技術(shù)編號(hào):2843794
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鍍膜裝置,尤其涉及用于非晶硅薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。背景技術(shù)日前,硅基薄膜太陽(yáng)能電池,采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)獲取單結(jié)或多結(jié)的光電轉(zhuǎn)換P-1-N膜層,在薄膜太陽(yáng)能電池制造行業(yè)通用這種射頻電容耦合平行電極板反應(yīng)室。行業(yè)內(nèi)通常把具有支撐框架的電極稱為“夾具”,并把裝在反應(yīng)室內(nèi)或腔內(nèi)進(jìn)行等離了體化學(xué)氣相沉積的裝置稱為“沉積盒”。該夾具被廣泛應(yīng)用于非晶硅、非晶硅鍺、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄膜的沉積。硅基薄膜太陽(yáng)能電池是太陽(yáng)能行業(yè)...
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