專利名稱：一種燈絲對中組裝裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及儀器儀表(分析儀器)領域，特別是一種電子顯微鏡中的燈絲對中組裝裝置。
背景技術：
電子顯微鏡中的電子槍是一個微小的高亮度電子源，其作用就是為整個系統(tǒng)提供 一個穩(wěn)定的電子源以形成電子束。電子槍是由鎢絲熱陰極、柵極和陰極構成的部件，能發(fā)射 并形成速度均勻的電子束。電子槍的鎢絲熱陰極(或稱之為燈絲座、燈絲柵帽組件)用于 發(fā)射電子，由柵帽和燈絲陶瓷組件按照工藝精度要求裝配而成，在燈絲陶瓷組件上焊接有 發(fā)叉鎢絲(即發(fā)射燈絲)。燈絲柵帽組件要安裝在燈絲固定座上，以形成燈絲組件，而燈絲 組件則還需要與燈絲粘結組件裝配到一起。在燈絲粘結組件上成型有中心小孔，這個中心 小孔適于發(fā)射燈絲發(fā)射出來的電子束穿過。在將燈絲組件與燈絲粘結組件裝配到一起時，精確度要求非常高，要保證發(fā)射燈 絲尖端的軸線與燈絲粘結組件的中心小孔圓心重合(即同心度要求)，這一組裝過程僅靠 手工操作會產生很大誤差，遠達不到工藝精度要求。由于上述高精度的裝配要求，組裝過程 不僅需要在光學顯微鏡的配合下完成，更需要一個專業(yè)裝置來輔助組裝，但是目前市場上 還沒有這種能夠將燈絲組件精確安裝在燈絲粘結組件上的裝置。
實用新型內容為此，本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種能精確地將燈絲組件安裝在 燈絲粘結組件上的燈絲對中組裝裝置。為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下一種燈絲對中組裝裝置，包括基座；同心度控制組件，固定在所述基座上，用于控制所述燈絲尖端的軸線與燈絲粘結 組件上適于發(fā)射燈絲發(fā)射的電子束穿過的中心小孔圓心的同心度；固定組件，設置在所述基座上，用于將燈絲組件或所述燈絲粘結組件與所述基座 固定。上述組裝裝置中，所述同心度控制組件包括至少三個沿所述中心小孔周向排布的 同心度控制部件，每個所述同心度控制部件包括一個可沿所述中心小孔徑向移動的測量桿 和限制所述測量桿移動的鎖緊機構。上述組裝裝置中，所述同心度控制組件包括四個所述同心度控制部件，四個所述 同心度控制部件兩兩相對設置。上述組裝裝置中，相鄰兩個所述同心度控制部件的夾角為90度。上述組裝裝置中，所述基座上成型有適于容納所述燈絲組件、所述燈絲粘結組件 的腔室和兩個與所述腔室連通的長槽孔；所述固定組件用于將所述燈絲粘結組件與所述基座固定，所述燈絲粘結組件置于所述腔室的腔室底面上，所述固定組件包括壓板和用于鎖 緊/松開所述壓板的螺釘；所述壓板置于所述長槽孔的孔底面，其上成型有適于所述螺釘 穿過的長孔，所述長孔的長度延伸方向穿過所述腔室的截面；所述孔底面高于所述腔室底 面，所述壓板能通過所述螺釘將所述燈絲粘結組件壓緊固定。上述組裝裝置中，兩個所述長槽孔相對于所述中心小孔的軸向對稱，且其長度延伸方向垂直并穿過所述中心小孔的軸。本實用新型的上述技術方案相比現(xiàn)有技術具有以下優(yōu)點①本實用新型的燈絲對 中組裝裝置，能夠將燈絲組件與燈絲粘結組件方便地、精確地組裝在一起，解決了現(xiàn)有技術 中燈絲組件與燈絲粘結組件精確組裝難的問題；②本實用新型的燈絲對中組裝裝置，能夠 達到非常高的組裝精確度，能保證發(fā)射燈絲尖端的軸線與燈絲粘結組件的中心小孔圓心重 合(即同心度要求)，誤差小于0. 002mm;③本實用新型的燈絲對中組裝裝置，設有同心度控 制組件，包括至少三個沿中心小孔周向排布的同心度控制部件，特別是有兩組相對設置的 四個同心度控制部件，相鄰兩個同心度控制部件的夾角為90度，在調節(jié)同心度時，不受加 工柵帽時所產生的直徑公差的影響，使發(fā)射燈絲尖端的軸線與燈絲粘結組件的中心小孔的 同心度達到規(guī)定要求。
為了使本實用新型的內容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實用新型的具體實施 例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中圖1是本實用新型燈絲對中組裝裝置的示意圖；圖2是本實用新型燈絲對中組裝裝置的俯視圖；圖3是圖2的A-A，向剖視圖。圖中附圖標記表示為1_基座，2-同心度控制部件，3-燈絲粘結組件，4-燈絲柵帽 組件，5-燈絲固定座，6-壓板，7-螺釘，8-測量桿，9-腔室，10-長槽孔，11-長孔。
具體實施方式
本實用新型所涉及的燈絲組件是由燈絲柵帽組件4和燈絲固定座5組裝而成的。 其中，所述燈絲柵帽組件4包括柵帽和燈絲陶瓷組件(圖中未示出)，所述燈絲陶瓷組件上 焊接有發(fā)射燈絲(圖中未示出)，所述柵帽的一個端面上成型有適于所述發(fā)射燈絲穿過的 燈絲孔。本實用新型所涉及的燈絲粘結組件3上成型有中心小孔，是直徑為0. 38-0. 4毫米 的圓孔，所述中心小孔適于所述發(fā)射燈絲發(fā)射出來的電子束穿過。所述燈絲固定座5和所述燈絲粘結組件3的對應位置上均成型有螺孔，能夠與頂 絲(或螺釘)配合，進而將所述燈絲組件與所述燈絲粘結組件3固定裝配在一起。在將所 述燈絲組件與所述燈絲粘結組件3裝配起來的過程中，需要利用本實用新型提供的燈絲對 中組裝裝置，以保證所述發(fā)射燈絲尖端的軸線與所述中心小孔圓心的同心度。如圖1-3所示，是本實用新型燈絲對中組裝裝置的優(yōu)選實施例。所述燈絲對中組 裝裝置包括基座1、固定在所述基座1上的同心度控制組件和設置在所述基座1上的固定 組件。所述基座1上成型有適于容納所述燈絲組件、所述燈絲粘結組件3的腔室9和兩個與所述腔室9連通的長槽孔10，所述長槽孔10的孔底面高于腔室底面。在本實施例中，兩個所述長槽孔10相對于所述中心小孔的軸向對稱，且其長度延伸方向垂直并穿過所述 中心小孔的軸。所述同心度控制組件通過螺釘7與所述基座1固定連接，用于控制所述燈絲尖端 的軸線與所述中心小孔圓心的同心度。所述同心度控制組件包括至少三個沿所述中心小孔 周向排布的同心度控制部件2。在本實施例中，所述同心度控制組件包括兩組相對設置的四 個所述同心度控制部件2，且相鄰兩個所述同心度控制部件2的夾角為90度。每個所述同 心度控制部件2包括一個可沿所述中心小孔徑向移動的測量桿8、限制所述測量桿8移動的 鎖緊機構和驅動所述測量桿8移動的驅動機構。在本實施例中，所述距離控制組件2由數(shù) 顯千分尺改裝而成，保留了所述數(shù)顯千分尺的一部分部件(在本實施例中，所述數(shù)顯千分 尺為市售件)。所述固定組件用于將所述燈絲組件或所述燈絲粘結組件3與所述基座1固定。在 本實施例中，所述固定組件用于將所述燈絲粘結組件3與所述基座1固定，將所述燈絲粘結 組件3置于所述腔室9的所述腔室底面上，在組裝過程中調整所述燈絲組件的位置，以使所 述燈絲尖端的軸線和所述中心小孔的圓心達到同心度要求。所述固定組件包括壓板6和 用于鎖緊/松開所述壓板6的另一所述螺釘7 ；所述壓板6置于所述長槽孔10的所述孔底 面，其上成型有適于所述螺釘7穿過的長孔11，所述長孔11的長度延伸方向穿過所述腔室 9的截面；所述螺釘7松開所述壓板6時，所述壓板6能沿所述長孔11水平移動(即垂直 于所述中心小孔的軸的方向)，以壓住所述燈絲粘結組件3的邊緣，然后通過鎖緊所述螺釘 7將所述燈絲粘結組件3壓緊固定。利用本實用新型提供的所述組裝裝置組裝，將所述燈絲組件與所述燈絲粘結組件 3裝配到一起需要在光學顯微鏡的配合下完成，其具體工作過程詳述如下第一步，松開用于鎖緊/松開所述壓板6的所述螺釘7，使所述壓板6沿所述長孔 11水平移動，將所述燈絲粘結組件3放置到所述腔室9中并使其與所述腔室底面接觸，用所 述壓板6壓住所述燈絲粘結組件3的邊緣，擰緊所述螺釘7，將所述燈絲粘結組件3壓緊固 定在所述基座1上；第二步，在光學顯微鏡下，通過所述驅動機構移動所述同心度控制部件2的所述 測量桿8，使每個所述測量桿8的端面都與所述燈絲粘結組件3的所述中心小孔相切，此時 將各個所述同心度控制部件2的數(shù)顯調零；第三步，再通過所述驅動機構移動所述測量桿8，使所述端面遠離所述中心小孔一 段距離，將所述燈絲組件放置到所述燈絲粘結組件3上，用所述頂絲穿過所述燈絲固定座5 和所述燈絲粘結組件3對應位置上的所述螺孔，但先不要把所述頂絲擰緊；第四步，再次驅動各個所述測量桿8，使各個所述測量桿8的所述端面均與所述珊 帽的外表面接觸，以調整所述燈絲組件的位置，直至各個所述同心度控制部件2的數(shù)顯一 致，再把所述頂絲擰緊，至此所述燈絲組件與所述燈絲粘結組件3已經裝配完成，將組裝好 的產品取下即可。在其他實施例中，所述固定組件也可以將所述燈絲組件與所述基座1固定，而在 組裝過程中調整所述燈絲粘結組件3的位置，使所述燈絲尖端的軸線和所述中心小孔的圓 心達到同心度要求，同樣能夠實現(xiàn)本實用新型的發(fā)明目的。[0033]在其他實施例中，所述同心度控制組件還可以為5個、6個或多個沿所述中心小孔 周向排布的同心度控制部件2。所述同心度控制部件2也可以采用非數(shù)顯，比如讀數(shù)等其他 形式的測量裝置。顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或 變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或 變動仍處于本實用新型創(chuàng)造的保護范圍之中。
權利要求一種燈絲對中組裝裝置，其特征在于包括基座(1)；同心度控制組件，固定在所述基座(1)上，用于控制所述燈絲尖端的軸線與燈絲粘結組件(3)上適于發(fā)射燈絲發(fā)射的電子束穿過的中心小孔圓心的同心度；固定組件，設置在所述基座(1)上，用于將燈絲組件或所述燈絲粘結組件(3)與所述基座(1)固定。
2.根據(jù)權利要求1所述的組裝裝置，其特征在于所述同心度控制組件包括至少三個 沿所述中心小孔周向排布的同心度控制部件(2)，每個所述同心度控制部件(2)包括一個 可沿所述中心小孔徑向移動的測量桿(8)和限制所述測量桿(8)移動的鎖緊機構。
3.根據(jù)權利要求2所述的組裝裝置，其特征在于所述同心度控制組件包括四個所述 同心度控制部件(2)，四個所述同心度控制部件(2)兩兩相對設置。
4.根據(jù)權利要求3所述的組裝裝置，其特征在于相鄰兩個所述同心度控制部件(2) 的夾角為90度。
5.根據(jù)權利要求1-4任一所述的組裝裝置，其特征在于所述基座(1)上成型有適于 容納所述燈絲組件、所述燈絲粘結組件(3)的腔室(9)和兩個與所述腔室(9)連通的長槽 孔(10)；所述固定組件用于將所述燈絲粘結組件(3)與所述基座(1)固定，所述燈絲粘結 組件(3)置于所述腔室(9)的腔室底面上，所述固定組件包括壓板(6)和用于鎖緊/松開 所述壓板(6)的螺釘(7)；所述壓板(6)置于所述長槽孔(10)的孔底面，其上成型有適于 所述螺釘(7)穿過的長孔(11)，所述長孔(11)的長度延伸方向穿過所述腔室(9)的截面； 所述孔底面高于所述腔室底面，所述壓板(6)能通過所述螺釘(7)將所述燈絲粘結組件(3) 壓緊固定。
6.根據(jù)權利要求5所述的組裝裝置，其特征在于兩個所述長槽孔(10)相對于所述中 心小孔的軸向對稱，且其長度延伸方向垂直并穿過所述中心小孔的軸。
專利摘要一種燈絲對中組裝裝置，包括基座(1)、同心度控制組件和固定組件；所述同心度控制組件固定在所述基座(1)上，用于控制所述燈絲尖端的軸線與燈絲粘結組件(3)上適于發(fā)射燈絲發(fā)射的電子束穿過的中心小孔圓心的同心度；所述固定組件，設置在所述基座(1)上，用于將燈絲組件或所述燈絲粘結組件(3)與所述基座(1)固定。本實用新型提供的所述燈絲對中組裝裝置，能精確地將燈絲組件安裝在燈絲粘結組件上，確保同心度要求。
文檔編號H01J9/02GK201562652SQ20092024628
公開日2010年8月25日 申請日期2009年10月16日 優(yōu)先權日2009年10月16日
發(fā)明者劉亞琪 申請人:北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司