技術(shù)編號：2943736
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及等離子體室，還涉及射頻(RF)發(fā)生器。背景技術(shù)本申請中提供的背景描述是為了概括地展示本公開的背景。當(dāng)前提到的發(fā)明人的工作(就在該背景部分中描述的內(nèi)容來說)以及從別的方面說也許算不上提交時的現(xiàn)有技術(shù)的該描述的多個方面，既不明確地又不隱含地被承認(rèn)是相對于本公開的現(xiàn)有技木。射頻(RF)發(fā)生器接收交流(AC)輸入功率并產(chǎn)生RF輸出。該RF輸出可以施加給例如等離子體室的等離子體電極。然而在一些情況中，等離子體室可能包括多個等離子體電極。僅例如，在太陽能面板...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。