荷電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序的制作方法
【專利摘要】具有一計算機(jī)，其為了即使是初學(xué)者也能夠容易地識別觀察條件不同引起的拍攝結(jié)果的不同，在操作畫面(200)中顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕(E141)，處理部在操作畫面(200)顯示通過相反的3個以上的項目顯示與多個上述觀察目的設(shè)定按鈕(E141)相關(guān)的觀察條件的特征的雷達(dá)圖(E144)。而且，在該雷達(dá)圖(E144)作為項目至少顯示高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)。
【專利說明】荷電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及荷電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng)以及操作程序的技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]掃描型電子顯微鏡(以下稱為電子顯微鏡)操作中的參數(shù)的設(shè)定值即參數(shù)設(shè)定值的組合(以下稱為觀察條件)的設(shè)定大多是根據(jù)經(jīng)驗進(jìn)行的。因此，會產(chǎn)生以下問題，即初學(xué)者在進(jìn)行電子顯微鏡的操作時，很難掌握電子顯微鏡觀察條件對拍攝圖像產(chǎn)生怎樣的影響，從而無法謀求初學(xué)者的技能提高。
[0003]對于這樣的問題，專利文獻(xiàn)1、2所記載的技術(shù)首先在該拍攝前進(jìn)行多個簡易觀察條件的拍攝。而且，將得到的多個簡易觀察圖像一覽顯示在顯示部(e預(yù)覽)。接著，用戶從所顯示的多個簡易觀察圖像中選擇所希望的簡易觀察圖像。于是，計算機(jī)設(shè)定所選擇的簡易觀察圖像的觀察條件。之后，對于用戶所選擇的簡易觀察圖像進(jìn)行需要的手動調(diào)整，進(jìn)行拍攝。將作為該拍攝的結(jié)果得到的圖像顯示在顯示部。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本專利第4014916號公報
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本專利第4014917號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問題
[0009]但是，專利文獻(xiàn)1、2所記載的技術(shù)具有以下的問題。
[0010](I)初學(xué)者無法識別多個簡易觀察圖像中的那個圖像是好的。
[0011](2)簡易觀察圖像是原始的拍攝圖像，因此初學(xué)者難以掌握多個簡易觀察圖像各自有什么不同。
[0012](3)為了得到多個簡易觀察圖像需要花費時間。也就是說，得到目的圖像的效率差。
[0013]本發(fā)明鑒于這樣的背景而產(chǎn)生，本發(fā)明的課題在于，即使是初學(xué)者也能夠容易地識別由于觀察條件的不同而引起的拍攝結(jié)果的不同。
[0014]用于解決問題的手段
[0015]為了解決上述課題，本發(fā)明例如具有處理部，其在圖像顯示部顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，上述處理部使上述畫面顯示部顯示通過相反的3個以上的項目顯示與多個上述觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件的特征的觀察條件特征顯示，或者使上述畫面顯示部顯示觀察條件特征顯示，來作為與多個上述觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件的特征，上述觀察條件特征顯示至少將高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)作為項目進(jìn)行顯示。
[0016]或者，本發(fā)明中例如具有處理部，其使圖像顯示部顯示用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，上述處理部在上述觀察目的設(shè)定按鈕或者在上述觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更上述觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0017]關(guān)于其他的解決手段，將在后面進(jìn)行說明。
[0018]發(fā)明的效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明，能夠容易地識別由于觀察條件的不同引起的拍攝結(jié)果的不同。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是表示本發(fā)明的電子顯微鏡的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0021]圖2是表示本實施方式的電子顯微鏡的操作步驟的流程圖。
[0022]圖3是表示本實施方式的操作畫面的畫面例的圖。
[0023]圖4是表示啟動時的操作畫面的畫面例子的圖(其一)。
[0024]圖5是表示啟動時的操作畫面的畫面例子的圖(其二)。
[0025]圖6是表示開始向試樣照射一次電子束時的操作畫面的例子的圖。
[0026]圖7是表示用戶進(jìn)行的視野搜索.倍率調(diào)整時的操作畫面的例子的圖(其一)。
[0027]圖8是表示用戶進(jìn)行的視野搜索.倍率調(diào)整時的操作畫面的例子的圖(其二)。
[0028]圖9是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其一)。
[0029]圖10是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其二)。
[0030]圖11是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其三)。
[0031]圖12是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其四)。
[0032]圖13是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其五)。
[0033]圖14是表示圖像保存(拍攝)的操作畫面的例子的圖(其六)。
[0034]圖15是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其一)。
[0035]圖16是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其二)。
[0036]圖17是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其三)。
[0037]圖18是表示本實施方式的觀察條件設(shè)定表的圖。
[0038]圖19是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其四)。
[0039]圖20是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其五)。
[0040]圖21是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其六)。
[0041]圖22是表示用戶進(jìn)行圖像確認(rèn)時以及觀察條件的調(diào)整.變更時的操作畫面的例子的圖(其七)。
[0042]圖23是表示用戶再次保存圖像(拍攝)時的操作畫面的圖。
[0043]圖24是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其一)。
[0044]圖25是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其二)。
[0045]圖26是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其三)。
[0046]圖27是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其四)。
[0047]圖28是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其五)。
[0048]圖29是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其六)。
[0049]圖30是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其七)。
[0050]圖31是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其八)。
[0051]圖32是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其九)。
[0052]圖33是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其十)。
[0053]圖34是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其十一)。
[0054]圖35是表示用戶再次保存圖像(拍攝)時的操作畫面的圖。
[0055]圖36是表示用戶進(jìn)行圖像再確認(rèn)時以及觀察條件的再調(diào)整.再變更時的操作畫面的例子的圖(其十二)。
[0056]圖37是本實施方式的應(yīng)用幫助畫面的變形例。

【具體實施方式】
[0057]接著，一邊適當(dāng)?shù)貐⒄崭綀D一邊來詳細(xì)說明用于實施本發(fā)明的方式(稱為實施方式)。另外，在各個附圖中，對于相同的結(jié)構(gòu)要素賦予相同的符號，省略其說明。
[0058]另外，在實施方式中公開了荷電粒子束裝置，其具有處理部，該處理部在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，處理部在觀察目的設(shè)定按鈕或者在觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0059]另外，在實施方式中公開以下技術(shù)，將觀察目的設(shè)定按鈕和觀察條件對應(yīng)地存儲在存儲部中，處理部在經(jīng)由輸入部選擇了觀察目的設(shè)定按鈕時，通過與所選擇的觀察目的設(shè)定按鈕對應(yīng)的觀察條件來設(shè)定荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值。
[0060]而且，本實施方式中公開以下技術(shù)，直到經(jīng)由輸入部輸入了處理結(jié)束的指示為止重復(fù)進(jìn)行以下的處理:即，處理部通過預(yù)先已設(shè)定的觀察條件來取得試樣的圖像，根據(jù)取得的圖像的畫質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件在圖像顯示部中顯示觀察目的設(shè)定按鈕，在經(jīng)由輸入部進(jìn)行了觀察條件的變更時，通過變更后的觀察條件再次取得圖像，根據(jù)再次取得的圖像的畫質(zhì)以及當(dāng)前的觀察條件，在圖像顯示部中顯示觀察目的設(shè)定按鈕的處理。
[0061]進(jìn)而，在實施方式中公開以下技術(shù)，處理部在取得試樣的最初圖像之前，顯示對試樣有無涂覆的確認(rèn)或者與試樣的預(yù)處理相關(guān)的信息。
[0062]另外，在實施方式中公開以下技術(shù)，處理部在處理待機(jī)時間顯示學(xué)習(xí)畫面，該學(xué)習(xí)畫面顯示電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡的操作步驟以及操作畫面中的操作項目的說明中的至少一個。
[0063]而且，實施方式公開以下技術(shù)，處理部在圖像顯示部顯示操作畫面，該操作畫面顯示荷電粒子束裝置的操作項目，把在操作畫面中顯示的預(yù)定的操作項目設(shè)為不顯示或無效。另外，公開了預(yù)定的操作項目是聚焦調(diào)整、X聚焦調(diào)整以及Y聚焦調(diào)整中的至少一個。
[0064]并且，實施方式公開了處理部根據(jù)觀察條件來限制荷電粒子束裝置的功能。另外，公開了處理部在倍率是預(yù)定值以上的情況下使圖像位移能使用，使平臺移動不能使用，在倍率未滿預(yù)定值的情況下使平臺移動能使用，使圖像位移不能使用，從而基于觀察條件限制荷電粒子束裝置的功能。
[0065]另外，實施方式公開了處理部根據(jù)操作履歷將預(yù)定的觀察目的設(shè)定按鈕設(shè)為不顯
/Jn ο
[0066]而且，實施方式公開以下技術(shù)，處理部在圖像顯示部顯示操作畫面，該操作畫面顯示荷電粒子束裝置的操作項目，在操作畫面中顯示表示當(dāng)前的操作階段的信息，表示當(dāng)前的操作階段的信息由表示主操作階段的主項目以及表示子操作階段的子項目來構(gòu)成。
[0067]進(jìn)而，實施方式公開以下技術(shù)，處理部在圖像顯示部顯示操作畫面，該操作畫面顯示荷電粒子束裝置的操作項目，在操作畫面中顯示所取得的圖像，在圖像顯示部中所顯示的圖像的附近顯示倍率調(diào)整滑塊、聚焦調(diào)整滑塊、聚焦X調(diào)整滑塊以及聚焦Y調(diào)整滑塊中的至少一個。
[0068]另外，實施方式公開一種荷電粒子束裝置，其具備處理部，該處理部在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，處理部使畫面顯示部顯示通過相反的3個以上的項目顯示的觀察條件特征顯示。
[0069]而且，實施方式公開了觀察條件特征顯示中的項目包含高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)。
[0070]進(jìn)而，實施方式公開一種荷電粒子束裝置，其具備處理部，該處理部在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，處理部使畫面顯示部顯示觀察條件特征顯示，來作為與多個觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件的特征，上述觀察條件特征顯示至少將高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)作為項目進(jìn)行顯示。
[0071]另外，實施方式公開了觀察條件特征顯示中的項目包含充電抑制以及/或者荷電粒子束破壞抑制的項目。
[0072]而且，在實施方式中公開了，作為多個觀察目的設(shè)定按鈕，具有:第I按鈕，變更為最能夠進(jìn)行高分辨率觀察的觀察條件;第2按鈕，變更為最能夠進(jìn)行強(qiáng)調(diào)了表面結(jié)構(gòu)的觀察的觀察條件；第3按鈕，變更為最能夠進(jìn)行強(qiáng)調(diào)了材料的不同的觀察的觀察條件。另外，公開了作為多個觀察目的設(shè)定按鈕，還具有:第4按鈕，變更為強(qiáng)調(diào)了表面結(jié)構(gòu)并且強(qiáng)調(diào)了材料的不同的觀察條件；第5按鈕，變更為最適合元素分析的觀察條件。
[0073]實施方式還公開了觀察條件特征顯示是雷達(dá)圖。
[0074]另外，實施方式公開了處理部使畫面顯示部顯示將通過與觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件得到的圖像的特征進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。另外，公開了強(qiáng)調(diào)圖像是示意地顯示形狀以及/或材質(zhì)不同的3個以上的材料的圖像。
[0075]而且，實施方式公開了處理部在以標(biāo)準(zhǔn)的觀察條件對新的試樣取得了圖像后，通過觀察目的設(shè)定按鈕變更觀察條件。另外，公開了標(biāo)準(zhǔn)的觀察條件是最能夠進(jìn)行高分辨率觀察的觀察條件。
[0076]進(jìn)而，實施方式公開了一種試樣觀察系統(tǒng)，其具有荷電粒子束裝置和控制荷電粒子束裝置的計算機(jī)，計算機(jī)具有處理部，其使圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕，處理部在觀察目的設(shè)定按鈕或者在觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0077]另外，實施方式公開了一種用于操作荷電粒子束裝置的操作程序，操作程序在計算機(jī)中，在使圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更上述荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕時，在觀察目的設(shè)定按鈕或者在觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0078][電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)]
[0079]圖1是表示本發(fā)明的電子顯微鏡的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0080]在電子顯微鏡(荷電粒子束裝置、試樣觀察系統(tǒng))101中，從電子槍I射出的一次電子束2通過會聚透鏡3以及物鏡8進(jìn)行會聚，通過上段偏轉(zhuǎn)器6和下段偏轉(zhuǎn)器7照射到試樣9上。用檢測器10檢測從試樣9產(chǎn)生的信號電子，經(jīng)由后述的各個電路11?17在計算機(jī)(處理部)9中進(jìn)行處理。將根據(jù)掃描位置記錄的信號顯示在圖像顯示裝置18中。為了在試樣9上使一次電子束2聚焦成點狀，設(shè)置進(jìn)行聚焦X調(diào)整的X方向像散修正器4、進(jìn)行聚焦Y調(diào)整的Y方向像散修正器5，通過調(diào)整這些控制條件能夠進(jìn)行聚焦X調(diào)整、聚焦Y調(diào)整(像散修正)。另外通過調(diào)整會聚透鏡3或者物鏡8的勵磁強(qiáng)度能夠在試樣9上進(jìn)行聚焦調(diào)整。以上的電子光學(xué)系統(tǒng)被收納于電子顯微鏡柱體(荷電粒子束裝置)100中。
[0081]另外，高電壓控制電路11、聚焦透鏡控制電路12、X方向像散修正器控制電路13、Y方向像散修正器控制電路14、偏轉(zhuǎn)器控制電路15、物鏡控制電路16、檢測信號控制電路17由CPU(中央處理單元)等計算機(jī)19進(jìn)行控制。可以分別設(shè)置各控制電路11?17，也可以設(shè)置在一個基板上，或者也可以包含在計算機(jī)19中。在計算機(jī)19上連接圖像顯示裝置
18、存儲裝置(存儲部)21、存儲器22。如后述那樣，經(jīng)由圖像顯示裝置18上所顯示的操作畫面200(圖3?圖37)，用戶調(diào)整物鏡8的聚焦條件、X方向像散修正器4以及Y方向像散修正器5的像散修正條件。另外，如后述那樣，與各個操作階段等對應(yīng)地在存儲裝置21中預(yù)先保存本實施方式的操作畫面200。另外，如果計算機(jī)19與未圖示的網(wǎng)絡(luò)連接，則可以在與該網(wǎng)絡(luò)連接的另外的存儲裝置中存儲操作畫面200。
[0082]另外，在存儲器22中展開操作程序31，通過計算機(jī)19來執(zhí)行該操作程序31。操作程序31將操作畫面200顯示在圖像顯示裝置18上，根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的信息來控制各部I?17。
[0083]另外，操作畫面200會在后面詳細(xì)說明，是根據(jù)用戶的操作階段顯示的各個畫面。
[0084][操作步驟]
[0085]圖2是表示本實施方式的電子顯微鏡的操作步驟的流程圖。適當(dāng)參照圖1按照圖2說明本實施方式的操作步驟。
[0086]首先，用戶通過啟動未圖示的操作程序來啟動操作畫面200(圖3?圖37) (SlOl)。另外，試樣9的設(shè)置可以在啟動操作畫面200后進(jìn)行，也可以在啟動操作畫面200之前進(jìn)行。
[0087]而且，計算機(jī)19通過缺省的觀察條件來掃描試樣9，取得掃描圖像(以下稱為圖像)(S102)。操作程序13將所取得的圖像顯示在圖像顯示裝置18中。這里，觀察條件是指電子顯微鏡101的參數(shù)設(shè)定值的組合。
[0088]接著，用戶對于取得的圖像進(jìn)行視野搜索和倍率調(diào)整等(S103)。另外，當(dāng)自動設(shè)定了視野、倍率時，可以省略步驟S103的處理。
[0089]計算機(jī)19隨時以在步驟S103中設(shè)定的視野和倍率來掃描試樣9，取得圖像，顯示在圖像顯示裝置18中。
[0090]然后，用戶使計算機(jī)19在存儲裝置21中保存在圖像顯示裝置18中顯示的圖像(S104)。本實施方式中，把在存儲裝置21中存儲圖像適當(dāng)?shù)胤Q為“拍攝”。
[0091]接著，用戶判斷所取得的圖像是否0K(S105)。
[0092]在步驟S105的結(jié)果為OK時(S105 —是)，用戶結(jié)束處理。
[0093]在步驟S105的結(jié)果不是OK時(S105—否)，即NG的情況下，用戶參考在操作畫面200的應(yīng)用幫助畫面202 (圖3)等中顯示的消息等來進(jìn)行觀察條件的調(diào)整和變更(S106)。
[0094]計算機(jī)19通過調(diào)整變更后的觀察條件來隨時掃描試樣9，取得圖像，顯示在圖像顯示裝置18中。
[0095]然后，操作程序31將處理返回到步驟S103，用戶使計算機(jī)19在存儲裝置21中再次存儲(拍攝)在圖像顯示裝置18中顯示的圖像。
[0096]以后，電子顯微鏡101重復(fù)步驟S103?S106的處理。
[0097][操作畫面的結(jié)構(gòu)]
[0098]圖3是表示本實施方式的操作畫面的畫面例子的圖。
[0099]操作畫面200具有操作引導(dǎo)畫面201、應(yīng)用幫助畫面202、圖像顯示畫面(圖像顯示部)203以及操作面板畫面204。關(guān)于各個畫面201?204，在后面進(jìn)行說明。
[0100]操作引導(dǎo)畫面201是表示操作步驟的畫面。在操作引導(dǎo)畫面201中，作為當(dāng)前的操作步驟顯示有主項目(符號Al)、主項目的子項目(符號A2)。通過這樣，即使初學(xué)者也可以容易掌握操作步驟。
[0101]應(yīng)用幫助畫面202是顯示拍攝條件的變更、對于調(diào)整的建議的畫面。
[0102]圖像顯示畫面203是顯示電子顯微鏡101得到的圖像(掃描圖像)的畫面。
[0103]操作面板畫面204是用于進(jìn)行拍攝條件的變更和調(diào)整的畫面。
[0104]另外，各個畫面201?204中所顯示的內(nèi)容如后述那樣，將根據(jù)用戶進(jìn)行的操作階段而進(jìn)行變更。
[0105]另外，本實施方式的操作畫面200以用戶為初學(xué)者的情況作為前提。
[0106][各個操作階段的操作畫面]
[0107]接著，參照圖4到圖37來說明各個操作階段的操作畫面200的顯示內(nèi)容。關(guān)于以后的附圖中的構(gòu)成各個畫面201?204的要素，在作為說明對象的畫面中只對需要的要素賦予符號，省略其他的符號。另外，對圖4?圖37中的幾乎所有的附圖賦予了操作畫面200以及各個畫面201?204的符號，但是在各個附圖中省略操作畫面200以及各個畫面201?204的說明。
[0108]另外,適當(dāng)參照圖1,步驟編號表示圖2的步驟編號。
[0109](SlOl)
[0110]首先，圖4以及圖5是掃描畫面啟動時(SlOl)的操作畫面的例子。
[0111]圖4是表示啟動操作畫面時的顯示內(nèi)容的圖。
[0112]在啟動了操作畫面200時，因為沒有進(jìn)行試樣9的拍攝，因此沒有顯示應(yīng)用幫助畫面202 (圖3)。另外，在圖像顯示畫面203以及操作面板畫面204中沒有顯示任何信息。
[0113]而且，在操作引導(dǎo)畫面201中表示了當(dāng)前的操作階段是“1.準(zhǔn)備”的“試樣設(shè)置確認(rèn)”，顯示了確認(rèn)是否設(shè)置試樣9的按鈕All?A13。
[0114]在此，設(shè)試樣9在電子顯微鏡101中設(shè)置完畢，用戶按下“通過設(shè)置完畢的試樣進(jìn)行觀察”按鈕13。
[0115]圖5是表示啟動時的操作畫面的例子的圖。
[0116]在圖5的階段，在操作引導(dǎo)畫面201表示了當(dāng)前的操作階段為“1.準(zhǔn)備”的“開始(開始照射)”。
[0117]而且，在操作面板畫面204中強(qiáng)調(diào)顯示開始按鈕D1，當(dāng)用戶按下該開始按鈕Dl時，電子顯微鏡101通過預(yù)先設(shè)定的缺省的觀察條件對試樣9照射電子束來進(jìn)行拍攝。這樣，通過強(qiáng)調(diào)顯示下一個應(yīng)該操作的按鈕等，用戶能夠?qū)W習(xí)觀察步驟。
[0118]此外，如此通過強(qiáng)調(diào)顯示下一個應(yīng)該按下的按鈕，初學(xué)者能夠毫不猶豫地進(jìn)行操作。
[0119]在本實施方式中，設(shè)定“觀察目的=標(biāo)準(zhǔn)的觀察、沉積的試樣(高真空)”作為缺省的觀察條件。
[0120]本實施方式中，通過缺省的觀察條件取得第一張圖像，根據(jù)取得的圖像在后述的處理進(jìn)行參數(shù)的調(diào)整。初學(xué)者雖然不知道如何設(shè)定電子顯微鏡的參數(shù)好，但通過這樣，用戶可以不必從開始進(jìn)行復(fù)雜的參數(shù)的設(shè)定和觀察條件的選擇。即使是初學(xué)者也可以容易地進(jìn)行觀察。
[0121]缺省的觀察條件可以設(shè)定平均的觀察條件，也可以設(shè)定應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的特征變得明確那樣的觀察條件。因為可知通過缺省的觀察條件進(jìn)行拍攝，所以當(dāng)用戶結(jié)束試樣9的設(shè)置時，可以自動進(jìn)行直到取得圖像，不過能夠通過使用戶按下開始按鈕Dl等使用戶學(xué)習(xí)步驟。
[0122]另外，如果按下在操作面板畫面204中顯示的變更按鈕D2，則顯示觀察條件變更畫面(例如后面在圖17中記述的觀察目的變更畫面304)，能夠進(jìn)行觀察目的的變更(關(guān)于觀察目的的變更參照圖17)。另外，在圖5的操作階段，用戶能夠設(shè)定倍率、視野等，但是這里省略說明。另外，操作面板畫面204是根據(jù)操作引導(dǎo)畫面201變化的畫面。
[0123]另外，在預(yù)定的階段，操作程序31可以將與試樣9有無涂覆的確認(rèn)相關(guān)的信息顯示在應(yīng)用幫助畫面202。另外，操作程序31也可以將與試樣9的沉積相關(guān)的信息、沒有進(jìn)行涂覆的試樣9的觀察方法(具體地說，選擇用于向低真空觀察進(jìn)行轉(zhuǎn)移的真空度的操作步驟)、與真空度有關(guān)的信息(高真空觀察、低真空觀察的目的、方法)等與試樣9的預(yù)處理相關(guān)的信息顯示在應(yīng)用幫助畫面202中。
[0124]通過這樣，在照射一次電子束2之前在操作畫面202上，用戶能夠確認(rèn)有無涂覆，或者得到針對試樣的預(yù)處理的知識。
[0125]另外，本實施方式中，在照射一次電子束2之前顯示涂覆有無的確認(rèn)和關(guān)于預(yù)處理的信息，但是不僅限于此，也可以在其它的操作階段進(jìn)行顯示。
[0126](S102)
[0127]接著，圖6是表示開始對試樣照射一次電子束時(S102:圖像取得)的操作畫面的例子的圖。
[0128]當(dāng)用戶按下圖5的開始按鈕D1，由此開始對試樣9照射一次電子束2時，如圖6那樣操作畫面200變?yōu)闊o效，顯示照射狀態(tài)畫面301。
[0129]照射狀態(tài)畫面301具有通過示意圖表示當(dāng)前的照射狀態(tài)的示意圖畫面E1、表示當(dāng)前的照射進(jìn)度狀態(tài)的進(jìn)度狀態(tài)畫面E2、表示當(dāng)前的觀察條件的觀察條件畫面E3以及取消按鈕E4等。
[0130]這里，為了用戶的學(xué)習(xí)，可以顯示學(xué)習(xí)畫面來取代照射狀態(tài)畫面301，學(xué)習(xí)畫面表示電子顯微鏡101的原理、關(guān)于試樣9的預(yù)處理的說明、電子顯微鏡101的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡101的操作步驟、拍攝中的強(qiáng)調(diào)圖像的原理等，
[0131]或者，還可以取代照射狀態(tài)畫面301，而顯示表示了操作畫面200中的應(yīng)用幫助畫面202(圖3)等各個畫面201?204(圖3)的項目的說明、有關(guān)電子顯微鏡101的各種調(diào)整參數(shù)的說明等的學(xué)習(xí)畫面。
[0132]尤其是應(yīng)用幫助畫面202，其是在之后的操作過程中屢次顯示在操作畫面200上的畫面。因此，通過在應(yīng)用幫助畫面202上顯示學(xué)習(xí)畫面，能夠期待用戶潛意識的知識的提聞。
[0133]另外，也可以將這樣的學(xué)習(xí)畫面和照射狀態(tài)畫面301 —起進(jìn)行顯示。
[0134]用戶即時沒有注視這樣的學(xué)習(xí)畫面，但通過將這樣的學(xué)習(xí)畫面在短時間內(nèi)在照射一次電子束2時重復(fù)顯示，由此能夠期待用戶的學(xué)習(xí)效果。另外，操作程序31不僅限于照射一次電子束2時和后述的自動聚焦調(diào)整過程中，也可以在用戶的待機(jī)時間(處理待機(jī)時間)在圖像顯示裝置18上重復(fù)顯示學(xué)習(xí)畫面。這里，用戶的待機(jī)時間是在電子顯微鏡101自動進(jìn)行各種調(diào)整的期間等中產(chǎn)生的時間。通過這樣，能夠期待用戶的學(xué)習(xí)效果的進(jìn)一步提高。另外，在試樣室抽真空的期間中的用戶的待機(jī)時間，操作程序31可以在圖像顯示裝置18中顯示學(xué)習(xí)畫面。試樣室的抽真空作為用戶的待機(jī)時間是最長的，因此通過在該時間顯示學(xué)習(xí)畫面，能夠期待提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0135]這樣的學(xué)習(xí)畫面利用用戶的待機(jī)時間，使下一個應(yīng)該執(zhí)行的操作方法的說明、電子顯微鏡101的概念可視化,能夠直觀地掌握,這點與ATM(Aotomated Teller Machine自動取款機(jī))、英特網(wǎng)的網(wǎng)頁上顯示的廣告不同。這樣，通過使下一個應(yīng)該執(zhí)行的操作方法的說明、電子顯微鏡101的概念可視化，能夠直觀地掌握，用戶可以學(xué)到電子顯微鏡101的原理、與操作方法相關(guān)的知識，本實施方式在這點上與ATM或英特網(wǎng)的網(wǎng)頁上顯示的廣告不同。
[0136](S103)
[0137]接著，圖7以及圖8是表示用戶進(jìn)行的視野搜索?倍率調(diào)整時(S103)的操作畫面的例子的圖。
[0138]圖7是表示一次電子束的照射完成之后的顯示內(nèi)容的圖。
[0139]這里，一次電子束2的照射完成，對于所取得的圖像用戶進(jìn)行倍率的調(diào)整、視野搜索。
[0140]在操作引導(dǎo)畫面201中顯示當(dāng)前的操作階段為“2.視野搜索”的“倍率調(diào)整.視野搜索”。
[0141]然后，在圖像顯示畫面203中顯示作為進(jìn)行了一次電子束2的照射的結(jié)果，取得的圖像C41。
[0142]然后，在操作面板畫面204顯示用于進(jìn)行電子顯微鏡101的調(diào)整的各種按鈕。
[0143]例如，想使倍率變大時，用戶通過移動在圖像C41的側(cè)面附帶的滑塊C42，用戶能夠手動進(jìn)行倍率的調(diào)整。例如，想大幅變更倍率時，用戶移動滑塊C42，進(jìn)行細(xì)微倍率的變更時，用戶可以操作鼠標(biāo)的滾輪和軌跡球。計算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23所輸入的滑塊C42的移動距離，使物鏡控制電路16控制物鏡8來進(jìn)行倍率的變更。
[0144]另外，在想使圖像C41的視野移動的情況下，用戶通過例如拖拽圖像C41，可以手動移動圖像C41的視野。計算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23所輸入的信息進(jìn)行平臺的移動，偏轉(zhuǎn)器控制電路15通過上段偏轉(zhuǎn)器6以及下段偏轉(zhuǎn)器7使一次電子束2進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，從而進(jìn)行圖像位移。
[0145]這里，關(guān)于視野的移動，如果是預(yù)定倍率以上，則將視野的移動手段設(shè)為圖像位移，如果是預(yù)定的倍率以下，可以將視野的移動手段設(shè)為平臺移動。就是說，計算機(jī)19在倍率為預(yù)定值以上時使圖像位移能使用，使平臺移動不能使用。另外，當(dāng)倍率未滿預(yù)定值時使平臺移動能使用，使圖像位移不能使用，從而可以限制電子顯微鏡101的功能。通過這樣，可以防止用戶進(jìn)行錯誤的視野的移動。
[0146]這樣，在本實施方式，在圖像C41的附近(本實施方式中圖像C41的旁邊)顯示倍率、后述的聚焦等參數(shù)調(diào)整的項目、滑塊C42。通過這樣，可以使視線或鼠標(biāo)光標(biāo)的移動為最小限度，可以一邊和圖像C41比較，一邊進(jìn)行細(xì)微的調(diào)整。這之前操作設(shè)置在電子顯微鏡101上的操作裝置的旋鈕。對此，在本實施方式中，通過在圖像C41的附近顯示的滑塊C2等進(jìn)行倍率等的調(diào)整，因此可以邊看圖像C41邊進(jìn)行簡單的調(diào)整。另外，即使在顯示多個圖像C41的情況下，通過對每個圖像C41顯示滑塊C42，用戶可以容易地調(diào)整每個圖像C41。
[0147]此時，操作程序31可以限制能夠調(diào)整的倍率的范圍。就是說，可以設(shè)為用戶無法設(shè)定預(yù)定的倍率以上的倍率。通過這樣，能夠防止用戶錯誤地設(shè)定預(yù)想以外的倍率，在所取得的圖像中產(chǎn)生不良的情況。
[0148]另外，操作程序31根據(jù)操作階段適當(dāng)?shù)厍袚Q在圖像顯示畫面203所顯示的圖像C41的顯示模式。例如，在圖7的視野搜索和圖8的圖像確認(rèn)階段，為了改善圖像的響應(yīng)，操作程序31設(shè)為提高電子束的掃描速度的顯示模式即“視野搜索模式”。另外，在保存圖像的階段需要精細(xì)的圖像，因此操作程序31設(shè)為使得掃描速度變慢，顯示高精細(xì)的圖像的“圖像確認(rèn)模式”。現(xiàn)在，在操作面板畫面204的畫面D41中表示在怎樣的顯示模式下顯示圖像C41。在圖7中，顯示模式為“視野搜索模式”。
[0149]這樣，操作程序31根據(jù)操作階段適當(dāng)?shù)厍袚Q顯示模式，從而能夠防止忘記操作引起的工作效率的降低和錯誤。
[0150]另外，通過在操作引導(dǎo)畫面201顯示與顯示模式的切換相關(guān)的消息，用戶可以識別操作程序31進(jìn)行怎樣的處理。
[0151]另外，圖7的操作面板畫面204中的畫面D42的預(yù)置按鈕D43 (預(yù)置I)、D44(預(yù)置2)是用于以預(yù)先登錄的預(yù)置倍率來設(shè)定倍率的按鈕，預(yù)置登錄按鈕45是用于登錄新的預(yù)置倍率的按鈕。
[0152]另外，應(yīng)用幫助畫面202中顯示與按下自動亮度按鈕以及自動聚焦按鈕的基準(zhǔn)有關(guān)的消息。
[0153]而且，用戶在結(jié)束一連串的調(diào)整后，通過按下在操作引導(dǎo)畫面201中所顯示的“向下一個”的按鈕A41,顯示圖8所示的操作畫面200。
[0154]圖8是表示圖7的自動調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0155]圖8中，操作引導(dǎo)畫面201顯示了表示當(dāng)前的階段是“3.圖像確認(rèn)”的“自動調(diào)整”的情況。
[0156]另外，顯示在操作面板畫面204上的各種按鈕與圖7相比沒有變更，但是對圖像顯示畫面203中的圖像C51進(jìn)行了倍率調(diào)整，顯示了比圖7倍率高的圖像。
[0157]這里，用戶為了調(diào)整亮度和對比度，按下操作面板畫面204中的“自動亮度”按鈕D51。
[0158]另外，在圖8中，在操作面板畫面204的畫面D41中表示了顯示模式為之前的操作階段的“視野搜索模式”。
[0159]當(dāng)用戶按下“自動亮度”按鈕D51時，進(jìn)行亮度的自動調(diào)整(向缺省的亮度的調(diào)整)。
[0160](S104)
[0161]接著，圖9?圖14是表示圖像保存(拍攝)(S104)的操作畫面的例子的圖。
[0162]圖9是表示自動調(diào)整剛結(jié)束后的顯示內(nèi)容的圖。
[0163]在操作引導(dǎo)畫面201顯示表示“3.圖像確認(rèn)”結(jié)束，操作階段進(jìn)入到下一個“4.拍攝”的“圖像保存”的消息，在畫面A61顯示督促保存的消息。另外，畫面D41從“視野搜索”變?yōu)椤皥D像確認(rèn)”。除此以外，操作面板畫面204中所顯示的各種按鈕和圖7、圖8相同。
[0164]如圖7所說明的那樣，操作程序31根據(jù)操作階段切換圖像C51的顯示模式，但是在圖9的“圖像保存”階段，將顯示模式設(shè)為得到高精細(xì)的圖像的“圖像確認(rèn)”模式(操作面板畫面204中的畫面D41的符號D61)。
[0165]另外，在應(yīng)用幫助畫面202的畫面B61顯示表示將顯示模式切換為“圖像確認(rèn)”模式的消息。
[0166]這時，可以在應(yīng)用幫助畫面202顯示一消息，該消息表示基于自動調(diào)整的觀察條件是用于強(qiáng)調(diào)怎樣的特征來進(jìn)行拍攝的觀察條件。
[0167]這里，如果用戶按下在操作面板畫面204中強(qiáng)調(diào)顯示的“保存目的地指定”按鈕D62，則顯示圖10的顯示內(nèi)容。
[0168]另外，在此用戶僅進(jìn)行自動亮度調(diào)整結(jié)束了自動調(diào)整，但是通過用戶在圖8、圖9的操作階段按下“自動聚焦”按鈕D63，可以進(jìn)行自動聚焦，從而聚焦調(diào)整為進(jìn)行了參數(shù)設(shè)定的人判斷為最佳的聚焦值。
[0169]圖10是表示保存目的地設(shè)定階段的顯示內(nèi)容的圖。
[0170]通過用戶按下圖9的操作面板畫面204的“保存目的地指定”按鈕D61，操作程序31如圖10所示那樣使操作畫面200無效，將保存目的地設(shè)定畫面302顯示在操作畫面200的前面。
[0171]保存目的地設(shè)定畫面302和一般的保存目的地的設(shè)定畫面相同，因此省略詳細(xì)的說明。用戶當(dāng)在保存目的地設(shè)定畫面302設(shè)定保存目的地，并按下登錄按鈕E71時，操作程序31將圖11所示的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。
[0172]圖11以及圖12是表示圖像保存階段的顯示內(nèi)容的圖。
[0173]圖11以及圖12是用于將顯示的圖像C51保存到存儲裝置21中的操作畫面200。
[0174]為了保存圖像，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A81顯示督促按下圖像保存按鈕的消肩、O
[0175]另外，在應(yīng)用幫助畫面202的畫面B81中顯示督促在進(jìn)行拍攝前按下全畫面顯示按鈕，以大的畫面進(jìn)行圖像確認(rèn)的消息。這樣，操作程序31可以在應(yīng)用幫助畫面202顯示與操作階段對應(yīng)的建議。這樣的顯示能夠通過在存儲裝置21存儲與各個操作階段對應(yīng)的畫面信息，操作程序31顯示與操作階段對應(yīng)的畫面來實現(xiàn)。
[0176]另外，圖11的圖像顯示畫面203中顯示的圖像C51以及操作面板畫面204中的各種按鈕與圖9相比沒有變化，但是強(qiáng)調(diào)顯示了操作面板畫面204中的“圖像保存”按鈕D81。
[0177]這里，當(dāng)用戶按下全畫面按鈕C81時，如圖12那樣顯示擴(kuò)大了倍率等的圖像C91。圖12的操作畫面200的其他畫面201 (圖11)、202(圖11)、204與圖11相同，因此省略說明。
[0178]通過這樣，用戶能夠在擴(kuò)大后的狀態(tài)下確認(rèn)圖像。另外，用戶也可以通過圖11等中顯示的大小的圖像來進(jìn)行圖像的確認(rèn)、保存。在確認(rèn)圖像后，用戶按下操作面板畫面204中的“圖像保存”按鈕D81。
[0179]另外，這時可以在應(yīng)用幫助畫面202顯示圖像確認(rèn)的點。
[0180]圖13以及圖14是表示圖像保存中的操作畫面200的圖。
[0181]操作引導(dǎo)畫面201以及操作面板畫面204的顯示內(nèi)容和圖11、圖12相同，但是應(yīng)用幫助畫面202成為什么都不顯示的狀態(tài)。
[0182]另外，圖像顯示畫面203中顯示的圖像ClOl與保存的像素相符地，按照從上倒下的順序表現(xiàn)圖像。
[0183]進(jìn)而如圖14所示，在操作畫面200的前面顯示圖像保存信息畫面303。在圖像保存信息畫面303中顯示圖像保存的條件、該條件產(chǎn)生的影響，并且通過進(jìn)度條Elll來顯示圖像保存處理的進(jìn)度。
[0184]另外，在圖像保存處理的等待時間，操作程序31可以在應(yīng)用幫助畫面202(圖13)顯示今后設(shè)想的異常和不良相關(guān)的信息。例如，作為這樣的信息，可以顯示在當(dāng)前的拍攝條件(這里是用于標(biāo)準(zhǔn)觀察的參數(shù)和圖像保存時的倍率)中所設(shè)想的圖像的異常和不良。
[0185]或者,可以與圖像保存信息畫面303 —起顯示學(xué)習(xí)畫面，該學(xué)習(xí)畫面表示電子顯微鏡101的原理、對于試樣9的預(yù)處理的說明、電子顯微鏡101的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡101的操作步驟、拍攝中的強(qiáng)調(diào)圖像的原理等。并且，還可以與圖像保存信息畫面303 —起顯示學(xué)習(xí)畫面，該學(xué)習(xí)畫面表示操作畫面200中的應(yīng)用幫助畫面202等各個畫面201?204的項目的說明、電子顯微鏡101的各種調(diào)整參數(shù)相關(guān)的說明等。
[0186]通過這樣可以期待提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0187](S105、S106)
[0188]接著，圖15?圖19表示用戶以當(dāng)前的圖像確認(rèn)是否OK (S105)時以及用戶進(jìn)行觀察條件的調(diào)整、變更(S106)時的操作畫面的例子。
[0189]圖15是表不圖像保存后的顯不內(nèi)容的圖。
[0190]首先，操作引導(dǎo)畫面201表示當(dāng)前的操作階段是“4.拍攝”的“圖像保存”階段。
[0191]另外，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A121顯示繼續(xù)按鈕A122和結(jié)束按鈕A123。在用戶對當(dāng)前的圖像不滿時，按下用于繼續(xù)觀察的繼續(xù)按鈕A122，操作程序31繼續(xù)處理(S105 —否)。
[0192]用戶滿意當(dāng)前的圖像時，按下用于結(jié)束觀察的結(jié)束按鈕A123，操作程序31結(jié)束處理(S105 —是)。
[0193]另外，在圖像顯示畫面203中與當(dāng)前的觀察條件的圖像C51 —起顯示了觀察履歷C121。與用戶想要設(shè)定或想要確認(rèn)的信息(文件名、觀察條件)一起顯示了目前為止所保存的圖像(觀察履歷C121)。例如，在圖15中，將以前保存的圖像顯示為觀察履歷C121。當(dāng)用戶按下觀察履歷C121時，擴(kuò)大顯示該圖像。
[0194]另外，當(dāng)用戶把鼠標(biāo)放到觀察履歷C121中顯示的圖像上時，可以顯示該圖像的詳細(xì)觀察條件等。
[0195]在操作面板畫面204顯示與當(dāng)前的操作階段對應(yīng)的按鈕等，這里省略說明。
[0196]而且，在應(yīng)用幫助畫面202顯示幫助畫面B121。幫助畫面B121是以拍攝為觸發(fā)顯示的畫面。在幫助畫面B121顯示了對用戶的建議、記述了與圖像C51有關(guān)的狀態(tài)的幫助按鈕B122(B122a、B122b)。另外，幫助畫面B121是當(dāng)進(jìn)行圖像的保存時作為原則每次顯示的畫面。
[0197]在此，并非在應(yīng)用幫助畫面202中始終顯示幫助按鈕B122(B122a、B122b)，可以只在判斷出用戶在意圖像C51時，進(jìn)行顯示。
[0198]另外，在操作畫面200的預(yù)定場所顯示未圖示的應(yīng)用幫助畫面202的顯示按鈕，通過用戶按下該顯示按鈕，可以切換應(yīng)用幫助畫面202的顯示/不顯示。
[0199]這里，操作程序31可以在圖像顯示裝置18顯示與當(dāng)前的觀察條件有關(guān)的信息。
[0200]如上所述，觀察條件是照射一次電子束2時電子顯微鏡101的各種參數(shù)設(shè)定的組合，具體地說是加速電壓、電流、焦點距離、倍率等。這些觀察條件是在拍攝試樣9前能夠取得的值。另外，焦點距離是物鏡下面和試樣的距離。
[0201]圖像的畫質(zhì)是亮度分布和銳度等的數(shù)值。圖像的畫質(zhì)是在拍攝后能夠從所拍攝到的圖像取得的值。
[0202]操作階段相關(guān)的信息是在操作面板畫面204顯示的內(nèi)容、各操作階段的操作時間、操作履歷等。操作階段相關(guān)的信息是在拍攝前、拍攝后能夠取得的信息。操作階段相關(guān)的信息是關(guān)于一次進(jìn)行的操作，在進(jìn)行不顯示幫助按鈕B122的處理時所使用的信息。
[0203]就是說，將幫助按鈕B122相關(guān)的信息與圖像的畫質(zhì)對應(yīng)，并且與電子顯微鏡101的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件對應(yīng)地存儲在存儲裝置21中。
[0204]這樣，通過根據(jù)與觀察條件、圖像的畫質(zhì)、操作階段相關(guān)的信息，由操作程序31選擇顯示幫助按鈕B122，用戶能夠容易地掌握當(dāng)前產(chǎn)生了怎樣的問題。
[0205]計算機(jī)19解析圖像C51的畫質(zhì)。而且，操作程序31根據(jù)作為解析結(jié)果的圖像的畫質(zhì)和當(dāng)前的觀察條件，從存儲裝置21取得與解析結(jié)果相當(dāng)?shù)纳鲜鰩椭粹oB122相關(guān)的信息。并且，操作程序31將該取得的幫助按鈕B122相關(guān)的信息作為幫助按鈕B122顯示在操作畫面200的預(yù)定地點(這里為應(yīng)用幫助畫面202)。
[0206]這里，計算機(jī)19可以不解析圖像C51的畫質(zhì)，而是根據(jù)當(dāng)前的觀察條件顯示能夠預(yù)見廠家所斟酌的畫質(zhì)改善的幫助按鈕B122。就是說，可以由廠家預(yù)先進(jìn)行顯示的幫助按鈕B122的設(shè)定。
[0207]作為在幫助按鈕122顯示的內(nèi)容，除了圖15所顯示的內(nèi)容以外，還有以下的內(nèi)容。
[0208](a)和視野搜索(掃描速度:快)時進(jìn)行比較，缺乏圖像的凹凸感和立體感。作為出現(xiàn)這種癥狀的原因考慮是因為充電等。
[0209](b)和視野搜索(掃描速度:快)時進(jìn)行比較，圖像變形。作為出現(xiàn)這種癥狀的原因考慮是因為充電、對試樣的損傷等。
[0210]因為初學(xué)者不知道最優(yōu)的觀察條件的圖像，因此很多時候?qū)嶋H上即使不是最優(yōu)的圖像也滿意。通過如本實施方式那樣顯示幫助按鈕B122，提示發(fā)生可能性高的圖像的癥狀，從而用戶能夠注意這些癥狀。
[0211]在圖15的例子中，作為操作程序31解析了圖像C51的結(jié)果、在亮度分布中在高亮度方向上分布偏離，所以操作程序31顯示符號B122a所示的幫助按鈕B122。另外，作為操作程序31解析了圖像C51的結(jié)果，因為銳度的值低，所以操作程序31顯示符號B122b所示的幫助按鈕B122。另外，操作程序31將與觀察條件、圖像的畫質(zhì)、操作階段的組合對應(yīng)的幫助按鈕B122存儲在存儲裝置21中。而且，操作程序31通過根據(jù)各觀察條件、圖像的畫質(zhì)、操作階段的信息選擇幫助按鈕B122，在應(yīng)用幫助畫面202中顯示幫助按鈕B122。
[0212]另外，如圖15所示，操作程序31通過強(qiáng)調(diào)觀察條件，可以顯示對在各幫助按鈕B122中記述的癥狀進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像B123。例如，操作程序31在幫助按鈕B122a中顯示在高亮度方向使亮度分布極端偏離的強(qiáng)調(diào)圖像B123。同樣，操作程序31在幫助按鈕B122b顯示極端降低了銳度的強(qiáng)調(diào)圖像B123。
[0213]強(qiáng)調(diào)圖像B123可以是基于使觀察條件極端化的模擬的圖像，也可以準(zhǔn)備預(yù)先進(jìn)行了這種模擬后的圖像。這里，模擬是使產(chǎn)生幫助按鈕B122中顯示的癥狀的觀察條件極端化的模擬。
[0214]這里，當(dāng)用戶按下幫助按鈕B122a時，操作程序31顯示圖16所示的顯示內(nèi)容。
[0215]圖16是表示目的變更的顯示內(nèi)容的圖。
[0216]用戶查看圖15的圖像C51，畫面整體閃閃發(fā)光，判定白線(亮線)進(jìn)入，按下幫助按鈕B122a。于是為了改善在幫助按鈕B122a記述的癥狀，操作程序31在應(yīng)用幫助畫面202顯示督促將觀察目的變更為“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”的解決畫面B131。另外，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A131中也同樣為了變更觀察目的，操作程序31顯示督促按下“變更”按鈕D131的消息。這里，并非操作程序31自動遷移到下一個畫面，而是由用戶按下“變更”按鈕D131。通過這樣，用戶能夠識別“變更”按鈕D131的位置，能夠提高用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0217]另外，將與圖15的幫助按鈕B122相對應(yīng)的畫面信息預(yù)先存儲在存儲裝置21中。操作程序31通過選擇與按下的幫助按鈕B122對應(yīng)的畫面信息，顯示圖16中的畫面A131、B131。
[0218]另外，圖16的操作引導(dǎo)畫面201表示當(dāng)前的階段是“1.準(zhǔn)備”的“目的變更”。
[0219]另外，操作程序31與操作引導(dǎo)畫面201對應(yīng)地顯示操作面板畫面204。在操作面板畫面204中，為了向用戶督促變更觀察目的，強(qiáng)調(diào)顯示“變更”按鈕D131。
[0220]當(dāng)用戶按照畫面A131所記述的內(nèi)容，按下“變更”按鈕D131時，操作程序31將圖17所示的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。
[0221]這里，可以在別的窗口顯示督促將觀察目的變更為“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”的解決畫面B131、督促按下“變更”按鈕D131的消息。例如，在該別的窗口顯示為了改善在幫助按鈕B122記述的癥狀考慮的幾個解決策略。可以在這些解決策略的各自的項目配置未圖示的“想知道”的按鈕。當(dāng)用戶按下該“想知道”的按鈕時，可以顯示與解決策略相關(guān)的必要信息。用戶通過這樣的操作，能夠得到與電子顯微鏡101的操作相關(guān)的知識。另外，在解決策略的各自的項目配置“進(jìn)行解決”按鈕，當(dāng)按下該按鈕時，進(jìn)行向執(zhí)行解決策略的引導(dǎo)。在該過程中，可以在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A131中顯示督促按下“變更”按鈕D131的消肩、O
[0222]作為在操作電子顯微鏡101時用戶設(shè)定的參數(shù)設(shè)定值，具有加速電壓、焦點距離、聚光透鏡的勵磁、物鏡可動光圈的孔徑、真空度、檢測信號等。但是，如果把這些參數(shù)設(shè)定值設(shè)定為什么樣的值，則得到什么樣的圖像，初學(xué)者是很難掌握的。另外，關(guān)于用戶的觀察目的，想要盡量提高分辨率進(jìn)行觀察、想觀察表面、想觀察材料分布等各種各樣。但是幾乎所有的初學(xué)者不知道對應(yīng)于各自的觀察目的有最佳的參數(shù)設(shè)定值地進(jìn)行使用。另外，幾乎所有的初學(xué)者在即使觀察目的改變，也不變更參數(shù)設(shè)定值而是不變地使用當(dāng)前設(shè)定的參數(shù)設(shè)定值進(jìn)行觀察。但是，這種使用方法無法充分發(fā)揮裝置性能。
[0223]因此，在本實施方式，不是用戶設(shè)定參數(shù)設(shè)定值，而是根據(jù)用戶選擇的觀察目的(觀察目的變更)來自動設(shè)定最佳的參數(shù)設(shè)定值。另外，觀察目的的選擇項是用戶經(jīng)常使用的、或者希望用戶使用的觀察條件，作為即使是初學(xué)者也能夠掌握和選擇的條件，希望包括分析在內(nèi)為5個左右。本實施方式中，作為觀察目的，設(shè)定“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”、“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”、“分析元素的觀察”5個。
[0224]設(shè)定5個的原因在于，在6個以上的選擇項中，初學(xué)者難以掌握所取得的圖像的不同，初學(xué)者難以選擇合適的觀察目的。另外，在高真空觀察和低真空觀察中所使用的參數(shù)設(shè)定值不同，所以在高真空觀察和低真空觀察雙方設(shè)置圖像中出現(xiàn)明確不同的5個觀察目的。
[0225]另外，根據(jù)二次電子檢測器、BSE (Back Scattere Electron背散射電子)檢測器、EDX (Energy Dispersive X_ray能量色散X射線)裝置等檢測器10 (圖1)的數(shù)量或者具備的檢測器10的種類，設(shè)定的觀察目的的數(shù)量可以變動。
[0226]圖17是表示觀察目的變更的顯示內(nèi)容的圖。
[0227]當(dāng)按下圖16中的“變更”按鈕D131時，如圖17所示那樣，在操作畫面200的前面顯示觀察目的變更畫面304。這里，操作畫面200的結(jié)構(gòu)與圖16所示的結(jié)構(gòu)相同，因此省略說明。
[0228]在觀察目的變更畫面304顯示觀察目的設(shè)定按鈕E141。在觀察目的設(shè)定按鈕E141記述觀察目的的變更候補(bǔ)。
[0229]另外，在觀察目的變更畫面304的左側(cè)顯示雷達(dá)圖的圖例E145a、與強(qiáng)調(diào)圖像E142相關(guān)的模擬試樣的示意圖E145b。雷達(dá)圖的圖例E145a是在各觀察目的設(shè)定按鈕E141顯示的雷達(dá)圖(觀察條件特征顯示)E144的圖例。
[0230]如雷達(dá)圖的圖例E145a所示那樣，將圖像的特征定義為從“適合高倍率”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”以及“強(qiáng)調(diào)材料的不同”這3個軸成立。各軸以3個階段表現(xiàn)，表示隨著行進(jìn)到雷達(dá)圖E144的外側(cè)，各軸的特征變得顯著。當(dāng)以4個階段以上表示各軸時，稱為更精密的雷達(dá)圖。
[0231]雷達(dá)圖的圖例E145a中的“適合高倍率”表示高分辨率觀察條件的程度。例如在用戶以數(shù)萬倍以上的高倍率進(jìn)行觀察的情況下，越是得到銳利的圖像，雷達(dá)圖E144中的“適合高倍率”的項目越位于更外側(cè)。作為電子顯微鏡101的參數(shù)設(shè)定值，有加速電壓、焦點距離、聚光透鏡的勵磁、物鏡可動光圈的孔徑、真空度、檢測信號等的參數(shù)設(shè)定值。除了這些參數(shù)設(shè)定值以外，關(guān)于用于以高倍率進(jìn)行觀察的條件，提高加速電壓、使聚光透鏡成為強(qiáng)勵磁、減小物鏡可動光圈的孔徑、使焦點距離變短、使真空度變高、作為檢測信號使用二次電子。
[0232]雷達(dá)圖的圖例E145a中的“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”表示強(qiáng)調(diào)試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)，能夠更立體地觀察的條件的程度。關(guān)于用于強(qiáng)調(diào)試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的主要的觀察條件，降低加速電壓，作為檢測信號使用二次電子。
[0233]雷達(dá)圖的圖例E145a中的“強(qiáng)調(diào)材料的不同”表示在混合有不同材料的試樣中，強(qiáng)調(diào)材料的不同的條件的程度。關(guān)于用于強(qiáng)調(diào)材料的不同的主要觀察條件，作為檢測信號使用背散射電子。背散射電子由于越是原子序號大的元素反射率越高，所以產(chǎn)生很多的信號成為更加明亮的影像，能夠以對比度差來表示材料的不同。
[0234]這樣，“適合高倍率”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”以及“強(qiáng)調(diào)材料的不同”是相反的參數(shù)設(shè)定值，因此一般不存在在某個觀察目的中雷達(dá)圖E144的全部參數(shù)設(shè)定值成為最佳的情況。就是說，如果某個設(shè)定值好，則其他的參數(shù)設(shè)定值相對變差。因此，通過如本實施方式那樣以雷達(dá)圖表示觀察目的的特征，能夠在視覺上容易掌握觀察目的的特征(優(yōu)點/缺點)。
[0235]另外，可以追加“充電減輕(抑制)”、“荷電粒子束破壞減輕(抑制)”等項目，可以將雷達(dá)圖設(shè)為4軸或5軸，也可以設(shè)置這以上的軸。
[0236]“充電減輕(抑制)”表示使一次電子束2(圖1)變細(xì)，減少照射電流，成為能夠減輕充電的觀察條件。關(guān)于用于減輕(抑制)充電的主要觀察條件，降低加速電壓、使聚光透鏡成為強(qiáng)勵磁，作為檢測信號使用背散射電子，使真空度成為低真空。作為此時的圖像的取得方法，使用以快速的掃描多次取得圖像，重疊圖像來成像的累積等。
[0237]“荷電粒子束破壞減輕(抑制)”表示使一次電子束2變細(xì)，減少照射電流，由此成為能夠減輕對耐熱性弱的試樣的荷電粒子束破壞的觀察條件。作為用于減輕(抑制)荷電粒子束破壞的主要觀察條件，降低加速電壓、使聚光透鏡成為強(qiáng)勵磁。
[0238]這里，觀察條件特征顯示不限于雷達(dá)圖，例如，可以使用百分比顯示等的數(shù)字表現(xiàn)“適合高倍率”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”以及“強(qiáng)調(diào)材料的不同”的項目，也可以用柱形圖等圖表進(jìn)行表現(xiàn)，也可以用“好”、“普通”、“差”等單詞進(jìn)行表現(xiàn)，還可以用◎、O、Λ等記號來表現(xiàn)。
[0239]模擬試樣的示意圖E145b是將形狀和材質(zhì)不同的材料進(jìn)行了組合的模擬試樣的示意圖，在后述的強(qiáng)調(diào)圖像E142中，使觀察目的的圖像的特征一目了然。在實際試樣的觀察圖像中混合有各種原因，但通過顯示這樣的模擬試樣的模式圖E145b，能夠容易地掌握強(qiáng)調(diào)圖像E142的含義。
[0240]在模擬試樣的示意圖E145b中，為了容易區(qū)別形狀，設(shè)形狀不同的3個材料，即在作為基板的材料C上放置圓柱的材料A和棱柱的材料B。這里，材料A是圓柱，但也可以是半球。另外，材料B是棱柱，但也可以是四角錐體。另外，材料C的基板表面是平滑，但也可以在基板表面設(shè)置凹凸，在強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察中能夠觀察凹凸結(jié)構(gòu)。
[0241]作為材質(zhì)，在作為檢測信號使用背散射電子時，為了讓黑白的對比度的不同變得明確，使3個材料的元素不同，使其中2個為輕元素和重元素。就是說，在本實施方式，假設(shè)材料A是重元素的金、材料B是鋁、材料C是輕元素的碳等。由此，在“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”中的觀察目的設(shè)定按鈕E141中，各個材料能夠通過設(shè)為“黑色”、“中間色的灰色”以及“白色”的強(qiáng)調(diào)畫面E142來表示。另外，為了容易掌握元素，還可以針對模擬試樣的示意圖E145b中的各材料的顯示色，將材料A設(shè)為金色、將材料B設(shè)為灰色、將材料C設(shè)為黑色等。
[0242]在觀察目的變更畫面304中上下排列了 5個觀察目的設(shè)定按鈕E141，從上到下依次為“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”、“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”以及“分析元素的觀察”。另外，圖17中作為一個例子表示了高真空觀察的觀察目的，但是對于低真空觀察的觀察目，同樣可以上下排列配置最大5個觀察目的。
[0243]最上面的觀察目的“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”是缺省的觀察目的，并且成為作為SEM(ScanningElectron Microscope:掃描型電子顯微鏡)觀察的基本的、即使是高倍率也銳利地得到試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的觀察條件。就是說，“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”是對于具有導(dǎo)電性的試樣，即使是不知道哪個條件是適合的觀察條件的初學(xué)者也不用煩惱，能夠容易得到滿意的數(shù)據(jù)的條件。通過使用這樣的觀察條件，初學(xué)者體驗到能夠容易地拍攝，從而愿意使用裝置，進(jìn)而期待成為產(chǎn)生上進(jìn)心的契機(jī)。即使是高倍率也銳利地得到試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的觀察條件是能得到高分辨率的條件。通過使用這樣的觀察條件，用戶能夠不意識到倍率而比較容易地取得高倍率例如10萬倍的圖像。關(guān)于具體的參數(shù)設(shè)定值，例如加速電壓為15kV、焦點距離為5_、聚光透鏡為強(qiáng)勵磁、物鏡可動光圈的孔徑小、真空度為高真空以及檢測信號為二次電子。這里，重要的參數(shù)設(shè)定值是加速電壓和檢測信號。理論上加速電壓越高分辨率越高。
[0244]另外，二次電子的能量弱為數(shù)eV，只能從試樣表面約1mm產(chǎn)生，因此如果作為檢測信號使用二次電子，則能夠得到更加反映了表面的凹凸結(jié)構(gòu)的圖像。掃描型電子顯微鏡通常可以觀察到加速電壓30kV。但是，如果加速電壓過高，則在實際的試樣中，一次電子束2導(dǎo)致的電子束侵入到試樣內(nèi)部的深度變深。結(jié)果，在通過電子束的照射放射出的二次電子中混入了內(nèi)部信息，難以得到反映了試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的圖像。因此，在通過加速電壓15kV檢測二次電子的“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”的雷達(dá)圖E144中，通過在加速電壓15kV的觀察，“適合高倍率”成為最高的階段。另一方面，由于加速電壓為15kV，因此“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最低的階段，因為作為檢測信號使用二次電子，因此“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最低的階段。另外，如果使用4階段的雷達(dá)圖，例如“適合高倍率”成為最高的階段，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為從下開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最低的階段。
[0245]從上開始第2個觀察目的“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”是能夠更加立體地顯示在“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”中觀察困難的試樣表面的細(xì)微凹凸的觀察條件。關(guān)于具體的參數(shù)設(shè)定值，例如加速電壓為5kV，焦點距離為5_、聚光透鏡為強(qiáng)勵磁、物鏡可動光圈的孔徑小、真空度為高真空以及檢測信號為二次電子。與“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”不同的點在于，將加速電壓從15kV變更為5kV。當(dāng)把加速電壓從15kV變?yōu)?kV時，分辨率降低，得到銳利的圖像的倍率成為5萬倍左右，因此雷達(dá)圖E144(圖例E145a)的“適合高倍率”比“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”低，成為最低的階段。
[0246]另外，一次電子束2導(dǎo)致的電子束侵入試樣內(nèi)部的深度變淺，因此成為更加強(qiáng)調(diào)了試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的圖像。這時候，在“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”的雷達(dá)圖E144中“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最高的階段。另外，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”因為檢測信號相同，因此沒有變化成為最低階段。另外，如果使用4階段的雷達(dá)圖，例如“適合高倍率”成為從下開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最高的階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最低的階段。另外，僅在該觀察目的時，設(shè)定為難以充電的方法。例如，使用將通過快速掃描取入的圖像重疊進(jìn)行成像的累積等。
[0247]從上開始第3個觀察目的“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”是比通過“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”所得到的圖像的分辨率低，但能夠通過明暗的對比度等顯示材料的不同的觀察條件。并且，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”是能夠更加立體地觀察試樣表面的細(xì)微的凹凸的觀察條件。關(guān)于具體的參數(shù)設(shè)定值，例如加速電壓為5kV，焦點距離為5mm、聚光透鏡為強(qiáng)勵磁、物鏡可動光圈的孔徑小、真空度為高真空以及檢測信號為背散射電子。與“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”不同的點在于，使加速電壓從15kV變更為5kV，將檢測信號設(shè)為背散射電子，使聚光透鏡的勵磁略微減弱。通過使加速電壓從15kV變更為5kV，分辨率降低，但是成為更強(qiáng)調(diào)了試樣表面的凹凸結(jié)構(gòu)的圖像。
[0248]另外，由于用背散射電子進(jìn)行觀察，因此能夠通過對比度差來表示材料的不同。由此，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”的雷達(dá)圖E144的“適合高倍率”成為最低。另外，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”比二次電子低但相對變高，成為從上開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最高的階段。另外，如果使用4階段的雷達(dá)圖，則例如“適合高倍率”成為從下開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為從上開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最高的階段。
[0249]從上開始第4個觀察目的“強(qiáng)調(diào)分布的觀察”是在由復(fù)合材料或異物等不同的材料構(gòu)成的試樣中能夠用明暗的對比度等顯示材料的不同的觀察條件。作為具體的參數(shù)設(shè)定值，例如加速電壓為5kV，焦點距離為5mm、聚光透鏡為中勵磁、物鏡可動光圈的孔徑小、真空度為高真空以及檢測信號為背散射電子。與“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”的不同點在于，將檢測信號設(shè)為背散射電子，使聚光透鏡的勵磁略微變?nèi)踉黾恿苏丈潆娏?。關(guān)于背散射電子的特征，能夠通過對比度差表示材料的不同。越重的材料反射率越高，產(chǎn)生很多的信號，因此成為更明亮的影像，可以用明暗的對比度顯示材料的不同。
[0250]另外，背散射電子具有和入射電子幾乎相同的能量，因此還檢測出在試樣內(nèi)部產(chǎn)生的背散射電子。因此，與二次電子相比混雜有內(nèi)部信息，分比率變差。因此“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”的雷達(dá)圖E144的“適合高倍率”比“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”低，成為第2高的階段。另外，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最低的階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最高的階段。另外，如果使用4階段的雷達(dá)圖，則例如“適合高倍率”成為從上開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最低的階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最高的階段。
[0251]最下面的觀察目的“分析元素的觀察”是使一次電子束2變粗，使照射電流變多，用于進(jìn)行EDX分析的觀察條件。另外，在“分析元素的觀察”中，能夠以明暗的對比度來顯示材料的不同。通過該觀察條件來搜索進(jìn)行EDX分析的地點，在使焦距等一致后，在EDX裝置側(cè)進(jìn)行操作，由此能夠進(jìn)行元素分析。關(guān)于具體的參數(shù)設(shè)定值，例如，加速電壓為5kV，焦點距離為10mm、聚光透鏡為弱勵磁、物鏡可動光圈的孔徑小、真空度為高真空以及檢測信號為背散射電子。與“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”不同的點在于，為了提高從試樣產(chǎn)生的X射線的計數(shù)，使聚光透鏡的勵磁變得非常弱，增加照射電流。為了反映材料的不同進(jìn)行元素分析，使用背散射電子作為檢測信號，并且為了高效取入從試樣產(chǎn)生的X射線，將焦點距離變更為10mm。但是，在沒有安裝背散射電子檢測器的情況下等，可以使用二次電子作為檢測信號。圖17為只顯示光譜，但是也可以和其他的觀察目的一樣顯示雷達(dá)圖E144、強(qiáng)調(diào)圖像E142。在顯示雷達(dá)圖的情況下，成為與“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”相似的雷達(dá)圖E144，但是“適合高倍率”比“強(qiáng)調(diào)材料分布的觀察”低一些。
[0252]如果使用4階段的雷達(dá)圖，例如“適合高倍率”成為從下開始第2個階段，“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”成為最低的階段，“強(qiáng)調(diào)材料的不同”成為最高的階段。
[0253]另外，設(shè)置用于對5個觀察目的設(shè)定按鈕E141中的各個按鈕顯示詳細(xì)的觀察條件的按鈕，當(dāng)按下該按鈕時，顯示相關(guān)的觀察目的的特征、具體的參數(shù)設(shè)定值。此時的參數(shù)設(shè)定值是加速電壓、焦點距離、聚光透鏡(點強(qiáng)度)、物鏡可動光圈、檢測信號、真空度、圖像取入的方法等。由此，能夠應(yīng)對用戶想知道觀察條件的具體參數(shù)設(shè)定值的要求。
[0254]使這樣的觀察目的設(shè)定按鈕E141的信息和圖15的幫助按鈕B122相對應(yīng)預(yù)先存儲在存儲裝置21中。操作程序31選擇與按下的幫助按鈕B122對應(yīng)的觀察目的設(shè)定按鈕E141，在圖像顯示裝置18中顯示。
[0255]另外，操作程序31可以參展操作履歷，以操作履歷為基礎(chǔ)，將預(yù)定的觀察目的設(shè)定按鈕E141 (例如按動過一次的觀察目的設(shè)定按鈕E141)設(shè)為不顯示。
[0256]當(dāng)用戶按下I個觀察目的設(shè)定按鈕E141時，反轉(zhuǎn)顯示該觀察目的設(shè)定按鈕E141 (符號E141a)。而且，操作程序31通過在按下的觀察目的設(shè)定按鈕E141記述的內(nèi)容來設(shè)定觀察條件。在符號E141a的例子中，設(shè)定“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”的觀察條件。另外，顯示的觀察目的設(shè)定按鈕E141可以根據(jù)“涂覆”、“非涂覆”等試樣9的狀態(tài)成為不同的顯示。試樣9的狀態(tài)例如在圖4的階段等通過用戶來進(jìn)行輸入。
[0257]操作程序31參照存儲在存儲裝置21中的觀察條件設(shè)定表41 (圖18)來設(shè)定觀察條件。
[0258]另外，在圖17的操作階段，可以在觀察目的變更畫面304顯示“涂覆”、“非涂覆”
等與試樣9相關(guān)的信息等。
[0259]另外，如圖17所示，操作程序31可以將“涂覆試樣高真空模式”、“非涂覆試樣低真空模式”的說明標(biāo)簽E143顯示在觀察目的變更畫面304。例如，當(dāng)用戶選擇“非涂覆試樣低真空模式”的說明標(biāo)簽E143a時，操作程序31在觀察目的變更畫面304中顯示非涂覆試樣的說明、最好不進(jìn)行涂覆的試樣的說明、不進(jìn)行涂覆的優(yōu)點和缺點、設(shè)為低真空模式的方法的說明等信息。
[0260]另外，如圖17所示，也可以在觀察目的設(shè)定按鈕E141內(nèi)，通過雷達(dá)圖E144顯示與觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)的觀察條件的各參數(shù)設(shè)定值。通過這樣，用戶可以容易地確認(rèn)各個觀察目的設(shè)定按鈕E141的觀察條件的特征。另外，在本實施方式，如圖17所示，也可以通過相同畫面看到其他觀察目的設(shè)定按鈕E141相關(guān)的雷達(dá)圖E144。通過這樣，能夠容易地視覺比較各個觀察目的，容易視覺掌握各個觀察目的的特征(優(yōu)點/缺點)。結(jié)果，即使是初學(xué)者也可以容易地選擇適當(dāng)?shù)挠^察目的。另外，在本實施方式中，如圖17所示，通過按下目的選擇按鈕E142，雷達(dá)圖的圖例E145a也發(fā)生變化。圖17中，設(shè)定了“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”相關(guān)的觀察目的設(shè)定按鈕，因此，雷達(dá)圖的圖例145a也顯示“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)和材料分布的觀察”的特征。如果設(shè)定其他的觀察目的設(shè)定按鈕E141，還切換雷達(dá)圖的圖例E145a的顯示。通過這樣，用戶能夠容易地視覺掌握伴隨觀察目的的變更的觀察條件的特征變化等。
[0261]圖18是表示本實施方式的觀察條件設(shè)定表的圖。
[0262]圖18所示的觀察條件設(shè)定表41中的各個記錄與觀察目的設(shè)定按鈕E141中的各個按鈕相對應(yīng)，對每個觀察目的組合了參數(shù)設(shè)定值(加速電壓、檢測信號、掃描方式)。如圖18所示，通過觀察條件設(shè)定表41的?、〇、八、X等來評價“凹凸小易見度”、“凹凸大易見度”以及“組成信息易見度”等的觀察目的。另外，評價方法不限于圖18所示的◎、〇、Λ、X，也可以通過分?jǐn)?shù)等來評價。根據(jù)這些評價，使觀察目的設(shè)定按鈕E141(圖7)與觀察目的相對應(yīng)。這里，如上所述，觀察條件是指各個參數(shù)設(shè)定值的組合，觀察目的是指凹凸的易見度等觀察條件對圖像造成的影響。
[0263]這里，相對于在圖18中設(shè)定了 11個觀察目的，圖17中的觀察目的設(shè)定按鈕E141成為5個。設(shè)定者在圖18中設(shè)定的觀察目的中，選擇5個適合初學(xué)者的觀察目的來設(shè)定觀察目的設(shè)定按鈕E141即可。
[0264]在按下圖17的觀察目的設(shè)定按鈕E141中的任意一個的情況下，操作程序31通過與觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)的觀察條件設(shè)定表41的記錄的參數(shù)設(shè)定值來設(shè)定觀察條件。例如，操作程序31通過凹凸小以及凹凸大的易見度良好的N0.1的記錄的參數(shù)設(shè)定值來設(shè)定觀察條件。圖18所示的觀察條件設(shè)定表41的各值是通過該值進(jìn)行設(shè)定，為了能夠拍攝最低限的圖像而預(yù)先進(jìn)行了調(diào)整的值。另外，觀察條件設(shè)定表41中的參數(shù)設(shè)定值不限于加速電壓、檢測信號、掃描方式，具有電流、焦點距離、倍率等。這里，圖18的SE(SeCOndaryElectron)是二次電子，BSE是背散射電子。另外，觀察條件設(shè)定表41的各個記錄和觀察目的設(shè)定按鈕E141分別經(jīng)由預(yù)定的對應(yīng)信息(識別信息等)而對應(yīng)。作為識別信息例如有圖18的No等。
[0265]另外，觀察條件設(shè)定表41中的I個記錄成為缺省的觀察條件。通過這樣，可以不需要用戶的操作而進(jìn)行與調(diào)整圖像對應(yīng)的觀察條件的設(shè)定。就是說，用戶實質(zhì)上能夠只通過自動操作進(jìn)行拍攝，用戶能夠始終容易地得到一定水平的圖像，因此即使是初學(xué)者也能夠容易地進(jìn)行拍攝。另外，通過經(jīng)歷能夠容易地進(jìn)行拍攝的情況，初學(xué)者愿意使用裝置，進(jìn)而成為產(chǎn)生上進(jìn)心的契機(jī)。
[0266]另外，在觀察目的設(shè)定按鈕E141顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142。
[0267]強(qiáng)調(diào)圖像E142是對與通過缺省的觀察條件“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”能夠觀察的標(biāo)準(zhǔn)圖像之間的比較進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的圖像，也是反映了雷達(dá)圖所示的參數(shù)的圖像。
[0268]將與觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)的強(qiáng)調(diào)圖像E142預(yù)先存儲在存儲裝置21中。在選擇、顯示觀察目的設(shè)定按鈕E141時，操作程序31通過取得、顯示與該觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)的強(qiáng)調(diào)圖像E142來顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142。
[0269]通過這樣顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142，當(dāng)選擇相應(yīng)的觀察目的設(shè)定按鈕E141時，用戶能夠視覺地掌握得到怎樣的效果。在專利文獻(xiàn)1、2中，使用戶比較原始圖像，因此初學(xué)者難以知道觀察條件的不同引起的圖像的不同。與此相對，如本實施方式那樣，通過顯示強(qiáng)調(diào)圖像E142，用戶即使是初學(xué)者，也能夠容易地掌握通過選擇觀察目的設(shè)定按鈕E141而產(chǎn)生的效果O
[0270]在此，強(qiáng)調(diào)圖像E142a為了知曉是標(biāo)準(zhǔn)的觀察顯示標(biāo)準(zhǔn)的圖像，強(qiáng)調(diào)圖像E142b為了強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)而強(qiáng)調(diào)陰影。另外，強(qiáng)調(diào)圖像E142c為了知道表面結(jié)構(gòu)和材料分布的不同而強(qiáng)調(diào)陰影，并且附有各材料不同的顏色等。而且，強(qiáng)調(diào)圖像E142d為了知道材料分布的不同而附有各材料不同的顏色等，強(qiáng)調(diào)圖像E142e為了知道是元素的分析而成為圖表狀的圖像。
[0271]另外，如上所述，在“分析元素的觀察”中也和其他的觀察目的相同，可以顯示雷達(dá)圖E144和強(qiáng)調(diào)圖像E142。例如，可以在和其他的觀察目的相同的模擬式樣相關(guān)的強(qiáng)調(diào)圖像上重疊知道是元素的分析的圖表狀的顯示(光譜顯示)。
[0272]強(qiáng)調(diào)圖像E142是最強(qiáng)調(diào)了通過對應(yīng)的觀察目的(觀察條件)進(jìn)行了拍攝時的圖像的狀態(tài)的圖像。具體地說，強(qiáng)調(diào)圖像E142使用將圖像的狀態(tài)視覺上強(qiáng)調(diào)或者變形后的圖像。如圖17所示，希望將立方體或圓柱等象征性的塊或簡化后的圖表用作強(qiáng)調(diào)圖像E142，這是有效果的。
[0273]另外，這些強(qiáng)調(diào)圖像E142是一個例子，也可以顯示其他的強(qiáng)調(diào)圖像。另外，強(qiáng)調(diào)圖像E142不僅如圖17那樣顯示在觀察目的設(shè)定按鈕E141上，也可以顯示在觀察目的設(shè)定按鈕E141的附近。
[0274]另外，操作程序31通過參照操作履歷，在已經(jīng)進(jìn)行了拍攝的觀察目的設(shè)定按鈕E141顯示“拍攝完畢”等信息，用戶能夠容易地選擇未拍攝的觀察目的。
[0275]圖19是表示剛按下圖17的觀察目的設(shè)定按鈕E141a后的顯示內(nèi)容的圖。
[0276]當(dāng)按下觀察目的設(shè)定按鈕E141a時，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A151中顯示督促按下“決定”按鈕E153的主旨的消息。
[0277]而且，可以在操作畫面200的前面所顯示的觀察目的變更畫面304中顯示特殊設(shè)定按鈕E151。
[0278]在圖19的例子中，顯示了特殊設(shè)定按鈕E151。特殊設(shè)定按鈕E151不是必須的設(shè)定，是關(guān)于特殊的設(shè)定(特殊設(shè)定)的按鈕。
[0279]當(dāng)用戶按下特殊設(shè)定按鈕E151時，操作程序31參照存儲裝置21。而且操作程序31取得特殊設(shè)定按鈕E151所對應(yīng)的特殊設(shè)定信息。進(jìn)而操作程序31將所取得的特殊設(shè)定信息顯示在觀察目的變更畫面304的特殊信息顯示區(qū)域E152。
[0280]在特殊信息顯示區(qū)域E152顯示與特殊設(shè)定相關(guān)的信息。在圖19的例子中，作為特殊設(shè)定顯示與涂覆相關(guān)的內(nèi)容。在圖19的例子中，在特殊設(shè)定按鈕E151具有能夠進(jìn)行對于涂覆的設(shè)定的記述。而且，當(dāng)用戶按下特殊設(shè)定按鈕E151時，操作程序31在特殊信息顯示區(qū)域E152顯示進(jìn)行了涂覆時的觀察上的優(yōu)點、缺點和適合涂覆的試樣9等的信息。進(jìn)而，操作程序31也可以將沒有進(jìn)行涂覆的試樣9的觀察方法(具體地說，選擇用于向低真空觀察轉(zhuǎn)移的真空度的操作步驟)等顯示在特殊信息顯示區(qū)域E152。另外，也可以和與涂覆相關(guān)的信息一起顯示離子鍍、真空淀積等與涂覆方法相關(guān)的信息。
[0281]這樣，通過顯示特殊設(shè)定按鈕E151、特殊信息顯示區(qū)域E152，用戶能夠注意到特殊設(shè)定的觀察。
[0282]可以將特殊設(shè)定按鈕E151顯示在所有的觀察目的變更畫面304中?；蛘?，當(dāng)按下特定的觀察目的設(shè)定按鈕E141 (圖17)時，操作程序31可以顯示與觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)地存儲在存儲裝置21中的特殊設(shè)定按鈕E151。
[0283]而且，用戶根據(jù)顯示在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A151中的消息，當(dāng)按下觀察目的變更畫面304的“決定”按鈕E153時，操作程序31參照觀察條件設(shè)定表41。接著，操作程序31將與按下的觀察目的設(shè)定按鈕E141對應(yīng)的記錄的參數(shù)設(shè)定值作為觀察條件，設(shè)定在各電路11?17 (圖1)。
[0284]另外，操作程序31隨時將到目前為止的操作履歷存儲在存儲裝置21中。
[0285]在以后的圖20?圖37中，關(guān)于和圖4?圖9相同的操作畫面200，適當(dāng)?shù)厥÷愿鱾€操作畫面200的詳細(xì)說明，只表示與圖4?圖19的畫面的差異。
[0286]圖20是表示在圖19中剛按下“決定”按鈕E153后的顯示內(nèi)容的圖。另外，當(dāng)在圖19中由用戶按下“決定”按鈕E153時，操作程序31再次將處理返回到視野搜索倍率調(diào)整(圖2的S103)，計算機(jī)19通過選擇的觀察目的(觀察條件)取得圖像。
[0287]圖20與圖7為相同的畫面結(jié)構(gòu)，因此省略對于各自的畫面結(jié)構(gòu)的說明，但是和圖7不同的點在于，在圖像顯示畫面203顯示的圖像C51是圖16那樣，在圖像顯示畫面203顯示了觀察履歷C121。
[0288]用戶通過和圖7相同的方法在圖20進(jìn)行倍率的調(diào)整、視野搜索。
[0289]這里，在用戶設(shè)定了無法設(shè)定的倍率(預(yù)定倍率以上或預(yù)定倍率以下的倍率)時，操作程序31可以將警告顯示在圖像顯示18中。
[0290]另外，隨著觀察目的發(fā)生了變更，在操作面板畫面204中把“當(dāng)前的觀察目的”顯示按鈕D51從之前(圖7)的“標(biāo)準(zhǔn)的觀察”變更為“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)的觀察”。
[0291]圖21是表示剛進(jìn)行了圖20的倍率的調(diào)整、視野搜索后的顯示內(nèi)容的圖。
[0292]圖21中，表示了作為圖20的倍率的調(diào)整、視野的搜索的結(jié)果，倍率(例如20000倍)進(jìn)行了擴(kuò)大后的狀態(tài)。
[0293]圖21的操作畫面200除了在圖像顯示畫面203顯示了倍率上升后的狀態(tài)下的圖像C171這一點以及在操作面板畫面204顯示了“手動調(diào)整”按鈕D171這一點以外，和圖20相同。
[0294]這里，如后所述，“手動調(diào)整”不是自動地而是手動調(diào)整亮度、對比度和聚焦等。
[0295]當(dāng)按下“手動調(diào)整”按鈕D171時，顯示手動亮度調(diào)整按鈕、手動對比度調(diào)整按鈕、聚焦按鈕(例如，圖27的符號C223)、聚焦X按鈕(例如，圖29的符號C251)、聚焦Y按鈕(例如，圖31的符號C271)等?！笆謩诱{(diào)整”按鈕D171、聚焦按鈕、聚焦X按鈕和聚焦Y按鈕是在成為預(yù)定的倍率以上時成為能夠顯示的按鈕，在預(yù)定的倍率以下成為不可顯示。另外，在按下“手動調(diào)整”按鈕D171時，如果是預(yù)定的倍率以上則顯示手動亮度調(diào)整按鈕、手動對比度調(diào)整按鈕、聚焦按鈕、聚焦X按鈕和聚焦Y按鈕的全部，如果未滿預(yù)定的倍率，所有這些按鈕不顯示。
[0296]這里，設(shè)為在預(yù)定的倍率以上的情況下顯示“手動調(diào)整”按鈕D171，但是如果是預(yù)定的倍率以上，則將視野的移動手段設(shè)為圖像位移，如果是預(yù)定的倍率以下，則可以將視野的移動手段設(shè)為平臺移動。
[0297]這樣，根據(jù)預(yù)定的條件，通過設(shè)為特定的操作項目，能夠防止不必要的操作，減少誤動作。
[0298]另外，也可以根據(jù)觀察目的限定倍率的調(diào)整范圍。這種情況下，就是說在當(dāng)前的觀察目的中沒有得到希望的倍率的情況下，用戶通過按下操作面板畫面204的觀察目的變更按鈕D172，可以變更觀察目的。
[0299]圖22是表示自動調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0300]圖22除了在圖像顯示畫面203顯示倍率進(jìn)行了擴(kuò)大后的圖像C171、觀察履歷C121、“手動調(diào)整”按鈕D171(圖21)等以外，基本上和圖8相同，因此省略說明。
[0301](S104)
[0302]圖23是表示自動調(diào)整結(jié)束，用戶再次進(jìn)行圖像保存(拍攝)時(S104)的操作畫面的圖。
[0303]圖23除了在圖像顯示畫面203顯示倍率進(jìn)行了擴(kuò)大后的圖像C171、觀察履歷C121、“手動調(diào)整”按鈕D171(圖21)等以外，基本上和圖9相同，因此省略說明。
[0304]以后，通過進(jìn)行與圖10?圖14的處理相同的處理，將當(dāng)前的觀察條件的圖像保存在存儲裝置21中。
[0305](S105、S106)
[0306]接著，圖24?圖34是表示用戶再次確認(rèn)當(dāng)前的圖像是否OK時(S105)以及用戶再調(diào)整、再變更(S106)觀察條件時的操作畫面的例子的圖。
[0307]圖24是表示圖像保存后的顯示內(nèi)容的圖。
[0308]在圖24中顯示了圖像顯示畫面203中的擴(kuò)大了倍率的圖像C171和新追加了在圖23保存的圖像后的觀察履歷C201。另外，在圖23顯示擴(kuò)大了倍率的圖像C171，但是之后在返回到原來的倍率的基礎(chǔ)上進(jìn)行圖像保存。
[0309]另外，不顯示圖15的應(yīng)用幫助畫面202的幫助按鈕B122a，取而代之顯示新的幫助按鈕 B122c(B122)。
[0310]除此之外的點基本與圖15相同，因此省略說明。
[0311]另外，在顯示幫助按鈕B122b、B122c時操作程序31所進(jìn)行的處理與在圖15中說明的處理相同，因此這里省略說明。
[0312]在該時刻，在用戶滿意圖像的情況下，用戶按下操作引導(dǎo)畫面201的結(jié)束按鈕A123,由此結(jié)束觀察。
[0313]作為通過幫助按鈕B122c所顯示的內(nèi)容，如上所述與視野搜索(掃描速度:快)時相比，缺乏圖像的凹凸感和立體感，與視野搜索(操作速度:快)時進(jìn)行比較，圖像會變形坐寸ο
[0314]另外，有時這些癥狀雖然在低倍率下不產(chǎn)生，但在高倍率下照射束(一次電子束2)密度上升等成為原因，從而產(chǎn)生這些癥狀。
[0315]在應(yīng)用幫助畫面202中不顯示幫助按鈕B122a(圖15)，而是取而代之顯示新的幫助按鈕B122c，其原因在于，操作程序31參照隨時存儲在存儲裝置21中的操作履歷，將一次進(jìn)行的處理項目(這里是幫助按鈕B122a)設(shè)為不顯示。
[0316]另外，操作程序31通過解析當(dāng)前的圖像C171來顯示新的幫助按鈕B122c。另外，該處理和圖15相同。
[0317]這里，用戶按下繼續(xù)按鈕A122，進(jìn)而用戶按下幫助按鈕B122B。
[0318]圖25是表示目的變更的顯示內(nèi)容的圖。
[0319]用戶觀察圖24的圖像C171，判定為總覺得圖像模糊，按下幫助按鈕B122b。于是，操作程序31為了改善在幫助按鈕B122b所記述的癥狀，在圖25所示的應(yīng)用幫助畫面202顯示畫面B211。在畫面B211顯示督促通過手動調(diào)整模式進(jìn)行聚焦調(diào)整的消息。另外，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A211也同樣顯示按下“手動調(diào)整”按鈕D211，手動進(jìn)行聚焦調(diào)整的消息。
[0320]為了顯示這樣的畫面A211、B211，操作程序31所進(jìn)行的處理和圖16所說明的處理相同，因此省略說明。
[0321]用戶按下在操作面板畫面204中強(qiáng)調(diào)顯示的“手動調(diào)整”按鈕D211時，操作程序31將圖26的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18。
[0322]另外，在圖25?圖33中，操作引導(dǎo)畫面201的主項目“圖像確認(rèn)”的子項目和圖8等不同，顯示手動調(diào)整用子項目。
[0323]圖26?圖28是在手動調(diào)整畫面表示聚焦調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0324]在圖26，在圖像顯示畫面203的圖像C221的附近(圖26的例子中圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)顯示手動調(diào)整按鈕群C222。這里，圖像C221顯示了圖24等附圖中的圖像C171的中心部分。在圖像C221，只顯示圖像C171的中心部分(一部分)是由于以下的理由。為了確保聚焦等調(diào)整所需要的畫質(zhì)和跟蹤性能，操作程序31縮小觀察部分以使圖像C171成為圖像C221，由此一邊以慢的掃描速度來提高畫質(zhì)，一邊縮短重復(fù)掃描時的時間(以下，圖27?圖33也同樣)。
[0325]另外，在圖26?圖33，縮小顯示圖像C221、C231，但不限于此，也可以進(jìn)行與窗口相符的顯示。
[0326]而且，在操作引導(dǎo)畫面201，顯示當(dāng)前的操作階段是“3.圖像確認(rèn)”的“聚焦調(diào)整”的信息，進(jìn)而，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A221顯示了督促按下聚焦按鈕C223的消息。
[0327]進(jìn)而，在應(yīng)用幫助畫面202的畫面B221顯示了表示顯示模式切換為“圖像調(diào)整”模式的消息。另外，即使在操作面板畫面204的畫面D41中也顯示當(dāng)前的顯示模式為“圖像調(diào)整”模式。在切換顯示模式時，操作程序31所進(jìn)行的處理在圖7進(jìn)行了說明，因此這里進(jìn)行省略。
[0328]按照畫面A221和畫面B221的指示，當(dāng)用戶將鼠標(biāo)的光標(biāo)放到聚焦按鈕C223時，如圖26所示那樣強(qiáng)調(diào)顯示聚焦按鈕C223，圖像C221 (圖26)變化為圖像C231 (圖27)。
[0329]進(jìn)而，當(dāng)用戶按下聚焦按鈕C223時，如圖27所示那樣反轉(zhuǎn)顯示聚焦按鈕C223，顯示用于進(jìn)行聚焦調(diào)整的聚焦滑塊C232。
[0330]用戶通過移動聚焦滑塊C232來判定是否需要像散調(diào)整。
[0331]而且，當(dāng)用戶移動聚焦滑塊C232時，計算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23輸入的聚焦滑塊C232的移動距離，使X方向像散修正器控制電路13以及Y方向像散修正控制電路14控制X方向像散修正器4以及Y方向像散修正器5。
[0332]圖像C231表示通過用戶移動聚焦滑塊C232，圖像C221(圖26)的聚焦偏離的狀態(tài)。
[0333]這里，在圖27的操作引導(dǎo)畫面201的畫面A231顯示聚焦調(diào)整的目標(biāo)。進(jìn)而，在畫面A231的參考圖像A232變形顯示移動了聚焦滑塊C232時預(yù)想的圖像的變化。
[0334]而且，當(dāng)用戶確認(rèn)通過移動聚焦滑塊C232圖像只在預(yù)定的方向擴(kuò)大(延伸)時，用戶按下畫面A231的“延伸”按鈕A233。另外，在即使移動聚焦滑塊C232圖像也不延伸時，用戶按下畫面A231的“不延伸”按鈕A234。當(dāng)按下“不延伸”按鈕A234時，操作程序31不進(jìn)行圖28?圖33的聚焦X調(diào)整、聚焦Y調(diào)整，而將圖34所示的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18。
[0335]另外，圖27的聚焦X調(diào)整是X方向的像散調(diào)整，聚焦Y調(diào)整是Y方向的像散調(diào)整。
[0336]而且，操作程序31將圖28的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。
[0337]另外，也可以在應(yīng)用幫助畫面202顯示畫面A231。另外，參考圖像A232可以是靜止圖像，也可以是動畫。
[0338]圖28的操作畫面200除了顯示操作引導(dǎo)畫面201中的畫面A241以外，和圖27的操作畫面200相同。
[0339]在畫面A241顯示督促通過用戶移動聚焦滑塊C232來進(jìn)行聚焦調(diào)整的消息。
[0340]用戶當(dāng)通過移動聚焦滑塊C232將聚焦滑塊C232調(diào)到?jīng)]有圖像C231的延伸的位置時，按下操作引導(dǎo)畫面201中的“向下一個”按鈕A242。
[0341]于是，操作程序31結(jié)束聚焦調(diào)整處理，將用于聚焦X調(diào)整的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。
[0342]圖29以及圖30是表示手動調(diào)整畫面的聚焦X調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0343]在聚焦X調(diào)整，首先如圖29所示那樣在用于操作引導(dǎo)畫面201的畫面A251顯示督促按下聚焦X按鈕C251的消息。
[0344]另外，在應(yīng)用幫助畫面202的畫面B251中顯示只通過聚焦X調(diào)整存在不會變?yōu)殇J利的情況的消息。通過這樣的顯示，用戶即使通過聚焦X調(diào)整無法得到銳利的圖像，也能夠不用著急地推進(jìn)工作。
[0345]按照畫面A251的消息，當(dāng)用戶將鼠標(biāo)的光標(biāo)放到圖像C221的附近(圖29的例子中圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)顯示的聚焦X按鈕C251時，如圖29那樣強(qiáng)調(diào)顯示聚焦X按鈕 C251。
[0346]而且，當(dāng)用戶按下強(qiáng)調(diào)顯示的聚焦X按鈕C251時，如圖30那樣反轉(zhuǎn)顯示聚焦X按鈕C251，顯示聚焦X滑塊C261。
[0347]另外，如圖30所示，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A261顯示督促移動聚焦X滑塊C261使圖像變得銳利的消息。
[0348]另外，在畫面A261顯示強(qiáng)調(diào)顯示了移動聚焦X滑塊C261時的效果的圖像A262。
[0349]用戶根據(jù)畫面A261的消息移動聚焦X滑塊C261。于是，計算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23所輸入的聚焦X滑塊C261的移動距離，使X方向像散修正器控制電路13控制X方向像散修正器4。
[0350]而且，當(dāng)認(rèn)為圖像大致變得銳利時，通過用戶按下“向下一個”按鈕A263，操作程序31結(jié)束聚焦X調(diào)整，進(jìn)入到下一個的聚焦Y調(diào)整。
[0351]圖31以及圖32是表示用于手動調(diào)整畫面的聚焦Y調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0352]在聚焦Y調(diào)整中，如圖31所示在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A271顯示督促按下聚焦Y按鈕C271的消息。
[0353]另外，在應(yīng)用幫助畫面202的畫面B271中顯示了在進(jìn)行聚焦Y調(diào)整時，當(dāng)大幅移動時，容易了解圖像的變化的消息。通過這樣的顯示，在聚焦Y調(diào)整中，能夠督促用戶嘗試大幅移動。
[0354]用戶根據(jù)畫面A271的消息，將鼠標(biāo)的光標(biāo)放到圖像C221的附近(圖31的例子中是圖像顯示區(qū)域C224的旁邊)所顯示的聚焦Y按鈕C271時，如圖31那樣強(qiáng)調(diào)顯示聚焦Y按鈕C271。
[0355]而且，當(dāng)用戶按下強(qiáng)調(diào)顯示的聚焦Y按鈕C271時，如圖32所示反轉(zhuǎn)顯示聚焦Y按鈕C271，顯示聚焦Y滑塊C281。
[0356]另外，如圖32所示，在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A281顯示督促移動聚焦Y滑塊C281使圖像銳利的消息。
[0357]另外，在畫面A281顯示強(qiáng)調(diào)顯示了移動聚焦Y滑塊C281時的效果的圖像A282。
[0358]用戶按照畫面A281的消息移動聚焦Y滑塊C281。于是，計算機(jī)19根據(jù)經(jīng)由輸入裝置23所輸入的聚焦Y滑塊C281的移動距離，使Y方向像散修正器控制電路14控制Y方向像散修正器5。
[0359]而且，當(dāng)認(rèn)為圖像大致變得銳利時，通過用戶按下“向下一個”按鈕A283，操作程序31結(jié)束聚焦Y調(diào)整，在畫像顯示裝置18顯示下一個的滑塊調(diào)整畫面的顯示內(nèi)容。
[0360]這樣，用戶能夠通過在圖像C221 (圖26等)、C231 (圖27等)的附近顯示的聚焦滑塊C232 (圖27)、聚焦X滑塊C261 (圖30)、聚焦Y滑塊C281 (圖32)等進(jìn)行聚焦調(diào)整。通過這樣，用戶可以一邊察看圖像C221、C231 —邊簡單地進(jìn)行調(diào)整。另外，在顯示了多個圖像C22UC231時，可以對多個圖像C221、C231中的每一個圖像顯示聚焦滑塊C232、聚焦X滑塊C261、聚焦Y滑塊C281等。通過這樣，用戶能夠容易地進(jìn)行每個圖像C221、C231的調(diào)整。
[0361]圖33是表示手動調(diào)整畫面中聚焦確認(rèn)的顯示內(nèi)容的圖。
[0362]圖33除了操作引導(dǎo)畫面201的畫面A291以外，具有和圖26相同的結(jié)構(gòu)(但是，顯示模式成為“視野搜索模式”)。
[0363]在操作引導(dǎo)畫面201的畫面A291顯示督促通過和圖27相同的步驟確認(rèn)是否能夠進(jìn)行聚焦調(diào)整(并且是否需要聚焦調(diào)整)的消息。
[0364]用戶通過和圖26?圖28相同的步驟進(jìn)行聚焦調(diào)整，確認(rèn)需要/不需要聚焦再調(diào)難
iF.0
[0365]結(jié)果，在由用戶判定為需要聚焦再調(diào)整時，用戶通過按下“進(jìn)行調(diào)整”按鈕A292，再次進(jìn)行圖29?圖32的處理，進(jìn)行聚焦調(diào)整。
[0366]另外，在由用戶判定不需要聚焦再調(diào)整時，通過用戶按下“向下一個”按鈕A293，操作程序31結(jié)束手動調(diào)整的處理，使圖34的自動調(diào)整的顯示內(nèi)容顯示在圖像顯示裝置18中。具體地說，操作程序31使圖34的亮度的自動調(diào)整畫面顯示在圖像顯示裝置18中。
[0367]另外，在存儲裝置21預(yù)先設(shè)定了與手動調(diào)整的步驟對應(yīng)的操作畫面200，操作程序31通過在圖像顯示裝置18顯示與當(dāng)前的步驟對應(yīng)的操作畫面200，顯示圖26?圖33的各個操作畫面200。
[0368]圖34是表示自動調(diào)整的顯示內(nèi)容的圖。
[0369]圖34是用于用戶自動調(diào)整圖像的亮度的操作畫面200，除了顯示登錄了 2個圖像的觀察履歷C201以外，和圖22 —樣，因此省略說明。
[0370]這里，用戶對于在圖26?圖33通過手動調(diào)整進(jìn)行了聚焦調(diào)整后的圖像進(jìn)行自動調(diào)整。
[0371]另外，在圖34的操作畫面200之前顯示與圖20、圖21相同的操作畫面200，用戶也可以進(jìn)行視野搜索、倍率的調(diào)整。
[0372](S104)
[0373]圖35是表示自動調(diào)整結(jié)束，用戶進(jìn)行圖像保存(拍攝)時(S104)的操作畫面的圖。
[0374]圖35除了顯示登錄了 2個圖像的觀察履歷C201以外，和圖23相同，因此省略說明。
[0375]以后，通過進(jìn)行和圖10?圖14的處理同樣的處理，將通過自動調(diào)整進(jìn)行了聚焦調(diào)整后的圖像保存在存儲裝置21中。
[0376](S105、S106)
[0377]圖36是表示用戶再確認(rèn)當(dāng)前的圖像是否OK(S105)以及用戶進(jìn)行觀察條件的再調(diào)整、再變更(S106)時的操作畫面的例子的圖。
[0378]在圖36中顯示了新增加了在圖35中保存的圖像的觀察履歷C321。另外，在圖35顯示擴(kuò)大了倍率的圖像，但是之后，在返回原來倍率的基礎(chǔ)上進(jìn)行圖像保存。
[0379]另外，操作程序31通過參照處理履歷，不顯示圖24的應(yīng)用幫助畫面202的幫助按鈕B122b，取而代之顯示新的幫助按鈕B122d(B122)。
[0380]除此以外，與圖24相同，因此省略說明。
[0381]另外，在顯示幫助按鈕B122c、B122d時操作程序31進(jìn)行的處理與圖15中說明的處理相同，因此這里省略說明。
[0382]作為通過幫助按鈕B122c、B122b顯示的內(nèi)容，如上所述具有與視野搜索(掃描速度:快)時進(jìn)行比較，缺乏圖像的凹凸感和立體感，與視野搜索(操作速度:快)時進(jìn)行比較，圖像發(fā)生了變形。
[0383]另外，有時這些癥狀雖然在低倍率下不產(chǎn)生，但在高倍率下照射束(一次電子束2)密度上升等成為原因，從而產(chǎn)生癥狀。
[0384]在該時刻，當(dāng)用戶滿意圖像時，用戶通過按下操作引導(dǎo)畫面201的結(jié)束按鈕A123來結(jié)束觀察。
[0385]當(dāng)用戶不滿意圖像時，按下操作引導(dǎo)畫面201的繼續(xù)按鈕A122。
[0386]以下，通過直到按下結(jié)束按鈕A123為止重復(fù)上述處理，用戶能夠一邊學(xué)習(xí)步驟，一邊得到優(yōu)質(zhì)的圖像
[0387](S106)
[0388]圖37是本實施方式的應(yīng)用幫助畫面的變形例。圖37是步驟S106(調(diào)整變更)的畫面。
[0389]在圖37，在圖15的操作畫面200的前面顯示解決方法畫面305。當(dāng)用戶按下幫助按鈕B122時，操作程序31顯示與按下的幫助按鈕B122對應(yīng)的解決方法畫面305。就是說，在存儲裝置21中保存了與各個幫助按鈕B122對應(yīng)的解決方法畫面305，當(dāng)按下幫助按鈕B122時，操作程序31從存儲裝置21取得與按下的幫助按鈕B122對應(yīng)的解決方法畫面305。而且，操作程序31將所取得的解決方法畫面305顯示在圖像顯示裝置18。
[0390]解決方法畫面305按照操作的難易度以列表形式顯示針對在幫助按鈕B122中記載的癥狀的解決手段。這里，具體地說，解決手段為變更為適當(dāng)?shù)挠^察目的。這樣的列表能夠通過在存儲裝置21中預(yù)先賦予各手段的難易度來實現(xiàn)。
[0391]當(dāng)按下解決方法畫面305的詳細(xì)按鈕E331時，顯示關(guān)于對應(yīng)的解決手段的原理等。而且，當(dāng)按下執(zhí)行按鈕E332時，顯示將觀察目的變更為相應(yīng)的觀察目的的操作畫面200。
[0392]另外，位于不可執(zhí)行區(qū)域E333中的解決手段表示用戶無法執(zhí)行相應(yīng)的解決手段。這是因為用戶是初學(xué)者，所以將無法執(zhí)行這些解決手段的情況通知給用戶。另外，如上所述本實施方式的操作畫面200是以用戶為初學(xué)者作為前提的。通過這樣，如果不是高級者，能夠使用戶注意到存在無法執(zhí)行的解決手段。
[0393]另外，如解決方法畫面305那樣通過以列表形式顯示觀察目的，用戶能夠容易地確認(rèn)目前為止自己已進(jìn)行的操作和沒有進(jìn)行的操作。
[0394]另外，當(dāng)以高倍率(例如,20000倍以上)顯示圖像顯示畫面203中顯示的圖像時，可以將圖26的手動調(diào)整按鈕群C222(或者其中的至少一個)設(shè)為不顯示。
[0395]并且，可以僅在當(dāng)前的倍率是預(yù)定的倍率以上時，顯示手動調(diào)整按鈕群C222。這樣，根據(jù)預(yù)定的條件，通過進(jìn)行操作項目(按鈕)的顯示/不顯示，或設(shè)為特定的操作項目，能夠防止不必要的操作，減少誤動作。
[0396]一邊嘗試無限的參數(shù)設(shè)定的組合一邊拍攝適當(dāng)?shù)膱D像需要花費時間，是不可能的。特別對初學(xué)者來說是非常困難的。另外，由于費時，放棄拍攝良好的圖像。并且，連成為合適的圖像都不清楚。當(dāng)初學(xué)者操作電子顯微鏡101時，會發(fā)生這樣的惡性循環(huán)。
[0397]根據(jù)本實施方式，首先通過缺省的觀察條件取得圖像，對于該圖像能夠誘導(dǎo)修正的方向性，因此即使用戶是初學(xué)者也可以高效地得到目的圖像，并且能夠期待用戶的學(xué)習(xí)效果。
[0398]另外，通過使用“適合高倍率”、“強(qiáng)調(diào)表面結(jié)構(gòu)”和“強(qiáng)調(diào)材料的不同”等多個相反的軸視覺地表示觀察條件的特征的觀察條件特征顯示(雷達(dá)圖)，即使是初學(xué)者也能夠選擇最佳的觀察目的。
[0399]另外，如圖17的強(qiáng)調(diào)圖像E142那樣，通過將變更為相應(yīng)的觀察目的時得到的結(jié)果表示為示意性的強(qiáng)調(diào)圖像，即使用戶是初學(xué)者也可以容易地作為圖像掌握通過觀察目的的變更能夠得到怎樣的結(jié)果。
[0400]另外，根據(jù)本實施方式，操作程序31首先根據(jù)缺省的觀察條件取得圖像。而且，操作程序31對于該圖像在應(yīng)用幫助畫面202顯示對用戶的建議。并且，操作程序31進(jìn)行觀察條件的變更，將反映了觀察條件的變更的圖像進(jìn)行保存。而且，操作程序31對于作為反映了觀察條件的變更的結(jié)果所得到的圖像，再次在應(yīng)用幫助畫面202顯示對用戶的建議，進(jìn)行觀察條件的變更，保存反映了觀察條件的變更的圖像。通過重復(fù)這些，作為初學(xué)者的用戶能夠體會到用于取得作為目的的圖像的觀察條件的設(shè)定、通過所設(shè)定的觀察條件拍攝到的圖像的特征，謀求提高用戶的技能。
[0401]另外，在本實施方式中，以掃描型電子顯微鏡(特別是通用操作型電子顯微鏡)的使用作為前提，但是不限于此，也可以適用于透射型電子顯微鏡、離子顯微鏡等荷電粒子束
>J-U ρ?α裝直。
[0402]另外，在本實施方式，通過缺省的觀察條件取得第I張圖像，但是可以在使用戶進(jìn)行了設(shè)定后，操作程序31取得第I張圖像，之后按照應(yīng)用幫助畫面202等的消息使用戶進(jìn)行觀察條件的調(diào)整。通過這樣，用戶能夠?qū)⒆约嚎紤]的觀察條件和用于得到希望的圖像的觀察條件進(jìn)行比較。
[0403]另外，根據(jù)用戶的熟練程度能夠使操作引導(dǎo)畫面201不顯示。此時，在操作面板畫面204顯示使用的所有的按鈕。
[0404]另外，可以在存儲裝置21存儲用語詞典，當(dāng)用戶按下特定的標(biāo)記、詞典標(biāo)記、在操作畫面200中顯示的語句時，操作程序31參照用語詞典，將相應(yīng)的語句的說明顯示在圖像顯示18。
[0405]另外，本實施方式中，在圖17的觀察目的設(shè)定按鈕Ε141顯示了示意性的強(qiáng)調(diào)圖像Ε142，但是也可以將圖15的幫助按鈕Β122的圖像Β123設(shè)為同樣的示意性的強(qiáng)調(diào)圖像。
[0406]并且，在本實施方式，成為假設(shè)了從最初開始由初學(xué)者進(jìn)行操作的結(jié)構(gòu)，但是，例如可以在圖2的步驟SlOl的啟動后在圖像顯示裝置18中顯示選擇是初學(xué)者、還是中級者還是高級者的畫面。而且，當(dāng)選擇了初學(xué)者時，計算機(jī)19可以執(zhí)行本實施方式的處理。
[0407]另外，本發(fā)明不限定于上述實施方式，包括各種的變形例。例如，上述的實施方式是為了易于理解地說明本發(fā)明而詳細(xì)說明的方式，不限于必須具有說明的所有的結(jié)構(gòu)的方式。另外，關(guān)于實施方式的結(jié)構(gòu)的一部分，可以進(jìn)行其他結(jié)構(gòu)的追加/刪除/置換。
[0408]另外，上述的各個結(jié)構(gòu)、功能、各個電路11?17、圖像顯示裝置18、存儲裝置21、操作程序31等的一部分或全部可以通過例如在集成電路中進(jìn)行設(shè)計等以硬件來實現(xiàn)。另夕卜，如圖1所示，通過由CPU等的處理器解釋和執(zhí)行用于實現(xiàn)各個功能的程序，可以通過軟件來實現(xiàn)上述各個結(jié)構(gòu)、功能等。實現(xiàn)各個功能的程序、表格、文件等的信息除了如圖1所示存儲在存儲裝置21中以外，也可以存儲在存儲器、SSD (Solid State Drive固態(tài)驅(qū)動器)等記錄裝置、或者IC(Integrated Circuit集成電路)卡、SD(Secure Digital安全數(shù)字)卡、DVD (Digital Versatile Disc數(shù)字通用光盤)等記錄介質(zhì)中。
[0409]另外，在各個實施方式中，控制線和信息線表示考慮到說明上的需要，產(chǎn)品上未必限于表示所有的控制線和信息線。實際上可以考慮相互連接幾乎所有的結(jié)構(gòu)。
[0410]符號的說明
[0411]1:電子槍、2:—次電子束、3:聚焦透鏡、4:X方向像散修正器、5:Y方向像散修正器、6:上段偏轉(zhuǎn)器、7:下段偏轉(zhuǎn)器、8:物鏡、9:試樣、10:檢測器、11:高電壓控制電路、12:聚焦透鏡控制電路、13:Χ方向像散修正器控制電路、14:Υ方向像散修正器控制電路、15:偏轉(zhuǎn)器控制電路、16:物鏡控制電路、17:檢測信號控制電路、18:圖像顯示裝置、19:計算機(jī)(處理部)、21:存儲裝置(存儲部)、22:存儲器、23:輸入裝置、31:操作程序、41:觀察條件設(shè)定表、100:電子顯微鏡柱體(荷電粒子束裝置)、101:電子顯微鏡(荷電粒子束裝置、荷電粒子束裝置系統(tǒng))、200:操作畫面、201:操作引導(dǎo)畫面、202:應(yīng)用幫助畫面、203:圖像顯示畫面(圖像顯示部)、204:操作面板畫面、304:觀察目的設(shè)定畫面、B122，B122a?B122d:幫助按鈕、B123:強(qiáng)調(diào)圖像、E141，E141a:觀察目的設(shè)定按鈕、E143，E143a?E143d:強(qiáng)調(diào)畫面、E144:雷達(dá)圖(觀察條件特征顯示)
【權(quán)利要求】
1.一種荷電粒子束裝置，其特征在于， 具備處理部，其在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕， 上述處理部使上述畫面顯示部顯示通過相反的3個以上的項目顯示與多個上述觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件的特征的觀察條件特征顯示。
2.一種荷電粒子束裝置，其特征在于， 具備處理部，其在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示多個用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕， 上述處理部使上述畫面顯示部顯示觀察條件特征顯示，來作為與多個上述觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件的特征， 上述觀察條件特征顯示至少將高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)作為項目進(jìn)行顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述觀察條件特征顯示中的上述項目包含高分辨率、表面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)調(diào)以及材料的不同的強(qiáng)調(diào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中的任意一項所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述觀察條件特征顯示中的上述項目包含充電抑制以及/或者荷電粒子束破壞抑制的項目。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 作為多個觀察目的設(shè)定按鈕，具有: 第I按鈕，變更為最能夠進(jìn)行高分辨率觀察的觀察條件； 第2按鈕，變更為最能夠進(jìn)行強(qiáng)調(diào)了表面結(jié)構(gòu)的觀察的觀察條件； 第3按鈕，變更為最能夠進(jìn)行強(qiáng)調(diào)了材料的不同的觀察的觀察條件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 作為多個觀察目的設(shè)定按鈕，還具有: 第4按鈕，變更為強(qiáng)調(diào)了表面結(jié)構(gòu)并且強(qiáng)調(diào)了材料的不同的觀察條件； 第5按鈕，變更為最適合元素分析的觀察條件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述觀察條件特征顯示是雷達(dá)圖。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部使上述畫面顯示部顯示將通過與上述觀察目的設(shè)定按鈕相關(guān)的觀察條件得到的圖像的特征進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述強(qiáng)調(diào)圖像是示意地顯示形狀以及/或材質(zhì)不同的3個以上的材料的圖像。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部在以標(biāo)準(zhǔn)的觀察條件對新的試樣取得了圖像后，通過上述觀察目的設(shè)定按鈕變更觀察條件。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述標(biāo)準(zhǔn)的觀察條件是最能夠進(jìn)行高分辨率觀察的觀察條件。
12.—種試樣觀察系統(tǒng)，其具有荷電粒子束裝置和控制上述荷電粒子束裝置的計算機(jī)，其特征在于， 上述計算機(jī)具有處理部，其使圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更上述荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕， 上述處理部在上述觀察目的設(shè)定按鈕或者在上述觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更上述觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
13.一種用于操作荷電粒子束裝置的操作程序，其特征在于， 上述操作程序在計算機(jī)中，在使圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更上述荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕時，在上述觀察目的設(shè)定按鈕或者在上述觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更上述觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
14.一種荷電粒子束裝置，其特征在于， 具備處理部，其在圖像顯示裝置的圖像顯示部顯示用于變更荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值的組合即試樣的觀察條件的觀察目的設(shè)定按鈕， 上述處理部在上述觀察目的設(shè)定按鈕或者在上述觀察目的設(shè)定按鈕的附近顯示對通過變更上述觀察條件導(dǎo)致的圖像的變化進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)的強(qiáng)調(diào)圖像。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 將上述觀察目的設(shè)定按鈕和上述觀察條件對應(yīng)地存儲在存儲部中， 當(dāng)經(jīng)由輸入部選擇了上述觀察目的設(shè)定按鈕時，上述處理部通過與上述選擇的觀察目的設(shè)定按鈕對應(yīng)的觀察條件來設(shè)定上述荷電粒子束裝置的參數(shù)設(shè)定值。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部通過預(yù)先設(shè)定完的觀察條件來取得上述試樣的圖像，根據(jù)上述取得的圖像的圖像質(zhì)量以及當(dāng)前的觀察條件，在上述圖像顯示部顯示上述觀察目的設(shè)定按鈕， 直到經(jīng)由輸入部輸入處理結(jié)束指示為止，重復(fù)進(jìn)行以下的處理: 當(dāng)經(jīng)由上述輸入部進(jìn)行了上述觀察條件的變更時，通過該變更后的觀察條件再次取得上述圖像，根據(jù)上述再次取得的圖像的圖像質(zhì)量以及上述當(dāng)前的觀察條件，在上述圖像顯示部顯示上述觀察目的設(shè)定按鈕。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部在取得上述試樣的初始的圖像之前，顯示對上述試樣有無涂覆的確認(rèn)或者對上述試樣的預(yù)處理相關(guān)的信息。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部顯示學(xué)習(xí)畫面，該學(xué)習(xí)畫面在處理待機(jī)時間中顯示電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)、電子顯微鏡的操作步驟以及上述操作畫面中的操作項目的說明中的至少一個。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部將顯示上述荷電粒子束裝置的操作項目的操作畫面顯示在上述圖像顯示部中， 將上述操作畫面中顯示的預(yù)定的操作項目設(shè)為不顯示或無效。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述預(yù)定的操作項目是聚焦調(diào)整、X聚焦調(diào)整以及Y聚焦調(diào)整中的至少一個。
21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部對應(yīng)于上述觀察條件來限制上述荷電粒子束裝置的功能。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部 在倍率為預(yù)定值以上的情況下，將圖像位移設(shè)為能使用，將平臺移動設(shè)為不能使用，在上述倍率不滿預(yù)定值的情況下，將上述平臺移動設(shè)為能使用，將上述圖像位移設(shè)為不能使用， 由此基于上述觀察條件限制上述荷電粒子束裝置的功能。
23.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部基于操作履歷，將預(yù)定的觀察目的設(shè)定按鈕設(shè)為不顯示。
24.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部 將顯示上述荷電粒子束裝置的操作項目的操作畫面顯示在上述圖像顯示部中， 在上述操作畫面中顯示表示當(dāng)前的操作階段的信息， 上述表示當(dāng)前的操作階段的信息由表示主操作階段的主項目以及表示子操作階段的子項目構(gòu)成。
25.根據(jù)權(quán)利要求14所述的荷電粒子束裝置，其特征在于， 上述處理部 將顯示上述荷電粒子束裝置的操作項目的操作畫面顯示在上述圖像顯示部中， 在上述操作畫面中顯示上述取得的圖像， 在上述圖像顯示部中顯示的圖像的附近顯示倍率調(diào)整滑塊、聚焦調(diào)整滑塊、聚焦X調(diào)整滑塊以及聚焦Y滑塊中的至少一個。
【文檔編號】H01J37/22GK104137219SQ201380011581
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2013年3月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月16日
【發(fā)明者】小西彌生, 佐藤貢, 高野昌樹, 玉山尚太朗, 西村雅子, 渡邊俊哉, 許斐麻美 申請人:株式會社日立高新技術(shù)