專利名稱：電子顯微鏡的觀察室隔離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，具體而言，涉及一種適用于電子顯微鏡的觀察室的隔離裝置。
背景技術(shù)：
電子顯微鏡是一種可以觀察微小物質(zhì)的重要儀器，人們利用它可以觀察0.25nm 以下的物質(zhì)。電子顯微鏡以電子束作為照明光源，以磁透鏡或靜電透鏡作為偏轉(zhuǎn)電子的裝置，實(shí)現(xiàn)光學(xué)放大。電子顯微鏡在物理、化學(xué)、材料、科學(xué)研究、生命科學(xué)、地質(zhì)、探礦、機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)等軍民領(lǐng)域具有非常廣泛的應(yīng)用前景。達(dá)到高真空狀態(tài)是電子顯微鏡工作的先決條件，電子顯微鏡的鏡筒要獲得真空除了有機(jī)械泵擴(kuò)散泵以外，還必須用管道將抽氣裝置與鏡筒聯(lián)接，在聯(lián)接處必須配置一系列真空閥門。觀察室隔離閥位于投影鏡下方，觀察室上方，觀察室隔離閥就是一個(gè)真空閥門， 它的作用是與一個(gè)預(yù)抽閥、一個(gè)放氣閥將觀察室與照相機(jī)單獨(dú)成一個(gè)抽氣系統(tǒng)，從而使照相機(jī)更換底片時(shí)，儀器可以正常操作使用。另外在對(duì)鏡筒抽真空時(shí)，觀察室隔離閥與電子槍隔離閥將其分為三個(gè)部分，從而大大提高了抽氣效率。此外，當(dāng)鏡筒內(nèi)出現(xiàn)故障時(shí)，隔離閥關(guān)閉，可以保護(hù)未出故障的部分和方便排除查找故障。但現(xiàn)有各種觀察室的隔離閥大多存在下述缺點(diǎn)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)比較復(fù)雜、零部件使用較多，體積較大；且不便裝配、不便維修。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施方式的目的是提供一種電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，便于裝配和維修。本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明實(shí)施方式提供一種電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，包括支撐外殼、底盤組件、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件、閥體組件和驅(qū)動(dòng)氣缸；其中，支撐外殼中間部位設(shè)有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽底部的支撐外殼上設(shè)有通孔，通孔與環(huán)形凹槽內(nèi)連通；底盤組件嵌裝在所述支撐外殼中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)，底盤組件中間部位設(shè)有通孔，底盤組件側(cè)壁上設(shè)有安裝閥體組件的通槽，所述通槽與所述底盤組件中間部位的通孔連通；滑動(dòng)導(dǎo)軌組件設(shè)置在所述底盤組件側(cè)壁的通槽內(nèi)，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件上設(shè)有能沿該滑動(dòng)導(dǎo)軌組件滑動(dòng)從所述底盤組件側(cè)壁的通槽處伸出或縮回從而隔斷或開通所述底盤組件通孔的閥體組件；與底盤組件側(cè)壁的通槽對(duì)應(yīng)的支撐外殼側(cè)壁上設(shè)置氣缸安裝通孔，驅(qū)動(dòng)氣缸通過所述氣缸安裝通孔安裝在所述支撐外殼側(cè)壁上，驅(qū)動(dòng)氣缸前端的活塞桿與所述閥體組件連接，驅(qū)動(dòng)所述閥體組件沿所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件從底盤組件側(cè)壁的通槽處向該底盤組件中間部位的通孔處伸出或從所述通孔處縮回。
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此外，所述支撐外殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)有多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)， 多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)形成階梯式結(jié)構(gòu)；支撐外殼側(cè)壁上設(shè)置的氣缸安裝通孔是兩側(cè)為弧形的條形通孔，所述氣缸安裝通孔與支撐外殼中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)連通。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述底盤組件為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的通孔外周設(shè)置一環(huán)形槽；通槽設(shè)置在底盤組件的底部，通槽中間部位與底盤組件中間部位的通孔連通，通槽一側(cè)貫通底盤組件側(cè)壁，通槽兩側(cè)設(shè)有起導(dǎo)軌作用的臺(tái)階。此外，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件包括導(dǎo)片和限位部件；其中，所述導(dǎo)片設(shè)置在底盤組件貫通底盤組件側(cè)壁一側(cè)的通槽處；所述限位部件設(shè)置在底盤組件的另一側(cè)通槽內(nèi)，與導(dǎo)片相對(duì)，限位部件由壓片和滾輪構(gòu)成，壓片設(shè)置在對(duì)應(yīng)于設(shè)置導(dǎo)片的底盤組件另一側(cè)的通槽內(nèi)，壓片內(nèi)設(shè)置活動(dòng)的滾輪。此外，所述閥體組件包括閥體本體、滑片、支架、滑軸、滑塊、彈簧鉤釘、拉簧和密封圈；其中，閥體本體為方形結(jié)構(gòu)，其一側(cè)壁處設(shè)置突起，所述突起上設(shè)置連接驅(qū)動(dòng)氣缸活塞桿的連接軸，閥體本體的中間部位設(shè)有矩形通孔，矩形通孔兩側(cè)的閥體本體上各設(shè)有一限位凹槽，限位凹槽的一側(cè)面為斜坡狀；滑片一端設(shè)置在閥體本體上，滑片的自由端設(shè)置在所述閥體本體的矩形通孔內(nèi)；支架設(shè)置在所述閥體本體的矩形通孔內(nèi)，支架底部設(shè)置活動(dòng)的滑軸，支架與滑軸配合穿設(shè)在所述矩形通孔內(nèi)的所述滑片的自由端上，支架通過滑軸能沿滑片相對(duì)滑動(dòng)；滑塊固定設(shè)置在所述支架上，蓋在所述閥體本體上，滑塊與閥體本體的凹槽接觸處各設(shè)置一定位凸臺(tái)，定位凸臺(tái)形狀與閥體本體的限位凹槽相匹配；滑塊兩側(cè)分別設(shè)置彈簧鉤釘，彈簧鉤釘與閥體本體上設(shè)置的拉簧連接；滑塊上設(shè)有密封圈槽，密封圈槽內(nèi)設(shè)置密封圈。此外，所述閥體本體上設(shè)置的拉簧是通過閥體本體兩側(cè)設(shè)置的彈簧鉤釘設(shè)置在閥體本體上。此外，所述驅(qū)動(dòng)氣缸包括缸體、缸蓋、活塞、活塞桿、固定座和固定塊；其中，缸體一端設(shè)置缸蓋，缸蓋上設(shè)有與缸體內(nèi)連通的進(jìn)排氣管一；缸體另一端設(shè)置固定座，固定座上設(shè)有與缸體內(nèi)連通的進(jìn)排氣管二，固定座前端設(shè)置定塊，活塞設(shè)置在缸體內(nèi)，活塞上連接活塞桿，活塞桿前端從缸體一端設(shè)置的固定座和定塊中伸出。從本發(fā)明實(shí)施方式提供的技術(shù)方案中可以看出，本發(fā)明實(shí)施方式的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，通過驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)底盤組件和支撐外殼內(nèi)的閥體組件，使閥體的運(yùn)動(dòng)配合機(jī)械限位，通過接觸面互相配合的凹槽和臺(tái)階，帶動(dòng)滑塊運(yùn)動(dòng)，可以方便的隔離封閉底盤組件中間部位的通孔，實(shí)現(xiàn)隔離裝置的打開或關(guān)閉。該隔離裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在占用體積有限的情況下實(shí)現(xiàn)隔離功能。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置的正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的A-A向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的支撐外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的底盤組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的底盤組件的另一角度結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的滑動(dòng)導(dǎo)軌組件的導(dǎo)軌槽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的底盤組件上安裝滑動(dòng)導(dǎo)軌組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的閥體組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的閥體組件的背面結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的閥體組件的閥體本體及其上部件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的閥體組件的滑塊的正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖13為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的閥體組件的滑塊的背面結(jié)構(gòu)示意圖；圖14為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的驅(qū)動(dòng)氣缸的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖15為本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的驅(qū)動(dòng)氣缸的正向結(jié)構(gòu)示意圖；圖16為圖15的B-B向剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖中各部件為1-支撐外殼；11-環(huán)形凹槽；12-環(huán)形凹臺(tái)；13-支撐外殼的通孔； 14-氣缸安裝通孔；2-底盤組件；21-底盤組件的通孔；22-環(huán)形槽；23-通槽；24-臺(tái)階；3-閥體組件；31-滑塊；3101-滑塊的密封圈槽；3102-滑塊的盤頭螺釘槽； 3103-滑塊的定位凸臺(tái)；32-閥體本體；33-突起；34-連接軸；35-密封圈；36-彈簧鉤釘； 37-拉簧；38-支架；39-滑軸；310-滑片；311-盤頭螺釘；312-矩形通孔；313-限位凹槽； 314-閥體本體的彈簧鉤釘；4-驅(qū)動(dòng)氣缸；41-缸體；42-缸蓋；43-固定座；44-定塊；45-活塞桿；46-進(jìn)排氣管一；47-進(jìn)排氣管二 ；48-活塞；5-滑動(dòng)導(dǎo)軌組件；51-導(dǎo)片；511-導(dǎo)軌槽兩側(cè)邊的突起；52-壓塊；53-滾輪。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。本發(fā)明實(shí)施例提供一種電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，可用在電子顯微鏡的觀察室中作為隔離閥，如圖1 3所示，該隔離裝置包括支撐外殼1、底盤組件2、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5、閥體組件3和驅(qū)動(dòng)氣缸4 ；其中，支撐外殼1中間部位設(shè)有環(huán)形凹槽11，環(huán)形凹槽11底部的支撐外殼上設(shè)有通孔12，通孔12與環(huán)形凹槽11內(nèi)連通；實(shí)際中，支撐外殼底部的通孔平時(shí)用封蓋封住，在安裝或拆卸時(shí)可以打開，使手能從下面伸入，輔助進(jìn)行安裝或拆卸。底盤組件2嵌裝在所述支撐外殼1中間部位的環(huán)形凹槽11內(nèi)，底盤組件中間部位設(shè)有通孔21，側(cè)壁上設(shè)有安裝閥體組件的通槽23，所述通槽23與所述底盤組件中間部位的通孔21連通；滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5設(shè)置在所述底盤組件2側(cè)壁的通槽23處，閥體組件3設(shè)置在所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5上，閥體組件3能沿該滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5滑動(dòng)從所述底盤組件2側(cè)壁上的通槽23內(nèi)伸出隔斷所述底盤組件的通孔21，以及沿所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5滑動(dòng)縮回至所述底盤組件2側(cè)壁上的通槽23內(nèi)；與底盤組件2側(cè)壁的通槽23對(duì)應(yīng)的支撐外殼1側(cè)壁上設(shè)置氣缸安裝通孔14，驅(qū)動(dòng)氣缸4安裝在所述支撐外殼側(cè)壁的氣缸安裝通孔14內(nèi)，驅(qū)動(dòng)氣缸4前端的活塞桿45與所述閥體組件3連接，驅(qū)動(dòng)氣缸4能驅(qū)動(dòng)所述閥體組件3沿所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5從所述底盤組件側(cè)壁向底盤組件中間部位的通孔21處伸出或從所述通孔21處縮回。如圖4所示，上述隔離裝置中的支撐外殼1為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的環(huán)形凹槽 11內(nèi)設(shè)置多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)12，多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)12形成階梯式結(jié)構(gòu)，環(huán)形凹槽11底部的支撐外殼上設(shè)有通孔12是在底部的環(huán)形凹臺(tái)下面的側(cè)壁上分別設(shè)置兩個(gè)通孔，兩個(gè)通孔與所述環(huán)形凹槽11內(nèi)連通；支撐外殼1側(cè)壁上設(shè)置的氣缸安裝通孔14為兩側(cè)是弧形的條形通孔，所述氣缸安裝通孔14與支撐外殼1中間部位的環(huán)形凹槽11內(nèi)連通。該支撐外殼1對(duì)驅(qū)動(dòng)氣缸4、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5起支撐作用的同時(shí)，在使用中該支撐外殼1上端可與電子顯微鏡的中間鏡密封連接，下端可與電子顯微鏡的觀察室密封連接。實(shí)際中，該支撐外殼也可作為電子顯微鏡的第二樣品室外殼。如圖5 6所示，上述隔離裝置中的底盤組件2為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的通孔 21外周設(shè)置一環(huán)形槽22，可用于設(shè)置密封圈；所述底盤組件2側(cè)壁上的通槽是設(shè)置在底盤組件的底部，通槽中間部位與底盤組件中間部位的通孔連通，通槽一側(cè)貫通底盤組件側(cè)壁，通槽兩側(cè)設(shè)有起導(dǎo)軌作用的臺(tái)階對(duì)。上述隔離裝置中的滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5包括導(dǎo)片51和限位部件；其中，導(dǎo)片51的結(jié)構(gòu)如圖7所示，具體是由一片狀體兩側(cè)邊設(shè)置突起511構(gòu)成，其中間形成槽狀結(jié)構(gòu)，導(dǎo)片51 一端設(shè)有固定螺栓孔，通過螺栓孔設(shè)置在所述底盤組件2 —側(cè)壁處的通槽23開口處，導(dǎo)片 51緊接底盤底部通槽臺(tái)階形成的導(dǎo)軌，作為底盤底部通槽的導(dǎo)軌的延伸，通槽配合形成供閥體組件2通過的結(jié)構(gòu)空間，在閥體組件3向外伸出時(shí)繼續(xù)對(duì)閥體組件3起導(dǎo)向和支撐作用。所述限位部件設(shè)置在所述底盤組件6另一側(cè)壁處的通槽23開口處，與導(dǎo)片51 —側(cè)的通槽相對(duì)，限位部件由壓塊52和滾輪53構(gòu)成(見圖8)，壓塊52為方形結(jié)構(gòu)，所述滾輪 53活動(dòng)設(shè)置在所述壓塊52的一端，能在壓塊52上滾動(dòng)?；瑒?dòng)導(dǎo)軌組件6安裝到底盤組件 2底部的示意如圖8所示，安裝后形成了承載閥體組件2移動(dòng)的平臺(tái)，對(duì)閥體組件2起支撐作用的同時(shí)，使得閥體組件2在驅(qū)動(dòng)氣缸4的驅(qū)動(dòng)下可以更平穩(wěn)的移動(dòng)。而限位部件可以在閥體組件2在驅(qū)動(dòng)氣缸4驅(qū)動(dòng)下向里移動(dòng)到與其接觸時(shí)，通過滾輪53對(duì)閥體組件2的滑塊31進(jìn)行限位。如圖9 13所示，上述隔離裝置中的閥體組件2包括滑塊31、閥體本體32、支架 38、滑軸39、滑片310、密封圈35、彈簧鉤釘36和拉簧37 ；其中，閥體本體32為方形結(jié)構(gòu)，其一側(cè)壁處設(shè)置突起33，所述突起33上設(shè)置連接驅(qū)動(dòng)氣缸4的活塞桿45的連接軸34，驅(qū)動(dòng)氣缸4的活塞桿45的末端有一孔可以套在該連接軸34上，從而將驅(qū)動(dòng)氣缸4與閥體組件3連接在一起，閥體本體32的中間部位設(shè)有矩形通孔312，矩形通孔312兩側(cè)的閥體本體上各設(shè)有一限位凹槽313，限位凹槽313的一側(cè)面為斜坡狀3131 ；滑片310 —端設(shè)置在閥體本體32上，滑片310的自由端設(shè)置在所述閥體本體32 的矩形通孔312內(nèi)；支架38設(shè)置在所述閥體本體32的矩形通孔312內(nèi)，支架38底部設(shè)置活動(dòng)的滑軸 39，支架38與滑軸39之間形成一定間隙，兩者配合穿設(shè)在所述矩形通孔312內(nèi)的所述滑片 310的自由端上，支架38通過滑軸39能沿滑片310相對(duì)滑動(dòng)；滑塊31固定設(shè)置在所述支架38上，蓋在所述閥體本體32上，滑塊31能隨支架38 通過滑軸39沿滑片310相對(duì)滑動(dòng)，滑塊31與閥體本體32的凹槽接觸處各設(shè)置一定位凸臺(tái) 3103，定位凸臺(tái)3103形狀與閥體本體的限位凹槽相匹配，其一側(cè)壁也為斜坡狀；滑塊31兩側(cè)分別設(shè)置彈簧鉤釘36，閥體本體32上也設(shè)置彈簧鉤釘314，使拉簧37兩端分別與滑塊31 上的彈簧鉤釘36、及閥體本體32上的彈簧鉤釘314連接，即拉簧37的兩端分別勾在閥體本體和滑塊的彈簧鉤釘上；閥體本體上設(shè)置的彈簧鉤釘可與滑塊31兩側(cè)設(shè)置的彈簧鉤釘36 相互垂直，滑塊31上設(shè)有密封圈槽3101，密封圈槽3101內(nèi)設(shè)置密封圈35。上述閥體組件2結(jié)構(gòu)中，滑片固定在閥體本體上，滑塊通過盤頭螺釘311固定在支架上，支架上安裝一滑軸，當(dāng)滑塊和閥體有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，滑片和滑軸之間也隨著產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，滑片卡在支架與滑軸之間，使滑塊與閥體在垂直方向上不互相脫離。滑塊位于閥體本體上，閥體本體在和滑塊的接觸面上設(shè)置的限位凹槽的一側(cè)為豎直的臺(tái)階，另一側(cè)為斜坡，滑塊上設(shè)置的定位凸臺(tái)的形狀與限位凹槽相同，限位凹槽和定位凸臺(tái)的臺(tái)階高度相同，斜坡也可以完全重合，這樣滑塊與閥體本體產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，限位凹槽和定位凸臺(tái)的臺(tái)階可以限制滑塊與閥體本體之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。由于拉簧的兩端分別勾在閥體本體和滑塊的彈簧鉤釘上，當(dāng)滑塊和閥體本體產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，兩個(gè)拉簧被拉伸或壓縮。拉簧可以起到緩沖和復(fù)位的作用，也可以使滑塊和閥體本體在垂直于拉伸方向上定位。該閥體組件3是觀察室隔離裝置的主隔離部件，通過閥體組件的移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)隔離裝置的開與關(guān)。閥體組件3在驅(qū)動(dòng)氣缸4的驅(qū)動(dòng)下，其運(yùn)動(dòng)的過程是驅(qū)動(dòng)氣缸4的活塞桿45驅(qū)動(dòng)閥體組件3向里運(yùn)動(dòng)時(shí)，當(dāng)滑塊31碰到滾輪53(限位部件的滾輪)后停止，閥體本體在活塞桿45的推動(dòng)下繼續(xù)向前，此時(shí)由于滑塊31不動(dòng)，滑塊31與閥體本體32之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)，滑塊31相對(duì)于閥體本體沿著它們之間接觸處的限位凹槽的斜坡向上滑，這樣滑塊31與上端底盤組件的接觸面通過密封圈被密封，閥體本體32運(yùn)動(dòng)到其一側(cè)的臺(tái)階碰到滑塊時(shí)也停止運(yùn)動(dòng)；驅(qū)動(dòng)氣缸4的活塞桿45驅(qū)動(dòng)閥體組件3向外運(yùn)動(dòng)時(shí)，閥體本體32在活塞桿45的帶動(dòng)下向外運(yùn)動(dòng)，滑塊31先不動(dòng)，滑塊31相對(duì)于閥體本體32沿接觸面的限位凹槽的斜坡向下滑，直到碰到接觸面另一側(cè)的臺(tái)階，閥體本體32通過臺(tái)階帶動(dòng)滑塊31隨之運(yùn)動(dòng)，隔離裝置被打開(即底盤組件中間的通孔被打開)，當(dāng)閥體本體32的一側(cè)碰到驅(qū)動(dòng)氣缸4的定塊44時(shí)停止運(yùn)動(dòng)。如圖14 16所示，上述隔離裝置中的驅(qū)動(dòng)氣缸4包括缸體41、缸蓋42、活塞48、 活塞桿45、固定座43和固定塊44 ；缸體41 一端設(shè)置缸蓋42，缸蓋上設(shè)有與缸體內(nèi)連通的進(jìn)排氣管二 47 ；缸體41另一端設(shè)置固定座43，固定座43起到缸體41的缸蓋的作用，固定座43上設(shè)有與缸體41內(nèi)連通的進(jìn)排氣管一 46，固定座43前端設(shè)置固定塊44，定位塊44的形狀與支撐外殼1上的氣缸安裝孔14的形狀相匹配，從而可方便的將氣缸組件定位安裝到支撐外殼1上，活塞48設(shè)置在缸體41內(nèi)，活塞41上連接活塞桿45，連接軸45前端從缸體41 一端設(shè)置的固定座43和定塊44中伸出。該驅(qū)動(dòng)氣缸4是閥體組件3移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，可以方便的控制閥體組件3移動(dòng)，從而控制隔離裝置的開與關(guān)。上述隔離裝置中，為實(shí)現(xiàn)更好的密封，可在需要密封的兩個(gè)零件之間設(shè)置密封圈， 通過設(shè)置的密封圈實(shí)現(xiàn)端面密封和徑向密封。上述隔離裝置工作時(shí)，通過向驅(qū)動(dòng)氣缸中通過氣體，控制驅(qū)動(dòng)氣缸內(nèi)的活塞帶動(dòng)活塞連接的活塞桿移動(dòng)，從而驅(qū)使活塞桿前端的閥體組件在滑動(dòng)導(dǎo)軌組件上移動(dòng)，向底盤組件中間的通孔中伸出或從通孔中縮回，伸出時(shí)，閥體組件將底盤組件中間部位的通孔隔離封閉，縮回時(shí)，使底盤組件中間部位的通孔開通。綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的隔離裝置的優(yōu)點(diǎn)在于(1)采用驅(qū)動(dòng)氣缸作為驅(qū)動(dòng)裝置，氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)具有體積小、作用力大、工作可靠、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)；( 氣缸活塞運(yùn)動(dòng)的限位為機(jī)械限位，當(dāng)活塞運(yùn)動(dòng)受到阻力后，氣缸兩腔的壓力差發(fā)生變化，當(dāng)變化到一定的數(shù)值后活塞停止運(yùn)動(dòng)，此時(shí)隔離裝置打開或閉合；機(jī)械限位安全可靠，且在容易實(shí)現(xiàn)；(3)閥體組件在滑動(dòng)導(dǎo)軌組件的導(dǎo)片上滑動(dòng)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，無(wú)卡牢現(xiàn)象；(4)閥體組件的滑塊上安裝有彈簧，當(dāng)閥體組件碰觸到機(jī)械限位裝置時(shí)起緩沖作用，使閥體組件運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)可靠。(5)該隔離裝置的閥體組件的運(yùn)動(dòng)配合機(jī)械限位，通過接觸面的互相配合的凹槽和臺(tái)階，帶動(dòng)滑塊運(yùn)動(dòng)，使隔離閥打開或關(guān)閉。這種結(jié)構(gòu)方式簡(jiǎn)單巧妙，在占用體積有限的情況下很好的實(shí)現(xiàn)隔離閥的功能。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換， 都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，包括支撐外殼、底盤組件、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件、閥體組件和驅(qū)動(dòng)氣缸；其中，支撐外殼中間部位設(shè)有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽底部的支撐外殼上設(shè)有通孔，通孔與環(huán)形凹槽內(nèi)連通；底盤組件嵌裝在所述支撐外殼中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)，底盤組件中間部位設(shè)有通孔， 底盤組件側(cè)壁上設(shè)有安裝閥體組件的通槽，所述通槽與所述底盤組件中間部位的通孔連通；滑動(dòng)導(dǎo)軌組件設(shè)置在所述底盤組件側(cè)壁的通槽內(nèi)，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件上設(shè)有能沿該滑動(dòng)導(dǎo)軌組件滑動(dòng)從所述底盤組件側(cè)壁的通槽處伸出或縮回從而隔斷或開通所述底盤組件通孔的閥體組件；與底盤組件側(cè)壁的通槽對(duì)應(yīng)的支撐外殼側(cè)壁上設(shè)置氣缸安裝通孔，驅(qū)動(dòng)氣缸通過所述氣缸安裝通孔安裝在所述支撐外殼側(cè)壁上，驅(qū)動(dòng)氣缸前端的活塞桿與所述閥體組件連接， 驅(qū)動(dòng)所述閥體組件沿所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件從底盤組件側(cè)壁的通槽處向該底盤組件中間部位的通孔處伸出或從所述通孔處縮回。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述支撐外殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)有多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)，多個(gè)環(huán)形凹臺(tái)形成階梯式結(jié)構(gòu)；支撐外殼側(cè)壁上設(shè)置的氣缸安裝通孔是兩側(cè)為弧形的條形通孔，所述氣缸安裝通孔與支撐外殼中間部位的環(huán)形凹槽內(nèi)連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述底盤組件為圓柱形結(jié)構(gòu)，其中間部位的通孔外周設(shè)置一環(huán)形槽；通槽設(shè)置在底盤組件的底部，通槽中間部位與底盤組件中間部位的通孔連通，通槽一側(cè)貫通底盤組件側(cè)壁，通槽兩側(cè)設(shè)有起導(dǎo)軌作用的臺(tái)階。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件包括導(dǎo)片和限位部件；其中，所述導(dǎo)片設(shè)置在底盤組件貫通底盤組件側(cè)壁一側(cè)的通槽處；所述限位部件設(shè)置在底盤組件的另一側(cè)通槽內(nèi)，與導(dǎo)片相對(duì)，限位部件由壓片和滾輪構(gòu)成，壓片設(shè)置在對(duì)應(yīng)于設(shè)置導(dǎo)片的底盤組件另一側(cè)的通槽內(nèi)，壓片內(nèi)設(shè)置活動(dòng)的滾輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述閥體組件包括閥體本體、滑片、支架、滑軸、滑塊、彈簧鉤釘、拉簧和密封圈；其中，閥體本體為方形結(jié)構(gòu)，其一側(cè)壁處設(shè)置突起，所述突起上設(shè)置連接驅(qū)動(dòng)氣缸活塞桿的連接軸，閥體本體的中間部位設(shè)有矩形通孔，矩形通孔兩側(cè)的閥體本體上各設(shè)有一限位凹槽，限位凹槽的一側(cè)面為斜坡狀；滑片一端設(shè)置在閥體本體上，滑片的自由端設(shè)置在所述閥體本體的矩形通孔內(nèi)；支架設(shè)置在所述閥體本體的矩形通孔內(nèi)，支架底部設(shè)置活動(dòng)的滑軸，支架與滑軸配合穿設(shè)在所述矩形通孔內(nèi)的所述滑片的自由端上，支架通過滑軸能沿滑片相對(duì)滑動(dòng)；滑塊固定設(shè)置在所述支架上，蓋在所述閥體本體上，滑塊與閥體本體的凹槽接觸處各設(shè)置一定位凸臺(tái)，定位凸臺(tái)形狀與閥體本體的限位凹槽相匹配；滑塊兩側(cè)分別設(shè)置彈簧鉤釘，彈簧鉤釘與閥體本體上設(shè)置的拉簧連接；滑塊上設(shè)有密封圈槽，密封圈槽內(nèi)設(shè)置密封圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述閥體本體上設(shè)置的拉簧是通過閥體本體兩側(cè)設(shè)置的彈簧鉤釘設(shè)置在閥體本體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)氣缸包括缸體、缸蓋、活塞、活塞桿、固定座和固定塊；其中， 缸體一端設(shè)置缸蓋，缸蓋上設(shè)有與缸體內(nèi)連通的進(jìn)排氣管一； 缸體另一端設(shè)置固定座，固定座上設(shè)有與缸體內(nèi)連通的進(jìn)排氣管二，固定座前端設(shè)置定塊，活塞設(shè)置在缸體內(nèi)，活塞上連接活塞桿，活塞桿前端從缸體一端設(shè)置的固定座和定塊中伸出。
全文摘要
本發(fā)明公開一種電子顯微鏡的觀察室隔離裝置，屬于電子顯微鏡領(lǐng)域。該裝置由支撐外殼、底盤組件、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件、閥體組件和驅(qū)動(dòng)氣缸連接構(gòu)成；通過氣缸驅(qū)動(dòng)閥體組件，隔離或開通設(shè)置在支撐外殼的環(huán)形凹槽內(nèi)的底盤組件的通孔，實(shí)現(xiàn)開關(guān)的目的。該隔離裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于操作，裝配及維修方便，并且采用驅(qū)動(dòng)氣缸作為驅(qū)動(dòng)裝置，氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)具有體積小、作用力大、工作可靠、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)；閥體的運(yùn)動(dòng)配合機(jī)械限位，通過接觸面的互相配合的凹槽和臺(tái)階，帶動(dòng)滑塊運(yùn)動(dòng)，使隔離閥打開或關(guān)閉，在占用體積有限的情況下實(shí)現(xiàn)隔離閥功能。
文檔編號(hào)H01J37/02GK102231355SQ20111013458
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月23日
發(fā)明者于成交, 姚駿恩, 孫茂多, 孟凡念, 張春熹, 楊彥杰, 董全林, 袁水平 申請(qǐng)人:北京航空航天大學(xué)