遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，包括燈室底板，以及從內(nèi)到外依次套設(shè)在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設(shè)有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設(shè)有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結(jié)構(gòu)，用于遮擋垂直方向的雜光，外罩的頂部中心設(shè)有一通孔，通孔的下方設(shè)有一風(fēng)機(jī)，外罩頂部外表面上設(shè)有一與風(fēng)機(jī)相連的風(fēng)機(jī)控制器；外罩頂部進(jìn)一步設(shè)有一導(dǎo)線孔，密閉式遮光罩的底部也設(shè)有一導(dǎo)線孔，連接氙燈的導(dǎo)線通過反光罩頂部的電極端子引出，然后依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導(dǎo)線孔，最后從外罩頂部的導(dǎo)線孔穿出。
【專利說明】遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氙燈燈室結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]燈室技術(shù)是一項(xiàng)專用電子設(shè)備中的專有技術(shù)，主要是解決電光源如氙燈，汞燈的反射照明和遮光散熱問題，一般應(yīng)用在光電檢測(cè)，微電子光刻曝光等領(lǐng)域。電光源的光線是向四周發(fā)散射出的，光源反射罩的目的是將光能盡可能大地匯聚起來，沿著設(shè)備指定的方向射出。由于光線在反射罩中反射造成反射罩的溫升，使得光源周圍的溫度變化，而溫度的變化又會(huì)造成光源光譜和光強(qiáng)的變化，最終造成曝光設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備的不穩(wěn)定。解決問題的方法一般是進(jìn)行自然冷卻或強(qiáng)制冷卻，自然冷卻在反光罩的外圍不專門設(shè)計(jì)散熱裝置或最多加裝散熱片進(jìn)行自然散熱，這樣的結(jié)構(gòu)一般只適用于小功率電光源的燈室。強(qiáng)制冷卻燈室是在自然冷卻的基礎(chǔ)上加上風(fēng)冷風(fēng)扇進(jìn)行強(qiáng)制吹風(fēng)，或在反光罩的上方開孔進(jìn)行強(qiáng)制抽風(fēng)，或者在燈室的外圍繞制冷水管道進(jìn)行水冷，這些方式的燈室適合中大功率的光源燈室。
[0003]目前，常用的燈室結(jié)構(gòu)主要有開放式排風(fēng)散熱氙燈燈室，封閉式自然散熱氙燈燈室，封閉式強(qiáng)排風(fēng)散熱氙燈燈室等。主要存在如下缺陷:
[0004]開放式排風(fēng)散熱氙燈燈室，其主要的缺點(diǎn)是漏光，一則造成對(duì)外界的光污染，影響工人的身體健康，二則外界的雜光會(huì)沿開放的光通道，直接進(jìn)入設(shè)備，造成光電測(cè)試不準(zhǔn)確；
[0005]封閉式自然散熱氙燈燈室，其主要缺點(diǎn)是燈的功率不能太大，一般200W以下，否則造成燈室溫度太高，造成氙燈發(fā)光譜線變化，有效譜線的光功率下降等問題，不適用于大功率應(yīng)用場(chǎng)合；
[0006]封閉式強(qiáng)排風(fēng)散熱氙燈燈室，是一種較為理想的結(jié)構(gòu)，風(fēng)道的結(jié)構(gòu)決定了該燈室的溫度控制的效率和精度，但直排式的結(jié)構(gòu)，無法徹底擋住雜光，另外風(fēng)速不易控制，造成燈室溫度控制誤差較大。
[0007]有鑒于此，本發(fā)明人對(duì)此進(jìn)行研究，專門開發(fā)出一種遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，本案由此產(chǎn)生。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型的目的是提供一種光電檢測(cè)精度、準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)的遮光式恒溫氙燈
燈室結(jié)構(gòu)。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0010]遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，包括燈室底板，以及從內(nèi)到外依次套設(shè)在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設(shè)有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設(shè)有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結(jié)構(gòu)，用于遮擋垂直方向的雜光，外罩的頂部中心設(shè)有一通孔，通孔的下方設(shè)有一風(fēng)機(jī)，外罩頂部外表面上設(shè)有一與風(fēng)機(jī)相連的風(fēng)機(jī)控制器；外罩頂部進(jìn)一步設(shè)有一導(dǎo)線孔，密閉式遮光罩的底部也設(shè)有一導(dǎo)線孔，連接氙燈的導(dǎo)線通過反光罩頂部的電極端子引出，然后依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導(dǎo)線孔，最后從外罩頂部的導(dǎo)線孔穿出。
[0011]所述開放式遮光罩為一圓環(huán)或方形環(huán)，安裝在反光罩和密閉式遮光罩之間，其高度低于密閉式遮光罩的高度，即兩個(gè)遮光罩在垂直方向上留有間隙，方便熱氣流動(dòng)。開放式遮光罩主要用于遮擋來之外部水平方向的光線接近燈室。
[0012]所述密閉式遮光罩橫截面為圓形或方形。
[0013]上述反光罩的頂部?jī)?nèi)側(cè)進(jìn)一步設(shè)有一溫度傳感器，溫度傳感器與風(fēng)機(jī)控制器相連，通過風(fēng)機(jī)控制器與風(fēng)機(jī)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。溫度傳感器的信號(hào)線與氙燈的導(dǎo)線引出路徑一致。
[0014]上述反光罩的的頂部進(jìn)一步設(shè)有若干個(gè)散熱孔，用于散熱。
[0015]所述外罩橫截面為方形或圓形，為節(jié)省空間，其頂部的面積一般小于底部。
[0016]上述遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，氙燈的熱量通過燈反光罩上方的通氣孔向上散發(fā)，在外罩風(fēng)機(jī)的作用下，熱空氣由反光罩向上，穿過開放式遮光罩頂端，再下降到密閉式遮光罩底部，穿過導(dǎo)線孔后，再向上流動(dòng)到外罩頂部的風(fēng)機(jī)通孔，抽至外界，整個(gè)風(fēng)道呈現(xiàn)一個(gè)臥S狀曲折結(jié)構(gòu)，一方面使外界雜光多次被遮擋，幾乎無法進(jìn)入燈室；另一方面由于阻滯了熱空氣自下而上的自然對(duì)流，形成了由下到上，再到下，再到上，直到外部的空氣強(qiáng)制排風(fēng)風(fēng)道，避免了空氣的自然對(duì)流，所以外部冷熱空氣對(duì)燈室內(nèi)部溫度影響小，便于提到燈室溫控精度。
[0017]此外，所述外罩遮擋住了水平雜光，通過外罩通孔進(jìn)入的垂直雜光被密閉式遮光罩遮擋，開放式遮光罩又進(jìn)行一次水平雜光的二次遮擋，氙燈的反光罩再進(jìn)行一次水平及垂直雜光的遮擋，這樣多次曲折遮擋，使外界雜光無法進(jìn)入測(cè)試設(shè)備的測(cè)試空間中。提高了光電檢測(cè)精度，而且燈室恒溫精度高，能保證測(cè)量光源的譜線不偏移，提高光電測(cè)量的準(zhǔn)確度。
[0018]以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)施例的遮光式恒溫氙燈燈室內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖；
[0020]圖2為本實(shí)施例的遮光式恒溫氙燈燈室內(nèi)部結(jié)構(gòu)立體圖。
[0021]標(biāo)號(hào)說明:
[0022]底板I;圓形通孔11;
[0023]反光罩2 ;燈座21 ;電極端子22 ;散熱孔23 ；
[0024]開放式遮光罩3 ；
[0025]密閉式遮光罩4 ;導(dǎo)線孔41 ；
[0026]夕卜罩5;通孔51 ;風(fēng)機(jī)52 ;導(dǎo)線孔53 ；
[0027]氙燈6 ;風(fēng)機(jī)控制器7 ;導(dǎo)線8 ;溫度傳感器9。
【具體實(shí)施方式】[0028]如圖1-2所示，遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，包括燈室底板1，以及從內(nèi)到外依次套設(shè)在底板I上的反光罩2、開放式遮光罩3、密閉式遮光罩4和外罩5,所述底板I中間設(shè)有一圓形通孔11，反光罩2的底邊與上述圓形通孔11的邊沿相連，所述反光罩2頂部中心設(shè)有燈座21，燈座21上安裝有氙燈6，所述密閉式遮光罩4頂部為密封結(jié)構(gòu)，用于遮擋垂直方向的雜光，外罩5的頂部中心設(shè)有一通孔51，通孔51的下方設(shè)有一風(fēng)機(jī)52，外罩5頂部外表面上設(shè)有一與風(fēng)機(jī)相連的風(fēng)機(jī)控制器7 ;外罩5頂部進(jìn)一步設(shè)有一導(dǎo)線孔53,密閉式遮光罩4的底部也設(shè)有一導(dǎo)線孔41，連接氙燈6的導(dǎo)線8通過反光罩2頂部的電極端子22引出，然后依次通過開放式遮光罩3頂部、密閉式遮光罩4底部的導(dǎo)線孔41，最后從外罩5頂部的導(dǎo)線孔53穿出；上述反光罩2的的頂部進(jìn)一步設(shè)有若干個(gè)散熱孔23，氙燈6的熱量通過反光罩2上方的通氣23孔向上散發(fā)，在外罩風(fēng)機(jī)52的作用下，熱空氣由反光罩2向上，穿過開放式遮光罩3頂端，再下降到密閉式遮光罩4底部，穿過導(dǎo)線孔41后，再向上流動(dòng)到外罩5頂部的風(fēng)機(jī)通孔51，抽至外界，整個(gè)風(fēng)道呈現(xiàn)一個(gè)臥S狀曲折結(jié)構(gòu)。
[0029]所述密閉式遮光罩4和外罩5可以采用多種形狀，其橫截面可以為圓形、方形或其他，在本實(shí)施例中，所述密閉式遮光罩4為圓形桶狀，外罩5的橫截面為方形，為節(jié)省空間，其頂部的面積小于底部。所述外罩4主要用于遮擋外界的水平光和垂直光，密閉式遮光罩4主要用于遮擋通過外罩通孔51進(jìn)入的垂直雜光。
[0030]在本實(shí)施例中，上述開放式遮光罩3為一圓環(huán),安裝在反光罩2和密閉式遮光罩4之間，其高度低于密閉式遮光罩4的高度，即兩個(gè)遮光罩在垂直方向上留有間隙，方便熱氣流動(dòng)。開放式遮光罩3主要用于遮擋來之外部水平方向的光線接近燈室，其形狀也可以為方形，或長(zhǎng)方形等，具體根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。開放式遮光罩3主要是對(duì)水平雜光進(jìn)行二次遮擋，反光罩2主要用于水平及垂直雜光的進(jìn)一步遮擋，這樣多次曲折遮擋，可以使外界雜光無法進(jìn)入測(cè)試設(shè)備的測(cè)試空間中。
[0031 ] 上述反光罩2的頂部?jī)?nèi)側(cè)進(jìn)一步設(shè)有一溫度傳感器9，溫度傳感器9與風(fēng)機(jī)控制器7相連，通過風(fēng)機(jī)控制器7與風(fēng)機(jī)52實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。溫度傳感器9的信號(hào)線與氙燈6的導(dǎo)線8引出路徑一致。
[0032]上述實(shí)施例和圖式并非限定本實(shí)用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員對(duì)其所做的適當(dāng)變化或修飾，皆應(yīng)視為不脫離本實(shí)用新型的專利范疇。
【權(quán)利要求】
1.遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括燈室底板，以及從內(nèi)到外依次套設(shè)在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設(shè)有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設(shè)有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結(jié)構(gòu)，外罩的頂部中心設(shè)有一通孔，通孔的下方設(shè)有一風(fēng)機(jī)，外罩頂部外表面上設(shè)有一與風(fēng)機(jī)相連的風(fēng)機(jī)控制器；外罩頂部進(jìn)一步設(shè)有一導(dǎo)線孔，密閉式遮光罩的底部也設(shè)有一導(dǎo)線孔，連接氙燈的導(dǎo)線通過反光罩頂部的電極端子引出，依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導(dǎo)線孔，最后從外罩頂部的導(dǎo)線孔穿出。
2.如權(quán)利要求1所述的遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述開放式遮光罩為一圓環(huán)或方形環(huán)，安裝在反光罩和密閉式遮光罩之間，其高度低于密閉式遮光罩的高度。
3.如權(quán)利要求1所述的遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述密閉式遮光罩橫截面為圓形或方形。
4.如權(quán)利要求1所述的遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:上述反光罩的頂部?jī)?nèi)側(cè)進(jìn)一步設(shè)有一溫度傳感器，溫度傳感器與風(fēng)機(jī)控制器相連，通過風(fēng)機(jī)控制器與風(fēng)機(jī)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，溫度傳感器的信號(hào)線與氙燈的導(dǎo)線引出路徑一致。
5.如權(quán)利要求1所述的遮光式恒溫氙燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:上述反光罩的的頂部進(jìn)一步設(shè)有若干個(gè)散熱孔。
6.如權(quán)利要求1所述的遮光式恒溫氣燈燈室結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述外罩橫截面為方形或圓形。
【文檔編號(hào)】F21V13/12GK203560870SQ201320648814
【公開日】2014年4月23日 申請(qǐng)日期:2013年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月21日
【發(fā)明者】何紀(jì)法 申請(qǐng)人:紹興宏邦電子科技有限公司