中。
[0229]在之后的圖20?圖37中，對(duì)于與圖4?圖19相同的操作畫(huà)面200，適當(dāng)?shù)厥÷愿鱾€(gè)操作畫(huà)面200的詳細(xì)的說(shuō)明，僅保留表示與圖4?圖19的附圖的差異的說(shuō)明。
[0230]圖20是表示在圖19中剛按下“決定”按鈕E153之后的顯示內(nèi)容的圖。另外，在圖19中用戶按下“決定”按鈕E153時(shí)，操作程序31再次將處理返回視野搜索、倍率調(diào)整(圖2的S103)，計(jì)算機(jī)19按照選擇的觀察目的(觀察條件)取得圖像。
[0231]圖20具有與圖7相同的畫(huà)面結(jié)構(gòu)，因此也省略對(duì)各畫(huà)面結(jié)構(gòu)的說(shuō)明，但與圖7的不同點(diǎn)在于，在圖像顯示畫(huà)面203中顯示的圖像C51維持圖16的狀態(tài)，并且在圖像顯示畫(huà)面203中顯示了觀察履歷C121。
[0232]用戶在圖20中通過(guò)與圖7相同的方法進(jìn)行倍率的調(diào)整或視野搜索。
[0233]在此，當(dāng)用戶設(shè)定了不能設(shè)定的倍率(預(yù)定倍率以上或預(yù)定倍率以下的倍率)時(shí)，操作程序31也可以在圖像顯示裝置18中顯示警告。
[0234]此外，伴隨觀察目的被變更，在操作面板畫(huà)面204中將“當(dāng)前的觀察目的”顯示按鈕D51從此前(圖7)的“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”變更為“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”。
[0235]圖21是表示剛進(jìn)行了基于圖20的倍率的調(diào)整、視野搜索之后的顯示內(nèi)容的圖。
[0236]在圖21中表示基于圖20的倍率的調(diào)整、視野搜索的結(jié)果，倍率被擴(kuò)大(例如，20000倍)的狀態(tài)。
[0237]圖21的操作畫(huà)面200，除了在圖像顯示畫(huà)面203中顯示倍率上升后的狀態(tài)的圖像C171這一點(diǎn)、和在操作面板畫(huà)面204中顯示“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171這一點(diǎn)外，與圖20相同。
[0238]在此，所謂“手動(dòng)調(diào)整”是指如后所述地手動(dòng)調(diào)整亮度、對(duì)比度或聚焦等，而不是自動(dòng)地進(jìn)行調(diào)整。
[0239]當(dāng)按下“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171時(shí)，顯示手動(dòng)亮度調(diào)整按鈕、手動(dòng)對(duì)比度調(diào)整按鈕、聚焦按鈕(例如，圖27的符號(hào)C223)、聚焦X按鈕(例如，圖29的符號(hào)C251)或聚焦Y按鈕(例如，圖31的符號(hào)C271)等?！笆謩?dòng)調(diào)整”按鈕D171、聚焦按鈕、聚焦X按鈕或聚焦Y按鈕是在預(yù)定的倍率以上時(shí)才能夠顯示的按鈕，而在預(yù)定的倍率以下則不能顯示。另外，當(dāng)按下“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171時(shí)，如果在預(yù)定的倍率以上，則顯示所有的手動(dòng)亮度調(diào)整按鈕、手動(dòng)對(duì)比度調(diào)整按鈕、聚焦按鈕、聚焦X按鈕以及聚焦Y按鈕，如果不到預(yù)定的倍率，則可以不顯示所有的這些按鈕。
[0240]在此，當(dāng)在預(yù)定的倍率以上時(shí)顯示“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171，但如果在預(yù)定的倍率以上，則可以將視野的移動(dòng)手段設(shè)成圖像偏移，如果在預(yù)定的倍率以下時(shí)，則將視野的移動(dòng)手段設(shè)成載物臺(tái)移動(dòng)。
[0241]如上所述，根據(jù)預(yù)定的條件設(shè)成特定的操作項(xiàng)目，由此能夠防止不需要的操作，減少誤動(dòng)作。
[0242]另外，也可以根據(jù)觀察目的限定倍率的調(diào)整范圍。在這樣的情況下，也就是說(shuō)，在當(dāng)前的觀察目的下未得到所希望的倍率時(shí)，用戶可以通過(guò)按下操作面板畫(huà)面204的觀察目的變更按鈕D172來(lái)變更觀察目的。
[0243]圖22是表示自動(dòng)調(diào)整中的顯示內(nèi)容的圖。
[0244]圖22除了在圖像顯示畫(huà)面203中顯示擴(kuò)大倍率的圖像C171、觀察履歷C121以及“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171(圖21)等外，基本上與圖8相同，因此省略說(shuō)明。
[0245](S104)
[0246]圖23是表示自動(dòng)調(diào)整結(jié)束，用戶重新保存(拍攝)圖像時(shí)(S104)的操作畫(huà)面的圖。
[0247]圖23除了在圖像顯示畫(huà)面203中顯示擴(kuò)大倍率的圖像C171、觀察履歷C121以及“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D171(圖21)等外，基本上與圖9相同，因此省略說(shuō)明。
[0248]之后，進(jìn)行與圖10?圖14中的處理相同的處理，由此將基于當(dāng)前的觀察條件的圖像保存在存儲(chǔ)裝置21中。
[0249](S105、S106)
[0250]接著，圖24?圖34是表示用戶重新確認(rèn)是否對(duì)當(dāng)前的圖像滿意時(shí)(S105)以及用戶重新調(diào)整、重新變更觀察條件(S106)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0251]圖24是表示保存圖像后的顯示內(nèi)容的圖。
[0252]在圖24中顯示擴(kuò)大了圖像顯示畫(huà)面203中的倍率的圖像C171和新加上了在圖23中保存的圖像的觀察履歷C201。另外，在圖23中顯示擴(kuò)大了倍率的圖像C171，但之后恢復(fù)到原來(lái)的倍率后保存圖像。
[0253]此外，不顯示圖15的應(yīng)用輔助畫(huà)面202中的輔助按鈕B122a，而是代替顯示新的輔助按鈕 B122c(B122)。
[0254]除此以外基本上與圖15相同，因此省略說(shuō)明。
[0255]另外，當(dāng)顯示輔助按鈕B122b，B122c時(shí)操作程序31進(jìn)行的處理與在圖15中說(shuō)明的處理相同，因此在此省略說(shuō)明。
[0256]當(dāng)在該時(shí)刻，用戶對(duì)圖像滿意時(shí)，用戶通過(guò)按下操作引導(dǎo)畫(huà)面201的結(jié)束按鈕A123來(lái)結(jié)束觀察。
[0257]作為通過(guò)輔助按鈕B122c顯示的內(nèi)容，如上所述，與視野搜索(掃描速度:快)時(shí)相比，缺乏圖像中的凹凸感和立體感，或者與視野搜索(操作速度:快)時(shí)相比，圖像變形坐寸ο
[0258]另外，這些癥狀雖然在低倍率下不發(fā)生，但在高倍率下出于照射束(一次電子束2)密度上升等原因，有時(shí)發(fā)生這些癥狀。
[0259]在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中不顯示輔助按鈕B122a(圖15)而代替顯示新的輔助按鈕B122c，這是因?yàn)椴僮鞒绦?1參照隨時(shí)在存儲(chǔ)裝置21中存儲(chǔ)的操作履歷，不顯示進(jìn)行過(guò)一次的處理項(xiàng)目(在此為輔助按鈕B122a)。
[0260]此外，操作程序31通過(guò)解析當(dāng)前的圖像C171來(lái)顯示新的輔助按鈕B122c。另外，該處理與圖15相同。
[0261]在此，假定用戶按下繼續(xù)按鈕A122，進(jìn)而用戶按下輔助按鈕B122b。
[0262]圖25是表示目的變更中的顯示內(nèi)容的圖。
[0263]用戶看著圖24中的圖像C171判定為覺(jué)得圖像模糊，然后按下輔助按鈕B122b。于是，操作程序31為了改善在輔助按鈕B122b中記述的癥狀，在圖25所示的應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示畫(huà)面B211。在畫(huà)面B211中顯示催促通過(guò)手動(dòng)調(diào)整模式調(diào)整聚焦的消息。此外，也同樣地在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A211中顯示按下“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D211來(lái)手動(dòng)進(jìn)行聚焦調(diào)整的意思的消息。
[0264]為了顯示這樣的畫(huà)面A211、B211，操作程序31進(jìn)行的處理與在圖16中說(shuō)明的處理相同，因此省略說(shuō)明。
[0265]當(dāng)用戶按下在操作面板畫(huà)面204中強(qiáng)調(diào)顯示的“手動(dòng)調(diào)整”按鈕D211時(shí)，操作程序31將圖26的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。
[0266]另外，在圖25?圖33中，操作引導(dǎo)畫(huà)面201的主項(xiàng)目“圖像確認(rèn)”的子項(xiàng)目與圖8等不同，顯示手動(dòng)調(diào)整用的子項(xiàng)目。
[0267]圖26?圖28是在手動(dòng)調(diào)整畫(huà)面中表示聚焦調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0268]在圖26中，在圖像顯示畫(huà)面203中的圖像C221的近旁(在圖26的例子中為圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)顯示手動(dòng)調(diào)整按鈕群C222。在此，圖像C221顯示的是在圖24等中的圖像C171的中心部分。在圖像C221中僅顯示圖像C171的中心部分(一部分)是由于如下的理由。為了確保聚焦等的調(diào)整所需要的畫(huà)質(zhì)和跟蹤性，操作程序31將圖像C171如圖像C221那般縮小觀察部分，由此以較慢的掃描速度提高畫(huà)質(zhì)的同時(shí)縮短重復(fù)掃描時(shí)的時(shí)間(以下，圖27?圖33也相同)。
[0269]另外，在圖26?圖33中縮小顯示了圖像C221、C231，但并不局限于此，也可以是與窗口配合的顯不。
[0270]并且，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201中顯示當(dāng)前的操作階段為“3.圖像確認(rèn)”的“聚焦調(diào)整”的意思的信息，并且，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A221中顯示催促按下聚焦按鈕C223的消肩、O
[0271]并且，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202的畫(huà)面B221中顯示表示已將顯示模式切換成“圖像調(diào)整”模式的消息。另外，在操作面板畫(huà)面204的畫(huà)面D41中也顯示當(dāng)前的顯示模式為“圖像調(diào)整”模式。當(dāng)切換顯示模式時(shí)，操作程序31進(jìn)行的處理已在圖7進(jìn)行了說(shuō)明，因此省略。
[0272]按照畫(huà)面A221或畫(huà)面B221的指示，用戶將鼠標(biāo)的光標(biāo)移動(dòng)到聚焦按鈕C223時(shí)，如圖26所示，強(qiáng)調(diào)顯示聚焦按鈕C223，圖像C221(圖26)變化成圖像C231(圖27)。
[0273]并且，當(dāng)用戶按下聚焦按鈕C223時(shí)，如圖27所示反白顯示聚焦按鈕C223，顯示用于進(jìn)行聚焦調(diào)整的聚焦滑塊C232。
[0274]用戶通過(guò)移動(dòng)聚焦滑塊C232來(lái)判定是否需要調(diào)整像散。
[0275]并且，當(dāng)用戶移動(dòng)聚焦滑塊C232時(shí)，計(jì)算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的聚焦滑塊C232的移動(dòng)距離，使X方向像散校正器控制電路13以及Y方向像散校正器控制電路14控制X方向像散校正器4以及Y方向像散校正器5。
[0276]圖像C231根據(jù)用戶移動(dòng)聚焦滑塊C232來(lái)表示圖像C221 (圖26)的聚焦偏移的狀態(tài)。
[0277]在此，在圖27的操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A231中顯示聚焦調(diào)整的目標(biāo)。并且，在畫(huà)面A231的參考圖像A232中變形顯示移動(dòng)聚焦滑塊C232時(shí)預(yù)想的圖像變化。
[0278]然后，當(dāng)用戶確定通過(guò)移動(dòng)聚焦滑塊C232圖像僅向預(yù)定的方向擴(kuò)大(伸長(zhǎng))時(shí)，用戶按下畫(huà)面A231的“伸長(zhǎng)”按鈕A233。另外，即使移動(dòng)聚焦滑塊C232圖像也不伸長(zhǎng)時(shí)，用戶按下畫(huà)面A231的“不伸長(zhǎng)”按鈕A234。當(dāng)按下“不伸長(zhǎng)”按鈕A234時(shí)，操作程序31不進(jìn)行圖28?圖33的聚焦X調(diào)整、聚焦Y調(diào)整，在圖像顯示裝置18中顯示圖34所示的顯示內(nèi)容。
[0279]另外，圖27中的聚焦X調(diào)整是X方向的像散調(diào)整，聚焦Y調(diào)整是Y方向的像散調(diào)難
iF.0
[0280]然后，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示圖28的顯示內(nèi)容。
[0281]另外，也可以在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示畫(huà)面A231。此外，參考圖像A232可以是靜止的圖像也可以是運(yùn)動(dòng)的圖像。
[0282]圖28中的操作畫(huà)面200，除了顯示操作引導(dǎo)畫(huà)面201中的畫(huà)面A241夕卜，與圖27中的操作畫(huà)面200相同。
[0283]在畫(huà)面A241中顯示催促用戶通過(guò)移動(dòng)聚焦滑塊C232來(lái)進(jìn)行聚焦調(diào)整的消息。
[0284]用戶通過(guò)移動(dòng)聚焦滑塊C232將聚焦滑塊C232移動(dòng)到圖像C231的沒(méi)有伸長(zhǎng)的位置時(shí)，按下操作引導(dǎo)畫(huà)面201中的“向下一個(gè)”按鈕A242。
[0285]于是，操作程序31結(jié)束聚焦調(diào)整處理，在圖像顯示裝置18中顯示用于聚焦X調(diào)整的顯示內(nèi)容。
[0286]圖29以及圖30是表示手動(dòng)調(diào)整畫(huà)面中的聚焦X調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0287]在聚焦X調(diào)整中，首先如圖29所示，在用于操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A251中顯示催促按下聚焦X按鈕C251的消息。
[0288]此外，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202的畫(huà)面B251中顯示僅通過(guò)聚焦X調(diào)整有時(shí)不會(huì)變銳利的意思的消息。通過(guò)這樣的顯示，用戶即使通過(guò)聚焦X調(diào)整不能得到銳利的圖像，也能夠不急躁地進(jìn)行作業(yè)。
[0289]按照畫(huà)面A251的消息，用戶將鼠標(biāo)的光標(biāo)移動(dòng)到在圖像C221近旁(圖29的例子中為在圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)顯示的聚焦X按鈕C251時(shí)，如圖29所示強(qiáng)調(diào)顯示聚焦X按鈕C251。
[0290]然后，當(dāng)用戶按下強(qiáng)調(diào)顯示的聚焦X按鈕C251時(shí),如圖30所示反白顯示聚焦X按鈕C251，顯示聚焦X滑塊C261。
[0291]此外，如圖30所示，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A261中顯示催促移動(dòng)聚焦X滑塊C261來(lái)銳化圖像的消息。
[0292]另外，在畫(huà)面A261中顯示圖像A262，其強(qiáng)調(diào)顯示了移動(dòng)聚焦X滑塊C261時(shí)的效果O
[0293]用戶按照畫(huà)面A261的消息來(lái)移動(dòng)聚焦X滑塊C261。于是，計(jì)算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的聚焦X滑塊C261的移動(dòng)距離，使X方向像散校正器控制電路13控制X方向像散校正器4。
[0294]并且，當(dāng)認(rèn)為圖像大致銳利時(shí)，用戶按下“向下一個(gè)”按鈕A263，由此操作程序31結(jié)束聚焦X調(diào)整，進(jìn)入隨后的聚焦Y調(diào)整。
[0295]圖31以及圖32是表示用于手動(dòng)調(diào)整畫(huà)面中的聚焦Y調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0296]在聚焦Y調(diào)整中，如圖31所示，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A271中顯示催促按下聚焦Y按鈕C271的消息。
[0297]此外，當(dāng)進(jìn)行聚焦Y調(diào)整時(shí)大幅度地移動(dòng)時(shí)，在應(yīng)用輔助畫(huà)面202的畫(huà)面B271中顯示容易識(shí)別圖像變化的意思的消息。通過(guò)這樣的顯示，在聚焦Y調(diào)整中，能夠向用戶催促嘗試較大幅度地移動(dòng)。
[0298]用戶按照畫(huà)面A271的消息，將鼠標(biāo)的光標(biāo)移動(dòng)到在圖像C221近旁(圖31的例子中為在圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)顯示的聚焦Y按鈕C271時(shí)，如圖31所示，強(qiáng)調(diào)顯示聚焦Y按鈕C271。
[0299]然后，當(dāng)用戶按下強(qiáng)調(diào)顯示的聚焦Y按鈕C271時(shí)，如圖32所示反白顯示聚焦Y按鈕C271，顯示聚焦Y滑塊C281。
[0300]此外，如圖32所示，在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A281顯示催促移動(dòng)聚焦Y滑塊C281來(lái)銳化圖像的消息。
[0301]另外，在畫(huà)面A281中顯示圖像A282，其強(qiáng)調(diào)顯示了移動(dòng)聚焦Y滑塊C281時(shí)的效果O
[0302]用戶按照畫(huà)面A281的消息來(lái)移動(dòng)聚焦Y滑塊C281。于是，計(jì)算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的聚焦Y滑塊C281的移動(dòng)距離，使Y方向像散校正器控制電路14控制Y方向像散校正器5。
[0303]并且，當(dāng)認(rèn)為圖像大致銳利時(shí)，用戶按下“向下一個(gè)”按鈕A283，由此操作程序31結(jié)束聚焦Y調(diào)整，在圖像顯示裝置18中顯示隨后的滑塊調(diào)整畫(huà)面的顯示內(nèi)容。
[0304]如上所述，用戶能夠通過(guò)在圖像C221(圖26等)、C231(圖27等)近旁顯示的聚焦滑塊C232 (圖27)、聚焦X滑塊C261 (圖30)、聚焦Y滑塊C281 (圖32)等來(lái)進(jìn)行聚焦調(diào)整。通過(guò)如上所述，用戶能夠一邊看著圖像C221、C231 —邊簡(jiǎn)便地進(jìn)行調(diào)整。此外，當(dāng)顯示多個(gè)圖像C221、C231時(shí)，也可以對(duì)多個(gè)圖像C221、C231的每一個(gè)顯示聚焦滑塊C232、聚焦X滑塊C261、聚焦Y滑塊C281等。通過(guò)如上所述，用戶能夠容易地進(jìn)行每個(gè)圖像C221、C231的調(diào)整。
[0305]圖33是在手動(dòng)調(diào)整畫(huà)面中表示聚焦確認(rèn)的顯示內(nèi)容的圖。
[0306]圖33除了操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A291以外，還具有與圖26相同的結(jié)構(gòu)(然而，顯示模式為“視野搜索模式”)。
[0307]在操作引導(dǎo)畫(huà)面201的畫(huà)面A291中顯示催促以與圖27相同的過(guò)程確認(rèn)是否進(jìn)行了聚焦調(diào)整(并且是否需要聚焦調(diào)整)的消息。
[0308]用戶以與圖26?圖28相同的過(guò)程進(jìn)行聚焦調(diào)整，確認(rèn)需要或不需要重新調(diào)整聚焦。
[0309]其結(jié)果，當(dāng)用戶判定為需要重新調(diào)整聚焦時(shí)，用戶通過(guò)按下“調(diào)整”按鈕A292，重新進(jìn)行圖29?圖32的處理來(lái)進(jìn)行聚焦調(diào)整。
[0310]此外，用戶判定為不需要重新調(diào)整聚焦時(shí)，用戶按下“向下一個(gè)”按鈕A293，由此操作程序31結(jié)束手動(dòng)調(diào)整的處理，在圖像顯示裝置18中顯示圖34的自動(dòng)調(diào)整的顯示內(nèi)容。具體而言，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示圖34的亮度的自動(dòng)調(diào)整畫(huà)面。
[0311]另外，預(yù)先在存儲(chǔ)裝置21中設(shè)定與手動(dòng)調(diào)整的過(guò)程對(duì)應(yīng)的操作畫(huà)面200，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示與當(dāng)前的過(guò)程對(duì)應(yīng)的操作畫(huà)面200，由此顯示圖26?圖33的各操作畫(huà)面200。
[0312]圖34是表示自動(dòng)調(diào)整中的顯示內(nèi)容的圖。
[0313]圖34是用于用戶自動(dòng)調(diào)整圖像的亮度的操作畫(huà)面200，除了顯示登錄了兩個(gè)圖像的觀察履歷C201外與圖22相同，因此省略說(shuō)明。
[0314]在此，用戶針對(duì)在圖26?圖33中進(jìn)行了基于手動(dòng)調(diào)整的聚焦調(diào)整的圖像進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整。
[0315]另外，也可以在圖34的操作畫(huà)面200前顯示與圖20、圖21相同的操作畫(huà)面200，用戶進(jìn)行視野搜索或倍率的調(diào)整。
[0316](S104)
[0317]圖35是表示自動(dòng)調(diào)整結(jié)束，用戶重新保存圖像(拍攝)時(shí)(S104)的操作畫(huà)面的圖。
[0318]圖35除了顯示登錄了兩個(gè)圖像的觀察履歷C201外，與圖23相同，因此省略說(shuō)明。
[0319]之后，通過(guò)進(jìn)行與圖10?圖14中的處理相同的處理，將通過(guò)自動(dòng)調(diào)整被聚焦調(diào)整的圖像保存在存儲(chǔ)裝置21中。
[0320](S105, S106)
[0321]圖36是表示用戶重新確認(rèn)是否對(duì)當(dāng)前的圖像滿意時(shí)(S105)、以及用戶重新調(diào)整、重新變更觀察條件(S106)時(shí)的操作畫(huà)面的例子的圖。
[0322]在圖36中顯示新增加了在圖35中保存的圖像的觀察履歷C321。另外，在圖35中顯示擴(kuò)大了倍率的圖像，但之后，恢復(fù)到原來(lái)的倍率后保存圖像。
[0323]此外，操作程序31通過(guò)參照處理履歷，不顯示圖24的應(yīng)用輔助畫(huà)面202中的輔助按鈕B122b，而是代替顯示新的輔助按鈕B122d(B122)。
[0324]除此以外與圖24相同，因此省略說(shuō)明。
[0325]此外，顯示輔助按鈕B122c，B122d時(shí)，操作程序31進(jìn)行的處理與在圖15中說(shuō)明的處理相同，因此在此省略說(shuō)明。
[0326]作為通過(guò)輔助按鈕B122c，B122d顯示的內(nèi)容，如上所述，包括與視野搜索(掃描速度:快)時(shí)相比，缺乏圖像中的凹凸感和立體感，或者與視野搜索(操作速度:快)時(shí)相比，圖像變形等。
[0327]此外，這些癥狀雖然在低倍率下不發(fā)生，但在高倍率下出于照射束(一次電子束2)密度上升等原因，有時(shí)發(fā)生這些癥狀。
[0328]在該時(shí)刻，用戶對(duì)圖像滿意時(shí)，用戶通過(guò)按下操作引導(dǎo)畫(huà)面201的結(jié)束按鈕A123來(lái)結(jié)束觀察。
[0329]當(dāng)用戶對(duì)圖像不滿意時(shí)，按下操作引導(dǎo)畫(huà)面201的繼續(xù)按鈕A122。
[0330]之后，到按下結(jié)束按鈕A123為止重復(fù)如上所述的處理，由此，用戶能夠?qū)W習(xí)過(guò)程，并且能夠得到優(yōu)質(zhì)的圖像。
[0331](S106)
[0332]圖37是本實(shí)施方式的應(yīng)用輔助畫(huà)面的變形例。圖37是步驟S106“調(diào)整、變更”中的畫(huà)面。
[0333]在圖37中，在圖15中的操作畫(huà)面200的前面顯示解決方法畫(huà)面305。當(dāng)用戶按下輔助按鈕B122時(shí)，操作程序31顯示與按下的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的解決方法畫(huà)面305。也就是說(shuō)，在存儲(chǔ)裝置21存儲(chǔ)與各輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的解決方法畫(huà)面305，當(dāng)按下輔助按鈕B122時(shí)，操作程序31從存儲(chǔ)裝置21取得與按下的輔助按鈕B122對(duì)應(yīng)的解決方法畫(huà)面305。然后，操作程序31在圖像顯示裝置18中顯示取得的解決方法畫(huà)面305。
[0334]解決方法畫(huà)面305，按照操作的難易度以列表形式顯示針對(duì)在輔助按鈕B122中記載的癥狀的解決手段。在此，具體而言，解決手段為變更為適當(dāng)?shù)挠^察目的。這樣的列表可以在存儲(chǔ)裝置21中預(yù)先賦予各手段的難易度。
[0335]當(dāng)按下解決方法畫(huà)面305中的詳細(xì)按鈕E331時(shí)，顯示對(duì)應(yīng)的解決手段的原理等。并且，當(dāng)按下執(zhí)行按鈕E332時(shí)，顯示將觀察目的變更為相應(yīng)的觀察目的的操作畫(huà)面200。
[0336]此外，位于不可執(zhí)行區(qū)域E333的解決手段表示用戶無(wú)法執(zhí)行相應(yīng)的解決手段。向用戶通知用戶是初學(xué)者，因此無(wú)法執(zhí)行這些解決手段。另外，如上所述，本實(shí)施方式的操作畫(huà)面200以用戶是初學(xué)者為前提。通過(guò)這樣，能夠使用戶注意存在如果不是熟練者則無(wú)法執(zhí)行的解決手段。
[0337]此外，如解決方法畫(huà)面305所示，通過(guò)以列表形式顯示觀察目的，能夠使用戶容易地確認(rèn)到此為止自己進(jìn)行的操作和沒(méi)有進(jìn)行的操作。
[0338]另外，在圖像顯示畫(huà)面203中顯示的圖像以高倍率(例如，20000倍以上)顯示時(shí)，也可以不顯示圖26中的手動(dòng)調(diào)整按鈕群C222(或者，其中的至少一個(gè))。
[0339]并且，也可以僅在當(dāng)前的倍率在預(yù)定的倍率以上時(shí)，顯示手動(dòng)調(diào)整按鈕群C222。這樣，根據(jù)預(yù)定的條件顯示、不顯示操作項(xiàng)目(按鈕)，或設(shè)成特定的操作項(xiàng)目，由此能夠防止不需要的操作，減少誤動(dòng)作。
[0340]根據(jù)本實(shí)施方式，首先能夠以默認(rèn)的觀察條件取得圖像，針對(duì)該圖像引導(dǎo)修正的方向性，因此即使用戶是初學(xué)者也能夠有效地得到目的圖像，并且可以期待用戶的學(xué)習(xí)效果O
[0341]此外，如圖17中的強(qiáng)調(diào)圖像E142所示，將變更為相應(yīng)的觀察目的時(shí)得到的結(jié)果表示成示意性的強(qiáng)調(diào)圖像，由此，即使用戶是初學(xué)者也能夠作為圖像而容易地掌握通過(guò)觀察目的變更能夠得到怎樣的結(jié)果。
[0342]此外，根據(jù)本實(shí)施方式，操作程序31首先取得基于默認(rèn)的觀察條件的圖像。然后，操作程序31針對(duì)該圖像在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示向用戶的建議。然后，操作程序31進(jìn)行觀察條件的變更，保存反映觀察條件變更的圖像。然后，操作程序31針對(duì)反映觀察條件變更的結(jié)果而得到的圖像，再次在應(yīng)用輔助畫(huà)面202中顯示向用戶的建議，進(jìn)行觀察條件的變更，保存反映觀察條件變更的圖像。通過(guò)重復(fù)該過(guò)程，作為初學(xué)者的用戶能夠設(shè)定用于取得作為目的的圖像的觀察條件，或能夠體會(huì)通過(guò)設(shè)定的觀察條件拍攝的圖像的特征，提高用戶的技能。
[0343]另外，在本實(shí)施方式中以使用掃描型電子顯微鏡(尤其通用操作型電子顯微鏡)為前提，但并不局限于此，也可以應(yīng)用透過(guò)型電子顯微鏡或離子顯微鏡等帶電粒子束裝置。
[0344]此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)默認(rèn)的觀察條件取得第一張圖像，但也可以使用戶進(jìn)行設(shè)定后由操作程序31取得第一張圖像，之后，按照應(yīng)用輔助畫(huà)面202等的消息使用戶進(jìn)行觀察條件的調(diào)整。通過(guò)如上所述，用戶能夠比較自己考慮的觀察條件與用于取得所希望的圖像的觀察條件。
[0345]另外，也可以根據(jù)用戶的熟練度使操作引導(dǎo)畫(huà)面201不顯示。此時(shí)，在操作面板畫(huà)面204中顯示要使用的所有的按鈕。
[0346]此外，也可以在存儲(chǔ)裝置21中存儲(chǔ)用語(yǔ)詞典，當(dāng)用戶按下特定的標(biāo)志、詞典標(biāo)志或在操作畫(huà)面200中顯示的語(yǔ)句時(shí)，操作程序31參照用語(yǔ)詞典，在圖像顯示裝置18中顯示相應(yīng)的語(yǔ)句的說(shuō)明文。
[0347]此外，在本實(shí)施方式中，在圖17中的觀察目的設(shè)定按鈕E141中顯示示意性的強(qiáng)調(diào)圖像E142，但例如也可以將圖15中的輔助按鈕B122中的圖像B123設(shè)成相同的示意性的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0348]并且，在本實(shí)施方式中，為從最初開(kāi)始設(shè)想了初學(xué)者的操作的結(jié)構(gòu)，但例如也可以在圖2的步驟SlOl啟動(dòng)后,在圖像顯示裝置18中顯示選擇是初學(xué)者或者中級(jí)者或者高級(jí)者的畫(huà)面。然后，當(dāng)選擇了是初學(xué)者時(shí)，可以由計(jì)算機(jī)19執(zhí)行本實(shí)施方式的處理。
[0349]另外，本發(fā)明并不局限于如上所述的實(shí)施方式，還包括各種變形例。例如，如上所述的實(shí)施方式是為了便于理解本發(fā)明而進(jìn)行的詳細(xì)說(shuō)明，并不限定成必須具備所有的說(shuō)明的結(jié)構(gòu)。此外，可以對(duì)實(shí)施方式中的結(jié)構(gòu)的一部分追加、消除、置換其他的結(jié)構(gòu)。
[0350]此外，上述的各結(jié)構(gòu)、功能、各電路11?17、圖像顯示裝置18、存儲(chǔ)裝置21、操作程序31等，例如可以通過(guò)用集成電路設(shè)計(jì)等由硬件實(shí)現(xiàn)它們的一部分或者全部。此外，如圖1所示，也可以通過(guò)CPU等處理器解析并執(zhí)行實(shí)現(xiàn)各自的功能的程序，由軟件實(shí)現(xiàn)所述的各種結(jié)構(gòu)、功能等。可以將實(shí)現(xiàn)各功能的程序、表、文件等信息如圖1所示地存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置21中外，還可以存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器、SSD(Solid State Drive，固態(tài)硬盤(pán))等記錄裝置，或者IC (Integrated Circuit,集成電路)卡、SD (Secure Digital,安全數(shù)位)卡、DVD (DigitalVersatile Disc,數(shù)字通用光盤(pán))等記錄介質(zhì)中。
[0351]此外，在各實(shí)施方式中，控制線和信息線表示認(rèn)為在說(shuō)明上有需要，制品上并不一定表示所有的控制線和信息線。實(shí)際上，也可以認(rèn)為幾乎所有的結(jié)構(gòu)是相互連接的。
[0352]符號(hào)說(shuō)明
[0353]I 電子槍
[0354]2 一次電子束
[0355]3 聚光鏡
[0356]4 X方向像散校正器
[0357]5 Y方向像散校正器
[0358]6 上部偏轉(zhuǎn)器
[0359]7 下部偏轉(zhuǎn)器
[0360]8 物鏡
[0361]9 試樣
[0362]10檢測(cè)器
[0363]11高電壓控制電路
[0364]12聚光鏡控制電路
[0365]13 X方向像散校正器控制電路
[0366]14 Y方向像散校正器控制電路
[0367]15偏轉(zhuǎn)器控制電路
[0368]16物鏡控制電路
[0369]17檢測(cè)信號(hào)控制電路
[0370]18圖像顯示裝置
[0371]19計(jì)算機(jī)(圖像顯示部、處理部)
[0372]21存儲(chǔ)裝置(存儲(chǔ)部)
[0373]22存儲(chǔ)器
[0374]23輸入裝置
[0375]31操作程序
[0376]41觀察條件設(shè)定表
[0377]100電子顯微鏡筒(帶電粒子束裝置)
[0378]101電子顯微鏡(帶電粒子束裝置、帶電粒子束裝置系統(tǒng))
[0379]200操作畫(huà)面
[0380]201操作引導(dǎo)畫(huà)面
[0381]202應(yīng)用輔助畫(huà)面
[0382]203圖像顯示畫(huà)面
[0383]204操作面板畫(huà)面
[0384]304觀察目的設(shè)定畫(huà)面
[0385]B122、B122a?B122d輔助按鈕(包括狀態(tài)圖像信息)
[0386]B123強(qiáng)調(diào)圖像
[0387]E141、E141a觀察目的設(shè)定按鈕
[0388]E143、E143a ?E143d 強(qiáng)調(diào)圖像
【權(quán)利要求】
1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有: 圖像顯示部，其將顯示帶電粒子束裝置的操作項(xiàng)目的操作畫(huà)面顯示在圖像顯示裝置中； 存儲(chǔ)部，其使與從所述帶電粒子束裝置的檢測(cè)器取得的試樣的圖像即試樣圖像的狀態(tài)相關(guān)的信息即狀態(tài)圖像信息與所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且使所述狀態(tài)圖像信息與所述帶電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)；以及 處理部，其解析從所述檢測(cè)器取得的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)，根據(jù)作為所述解析結(jié)果的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)部取得所述狀態(tài)圖像信息，在所述操作畫(huà)面的預(yù)定位置顯示該取得的狀態(tài)圖像信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部以預(yù)先完成設(shè)定的觀察條件取得所述試樣圖像，根據(jù)所述取得的試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，在所述圖像顯示部中顯示所述狀態(tài)圖像信息， 當(dāng)經(jīng)由輸入部進(jìn)行所述觀察條件的變更時(shí)， 以該被變更的觀察條件重新取得所述試樣圖像，根據(jù)所述重新取得的試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及所述當(dāng)前的觀察條件，重復(fù)在所述圖像顯示部中顯示所述狀態(tài)圖像信息的處理，直到經(jīng)由所述輸入部輸入結(jié)束所述處理的指示為止。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部顯示所述狀態(tài)圖像信息，并且顯示在所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)中強(qiáng)調(diào)了所述觀察條件的圖像。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部在取得最初的所述試樣圖像前，顯示與有無(wú)針對(duì)所述試樣的涂覆的確認(rèn)或者針對(duì)所述試樣的預(yù)處理相關(guān)的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部在處理待機(jī)時(shí)間顯示學(xué)習(xí)畫(huà)面，所述學(xué)習(xí)畫(huà)面顯示電子顯微鏡的構(gòu)造、電子顯微鏡的操作步驟以及所述操作畫(huà)面中的操作項(xiàng)目的說(shuō)明的至少一項(xiàng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部將在所述操作畫(huà)面中顯示的預(yù)定的操作項(xiàng)目設(shè)為不顯示或者不激活。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述預(yù)定的操作項(xiàng)目是聚焦調(diào)整、X聚焦調(diào)整以及Y聚焦調(diào)整的至少一個(gè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部根據(jù)所述觀察條件限制所述帶電粒子束裝置的功能。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部，當(dāng)倍率在預(yù)定值以上時(shí)，將圖像偏移設(shè)成可使用，并將載物臺(tái)移動(dòng)設(shè)成不可使用， 當(dāng)所述倍率不到預(yù)定值時(shí)，將所述載物臺(tái)移動(dòng)設(shè)成可使用，并將所述圖像偏移設(shè)成不可使用， 由此進(jìn)行基于所述觀察條件的所述帶電粒子束裝置的功能的限制。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部根據(jù)操作履歷將預(yù)定的狀態(tài)圖像信息設(shè)為不顯示。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部在所述操作畫(huà)面中，將表示當(dāng)前的操作階段的信息和所述狀態(tài)圖像信息分開(kāi)顯示， 所述表示當(dāng)前的操作階段的信息由表示主操作階段的主項(xiàng)目以及表示子操作階段的子項(xiàng)目構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 所述處理部在所述操作畫(huà)面中顯示所述取得的試樣圖像， 在所述圖像顯示部中顯示的所述試樣圖像的近旁顯示倍率調(diào)整滑塊、聚焦調(diào)整滑塊、聚焦X調(diào)整滑塊以及聚焦Y調(diào)整滑塊的至少一個(gè)。
13.—種試樣觀察系統(tǒng)，具有帶電粒子束裝置和控制所述帶電粒子束裝置的計(jì)算機(jī)，所述試樣觀察系統(tǒng)的特征在于， 所述計(jì)算機(jī)具有: 圖像顯示部，其對(duì)顯示帶電粒子束裝置的操作項(xiàng)目的操作畫(huà)面進(jìn)行顯示； 存儲(chǔ)部，其使與從所述帶電粒子束裝置的檢測(cè)器取得的試樣的圖像即試樣圖像的狀態(tài)相關(guān)的信息即狀態(tài)圖像信息與所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且使所述狀態(tài)圖像信息與所述帶電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)；以及 處理部，其解析從所述檢測(cè)器取得的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)，根據(jù)作為所述解析結(jié)果的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)部取得所述狀態(tài)圖像信息，在所述操作畫(huà)面的預(yù)定位置顯示該取得的狀態(tài)圖像信息。
14.一種用于操作帶電粒子束裝置的操作程序，其特征在于， 計(jì)算機(jī)，使與從所述帶電粒子束裝置的檢測(cè)器取得的試樣的圖像即試樣圖像的狀態(tài)相關(guān)的信息即狀態(tài)圖像信息與所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)對(duì)應(yīng)，并且使所述狀態(tài)圖像信息與所述帶電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)， 所述操作程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下操作: 將顯示帶電粒子束裝置的操作項(xiàng)目的操作畫(huà)面顯示在圖像顯示部中， 解析從所述檢測(cè)器取得的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)， 根據(jù)作為所述解析結(jié)果的所述試樣圖像的畫(huà)質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，從存儲(chǔ)部取得所述狀態(tài)圖像信息， 在所述操作畫(huà)面的預(yù)定位置顯示該取得的狀態(tài)圖像信息。
【文檔編號(hào)】H01J37/24GK104137220SQ201380011705
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2013年3月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月16日
【發(fā)明者】小西彌生, 能田弘行, 稻田高洋, 重藤訓(xùn)志, 安藤?gòu)? 飯泉紀(jì)子, 多持隆一郎, 佐藤貢 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)