專利名稱：離子遷移譜儀的離子收集裝置和離子遷移譜儀的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種離子遷移譜儀，更具體地說本發(fā)明涉及一種離子遷移譜儀的離子收集裝置。
背景技術：
參看圖1和2，離子遷移譜儀包括離子收集裝置50'，該離子收集裝置50'包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網15'，用于收集離子的法拉第盤 17'，用于固定法拉第盤17'的絕緣件2，以及與絕緣件2相連的屏蔽罩21'。此外，該離子遷移譜儀還包括用于放大從法拉第盤17'輸出的模擬信號的放大電路，放大電路通過導線6與法拉第盤17'連接，該放大電路包括模擬信號地。該離子遷移譜儀還包括用于為遷移電極提供電源的遷移電極電源，該遷移電極電源具有接地的輸出端子，該接地的輸出端子形成遷移電極的接地。屏蔽罩21'通過同軸電纜的屏蔽層5與放大電路的模擬信號地連接并且通過電線7與為遷移電極供電的地連接。遷移區(qū)的離子經過抑制柵網15'被法拉第盤17'收集，法拉第盤17'通過由芯線5和屏蔽層6構成的同軸電纜輸出。對于上述結構，離子進入收集區(qū)，在抑制柵網15'與屏蔽罩21'形成的電場作用下，離子飛向屏蔽罩21'而損失，從而影響收集率。在圖1所示的示例中，采取了平面抑制柵網15'，以及設置在抑制柵網15'的、離子遷移方向的下游側的法拉第盤17'。該結構的缺點是，離子會散射到屏蔽罩21'上，由此會影響到收集率。如圖2所示的示例中，抑制柵網15'為球形，由此抑制柵網17'可以對離子進行聚焦，但是球網狀抑制柵網15'的加工成本較高。此外，上述現(xiàn)有技術中，存在為遷移電極供電的高壓地和模擬信號地在屏蔽罩 21'共地的問題，高壓地的噪聲會直接耦合到放大電路，即前端電路上，影響了離子遷移譜儀性能。

發(fā)明內容
為了至少部分地減輕上述現(xiàn)有技術中存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種離子遷移譜儀的離子收集裝置，以及離子遷移譜儀，該離子收集裝置以及離子遷移譜儀能夠以簡單的結構提高離子收集效率。根據本發(fā)明的一方面，本發(fā)明提供了一種離子遷移譜儀的離子收集裝置。離子收集裝置包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網；以及設置在抑制柵網的、離子遷移方向的下游側的第一電極，該第一電極與抑制柵網機械連接并且電連接。根據本發(fā)明的另一方面，該離子收集裝置還可以包括用于收集離子的離子收集件，該離子收集件包括離子收集部分，其中該第一電極在其內部形成空間，所述離子收集件的離子收集部分設置在該第一電極的內部形成的空間內。根據本發(fā)明的另一方面，所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置還包括設置在所述第一電極的、離子遷移方向的下游側的第二電極，該第二電極構成用于使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極中的接地電極。根據本發(fā)明的另一方面，離子收集裝置還包括設置在該第一電極的和第二之間的第一絕緣件，該離子收集件連接于所述第一絕緣件。根據本發(fā)明的另一方面，離子收集裝置還包括設置在所述第二電極的、離子遷移方向的下游側的屏蔽罩，該屏蔽罩與所述第二電極間隔開。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述抑制柵網具有大體扁平的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第一電極具有大體環(huán)狀的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第二電極具有大體環(huán)狀的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，離子收集裝置還包括設置在所述第二電極的離子遷移方向的下游側的第二絕緣件，該屏蔽罩與所述第二電極通過所述第二絕緣件間隔開。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述離子收集件還包括與該離子收集部分連接的信號輸出部分，并且其中所述屏蔽罩適于與同軸電纜的芯線外側的第一導電層連接，該同軸電纜的芯線與該離子收集件的信號輸出部分連接，用于從信號輸出部分輸出信號。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第一電極和第二電極大體同軸設置。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第一絕緣件具有大體板狀的形狀或盤狀的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第一絕緣件在中心部分具有中心通孔，離子收集件的信號輸出部分通過該中心通孔伸出，并且所述第一絕緣件還包括圍繞所述中心孔的多個通孔。根據本發(fā)明的再一方面，本發(fā)明提供了一種離子遷移譜儀，該離子遷移譜儀包括: 用于收集離子的離子收集區(qū)部分；以及設置在所述離子收集區(qū)部分的離子收集裝置，其中該離子收集裝置包括用于收集離子的離子收集件，該離子收集件包括離子收集部分；用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網；設置在抑制柵網的、離子遷移方向的下游側的第一電極，該第一電極與抑制柵網機械連接并且電連接，其中該第一電極在其內部形成空間，所述離子收集件的離子收集部分設置在該第一電極的內部形成的空間內；以及設置在該第一電極的、離子遷移方向的下游側的第一絕緣件，該離子收集件連接于所述第一絕緣件。根據本發(fā)明的另一方面，離子遷移譜儀還包括設置在所述第一絕緣件的、離子遷移方向的下游側的第二電極，該第二電極構成用于使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極中的接地電極。根據本發(fā)明的另一方面，離子遷移譜儀還包括設置在所述第二電極的、離子遷移方向的下游側的屏蔽罩，該屏蔽罩與所述第二電極間隔開。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述抑制柵網具有大體扁平的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第一電極具有大體環(huán)狀的形狀。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述離子收集件還包括與該離子收集部分連接的信號輸出部分。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述屏蔽罩與同軸電纜的芯線外側的第一導電層連接，該同軸電纜的芯線與該離子收集件的信號輸出部分連接，用于從信號輸出部分輸出信號。根據本發(fā)明的另一方面，離子遷移譜儀還包括放大電路，該放大電路的輸入端通過所述同軸電纜的芯線接收從所述信號輸出部分輸出的信號，所述屏蔽罩通過所述同軸電纜的第一導電層與放大電路的模擬地連接。根據本發(fā)明的另一方面，其中所述第二電極在所述放大電路的輸出端側連接到放大電路的模擬地。根據本發(fā)明的另一方面，離子遷移譜儀還包括用于屏蔽放大電路的放大電路屏蔽外殼；以及離子收集區(qū)部分的導電外殼，其中所述同軸電纜包括設置在第一導電層外側的第二導電層，該第二導電層連接放大電路屏蔽外殼和離子收集區(qū)部分的導電外殼。根據本發(fā)明的另一方面，離子遷移譜儀還包括用于為遷移電極提供電源的遷移電極電源，遷移電極電源具有遷移電極電源屏蔽外殼，所述遷移電極電源具有接地的輸出端子，該接地輸出端子與第二電極連接，并在放大電路的輸出端側連接到所述放大電路的模擬地。通過本發(fā)明的一些實施方式，能夠有效地提高離子的收集，并方便信號的引出，提
高信噪比。


圖1是現(xiàn)有技術的離子遷移譜儀的離子收集裝置的示意圖。圖2另一現(xiàn)有技術的離子遷移譜儀的離子收集裝置的示意圖。圖3是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的示意圖；圖4是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的抑制柵網的示意截面圖。圖5是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的抑制柵網的示意主視圖。圖6是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第一電極的示意剖視圖。圖7是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第一電極的示意主視圖。圖8是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的離子收集件的示意主視圖。圖9是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的離子收集件的示意剖視圖。圖10是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第一絕緣件的示意剖視圖。圖11是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第一絕緣件的示意主視圖。
圖12是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第二電極件的示意剖視圖。圖13是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第二電極件的示意主視圖。圖14是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第二絕緣件的示意剖視圖。圖15是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的第二絕緣件的示意主視圖。圖16是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的屏蔽罩的示意截面圖。圖17是根據本發(fā)明實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置的屏蔽罩的示意主視圖。
具體實施例方式
下面結合附圖及具體實施方式
對本發(fā)明做進一步說明。如圖3中所示，在本發(fā)明的一些實施例中，根據本發(fā)明的實施例的離子遷移譜儀包括用于收集離子的離子收集區(qū)部分90 ；以及設置在所述離子收集區(qū)部分90的離子收集裝置50。如圖3中所示，根據本發(fā)明的實施例的離子遷移譜儀10還可以包括放大電路部分60，以及用于為遷移電極提供電源的遷移電極電源70。如圖3中所示，根據本發(fā)明的實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置50包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網15 ；以及設置在抑制柵網或抑制柵15的、離子遷移方向80的下游側(即，圖3中的右側)的第一電極16，該第一電極16與抑制柵網15機械連接并且電連接。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3、6、7、8、9中所示，根據本發(fā)明的實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置50還包括用于收集離子的離子收集件17，該離子收集件17包括離子收集部分171。該第一電極16在其內部形成空間161，所述離子收集件17的離子收集部分171設置在該第一電極16的內部形成的空間161內。在本發(fā)明的另一些實施例中，所述離子收集件17的離子收集部分171不設置在該第一電極16的內部形成的空間161內，而是設置在第一電極16的內部形成的空間161夕卜， 例如與第一電極16相鄰，或與第一電極16間隔一定的距離。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3、6、7、8、9中所示，根據本發(fā)明的實施例的離子遷移譜儀的離子收集裝置50還包括；設置在該第一電極16的、離子遷移方向80的下游側的第一絕緣件18，該離子收集件17連接于所述第一絕緣件18。在本發(fā)明的另一些實施例中，離子遷移譜儀的離子收集裝置50的離子收集件17 可以固定在離子遷移譜儀的收集區(qū)的其它部件上或絕緣件上。作為選擇，離子收集裝置50 的離子收集件17可以固定在離子遷移譜儀的、本領域公知的、任何合適的部件上。離子收集件17可以是任何合適形狀的離子收集件。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3中所示，所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置50還可以包括設置在所述第一絕緣件18的、離子遷移方向80的下游側的第二電極19，該第二電極19構成用于使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極中的接地電極。 即，第二電極19作為高壓地HGND與后續(xù)的高壓電路的地連接。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3中所示，所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置 50還可以包括設置在所述第二電極19的、離子遷移方向的下游側的屏蔽罩21，該屏蔽罩 21與所述第二電極19間隔開。屏蔽罩21的一種示例在圖16-17中示出。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3中所示，所述的屏蔽罩21作為模擬信號地AGND 與后續(xù)的電路的模擬地連接，高壓地與模擬地在放大器后端側的模擬地單點相連。根據本發(fā)明的一些實施例，所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置50可以不包括第二電極19。在這種情況下，例如，離子收集裝置50可以直接在第一絕緣件18上連接屏蔽罩21。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖4、5中所示，所述抑制柵網15可以具有大體扁平的形狀，或者平板狀的形狀。此外，在一個實施例中，如圖4、5中所示，所述抑制柵網15可以由導電的環(huán)狀件151和與導電的環(huán)狀件151電連接和機械連接的導電的網152構成。作為選擇，所述抑制柵網15可以僅僅由導電網構成。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖6和7中所示，所述第一電極16可以具有大體環(huán)狀的形狀。此外，大體環(huán)狀的第一電極16可以具有大體錐形面的內表面，圓柱面的內表面， 拋物面的內表面等各種合適的內表面。圖6和7中示出了大體圓柱面的內表面，或大體圓柱狀的內部空間161。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖12和13中所示，所述第二電極19可以具有大體環(huán)狀的形狀。此外，大體環(huán)狀的第二電極19可以具有大體錐形面的內表面，圓柱面的內表面，拋物面的內表面等各種合適的內表面。第二電極19可以是設有通孔的盤狀形狀，通孔用于信號線與離子收集件17連接。圖12和13中示出了大體圓柱面的內表面。此外，第二電極19可以是任何合適的、本領域公知的、使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3中所示，所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置 50還可以包括設置在所述第二電極19的離子遷移方向80的下游側的第二絕緣件20，該屏蔽罩21與所述第二電極19通過所述第二絕緣件20間隔開。所述第二絕緣件20可以具有諸如圖14和15中所示的環(huán)狀形狀，片狀件，或任何其它合適的形狀。該屏蔽罩21與所述第二電極19可以通過間隔合適的空間，或利用形成在該屏蔽罩21和所述第二電極19中的一個上的絕緣層分隔開。此外，該屏蔽罩21與所述第二電極19可以通過本領域任何合適的其它方式分隔開。例如，所述的第二絕緣件的厚度可以小于0.5毫米。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3、8、9中所示，所述離子收集件17還包括與該離子收集部分171連接的信號輸出部分172 ；而所述屏蔽罩21適于與同軸電纜23的芯線231 外側的第一導電層232連接，該同軸電纜23的芯線23與該離子收集件17的信號輸出部分 172連接，用于從信號輸出部分172輸出信號。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3中所示，所述第一電極16和第二電極19可以大體同軸設置。作為選擇，所述第一電極16和第二電極19可以采用其它合適的方式進行設置，例如所述第一電極16和第二電極19可以不同軸設置。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖10、11中所示，所述第一絕緣件18可以具有多個通孔。作為選擇，如圖10和11中所示，所述第一絕緣件18在中心部分具有中心通孔181， 離子收集件17的信號輸出部分172通過該中心通孔181伸出，并且所述第一絕緣件18還包括圍繞所述中心通孔181的多個通孔182。根據本發(fā)明的一些實施例，如圖3中所示，該放大電路部分60包括放大電路63。 放大電路63的輸入端62通過所述同軸電纜23的芯線231接收從所述信號輸出部分172 輸出的信號，所述屏蔽罩21通過所述同軸電纜23的第一導電層232與放大電路63的模擬地沈連接。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3中所示，所述第二電極19在所述放大電路63的輸出端61側連接到放大電路63的模擬地26。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3中所示，所述的離子遷移譜儀還可以包括用于屏蔽放大電路的放大電路屏蔽外殼25 ；以及離子收集區(qū)部分90的導電外殼22。所述同軸電纜23包括設置在第一導電層231外側的第二導電層232，該第二導電層232連接放大電路屏蔽外殼25和離子收集區(qū)部分的導電外殼22。在本發(fā)明的一些實施例中，如圖3中所示，所述遷移電極電源70具有接地的輸出端子73和高壓輸出端子72，該接地輸出端子73通過導線觀與第二電極19連接，并在放大電路63的輸出端61側連接到所述放大電路63的模擬地沈。如圖3中所示，遷移電極電源 70還具有遷移電極電源屏蔽外殼27，屏蔽外殼27通過導線M與離子收集區(qū)部分90的外殼22連接。導線M與導線觀構成同軸電纜，同軸電纜23是三同軸電纜，如圖3中所示。在本發(fā)明的一些實施例中，所述的三同軸電纜的絕緣和護套材料均為聚四氟乙火布。由于采取以上結構，抑制柵網15與第一電極16處于等電位，與作為離子收集件 17的法拉第盤之間形成聚焦電場，進入收集區(qū)的離子不會散射到屏蔽罩21上，提高了收集率。此外，在本發(fā)明的一些實施例中，第二電極19和屏蔽罩21電性分開，使高壓地和模擬信號地在最靈敏的放大電路前分開，在信號放大以后的所在位置的模擬地相連，減小了高壓地線噪聲對信號放大的影響。此外，由于抑制柵網15與第一電極16可以構成聚焦結構，可以將作為離子收集件 17的法拉第盤面向離子飛行的面積做得較小。此外，在本發(fā)明的一些實施例中，第二絕緣件20為多孔狀，設有第二電極19，并且作為離子收集件17的法拉第盤與屏蔽罩21距離較遠，由此可以有效減少法拉第盤與屏蔽罩21之間的電容，減少了前端電路的結電容噪聲。此外，在本發(fā)明的一些實施例中，第二電極19和屏蔽罩21處于等電位，在不降低屏蔽罩21的屏蔽能力的情況下提高了信噪比。
權利要求
1.一種離子遷移譜儀的離子收集裝置，包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網；設置在抑制柵網的、離子遷移方向的下游側的第一電極，該第一電極與抑制柵網機械連接并且電連接；以及用于收集離子的離子收集件，該離子收集件包括離子收集部分，其中該第一電極在其內部形成空間，所述離子收集件的離子收集部分設置在該第一電極的內部形成的空間內，并且抑制柵網與第一電極處于等電位，與離子收集件之間形成聚焦電場。
2.根據權利要求1所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，還包括設置在所述第一電極的、離子遷移方向的下游側的第二電極，該第二電極構成用于使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極中的接地電極。
3.根據權利要求2所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，還包括設置在該第一電極的和第二電極之間的第一絕緣件，該離子收集件連接于所述第一絕緣件。
4.根據權利要求2所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，還包括設置在所述第二電極的、離子遷移方向的下游側的屏蔽罩，該屏蔽罩與所述第二電極間隔開。
5.根據權利要求1所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述抑制柵網具有大體扁平的形狀。
6.根據權利要求1所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述第一電極具有大體環(huán)狀的形狀。
7.根據權利要求2所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述第二電極具有大體環(huán)狀的形狀。
8.根據權利要求4所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，還包括設置在所述第二電極的離子遷移方向的下游側的第二絕緣件，該屏蔽罩與所述第二電極通過所述第二絕緣件間隔開。
9.根據權利要求4所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述離子收集件還包括與該離子收集部分連接的信號輸出部分；并且其中所述屏蔽罩適于與同軸電纜的芯線外側的第一導電層連接，該同軸電纜的芯線與該離子收集件的信號輸出部分連接，用于從信號輸出部分輸出信號。
10.根據權利要求7所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述第一電極具有大體環(huán)狀的形狀，并且所述第一電極和第二電極大體同軸設置。
11.根據權利要求3所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述第一絕緣件具有大體板狀的形狀或盤狀的形狀。
12.根據權利要求11所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，其中所述第一絕緣件具有多個通孔。
13.一種離子遷移譜儀，包括用于收集離子的離子收集區(qū)部分；以及設置在所述離子收集區(qū)部分的離子收集裝置，其中該離子收集裝置包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網；設置在抑制柵網的、離子遷移方向的下游側的第一電極，該第一電極與抑制柵網機械連接并且電連接；以及用于收集離子的離子收集件，該離子收集件包括離子收集部分，其中該第一電極在其內部形成空間，所述離子收集件的離子收集部分設置在該第一電極的內部形成的空間內，并且抑制柵網與第一電極處于等電位，與離子收集件之間形成聚焦電場。
14.根據權利要求13所述的離子遷移譜儀的離子收集裝置，還包括設置在所述第一電極的、離子遷移方向的下游側的第二電極，該第二電極構成用于使離子在離子遷移譜儀中進行遷移運動的遷移電極中的接地電極。
15.根據權利要求14所述的離子遷移譜儀，還包括設置在該第一電極的和第二電極之間的第一絕緣件，該離子收集件連接于所述第一絕緣件。
16.根據權利要求14所述的離子遷移譜儀，還包括設置在所述第二電極的、離子遷移方向的下游側的屏蔽罩，該屏蔽罩與所述第二電極間隔開。
17.根據權利要求13所述的離子遷移譜儀，其中所述抑制柵網具有大體扁平的形狀。
18.根據權利要求13所述的離子遷移譜儀，其中所述第一電極具有大體環(huán)狀的形狀。
19.根據權利要求16所述的離子遷移譜儀，其中所述離子收集件還包括與該離子收集部分連接的信號輸出部分，并且其中所述屏蔽罩與同軸電纜的芯線外側的第一導電層連接，該同軸電纜的芯線與該離子收集件的信號輸出部分連接，用于從信號輸出部分輸出信號。
20.根據權利要求19所述的離子遷移譜儀，還包括放大電路，該放大電路的輸入端通過所述同軸電纜的芯線接收從所述信號輸出部分輸出的信號，所述屏蔽罩通過所述同軸電纜的第一導電層與放大電路的模擬地連接。
21.根據權利要求20所述的離子遷移譜儀，其中所述第二電極在所述放大電路的輸出端側連接到放大電路的模擬地。
22.根據權利要求20所述的離子遷移譜儀，還包括用于屏蔽放大電路的放大電路屏蔽外殼；以及離子收集區(qū)部分的導電外殼，其中所述同軸電纜包括設置在第一導電層外側的第二導電層，該第二導電層連接放大電路屏蔽外殼和離子收集區(qū)部分的導電外殼。
23.根據權利要求20所述的離子遷移譜儀，還包括用于為遷移電極提供電源的遷移電極電源，所述遷移電極電源具有接地的輸出端子， 該接地輸出端子與第二電極連接，并在放大電路的輸出端側連接到所述放大電路的模擬
全文摘要
本發(fā)明提供了一種離子遷移譜儀的離子收集裝置和一種離子遷移譜儀，離子收集裝置包括用于抑制遷移區(qū)離子遷移運動對離子收集影響的抑制柵網；設置在抑制柵網的、離子遷移方向的下游側的第一電極，該第一電極與抑制柵網機械連接并且電連接；以及用于收集離子的離子收集件，該離子收集件包括離子收集部分，其中該第一電極在其內部形成空間，所述離子收集件的離子收集部分設置在該第一電極的內部形成的空間內，并且抑制柵網與第一電極處于等電位，與離子收集件之間形成聚焦電場。通過上述結構，抑制柵網與第一電極處于等電位，與離子收集部分之間形成聚焦電場，進入收集區(qū)的離子不會散射到屏蔽罩上，提高了收集率。
文檔編號H01J49/42GK102522309SQ20111043889
公開日2012年6月27日 申請日期2009年6月30日 優(yōu)先權日2009年6月30日
發(fā)明者張清軍, 李元景, 陳志強 申請人:同方威視技術股份有限公司