專利名稱：取樣臺(tái)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及取樣臺(tái)裝置領(lǐng)域，且特別涉及一種用于電感耦合等離子體質(zhì)譜儀的取樣臺(tái)裝置。
背景技術(shù)：
電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)技術(shù)，已成為目前各種物料中痕量元素分析的主要手段之一，由于該技術(shù)分析靈敏度高，能做多元素快速分析，檢出限低，動(dòng)態(tài)范圍寬， 分析精密度好，識(shí)譜簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的濕法腐蝕和化學(xué)品輸送系統(tǒng) (FAC CDS)中。而取樣臺(tái)裝置是ICP-MS技術(shù)的重要部件，是保證樣品分析快速完成和操作安全的根本。目前，行業(yè)中用不同的容器盛放不同的樣品試劑，例如晶圓表面元素分析時(shí)采用小一點(diǎn)的試劑瓶盛放樣品，盛放HF溶液時(shí)用高一點(diǎn)的試劑瓶，但是在試劑元素分析時(shí)，無論哪種規(guī)格的樣品試劑盛放容器，都會(huì)被放置在ICP-MS的取樣臺(tái)上，如圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)的取樣臺(tái)示意圖，取樣臺(tái)10僅由數(shù)個(gè)磁盒體構(gòu)成，磁盒體的個(gè)數(shù)根據(jù)樣品試劑盛放容器11 的高度進(jìn)行調(diào)整。這種由磁盒堆疊而成的簡(jiǎn)易取樣臺(tái)，一方面沒有固定連接點(diǎn)，很容易坍塌，使盛放的有毒試劑傾泄飛濺，造成人生安全威脅；另一方面沒有護(hù)欄，操作過程中，取樣試劑盛放容器11很容易從取樣臺(tái)10上滑落，導(dǎo)致取樣試劑盛放容器11破碎和樣品試劑潑灑。因此，急需一種應(yīng)用于ICP-MS的取樣臺(tái)裝置，不僅能使?jié)M足不同樣品的放置要求，而且還能降低操作的安全隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，滿足不同樣品的放置要求，而且降低操作的安
^^^ 急 ^^ ο為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，包括支架，包括水平支架臺(tái)和垂直固定于水平支架臺(tái)上的支架豎桿；取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括連接水平桿和設(shè)置于連接水平桿一端的取樣臺(tái)；套鎖結(jié)構(gòu)，連接支架和取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，其包括連接塊和設(shè)置于連接塊上的鎖緊固件， 所述連接塊設(shè)有套接于支架豎桿上的豎直套孔和套接于連接水平桿另一端的水平套孔。進(jìn)一步的，所述支架豎桿表面是粗糙的。進(jìn)一步的，所述鎖緊固件為鎖母結(jié)構(gòu)或把手拉桿鎖件。進(jìn)一步的，所述取樣臺(tái)設(shè)有孔洞，最外圈孔洞的外側(cè)設(shè)有相通的溢出槽，取樣臺(tái)的外圍設(shè)有護(hù)欄。進(jìn)一步的，所述取樣臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有連通孔洞與溢出槽的導(dǎo)管。進(jìn)一步的，所述取樣臺(tái)裝置還包括回收結(jié)構(gòu)，所述回收結(jié)構(gòu)包括連通溢出槽的回收導(dǎo)管和連通回收導(dǎo)管的回收容器。[0015]進(jìn)一步的，所述取樣臺(tái)裝置采用抗腐蝕性材料制作。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，通過豎直套孔和水平套孔的套鎖結(jié)構(gòu)任意調(diào)節(jié)取樣臺(tái)在豎直和水平方向上的位置，滿足樣品分析對(duì)高度的要求；通過規(guī)則排列的孔洞和護(hù)欄結(jié)構(gòu)提高取樣臺(tái)的使用效率，降低操作中的安全隱患；通過溢出槽和回收結(jié)構(gòu)方便回收試劑，保護(hù)環(huán)境。

圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)的取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的取樣臺(tái)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了更了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖示說明如下。請(qǐng)參考圖2，圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的取樣臺(tái)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，包括支架20、取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)22以及連接支架20和取樣臺(tái)結(jié)構(gòu) 22的套鎖結(jié)構(gòu)21。請(qǐng)參考圖2，所述支架20由水平支架臺(tái)201和垂直固定于支架臺(tái)201上的支架豎桿202構(gòu)成，本實(shí)施例中支架豎桿202豎直表面有螺紋，使套鎖結(jié)構(gòu)21能更加牢固地鎖緊固定取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)22，在其他實(shí)施例中支架豎桿202豎直表面可以是其他粗造面，利于固定取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)22。請(qǐng)參考圖2，所述取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)22包括連接水平桿221和取樣臺(tái)220，連接水平桿 221的一端固定連接取樣臺(tái)220，本實(shí)施例中取樣臺(tái)220的形狀是方形的，其他實(shí)施例中取樣臺(tái)220的形狀是可任意選的，矩形、梯形，圓形等都可以。請(qǐng)參考圖3，所述取樣臺(tái)220中設(shè)有孔洞2M作為樣品試劑盛放的小試劑瓶的安放位置，每個(gè)孔洞224的孔徑可以不相同，可按照小試劑瓶的不同規(guī)格制造，樣品試劑盛放的大試劑瓶可以直接安置于取樣臺(tái)220上；取樣臺(tái)220外圍設(shè)有護(hù)欄222，試劑瓶發(fā)生意外傾倒時(shí)用于防止樣品飛濺和試劑瓶滑落；取樣臺(tái)220內(nèi)部設(shè)有連通孔洞224與溢出槽223的導(dǎo)管225，最外圈孔洞224的外側(cè)設(shè)有相通的溢出槽223，用于試劑瓶發(fā)生意外傾倒時(shí)樣品廢液匯集回收，溢出槽223的形狀可以匹配取樣臺(tái)220的形狀制作。請(qǐng)參考圖2，所述套鎖結(jié)構(gòu)21包括連接塊213和鎖緊固件212，所述連接塊213設(shè)有套接于支架豎桿202上的豎直套孔和套接于連接水平桿221另一端的水平套孔，本實(shí)施例中鎖緊固件212為把手拉桿鎖件，使用時(shí)將把手拉下就能將取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)22在某一高度固定住。在其他實(shí)施例中，鎖緊固件可以是鎖母結(jié)構(gòu)。請(qǐng)參考圖2，本實(shí)施例中，取樣臺(tái)裝置還包括回收結(jié)構(gòu)23，由回收容器231和連通溢出槽223的回收導(dǎo)管232構(gòu)成，用于方便回收樣品廢液，保護(hù)環(huán)境。本實(shí)施例中所述取樣臺(tái)裝置采用PTFE(聚四氯乙烯)材料制作，在其他實(shí)例中取樣臺(tái)裝置也可以采用其他抗腐蝕材料制作。綜上所述，本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，通過豎直套孔和水平套孔的套鎖結(jié)構(gòu)任意調(diào)節(jié)取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)在豎直和水平方向上的位置，滿足樣品分析對(duì)高度的要求；通過規(guī)則排列的孔洞和護(hù)欄結(jié)構(gòu)提高取樣臺(tái)的使用效率，降低操作中的安全隱患；通過溢出槽和回收結(jié)構(gòu)回收試劑，保護(hù)環(huán)境。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種取樣臺(tái)裝置，其特征在于，包括支架，包括水平支架臺(tái)和垂直固定于水平支架臺(tái)上的支架豎桿；取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括連接水平桿和設(shè)置于連接水平桿一端的取樣臺(tái)；套鎖結(jié)構(gòu)，連接支架和取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，其包括連接塊和設(shè)置于連接塊上的鎖緊固件，所述連接塊設(shè)有套接于支架豎桿上的豎直套孔和套接于連接水平桿另一端的水平套孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述支架豎桿表面是粗糙的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述鎖緊固件為鎖母結(jié)構(gòu)或把手拉桿鎖件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述取樣臺(tái)設(shè)有孔洞，最外圈孔洞的外側(cè)設(shè)有相通的溢出槽，取樣臺(tái)的外圍設(shè)有護(hù)欄。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述取樣臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有連通孔洞與溢出槽的導(dǎo)管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述取樣臺(tái)裝置還包括回收結(jié)構(gòu)， 所述回收結(jié)構(gòu)包括連通溢出槽的回收導(dǎo)管和連通回收導(dǎo)管的回收容器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取樣臺(tái)裝置，其特征在于，所述取樣臺(tái)裝置采用抗腐蝕性材料制作。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種取樣臺(tái)裝置，包括支架，包括水平支架臺(tái)和垂直固定于水平支架臺(tái)上的支架豎桿；取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括連接水平桿和設(shè)置于連接水平桿一端的取樣臺(tái)；套鎖結(jié)構(gòu)，連接支架和取樣臺(tái)結(jié)構(gòu)，其包括連接塊和設(shè)置于連接塊上的鎖緊固件，所述連接塊設(shè)有套接于支架豎桿上的豎直套孔和套接于連接水平桿另一端的水平套孔。所述取樣臺(tái)裝置，通過豎直套孔和水平套孔的套鎖結(jié)構(gòu)任意調(diào)節(jié)取樣臺(tái)在豎直和水平方向上的位置，滿足樣品分析對(duì)高度的要求；通過規(guī)則排列的孔洞和護(hù)欄結(jié)構(gòu)提高取樣臺(tái)的使用效率，降低操作中的安全隱患；通過溢出槽和回收結(jié)構(gòu)方便回收試劑，保護(hù)環(huán)境。
文檔編號(hào)H01J49/04GK201966175SQ20102067441
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月21日
發(fā)明者譚玉榮 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司