專利名稱：一種離子注入束線法拉第的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種離子注入束線法拉第，特別涉及半導體制造離子注入工藝中所用的離子注入機，屬于半導體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
離子注入機是現(xiàn)代半導體集成電路制造中必不可少的工藝設備?，F(xiàn)今的半導體集成電路制造工藝對離子注入機的要求越來越高。不僅對整機可靠性、束流純凈度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求，而且對注入機的離子能量范圍、束斑形狀、離子束傳輸效率等也提出了很高的要求，并對其工藝和設備的要求越來越高。特別是對注入機光路系統(tǒng)的要求更加嚴格。本發(fā)明是一種檢測束流的裝置，杯測束底板可進行90度旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，可根據(jù)需求調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)使束流通過。杯測束底板4上的燃燒傳感器5可檢測到束流。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明專利一種離子注入束線法拉第，是一個束流的檢測裝置，可檢測束流是否到達束線法拉第以及測量出所引出的束流大小。本發(fā)明通過以下技術(shù)方式實現(xiàn)一種離子注入束線法拉第，主要包括安裝法蘭(1)、絕緣安裝板(2)、燃燒傳感器 (3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉(zhuǎn)軸(7)、氣缸(S)0所述的旋轉(zhuǎn)軸(7)通過與氣缸連接完成旋轉(zhuǎn)動作。所述的拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭1上，主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞。所述的絕緣安裝板(2)安裝在安裝法蘭(1)內(nèi)側(cè)與杯框相連，處于杯框(6)和安裝法蘭(1)之間，主要起絕緣作用且有一定的密封效果。所述的杯測束底板⑷安裝在杯框(6)的左側(cè)。所述的燃燒傳感器(3)在杯測束底板中心位置杯框(6)內(nèi)，主要作用是用于檢測杯測束底板(4)束流。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點安裝結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，工作可靠，重復性高，檢測能力強。


附圖1是本發(fā)明的一種實施方式的示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖的具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
參考圖1，一種離子注入束線法拉第，包括安裝法蘭(1)、絕緣安裝板O)、燃燒傳感器(3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉(zhuǎn)軸(7)、氣缸(8)。所述的旋轉(zhuǎn)軸 (7)通過與氣缸(8)連接完成旋轉(zhuǎn)動作，拆裝導桿孔( 處在安裝法蘭(1)上；所述的拆裝導桿孔(5)主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞，絕緣安裝版 ⑵安裝在安裝法蘭⑴內(nèi)側(cè)與杯框相連；所述絕緣安裝板⑵處于杯框(6)和安裝法蘭 (1)之間，主要起絕緣作用且有一定的密封效果；所述的杯測束底板(4)安裝在杯框(6)的左側(cè)，其中心位置杯框(6)內(nèi)安裝燃燒傳感器(3)；所述的燃燒傳感器C3)用于檢測杯測束底板⑷束流。束線法拉第設計為旋轉(zhuǎn)90度切換結(jié)構(gòu)，杯體由杯框(6)和杯測束底板(4)組成， 采用高純石墨，底部設計杯底穿孔檢測傳感器(3)。旋轉(zhuǎn)軸(7)采用抽真空密封，杯測束底板⑷的旋轉(zhuǎn)動作由氣缸⑶驅(qū)動，雙向設計到位行程開關(guān)，測束底板⑷轉(zhuǎn)動，杯框(6) 保持不動。整體與真空腔絕緣，用于束流檢測。下部設計用于便于維護拆裝的導桿孔(5)， 安裝滑動滾珠套。測束底板(6)采用水冷，對外水冷接頭和壓縮空氣接頭采用自密封快插接頭，密封用真空接頭采用雙卡套。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權(quán)利要求
1.一種離子注入束線法拉第，其特征在于安裝法蘭(1)、絕緣安裝板O)、燃燒傳感器 (3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉(zhuǎn)軸(7)、氣缸(S)0
2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于旋轉(zhuǎn)軸(7)連接杯測束底板G)，其旋轉(zhuǎn)動作由氣缸(8)帶動完成。
3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭(1)上，所述的拆裝導桿孔(5)主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞。
4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于杯測束底板(4)安裝中心位置杯框(6)內(nèi)安裝燃燒傳感器(3)，主要作用是用于檢測杯測束底板(4)束流。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種離子注入束線法拉第，涉及離子注入機，屬于半導體制造領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括安裝法蘭(1)、絕緣安裝板(2)、燃燒傳感器(3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉(zhuǎn)軸(7)、氣缸(8)。所述的旋轉(zhuǎn)軸(7)通過與氣缸(8)連接完成旋轉(zhuǎn)動作，拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭(1)上；所述的拆裝導桿孔(5)主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞，絕緣安裝版(2)安裝在安裝法蘭(1)內(nèi)側(cè)與杯框相連；所述絕緣安裝板(2)處于杯框(6)和安裝法蘭(1)之間，主要起絕緣作用且有一定的密封效果；所述的杯測束底板(4)安裝在杯框(6)的左側(cè)，其中心位置杯框(6)內(nèi)安裝燃燒傳感器(3)；所述的燃燒傳感器(3)用于檢測杯測束底板(4)束流。
文檔編號H01J37/317GK102569117SQ20101062190
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者劉世勇, 唐景庭, 曹遠翔, 李慧, 林萍, 胡寶富 申請人:北京中科信電子裝備有限公司