專(zhuān)利名稱(chēng)：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積pecvd小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，是涉及一種等離子體增強(qiáng)化 學(xué)氣相沉積PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池制造的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工序中常用的工裝器 具包括有PECVD小車(chē)，PECVD小車(chē)用來(lái)裝載石墨舟進(jìn)行裝卸電池片。在PECVD小車(chē)的使用過(guò) 程中，當(dāng)PECVD小車(chē)停在機(jī)臺(tái)上料位置后，機(jī)臺(tái)自動(dòng)上料抓手會(huì)把石墨舟抓離PECVD小車(chē)， 由于各個(gè)機(jī)臺(tái)的安裝尺寸會(huì)有所不同，決定了各機(jī)臺(tái)使用的PECVD小車(chē)尺寸也有所不同， 所以，不同的機(jī)臺(tái)需要不同類(lèi)型的PECVD小車(chē)與之相適配。 目前的機(jī)臺(tái)具有的感應(yīng)裝置可以感應(yīng)所述PECVD小車(chē)是否到達(dá)了所述機(jī)臺(tái)的設(shè) 定位置。當(dāng)所述感應(yīng)裝置感應(yīng)到裝載有石墨舟的PECVD小車(chē)已經(jīng)到達(dá)設(shè)定位置時(shí)，機(jī)臺(tái)的 機(jī)械手會(huì)將石墨舟抓離PECVD小車(chē)。由于現(xiàn)有的感應(yīng)裝置沒(méi)有識(shí)別功能，使用時(shí)不能區(qū)分 不同類(lèi)型的PECVD小車(chē)。因此，如果操作員拿錯(cuò)PECVD小車(chē)使用的話(huà)，機(jī)臺(tái)上的機(jī)械手會(huì)與 不同類(lèi)型的PECVD小車(chē)配合抓取石墨舟。由于機(jī)臺(tái)的機(jī)械手把石墨舟抓離PECVD小車(chē)的動(dòng) 作對(duì)機(jī)械手與PECVD小車(chē)間的距離精度要求比較高，機(jī)臺(tái)在使用不是與之相適配的PECVD 小車(chē)時(shí)，機(jī)械手與石墨舟的間距有可能會(huì)超出安全范圍。從而有可能會(huì)引起機(jī)械抓手與 PECVD小車(chē)的碰撞，就可能會(huì)造成碰撞事故。進(jìn)而就會(huì)有可能造成石墨舟碎裂報(bào)廢、PECVD 小車(chē)變形報(bào)廢和電池片破碎，并引起設(shè)備故障停機(jī)維修等一系列造成重大的經(jīng)濟(jì)損失的嚴(yán)
重后果o

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種可以避免誤操作的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積用 小車(chē)。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案 —種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)，包括多組機(jī)臺(tái)和PECVD小 車(chē)，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有傳感器，所述PECVD小車(chē)上設(shè)有識(shí)別反光板；所述機(jī)臺(tái)設(shè)置傳感器的位 置與同組PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光板的位置相對(duì)應(yīng)，當(dāng)所述PECVD小車(chē)運(yùn)動(dòng)到同組的所述 機(jī)臺(tái)的上料位置時(shí)，所述傳感器感應(yīng)到所述識(shí)別反光板，所述傳感器指令所述機(jī)臺(tái)上的機(jī) 械手的動(dòng)作。 優(yōu)選的，本實(shí)用新型實(shí)施例中設(shè)于每個(gè)所述機(jī)臺(tái)上的所述傳感器為多個(gè)，設(shè)于每 個(gè)所述PECVD小車(chē)上的所述識(shí)別反光板為多個(gè)。 優(yōu)選的，本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)臺(tái)上還包括與所述傳感器和所述機(jī)械手相連 接的控制電路，所述控制電路根據(jù)所述傳感器的感應(yīng)信號(hào)生成指令控制所述機(jī)械手動(dòng)作。 優(yōu)選的，本實(shí)用新型實(shí)施例中所述控制電路和設(shè)于機(jī)臺(tái)的控制器協(xié)同生成指令控 制所述機(jī)械手動(dòng)作。
3[0010] 從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光 板和在機(jī)臺(tái)的相應(yīng)位置設(shè)有感應(yīng)器，并且將每種型號(hào)的PECVD小車(chē)的識(shí)別反光板的位置都 設(shè)不同的方案，使得機(jī)臺(tái)可以識(shí)別不同的PECVD小車(chē)，從而可以避免錯(cuò)誤的PECVD小車(chē)在機(jī) 臺(tái)上使用。進(jìn)而避免了因?yàn)檎`操作引起的各種損失。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例
或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。 圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中PECVD小車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中PECVD小車(chē)在對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)位置的示意圖。
具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。 如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)，包括設(shè)于 機(jī)臺(tái)3上的傳感器2和設(shè)于所述小車(chē)上的識(shí)別反光板1。 本實(shí)用新型實(shí)施例的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)，包括多組 機(jī)臺(tái)和PECVD小車(chē)。所述PECVD小車(chē)用于裝載石墨舟進(jìn)行裝卸電池片，當(dāng)所述PECVD小車(chē) 移動(dòng)到對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)的設(shè)定位置的時(shí)候，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有的機(jī)械手會(huì)將所述石墨舟抓離所述 PECVD小車(chē)，進(jìn)行下一步操作。由于多組機(jī)臺(tái)中的每個(gè)機(jī)臺(tái)分別對(duì)應(yīng)的PECVD小車(chē)型號(hào)不 同，尺寸也有所區(qū)別。每種機(jī)臺(tái)上機(jī)械手所設(shè)定的抓取位置也不同。所以不能將每種機(jī)臺(tái) 所對(duì)應(yīng)的PECVD小車(chē)混用，否則會(huì)可能引起機(jī)械手與PECVD小車(chē)的碰撞，造成石墨舟的碎裂 報(bào)廢和PECVD小車(chē)的損毀。 為此，本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)臺(tái)3上設(shè)有傳感器2，并在所述PECVD小車(chē)上設(shè) 有識(shí)別反光板1 ;所述機(jī)臺(tái)3設(shè)置傳感器2的位置與同組PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光板1的 位置相對(duì)應(yīng)，當(dāng)所述PECVD小車(chē)運(yùn)動(dòng)到同組的所述機(jī)臺(tái)3的上料位置時(shí)，所述傳感器2感應(yīng) 到所述識(shí)別反光板l。由于PECVD小車(chē)的型號(hào)不同，所以本實(shí)用新型實(shí)施例中所述識(shí)別反光 板1在不同種PECVD小車(chē)的位置也不同。但是要使設(shè)于所述機(jī)臺(tái)3上的傳感器2的位置與 PECVD小車(chē)上的識(shí)別反光板1位置相對(duì)應(yīng)。 這樣，只用于所述機(jī)臺(tái)3對(duì)應(yīng)的所述PECVD小車(chē)停在所述機(jī)臺(tái)3的上料位置的時(shí) 候，才會(huì)使所述機(jī)臺(tái)上的傳感器2生效。這時(shí)，所述傳感器2可以感應(yīng)到本傳感器從與之對(duì) 應(yīng)的所述識(shí)別反光板1反射回來(lái)的光信號(hào)。本實(shí)用新型實(shí)施例中所述機(jī)臺(tái)上3還包括與所 述傳感器2和所述機(jī)械手相連接的控制電路，所述控制電路根據(jù)所述傳感器的感應(yīng)信號(hào)生 成指令控制所述機(jī)械手動(dòng)作。即指令所述機(jī)械手抓取所述PECVD小車(chē)上的石墨舟。 另外，為了使所述PECVD小車(chē)在所述機(jī)臺(tái)的識(shí)別更加準(zhǔn)確。也是為了避免因?yàn)楫?dāng)有個(gè)別傳感器失靈或是所述識(shí)別反光板損壞時(shí)識(shí)別系統(tǒng)也可以正常的工作。本實(shí)用新型實(shí) 施例中的所述傳感器2和所述識(shí)別反光板1還可以為多個(gè)。這樣，當(dāng)傳感器2感應(yīng)到從與 之相對(duì)應(yīng)的識(shí)別反光板1的光信號(hào)時(shí)，所述控制電路可以根據(jù)光信號(hào)的不同來(lái)決定下一步 的動(dòng)作。比如，可以設(shè)定認(rèn)為所述PECVD小車(chē)位置有效的傳感器2能感應(yīng)到的所述識(shí)別反 光板l的個(gè)數(shù)。即當(dāng)所述PECVD小車(chē)停在所述機(jī)臺(tái)的上料位置的時(shí)候，能正常感應(yīng)到所述 PECVD小車(chē)上的相應(yīng)位置的識(shí)別反光板反射的光信號(hào)的傳感器2的個(gè)數(shù)達(dá)到設(shè)定值時(shí)，所 述控制電路根據(jù)所述傳感器2的感應(yīng)信號(hào)生成指令控制所述機(jī)械手動(dòng)作。即指令所述機(jī)械 手抓取所述PECVD小車(chē)上的石墨舟。 本實(shí)用新型實(shí)施例還可以設(shè)計(jì)為所述控制電路和設(shè)于機(jī)臺(tái)的控制器協(xié)同控制所 述機(jī)械手動(dòng)作。現(xiàn)有技術(shù)中，在所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有用于判斷所述PECVD小車(chē)是否到達(dá)設(shè)定位 置的位置傳感器。所述位置傳感器連接有控制器，所述控制器根據(jù)所述傳感器的信號(hào)控制 機(jī)械手的動(dòng)作。需要說(shuō)明的是，在現(xiàn)有技術(shù)中的所述位置傳感器雖然可以判斷所述PECVD 小車(chē)是否到達(dá)設(shè)定位置，但是并不能識(shí)別所述PECVD小車(chē)是否為與本機(jī)臺(tái)相應(yīng)所述PECVD 小車(chē)。為此，本實(shí)用新型實(shí)施例將所述控制電路與所述控制器串聯(lián)在一起。通過(guò)這種設(shè)計(jì)， 當(dāng)不是與本機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的PECVD小車(chē)進(jìn)入本機(jī)臺(tái)并到達(dá)設(shè)定位置時(shí)，所述位置傳感器已經(jīng)感 應(yīng)到所述PECVD小車(chē)。但是因?yàn)橛糜谧R(shí)別ECVD小車(chē)的傳感器與進(jìn)入本機(jī)臺(tái)的PECVD小車(chē) 上的識(shí)別反光板位置不對(duì)應(yīng)，所述傳感器無(wú)法將感應(yīng)信號(hào)傳遞給所述控制電路使其發(fā)出指 令。由于所述控制電路與所述控制器串聯(lián)在一起，所述控制電路無(wú)法單獨(dú)生成用于使所述 機(jī)械手動(dòng)作的指令。所以，只有當(dāng)所述PECVD小車(chē)為與本機(jī)臺(tái)相對(duì)應(yīng)且已經(jīng)到達(dá)設(shè)定位置 時(shí)，所述控制電路和所述控制器協(xié)同指令所述機(jī)臺(tái)上的機(jī)械手的動(dòng)作。即指令所述機(jī)械手 抓取所述PECVD小車(chē)上的石墨舟。 綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在在機(jī)臺(tái)的相應(yīng)位置設(shè)有感應(yīng)器和PECVD小車(chē) 設(shè)置識(shí)別反光板，并且為了使機(jī)臺(tái)具有識(shí)別不同的PECVD小車(chē)的功能，將每種型號(hào)的PECVD 小車(chē)的識(shí)別反光板都設(shè)在不同的位置。通過(guò)控制電路將感應(yīng)器的信號(hào)生成指令，使得只有 機(jī)臺(tái)與PECVD小車(chē)對(duì)應(yīng)時(shí)才能使機(jī)械手動(dòng)作。從而可以避免錯(cuò)誤的PECVD小車(chē)在機(jī)臺(tái)上使 用。進(jìn)而避免了因此引起的諸如石墨舟報(bào)廢或PECVD小車(chē)的損毀等各種損失。 對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)，包括多組機(jī)臺(tái)和PECVD小車(chē)，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有傳感器，所述PECVD小車(chē)上設(shè)有識(shí)別反光板；所述機(jī)臺(tái)設(shè)置傳感器的位置與同組PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光板的位置相對(duì)應(yīng)，當(dāng)所述PECVD小車(chē)運(yùn)動(dòng)到同組的所述機(jī)臺(tái)的上料位置時(shí)，所述傳感器感應(yīng)到所述識(shí)別反光板，所述傳感器指令所述機(jī)臺(tái)上的機(jī)械手的動(dòng)作。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述識(shí)別系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)于每個(gè)所述機(jī)臺(tái)上的所述傳感器為 多個(gè)，設(shè)于每個(gè)所述PECVD小車(chē)上的所述識(shí)別反光板為多個(gè)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述識(shí)別系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)上還包括與所述傳感器和 所述機(jī)械手相連接的控制電路，所述控制電路根據(jù)所述傳感器的感應(yīng)信號(hào)生成指令控制所 述機(jī)械手動(dòng)作。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述識(shí)別系統(tǒng)，其特征在于，所述控制電路和設(shè)于機(jī)臺(tái)的控制器 協(xié)同生成指令控制所述機(jī)械手動(dòng)作。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD小車(chē)識(shí)別系統(tǒng)，包括多組機(jī)臺(tái)和PECVD小車(chē)，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有傳感器，所述PECVD小車(chē)上設(shè)有識(shí)別反光板；所述機(jī)臺(tái)設(shè)置傳感器的位置與同組PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光板的位置相對(duì)應(yīng)，當(dāng)所述PECVD小車(chē)運(yùn)動(dòng)到同組的所述機(jī)臺(tái)的上料位置時(shí)，所述傳感器感應(yīng)到所述識(shí)別反光板，所述傳感器指令所述機(jī)臺(tái)上的機(jī)械手的動(dòng)作。本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在PECVD小車(chē)設(shè)置識(shí)別反光板和在機(jī)臺(tái)的相應(yīng)位置設(shè)有感應(yīng)器，并且將每種型號(hào)的PECVD小車(chē)的識(shí)別反光板的位置都設(shè)不同的方案，使得機(jī)臺(tái)可以識(shí)別不同的PECVD小車(chē)，從而可以避免錯(cuò)誤的PECVD小車(chē)在機(jī)臺(tái)上使用。進(jìn)而避免了因?yàn)檎`操作引起的各種損失。
文檔編號(hào)H01J37/02GK201517132SQ20092017750
公開(kāi)日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2009年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月28日
發(fā)明者嚴(yán)前程, 王春祥, 陳 光, 陳海 申請(qǐng)人:江陰浚鑫科技有限公司