專利名稱：多通道射頻發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開(kāi)涉及等離子體室，還涉及射頻(RF)發(fā)生器。
背景技術(shù)：
本申請(qǐng)中提供的背景描述是為了概括地展示本公開(kāi)的背景。當(dāng)前提到的發(fā)明人的工作(就在該背景部分中描述的內(nèi)容來(lái)說(shuō))以及從別的方面說(shuō)也許算不上提交時(shí)的現(xiàn)有技術(shù)的該描述的多個(gè)方面，既不明確地又不隱含地被承認(rèn)是相對(duì)于本公開(kāi)的現(xiàn)有技木。射頻(RF)發(fā)生器接收交流(AC)輸入功率并產(chǎn)生RF輸出。該RF輸出可以施加給例如等離子體室的等離子體電極。然而在一些情況中，等離子體室可能包括多個(gè)等離子體電極。僅例如，在太陽(yáng)能面板制造中使用的等離子體室內(nèi)，可能需要ー個(gè)以上的等離子體電扱，因?yàn)樵谔幚淼谋砻娣e較大并且ー個(gè)等離子體電極可能在性能維修中。示例性系統(tǒng)可以稱為多陰極薄膜沉積系統(tǒng)或者多頻薄膜蝕刻和沉積系統(tǒng)。因此，在一些情況下可能使用ー個(gè)以上相同的RF發(fā)生器。每個(gè)RF發(fā)生器產(chǎn)生RF輸出并且將該RF輸出施加給等離子體電極中的ー個(gè)。為了產(chǎn)生相同的RF輸出，RF發(fā)生器可以電連接在一起。

發(fā)明內(nèi)容
多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊包括N個(gè)功率放大器、M個(gè)驅(qū)動(dòng)器、供電模塊和控制模塊。所述N個(gè)功率放大器分別產(chǎn)生N個(gè)RF輸出。所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器。所述供電模塊接收交流(AC)輸入功率并且根據(jù)L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將L個(gè)線軌電壓分別施加給N個(gè)功率放大器。所述控制模塊設(shè)置所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)和所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。N是大于I的整數(shù)，L和M是大于O的整數(shù)，并且M和L小于或等于N。在其它特征中，多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊包括N個(gè)功率放大器、M個(gè)驅(qū)動(dòng)器、供電模塊、參數(shù)確定模塊、反饋模塊和控制模塊。所述N個(gè)功率放大器分別產(chǎn)生N個(gè)RF輸出。所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)M個(gè)驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器。所述供電模塊接收 交流(AC)輸入功率并且根據(jù)L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將L個(gè)線軌電壓分別施加給所述N個(gè)功率放大器。所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)實(shí)際前向功率，并且分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)。所述反饋模塊根據(jù)所述N個(gè)實(shí)際前向功率和所述N個(gè)反射系數(shù)確定所述多通道RF發(fā)生器模塊的總前向功率。所述控制模塊根據(jù)所述總前向功率控制所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。N是大于I的整數(shù)，L和M是大于O的整數(shù)，并且M和L小于或等于N。在更多其它特征中，多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊包括至少兩個(gè)功率放大器，所述至少兩個(gè)功率放大器每個(gè)產(chǎn)生RF輸出；至少ー個(gè)驅(qū)動(dòng)器，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述功率放大器；供電模塊，所述供電模塊接收交流(AC)輸入功率并且根據(jù)至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將至少一個(gè)線軌電壓施加給所述功率放大器；以及控制模塊，所述控制模 塊設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)以及設(shè)置所述至少ー個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。在其它特征中，多通道射頻(RF)發(fā)生器包括至少兩個(gè)功率放大器模塊，所述至少兩個(gè)功率放大器模塊每個(gè)用于產(chǎn)生RF輸出；至少ー個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊用于根據(jù)至少ー個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述功率放大器模塊；供電模塊，所述供電模塊用于接收交流(AC)輸入功率以及用于根據(jù)至少ー個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將至少一個(gè)線軌電壓施加給所述功率放大器模塊；以及控制模塊，所述控制模塊用于設(shè)置所述至少ー個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)以及用于設(shè)置所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。在更多其它特征中，上面描述的系統(tǒng)是通過(guò)由ー個(gè)或多個(gè)處理器運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序?qū)崿F(xiàn)的。所述計(jì)算機(jī)程序能駐留在有形的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上，例如但不限于存儲(chǔ)器、非易失性數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和/或其它適合的有形存儲(chǔ)介質(zhì)。本公開(kāi)的適用性的其它方面將從下面提供的具體實(shí)施方式
中變得顯而易見(jiàn)。應(yīng)當(dāng)理解，具體實(shí)施方式
和特定實(shí)施例g在僅用于說(shuō)明而不g在限制本公開(kāi)的范圍。


本公開(kāi)將從具體實(shí)施方式
和附圖中更全面地得到理解，其中圖I是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性多通道射頻(RF)等離子體室系統(tǒng)的功能框圖；圖2是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性單驅(qū)動(dòng)單線軌雙通道RF發(fā)生器系統(tǒng)的功能框圖；圖3是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性單驅(qū)動(dòng)雙線軌雙通道RF發(fā)生器系統(tǒng)的功能框圖；圖4是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性雙驅(qū)動(dòng)單線軌雙通道RF發(fā)生器系統(tǒng)的功能框圖；圖5是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性雙驅(qū)動(dòng)雙線軌雙通道RF發(fā)生器系統(tǒng)的功能框圖；以及圖6和圖7是根據(jù)本公開(kāi)原理的示例性控制模塊的功能框圖。
具體實(shí)施例方式下面的描述實(shí)際上僅是示例性的，其絕不g在限制本公開(kāi)、本公開(kāi)的應(yīng)用或使用。為了清楚，在附圖中將使用相同的附圖標(biāo)記來(lái)表示類似的要素。本發(fā)明中使用的短語(yǔ)“A、B和C中的至少ー個(gè)”應(yīng)當(dāng)解釋為指使用非互斥的邏輯“或”的邏輯(A或B或C)。應(yīng)當(dāng)理解，方法中的步驟可以以不同順序執(zhí)行，而不改變本公開(kāi)的原理。本發(fā)明中使用的術(shù)語(yǔ)“模塊”指專用集成電路(ASIC)、電子電路、執(zhí)行ー個(gè)或多個(gè)軟件程序或固件程序的處理器(共享的處理器、專用的處理器或其組合)和存儲(chǔ)器、組合的邏輯電路和/或其它適合的提供所描述功能的組件?，F(xiàn)參考圖1，展示了示例性多通道射頻(RF)等離子體室系統(tǒng)100的示例性實(shí)現(xiàn)的功能框圖。盡管圖I圖示了雙通道RF等離子體室系統(tǒng)，但是本公開(kāi)的原理適用于包括兩個(gè)或兩個(gè)以上通道的RF發(fā)生器系統(tǒng)。多通道射頻 (RF)發(fā)生器模塊102接收交流(AC)輸入功率并使用該AC輸入功率產(chǎn)生RF輸出。僅例如，AC輸入功率可以是具有大約480伏特AC (VAC)或別的適合電壓的三相AC功率。僅為了敘述，下面將多通道RF發(fā)生器模塊102敘述為產(chǎn)生兩個(gè)RF輸出(即是雙通道RF發(fā)生器模塊)。然而，多通道RF發(fā)生器模塊102可以產(chǎn)生更多的RF輸出。僅例如，多通道RF發(fā)生器模塊102可以對(duì)在一個(gè)或多個(gè)等離子體室(例如等離子體室106)中實(shí)現(xiàn)的每個(gè)等離子體電極產(chǎn)生ー個(gè)RF輸出。使用一個(gè)多通道RF發(fā)生器模塊(例如多通道RF發(fā)生器模塊102)產(chǎn)生多個(gè)RF輸出使得能夠協(xié)調(diào)這些RF輸出。更具體地說(shuō)，使用一個(gè)多通道RF發(fā)生器模塊產(chǎn)生多個(gè)RF輸出可以保證這些RF輸出在頻率、相位和/或幅度方面近似相同。由于ー個(gè)RF發(fā)生器正常產(chǎn)生ー個(gè)RF輸出，所以使用多通道RF發(fā)生器(例如多通道RF發(fā)生器模塊102)可以減少使用多個(gè)RF輸出的系統(tǒng)中使用的組件(即部件)數(shù)量。由于系統(tǒng)可靠性通常隨組件數(shù)量增加而降低，所以使用多通道RF發(fā)生器可以提高可靠性。此夕卜，多通道RF發(fā)生器的成本可能低于產(chǎn)生相同數(shù)量的RF輸出所需的多個(gè)單通道RF發(fā)生器的成本。匹配模塊110接收RF輸出并且在將RF輸出提供給等離子體室106以前對(duì)每個(gè)RF輸出進(jìn)行阻抗匹配。多通道RF發(fā)生器模塊102可以控制匹配模塊110。更具體地說(shuō)，多通道RF發(fā)生器模塊102可以控制匹配模塊110執(zhí)行阻抗匹配的程度。匹配模塊110將RF輸出分別施加給在等離子體室106內(nèi)實(shí)現(xiàn)的等離子體電極(例如見(jiàn)圖2到圖5)?？梢栽诶绫∧こ练e系統(tǒng)、薄膜蝕刻系統(tǒng)和其它適合的系統(tǒng)中執(zhí)行向等離子體電極施加RF輸出。RF輸出還可以在其它適合的系統(tǒng)中使用。多通道RF發(fā)生器模塊102可以包括輸出控制模塊140、用戶接ロ模塊144、公共勵(lì)磁(CEX)模塊148和RF發(fā)生模塊152。多通道RF發(fā)生器模塊102還可以包括第一傳感器模塊156、第二傳感器模塊160和匹配控制模塊164。輸出控制模塊140接收用于RF輸出的輸入功率設(shè)定點(diǎn)(P Set)，該RF輸出由RF發(fā)生模塊152產(chǎn)生并傳遞給等離子體電極。輸入功率設(shè)定點(diǎn)可以由例如用戶接ロ模塊144或別的適合的源提供。輸入功率設(shè)定點(diǎn)的別的適合的源可以包括例如通過(guò)通用標(biāo)準(zhǔn)(US)232連接、通過(guò)以太網(wǎng)連接、通過(guò)無(wú)線連接或通過(guò)前面板輸入提供的診斷或用戶輸入。外部源(未不出)可以輸入可以由輸出控制模塊140使用的RF信號(hào)(CEX輸入)。RF信號(hào)還可以被CEX模塊148輸出或供輸入或輸出使用(CEX輸出)。僅例如，RF信號(hào)可以輸出給為ー個(gè)或多個(gè)其它等離子體室(未示出)產(chǎn)生RF輸出的一個(gè)或多個(gè)其它多通道RF發(fā)生器模塊。第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160分別可以測(cè)量由RF發(fā)生模塊152產(chǎn)生的第一 RF輸出和第二 RF輸出的電壓和電流。第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160分別可以向輸出控制模塊140提供表不該電壓和該電流的信號(hào)。僅例如，第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160每個(gè)可以包括RF耦合器、探針或別的適合類型的傳感器。在其它實(shí)現(xiàn)中，第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160分別可以輸出代表與第一 RF輸出和第二 RF輸出關(guān)聯(lián)的第一前向功率、第二前向功率、第一反向功率和第二反向功率的信號(hào)。前向功率可以指輸送的功率量。反向功率可以指反射的功率量。第一傳感器模塊156的輸出和第二傳感器模塊160的輸出可以稱為反饋信號(hào)。反饋信號(hào)可以是數(shù)字信號(hào)或模擬
信號(hào)。 根據(jù)來(lái)自第一傳感器模塊156的反饋信號(hào)中的一個(gè)或多個(gè)反饋信號(hào)，輸出控制模塊140可以確定第一 RF輸出的第一前向功率。根據(jù)來(lái)自第二傳感器模塊160的反饋信號(hào)中的一個(gè)或多個(gè)反饋信號(hào)，輸出控制模塊140可以確定第二 RF輸出的第二前向功率。根據(jù)由第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160輸出的反饋信號(hào)中的一個(gè)或多個(gè)反饋信號(hào)，輸出控制模塊140還可以分別確定第一反射系數(shù)和第二反射系數(shù)。根據(jù)第一前向功率、第二前向功率、第一反射系數(shù)和第二反射系數(shù)，輸出控制模塊140使用反饋方法分別控制第一 RF輸出和第二 RF輸出的產(chǎn)生。更具體地說(shuō)，輸出控制模塊140向RF發(fā)生模塊152提供一個(gè)或多個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)和/或一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。RF發(fā)生模塊152根據(jù)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)控制ー個(gè)或多個(gè)線軌電壓(即向功率放大器輸入的電壓)，并且根據(jù)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)控制功率放大器的驅(qū)動(dòng)。現(xiàn)參考圖2，展示了示例性單線軌單驅(qū)動(dòng)雙通道RF發(fā)生器系統(tǒng)200的功能框圖。供電模塊202接收AC輸入功率。供電模塊202根據(jù)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)(Rail Set)調(diào)節(jié)向第一功率放大器206和第二功率放大器208輸入的線軌電壓(Rail)。為了本公開(kāi)目的，線軌電壓可以指向給定功率放大器輸入的電壓。分離器模塊214接收驅(qū)動(dòng)器信號(hào)(Driver)并將該驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分離成第一驅(qū)動(dòng)器信號(hào)(Driver I)和第二驅(qū)動(dòng)器信號(hào)(Driver 2)。驅(qū)動(dòng)器210向分離器模塊214提供驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。驅(qū)動(dòng)器210還可以包括前置放大器。分離器模塊214向第一功率放大器206和第ニ功率放大器208分別提供第一驅(qū)動(dòng)器信號(hào)和第二驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。根據(jù)第一驅(qū)動(dòng)器信號(hào)和第二驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，第一驅(qū)動(dòng)器信號(hào)和第二驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)第一功率放大器206和第二功率放大器208。第一功率放大器206和第二功率放大器208每個(gè)根據(jù)向其提供的驅(qū)動(dòng)器信號(hào)和線軌電壓產(chǎn)生RF輸出。僅例如，在圖2的示例實(shí)施例中，第一功率放大器206根據(jù)第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)和線軌電壓產(chǎn)生第一 RF輸出，并且第二功率放大器208根據(jù)第二驅(qū)動(dòng)器信號(hào)和線軌電壓產(chǎn)生第二 RF輸出。第一傳感器模塊156可以測(cè)量第一 RF輸出的電壓和電流(VI和11)并向輸出控制模塊140提供測(cè)量結(jié)果。第二傳感器模塊160可以測(cè)量第二 RF輸出的電壓和電流(V2和12)井向輸出控制模塊140提供測(cè)量結(jié)果。第一 RF輸出和第二 RF輸出分別提供給等離子體室106的第一等離子體電極220和第二等離子體電極224。第一 RF輸出和第二 RF輸出在被提供給第一等離子體電極220和第二等離子體電極224以前可以提供給圖I的匹配模塊 110。輸出控制模塊140可以包括參數(shù)確定模塊240、反饋模塊244、最大選擇器模塊248和控制模塊252。盡管圖中未示出，但是參數(shù)確定模塊240可以包括模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器、復(fù)用器和確定模塊。盡管圖中未示出，但是A/D轉(zhuǎn)換器和復(fù)用器可以可替代地在參數(shù)確定模塊240外部實(shí)現(xiàn)。A/D轉(zhuǎn)換器可以把由第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160提供的反饋信號(hào)分別轉(zhuǎn)換成與所測(cè)量的參數(shù)對(duì)應(yīng)的數(shù)字值。當(dāng)反饋信號(hào)是數(shù)字信號(hào)時(shí)，可以在實(shí)現(xiàn)中省略A/D轉(zhuǎn)換器。復(fù)用器可以選擇與第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160中的一個(gè)傳感器模塊的測(cè)量結(jié)果關(guān)聯(lián)的通道并且處理或存儲(chǔ)這些數(shù)字值。復(fù)用器可以選擇與第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160中的另ー個(gè)傳感器模塊關(guān)聯(lián)的通道并且處理或存儲(chǔ)這些數(shù)字值。復(fù)用器可以繼續(xù)該過(guò)程直到所有通道的值都已處理或存儲(chǔ)為止。僅例如，復(fù)用器可以包括時(shí)分復(fù)用器(TDM)、頻分復(fù)用器(FDM)或別的適合的復(fù)用器。參數(shù)確定模塊240確定第一 RF輸出的第一反射系數(shù)(Γ I)。參數(shù)確定模塊240確定第二 RF輸出的第二反射系數(shù)(Γ2)。根據(jù)來(lái)自第一傳感器模塊156和第二傳感器模塊160的反饋信號(hào)中的一個(gè)或多個(gè)反饋信號(hào)，參數(shù)確定模塊240可以分別確定第一反射系數(shù)和第二反射系數(shù)。參數(shù)確定模塊240還確定第一 RF輸出的第一前向功率(PFwdl)以及第ニ RF輸出的第二前向功率(PFwd2)。第一前向功率和第二前向功率分別還可以稱為第一輸送功率和第二輸送功率。在多個(gè)實(shí)現(xiàn)中，參數(shù)確定模塊240還可以確定第一 RF輸出和第二RF輸出每個(gè)的反射功率或反向功率。根據(jù)第一前向功率和第二前向功率，反饋模塊244確定總前向功率(PFwd)。僅作為示例，反饋模塊244可以使用下面的關(guān)系確定總前向功率PFwd=f (PFwd1, Γ ” PFwd2, T2,..., PFwdN, Γ N)其中，PFwd是總前向功率，PFwdNi由RF輸出中第N個(gè)RF輸出輸送的功率，し是針對(duì)RF輸出中第N個(gè)RF輸出確定的反射系數(shù)，以及N是大于I的整數(shù)。僅作為另ー示例，反饋模塊244可以根據(jù)第一前向功率和第二前向功率的平均值確定總前向功率。僅例如，對(duì)于具有2個(gè)RF輸出的系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，反饋模塊244可以使用下面的公式確定總前向功率
權(quán)利要求
1.一種多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊，包括 N個(gè)功率放大器，所述N個(gè)功率放大器分別產(chǎn)生N個(gè)RF輸出； M個(gè)驅(qū)動(dòng)器，所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器分別根據(jù)M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器；供電模塊，所述供電模塊接收交流(AC)輸入功率，并且根據(jù)L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將L個(gè)線軌電壓分別施加給所述N個(gè)功率放大器；以及 控制模塊，所述控制模塊設(shè)置所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)以及所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)， 其中N是大于I的整數(shù)，L和M是大于O的整數(shù)，并且M和L小于或等于N。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中L、M和N等于2。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中L和M中的一個(gè)等于2，L和M中的另一個(gè)等于I。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)， 其中所述控制模塊根據(jù)所述N個(gè)反射系數(shù)分別確定所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)，并且 其中M等于N。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)；和 分離器模塊； 其中所述控制模塊根據(jù)所述N個(gè)反射系數(shù)中最大的一個(gè)確定一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)，其中M等于1，這一個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，并且其中所述分離器模塊將所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分離成N個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)并且根據(jù)所述N個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)實(shí)際前向功率和N個(gè)反射系數(shù)； 其中所述控制模塊根據(jù)所述N個(gè)實(shí)際前向功率分別設(shè)置所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)，并且 其中L等于N。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)實(shí)際前向功率；以及 反饋模塊，所述反饋模塊根據(jù)所述N個(gè)實(shí)際前向功率確定所述多通道RF發(fā)生器模塊的總前向功率， 其中所述控制模塊根據(jù)所述總前向功率設(shè)置所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述參數(shù)確定模塊還分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)，并且 其中所述反饋模塊根據(jù)所述N個(gè)實(shí)際前向功率和所述N個(gè)反射系數(shù)的函數(shù)關(guān)系，確定所述總前向功率。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述反饋模塊設(shè)置等于所述N個(gè)實(shí)際前向功率的平均值的所述總前向功率。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述參數(shù)確定模塊還分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)，并且 其中當(dāng)所述N個(gè)RF輸出中一個(gè)RF輸出的反射系數(shù)的第一幅度大于所述N個(gè)RF輸出中另一個(gè)RF輸出的反射系數(shù)的第二幅度時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于所述N個(gè)實(shí)際前向功率中與所述N個(gè)RF輸出中的所述一個(gè)RF輸出關(guān)聯(lián)的一個(gè)實(shí)際前向功率的所述總前向功率。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述參數(shù)確定模塊還分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)，并且 其中當(dāng)N等于2時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于 =Ι + ^Π| ΙΓ2Ι) * PFwd1+ 1 + ^ I") * PFwd2的所述總前向功率，ΓΝ是所述N個(gè)反射系數(shù)中的第N個(gè)反射系數(shù)，并且其中PFwcIn是所述N個(gè)實(shí)際前向功率中的第N個(gè)實(shí)際前向 功率。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述參數(shù)確定模塊還分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)，并且 其中當(dāng)N等于2時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于
13.一種多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊，包括 N個(gè)功率放大器，所述N個(gè)功率放大器分別產(chǎn)生N個(gè)RF輸出； M個(gè)驅(qū)動(dòng)器，所述M個(gè)驅(qū)動(dòng)器分別根據(jù)M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器；供電模塊，所述供電模塊接收交流(AC)輸入功率，并且根據(jù)L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將L個(gè)線軌電壓分別施加給所述N個(gè)功率放大器； 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)實(shí)際前向功率，并且分別確定所述N個(gè)RF輸出的N個(gè)反射系數(shù)； 反饋模塊，所述反饋模塊根據(jù)所述N個(gè)實(shí)際前向功率和所述N個(gè)反射系數(shù)確定所述多通道RF發(fā)生器模塊的總前向功率；以及 控制模塊，所述控制模塊根據(jù)所述總前向功率控制所述L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)， 其中N是大于I的整數(shù)，L和M是大于O的整數(shù)，并且M和L小于或等于N。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述反饋模塊設(shè)置等于所述N個(gè)實(shí)際前向功率的平均值的所述總前向功率。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中當(dāng)所述N個(gè)RF輸出中一個(gè)RF輸出的反射系數(shù)的第一幅度大于所述N個(gè)RF輸出中另一個(gè)RF輸出的反射系數(shù)的第二幅度時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于所述N個(gè)實(shí)際前向功率中與所述N個(gè)RF輸出中的所述一個(gè)RF輸出關(guān)聯(lián)的一個(gè)實(shí)際前向功率的所述總前向功率。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中當(dāng)N等于2時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中當(dāng)N等于2時(shí)，所述反饋模塊設(shè)置等于 (
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中L和M等于2。
19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中L和M中的一個(gè)等于2，L和M中的另一個(gè)等于I。
20.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括分離器模塊， 其中所述控制模塊根據(jù)所述N個(gè)反射系數(shù)中最大的一個(gè)反射系數(shù)產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)， 其中M等于1，這一個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，并且其中所述分離器模塊將所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分離成N個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)并且根據(jù)所述N個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)所述N個(gè)功率放大器。
21.一種多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊，包括 至少兩個(gè)功率放大器，所述至少兩個(gè)功率放大器每個(gè)產(chǎn)生RF輸出； 至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述功率放大器； 供電模塊，所述供電模塊接收交流(AC)輸入功率，并且根據(jù)至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將至少一個(gè)線軌電壓施加給所述功率放大器；以及 控制模塊，所述控制模塊設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)并且設(shè)置所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多通道RF發(fā)生器模塊，其中所述至少兩個(gè)功率放大器包括兩個(gè)功率放大器，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器，并且所述至少一個(gè)線軌電壓包括兩個(gè)線軌電壓。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)反射系數(shù)， 其中所述控制模塊根據(jù)所述反射系數(shù)設(shè)置所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)反射系數(shù)；以及分離器模塊， 其中所述控制模塊根據(jù)所述反射系數(shù)中最大的一個(gè)反射系數(shù)確定僅一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)， 其中所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器僅包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，并且所述驅(qū)動(dòng)器根據(jù)所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，并且 其中所述分離器模塊將所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分離成至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，并且分別根據(jù)所述至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述至少兩個(gè)功率放大器。
25.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)實(shí)際前向功率和至少兩個(gè)反射系數(shù)， 其中所述控制模塊根據(jù)所述實(shí)際前向功率設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。
26.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多通道RF發(fā)生器模塊，還包括 參數(shù)確定模塊，所述參數(shù)確定模塊分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)實(shí)際前向功率，以及 反饋模塊，所述反饋模塊根據(jù)所述至少兩個(gè)實(shí)際前向功率確定所述多通道RF發(fā)生器模塊的總前向功率， 其中所述控制模塊根據(jù)所述總前向功率設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。
27.一種多通道射頻(RF)發(fā)生器，包括 至少兩個(gè)功率放大器模塊，所述至少兩個(gè)功率放大器模塊每個(gè)用于產(chǎn)生RF輸出；至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊用于根據(jù)至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)驅(qū)動(dòng)所述功率放大器模塊； 供電模塊，所述供電模塊用于接收交流(AC)輸入功率并且用于根據(jù)至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將至少一個(gè)線軌電壓施加給所述功率放大器模塊；以及 控制模塊，所述控制模塊用于設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)并且用于設(shè)置所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的多通道RF發(fā)生器，其中所述至少兩個(gè)功率放大器模塊包括兩個(gè)功率放大器模塊，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊，所述至少一個(gè)線軌電壓包括兩個(gè)線軌電壓。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的多通道RF發(fā)生器，還包括確定模塊，所述確定模塊用于分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)反射系數(shù)， 其中所述控制模塊用于根據(jù)所述反射系數(shù)分別設(shè)置所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。
30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的多通道RF發(fā)生器，還包括 確定模塊，所述確定模塊用于分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)反射系數(shù)；以及分離器模塊， 其中所述控制模塊用于根據(jù)所述反射系數(shù)中最大的一個(gè)反射系數(shù)確定僅一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)， 其中所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊僅包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊，所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊用于根據(jù)所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)產(chǎn)生僅一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，以及 其中所述分離器模塊用于將所述一個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分離成至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器模塊并且用于根據(jù)所述至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)所述至少兩個(gè)功率放大器。
31.根據(jù)權(quán)利要求27所述的多通道RF發(fā)生器，還包括 確定模塊，所述確定模塊用于分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)實(shí)際前向功率和至少兩個(gè)反射系數(shù)， 其中所述控制模塊用于根據(jù)所述實(shí)際前向功率設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。
32.根據(jù)權(quán)利要求27所述的多通道RF發(fā)生器，還包括 確定模塊，所述確定模塊用于分別確定所述至少兩個(gè)功率放大器的RF輸出的至少兩個(gè)實(shí)際前向功率；以及 反饋模塊，所述反饋模塊用于根據(jù)所述至少兩個(gè)實(shí)際前向功率確定所述多通道RF發(fā)生器的總前向功率， 其中所述控制模塊用于根據(jù)所述總前向功率設(shè)置所述至少一個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)。
全文摘要
一種多通道射頻(RF)發(fā)生器模塊包括N個(gè)功率放大器、M個(gè)驅(qū)動(dòng)器、供電模塊和控制模塊。N個(gè)功率放大器分別產(chǎn)生N個(gè)RF輸出。M個(gè)驅(qū)動(dòng)器根據(jù)M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)N個(gè)功率放大器。供電模塊接收交流(AC)輸入功率并且根據(jù)L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)將L個(gè)線軌電壓分別施加給N個(gè)功率放大器。控制模塊設(shè)置L個(gè)線軌電壓設(shè)定點(diǎn)和M個(gè)驅(qū)動(dòng)器控制信號(hào)。N是大于1的整數(shù)，L和M是大于0的整數(shù)，并且M和L小于或等于N。
文檔編號(hào)H01J37/32GK102725817SQ201180005888
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2011年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月2日
發(fā)明者拉里·J·菲斯克, 阿德里安·薩皮奧 申請(qǐng)人:Mks儀器有限公司