專利名稱：等離子體放電與霧化接枝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及等離子體應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種等離子體放電與霧化接枝
裝置，是在常壓下在兩個圓弧形等離子體放電區(qū)間之間安裝的一個實現(xiàn)對薄膜表面接枝的 裝置。
背景技術(shù)：
過去為了提高材料表面的親水性一般是采用萘鈉法腐蝕材料的表面，采用該方法 會帶來嚴(yán)重的有毒有害的液體排放，給環(huán)保帶來很大隱患。 利用常壓等離子體處理薄膜材料，提高材料表面的親水性是在近年來迅速發(fā)展起 來的等離子體應(yīng)用技術(shù)之一，但是一般材料經(jīng)過等離子體處理后其表面親水的時效性一般 都保持不長時間，為了保持薄膜材料表面親水的時效性，在進行等離子體處理后，還需要在 薄膜表面進行接枝聚合一種新的親水基團。 本實用新型是基于保持薄膜材料的親水性為目的，在經(jīng)過等離子體處理后再在其 表面接枝一種親水基團，所研制的裝置是一個結(jié)合等離子體放電表面處理和霧化接枝為連 續(xù)組合處理的一種新裝置。

實用新型內(nèi)容( — )要解決的技術(shù)問題 有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種等離子體放電與霧化接枝裝置， 以利用集成輝光等離子體放電和液體霧化的區(qū)域來處理穿過該通道的各種薄膜材料，尤其 是對材料的表面進行接枝改性處理。
( 二 )技術(shù)方案 為達到上述目的，本實用新型提供了一種等離子體放電與霧化接枝裝置，該裝置 包括 —組霧化噴頭，該組霧化噴頭安裝在一個與支架連接的屏蔽罩上；禾口 兩個高壓電極，位于霧化噴頭的兩側(cè)，該兩個高壓電極與電源的一端連接，外側(cè)安
裝一個與大地連接的屏蔽罩，內(nèi)側(cè)設(shè)有一個金屬圓滾軸地電極。 上述方案中，該組霧化噴頭霧化噴出的液體構(gòu)成一個平面，噴在薄膜的表面。 上述方案中，該高壓電極的形狀為圓弧瓦片形狀，所連接的高壓電源的輸出電壓 大于5KV，頻率范圍是1至40KHz。 上述方案中，該高壓電源是采用高頻電源，或者是采用射頻電源。 上述方案中，該高壓電極的圓弧內(nèi)側(cè)面與該金屬圓滾軸的外表面具有一定的間距。 上述方案中，該金屬圓滾軸地電極安裝在一個與大地連接的支架上，在該在金屬 圓滾軸地電極兩側(cè)分別安裝有薄膜導(dǎo)向軸，薄膜材料能夠通過高壓電極與金屬圓滾軸地電 極之間的等離子體放電區(qū)域。
3[0016] 上述方案中，該兩個高壓電極和該金屬圓滾軸地電極采用鋁材料制成。 上述方案中，該屏蔽罩采用鋁材料制成。(三)有益效果 本實用新型提供的這種等離子體放電與霧化接枝裝置，其優(yōu)點是 1、在大氣壓下產(chǎn)生空氣輝光放電的區(qū)間之間加入一個霧化裝置，集成和等離子體
放電和表面霧化接枝技術(shù)。 2、表面接枝后時效性好，可以用于對薄膜材料的表面接枝與改性處理。
圖1是依照本實用新型實施例提供的等離子體放電與霧化接枝裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu) 示意圖； 圖2是依照本實用新型實施例提供的等離子體放電與霧化接枝裝置的正面結(jié)構(gòu) 示意圖。
具體實施方式為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并 參照附圖，對本實用新型進一步詳細(xì)說明。 參閱圖1和圖2圖分別為本實用新型實施例的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖和正面結(jié)構(gòu)示意 圖。一組霧化噴頭109安裝在一個與支架111連接的屏蔽罩104上，該霧化噴頭可以霧化噴 出各種液體，在霧化噴頭的兩側(cè)分別安裝兩個高壓電極103，該高壓電極103與電源110的 高壓端連接，在該高壓電極103的外側(cè)安裝一個與大地連接的屏蔽罩104，該高壓電極103 內(nèi)側(cè)設(shè)有一個金屬圓滾軸地電極112，該金屬圓滾軸地電極112通過軸承107安裝在一個與 大地連接的支架113上，該支架安裝在一個底座101上，在該在金屬圓滾軸地電極112的兩 側(cè)分別安裝有薄膜導(dǎo)向軸102，當(dāng)在高壓電極103與金屬圓筒軸地電極112之間加上高頻或 射頻電壓時，在兩電極103和112之間的區(qū)域(縫隙)中產(chǎn)生等離子體。薄膜材料114可 以穿過該兩個電極之間的縫隙。 圖1和圖2中，105、106、108和107是固定螺絲，其中106是和絕緣材料板連接，該 絕緣材料板是用來固定電極103， 113和111是金屬固定連接板。 電極112和103是用鋁材料制成，屏蔽罩104可以用鋁材料，也可以用其它材料制 成。 電源110可以是采用高頻電源，也可以是采用射頻電源。 以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一 步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本 實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包 含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該裝置包括一組霧化噴頭，該組霧化噴頭安裝在一個與支架連接的屏蔽罩上；和兩個高壓電極，位于霧化噴頭的兩側(cè)，該兩個高壓電極與電源的一端連接，外側(cè)安裝一個與大地連接的屏蔽罩，內(nèi)側(cè)設(shè)有一個金屬圓滾軸地電極。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該組霧化噴頭 霧化噴出的液體構(gòu)成一個平面，噴在薄膜的表面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該高壓電極的 形狀為圓弧瓦片形狀，所連接的高壓電源的輸出電壓大于5KV，頻率范圍是l至40KHz。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該高壓電源是 采用高頻電源，或者是采用射頻電源。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該高壓電極的 圓弧內(nèi)側(cè)面與該金屬圓滾軸的外表面具有一定的間距。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該金屬圓滾軸 地電極安裝在一個與大地連接的支架上，在該在金屬圓滾軸地電極兩側(cè)分別安裝有薄膜導(dǎo) 向軸，薄膜材料能夠通過高壓電極與金屬圓滾軸地電極之間的等離子體放電區(qū)域。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該兩個高壓電 極和該金屬圓滾軸地電極采用鋁材料制成。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體放電與霧化接枝裝置，其特征在于該屏蔽罩采用 鋁材料制成。
專利摘要本實用新型公開了一種等離子體放電與霧化接枝裝置，該裝置包括一組霧化噴頭，該組霧化噴頭安裝在一個與支架連接的屏蔽罩上；和兩個高壓電極，位于霧化噴頭的兩側(cè)，該兩個高壓電極與電源的一端連接，外側(cè)安裝一個與大地連接的屏蔽罩，內(nèi)側(cè)設(shè)有一個金屬圓滾軸地電極。利用本實用新型，在大氣壓下產(chǎn)生空氣輝光放電的區(qū)間之間加入一個霧化裝置，集成和等離子體放電和表面霧化接枝技術(shù)。另外，表面接枝后時效性好，可以用于對薄膜材料的表面接枝與改性處理。
文檔編號H01J37/04GK201518309SQ200920246628
公開日2010年6月30日 申請日期2009年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月21日
發(fā)明者張超前, 楊景華, 王守國, 趙玲利 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所