專利名稱：用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及鍍膜裝置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。
背景技術(shù)：
日前，硅基薄膜太陽(yáng)能電池，采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)獲取單結(jié)或多結(jié)的光電轉(zhuǎn)換P-1-N膜層，在薄膜太陽(yáng)能電池制造行業(yè)通用這種射頻電容耦合平行電極板反應(yīng)室。行業(yè)內(nèi)通常把具有支撐框架的電極稱為“夾具”，并把裝在反應(yīng)室內(nèi)或腔內(nèi)進(jìn)行等離了體化學(xué)氣相沉積的裝置稱為“沉積盒”。該夾具被廣泛應(yīng)用于非晶硅、非晶硅鍺、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄膜的沉積。硅基薄膜太陽(yáng)能電池是太陽(yáng)能行業(yè)的一個(gè)重要分支，夾具成為了該行業(yè)的核心設(shè)備之一。如何高速沉積成為晶化硅基薄膜技術(shù)成為能夠成功服務(wù)于產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵。但是，目前的薄膜夾具需要將待鍍膜的導(dǎo)電玻璃一個(gè)個(gè)夾起來(lái)，浪費(fèi)了大量的操作時(shí)間，并且各個(gè)導(dǎo)電玻璃最后的鍍膜效果也不均勻，大大影響了生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明的目的為了提供一種鍍膜均勻，不用夾持，安裝方便，取導(dǎo)電玻璃方便的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。為了達(dá)到如上目的，本發(fā)明采取如下技術(shù)方案包含一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板之間距離相同。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述一個(gè)以上的相鄰分布的招板的下方有電極固定條，所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板正負(fù)極交替分布。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，還包含將一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板包圍起來(lái)的上板、兩側(cè)的夾具側(cè)板、后板。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述夾具下方有輪子部分。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述固定滾輪為陶瓷結(jié)構(gòu)。本發(fā)明進(jìn)一步技術(shù)方案在于，所述同一組高度相同的固定滾輪與各自所依附的鋁板的間距一致。采用如上技術(shù)方案的本發(fā)明，具有如下有益效果待鍍膜的單面導(dǎo)電玻璃通過(guò)固定滾輪滾進(jìn)去，固定即穩(wěn)定，保證 多組導(dǎo)電玻璃放置的一致性，保證非晶硅薄膜厚度的均一性，同時(shí)節(jié)省操作時(shí)間，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖為發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1.招板部分；2.上板；3.夾具側(cè)板；4.輪子部分；5.后板；6.前門部分；
7.電極固定條；8.固定滾輪。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制包含一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪8。高度相同可以保證整個(gè)導(dǎo)電玻璃放置位置平穩(wěn)，放入方便。所述一組以上的鋁板之間距離相同。所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板的下方有電極固定條7，所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板正負(fù)極交替分布。還包含將一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板包圍起來(lái)的上板2、兩側(cè)的夾具側(cè)板3、后板5。所述夾具下方有輪子部分4。所述固定滾輪8為陶瓷結(jié)構(gòu)。本處的陶瓷還可以被其他類似材質(zhì)替代,本處的舉例僅僅為示例,不對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施造成限制。所述同一組高度相同的固 定滾輪8與各自所依附的鋁板的間距一致。以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該了解本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，包含一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪(8)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板之間距離相同。
3.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板的下方有電極固定條(7)，所述一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板正負(fù)極交替分布。
4.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，還包含將一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板包圍起來(lái)的上板(2)、兩側(cè)的夾具側(cè)板(3)、后板(5)。
5.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述夾具下方有輪子部分(4)。
6.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述固定滾輪(8)為陶瓷結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述的用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特征在于，所述同一組高度相同的固定滾輪(8)與各自所依附的鋁板的間距一致。
專利摘要本實(shí)用新型涉及鍍膜裝置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。本實(shí)用新型采取如下技術(shù)方案包含一個(gè)以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪。所述一組以上的鋁板之間距離相同。采用如上技術(shù)方案的本實(shí)用新型，具有如下有益效果待鍍膜的單面導(dǎo)電玻璃通過(guò)固定滾輪滾進(jìn)去，固定即穩(wěn)定，保證多組導(dǎo)電玻璃放置的一致性，保證非晶硅薄膜厚度的均一性，同時(shí)節(jié)省操作時(shí)間，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01J37/32GK202905663SQ20122053553
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2012年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月19日
發(fā)明者陳五奎, 雷曉全, 李文江, 王斌, 王富軍 申請(qǐng)人:陜西拓日新能源科技有限公司