專利名稱：用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層及制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及屬于場發(fā)射顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于碳納米管場致發(fā)射
器件電極保護(hù)涂層及制備方法。
背景技術(shù)：
碳納米管場致發(fā)射顯示器件作為新型的顯示技術(shù)，一些技術(shù)瓶頸仍不能得到有效 的解決。其中高效的器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制作是一個典型的問題。簡單的二極結(jié)構(gòu)場致發(fā)射顯 示屏，其制作工藝簡單，但一方面陽極需要高壓才能給電子足夠能量轟擊熒光粉實(shí)現(xiàn)高亮 度，另一方面陽極電極又充當(dāng)調(diào)制電極，連接外圍驅(qū)動電路又需要低電壓，因此存在發(fā)光亮 度和驅(qū)動電壓之間存在不可調(diào)和的矛盾，必須在二極結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上引入柵極結(jié)構(gòu)，由柵極 進(jìn)行電壓調(diào)制，由陽極控制亮度。由于控制柵極和陰極之間的距離很近，因此在控制柵極上 施加相對比較低的電壓，就容易在陰極的頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度。 如圖1所示，是新型三電極結(jié)構(gòu)碳納米管場致發(fā)射顯示組件結(jié)構(gòu)圖，一般現(xiàn)有的 場致發(fā)射顯示器1，其結(jié)構(gòu)至少包括陽極2和陰極3，該陽極2與陰極3之間設(shè)置有隔離子4 以提供陽極2與陰極3之間真空區(qū)域的間隔，還可以作為陽極2與陰極3之間的支撐。此 外，該陽極2至少包括一陽極玻璃基板21、一陽極電極層22以及一熒光粉體涂層23 ;而該 陰極3至少包括一陰極玻璃基板31、一陰極電極層32、陰極材料層33及一柵極電極層34 ; 其中陽極2與陰極3之間設(shè)有的隔離子4，不僅保持陰極與陽極之間的真空區(qū)域的支撐，并 提供一場所，使陰極板上的電子源在外加電場的作用下產(chǎn)生電子并射向陽極板上的熒光粉 體從而使熒光粉發(fā)光。 此三電極結(jié)構(gòu)的碳納米管場致發(fā)射器件，為了實(shí)現(xiàn)大面積、高精度的顯示功能，對 于隔絕柵極電極層34和陰極電極層32的絕緣介質(zhì)材料層35 —般采取濕法刻蝕方法進(jìn)行， 在進(jìn)行濕法刻蝕的過程中，在保證介質(zhì)孔洞的精確刻蝕下，往往造成酸液對場致發(fā)射器件 上層電極的傷害。 有鑒于上述以現(xiàn)有技術(shù)制作的碳納米管場致發(fā)射顯示器件技術(shù)的不足，需要一種 用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)的涂層及其制作方法成為本領(lǐng)域丞待解決的技術(shù)問 題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)的涂層，包括其配 制方法及制備的工藝流程，其主要特點(diǎn)在于對碳納米管場致發(fā)射器件的行、列電極引線進(jìn) 行有效保護(hù)，免于出現(xiàn)引線脫落或受損的情況。 本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，一種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極 保護(hù)涂層，其特征在于該電極保護(hù)的涂層涂料由下述重量百分比的原料配制而成
溶劑5% -20% ;樹脂50% -70% ;光敏單體2% -10% ;光引發(fā)劑5% -20 %。
所述溶劑為Texanol酯醇(2，2，4_三甲基-1. 3戊二醇單異丁酸酯)。
所述樹脂為由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二硫醇及偶氮二異丁腈(AIBN) 共聚制成的丙烯酸樹脂，其酸值為70-80。
所述樹脂共聚步驟為 1)制備活性部分將重量百分比為98X的Texano1酯醇(2， 2， 4_三甲基_1. 3戊 二醇單異丁酸酯)與2%偶氮二異丁腈(AIBN)兩者混合，超聲20min ;備用；
2)制備膠體將重量百分比為82%甲基丙烯酸甲酉旨、15%乙酰乙酸甲酯、1%十二 硫醇及2%偶氮二異丁腈(AIBN)混合制成膠體； 3)將膠體裝入三口燒瓶，并將活性部分在9(TC下，以真空泵抽入三口燒瓶中，與
膠體混合均勻，即得丙烯酸樹脂。 所述光敏單體為丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。所述光引發(fā)劑為裂解型引發(fā)劑，包括1173、184、907、369、1490、1700。 該用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層制備方法包括如下步驟 1)該電極保護(hù)的涂層涂料是先制備成保護(hù)電極涂層，將上述重量百分比的涂層涂
料置于研缽或脫泡攪拌機(jī)中進(jìn)行機(jī)械混合，其粘度控制在10000到30000cps之間； 2)在陰極玻璃基板上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀漿，在8(TC，大氣壓下，烘干
20-30min，利用光刻法得到柵極電極層，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影； 3)柵極電極層在570°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 4)絕緣介質(zhì)層印刷，在13(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 5)絕緣介質(zhì)層在600°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 6)在絕緣層上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干 20-30min，利用光刻法得到陰極圖形層，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；
7)陰極電極層在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 8)將步驟1)制備的保護(hù)電極涂層進(jìn)行印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ;
9)利用陰極電極層圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，采用 0. 3X稀硝酸溶液，40。C，刻蝕150s-300s ; 10)用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層，12-15s后保護(hù)電極涂層整片 剝離； 11)碳納米管層印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 12)碳納米管層在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。 作為本發(fā)明的另一種方法的改進(jìn)，所述步驟6)后的制備方法或是 6)、在絕緣介質(zhì)層上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干
30min，利用光刻法得到陰極圖形層，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影； 7)、將上述重量百分比配制好的電極保護(hù)涂層印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干
20-30min ; 8)、利用陰極電極層32圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液
采用0. 3%稀硝酸溶液，溶液溫度為4(TC，刻蝕時間為150s-300s ; 9)、陰極電極層在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 10)、碳納米管層印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 11)、碳納米管層在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。
作為本發(fā)明的再一種方法的改進(jìn)，所述步驟8)后的制備方法或是 8)將步驟1)制備的保護(hù)電極涂層進(jìn)行印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ; 9)利用柵極電極層的菲林對保護(hù)電極涂層進(jìn)行光刻，以得到與柵極電極層引線區(qū)
一致的保護(hù)電極圖形，曝光能量為300mJ，顯影液采用的是0.4X的碳酸鈉溶液； 10)利用陰極電極層圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液采用
0. 3X稀硝酸溶液，4(TC，刻蝕時間為150s-300s ; 11)用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層，12-15s后保護(hù)電極涂層整片 剝離； 12)碳納米管層印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 13)碳納米管層在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。
本發(fā)明提出的一種電極保護(hù)的涂料溶劑、高分子樹脂，溶于溶劑中；光引發(fā)劑和
光敏單體，具有負(fù)型光阻特性，溶于溶劑中，其黏度控制在10000到30000cps之間，以適應(yīng)
絲網(wǎng)印刷的需求。 本發(fā)明碳納米管場致發(fā)射顯示器采用了背柵結(jié)構(gòu)，并通過曝光顯影的方式得到條 狀柵極電極圖形；再在柵極電極層34上涂覆可用于濕法刻蝕類的絕緣介質(zhì)層35，對該絕緣 介質(zhì)層35進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在燒結(jié)后的絕緣介質(zhì)層35上涂覆陰極電極層32，陰極電極層32 使用感光性銀漿制作，利用陰極電極層32的掩膜得到陰極電極圖形后進(jìn)行燒結(jié)；燒結(jié)后的 陰極電極層32的引線區(qū)涂覆本發(fā)明的保護(hù)碳納米管場致發(fā)射器件電極的涂料，然后再利 用酸液對絕緣介質(zhì)層35進(jìn)行濕法刻蝕，本發(fā)明的保護(hù)電極的涂層，可以確保相對脆弱的陰 極電極引線區(qū)在酸液的沖蝕下保持完整導(dǎo)通；利用濕法刻蝕得到精確的介質(zhì)孔后，利用碳 酸鈉溶液對保護(hù)電極的涂層進(jìn)行剝離，由于本發(fā)明中的保護(hù)電極的涂層是堿性體系，故其 在低濃度的碳酸鈉溶液中即全部沖掉，不會對碳納米管場致發(fā)射器件的性能和結(jié)構(gòu)造成影 響；最后在陰極電極層上涂覆碳納米管層。 本發(fā)明并且碳納米管場致發(fā)射顯示器采用了背柵結(jié)構(gòu)，其電極保護(hù)涂層的制造方法 包括先將柵極電極層通過印刷的方式涂覆在陰極玻璃基板上，并通過曝光顯影的方式得到 條狀柵極電極圖形；再在柵極電極層上涂覆可用于濕法刻蝕類的絕緣介質(zhì)層，對該介質(zhì)層進(jìn)行 高溫?zé)Y(jié)；在燒結(jié)后的絕緣介質(zhì)層上涂覆陰極電極層，陰極電極層使用感光性銀漿制作，利用 陰極電極層的掩膜得到陰極電極圖形后，陰極電極層可以燒結(jié)后再做下一步，也可以不經(jīng)過燒 結(jié)，直接在陰極電極層的引線區(qū)涂覆本發(fā)明的保護(hù)碳納米管場致發(fā)射器件電極的涂料。由于本 發(fā)明的保護(hù)電極的涂料和陰極電極層的材料同屬堿性感光體系，故不會發(fā)生相互干擾;然后再 利用酸液對絕緣介質(zhì)層進(jìn)行濕法刻蝕。本發(fā)明的保護(hù)電極的涂層，可以確保相對脆弱的陰極電 極引線區(qū)在酸液的沖蝕下保持完整導(dǎo)通;利用濕法刻蝕得到精確的介質(zhì)孔后，對陰極電極層進(jìn) 行燒結(jié)，在570°的燒結(jié)溫度下，陰極電極層的引線區(qū)就會暴露出來，省略了對保護(hù)電極的涂層 進(jìn)行剝離的過程，工藝更加簡單;最后在陰極電極層上涂覆碳納米管層。 本發(fā)明在不干擾本三電極結(jié)構(gòu)的情況下，很好的保護(hù)了濕刻過程中暴露在外的電 極引線區(qū)，且本電極保護(hù)涂層制作和剝離工藝簡單，適合大面積、高精度面板的制作。


圖1為常規(guī)的場發(fā)射顯示組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2-4為依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1制作完成的一種具有碳納米管場致發(fā)射顯示器電 極保護(hù)結(jié)構(gòu)的制造方法的俯視圖。 圖5為依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2制作完成的一種具有碳納米管場致發(fā)射顯示器電極 保護(hù)結(jié)構(gòu)的制造方法的俯視圖。 圖6為依據(jù)本發(fā)明的是實(shí)例3制作完成的一種具有碳納米管場致發(fā)射顯示器電極
保護(hù)結(jié)構(gòu)的制造方法的俯視圖。 圖7為圖6所示的A處局部放大圖。
具體實(shí)施例方式
為進(jìn)一步闡述實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例
對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。 實(shí)施例1 先制備電極保護(hù)的涂層36。首先按照樹脂由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二 硫醇及偶氮二異丁腈(AIBN)共聚制成丙烯酸樹脂。 1)制備活性部分將重量百分比為98X的Texano1酯醇(2， 2， 4_三甲基_1. 3戊 二醇單異丁酸酯)與2%偶氮二異丁腈(AIBN)兩者混合，超聲20min ;備用；
2)制備膠體將重量百分比為82%甲基丙烯酸甲酯、15%乙酰乙酸甲酯、0. 9% 十二硫醇及2%偶氮二異丁腈(AIBN)制成膠體； 3)將膠體裝入三口燒瓶，并將活性部分在9(TC下，以真空泵抽入三口燒瓶中，與 膠體混合均勻，即得本發(fā)明所述的樹脂。 圖2是本發(fā)明碳納米管場致發(fā)射顯示器結(jié)構(gòu)制備方法示意圖。
如圖所示的陰極玻璃基板31經(jīng)過丙酮超聲清洗后，進(jìn)行如下步驟的制作過程
1)按照下述重量百分比的原料配制電極保護(hù)的涂層36 :取上述經(jīng)配制的樹脂 50%，丙烯酸酯10X，裂解型光引發(fā)劑90720X溶于Texano1酯醇(2， 2， 4-三甲基-1. 3戊 二醇單異丁酸酯)中進(jìn)行機(jī)械混合，溶劑量為20%，即得電極保護(hù)涂層36，備用。其黏度控 制在10000到30000cps之間，以適應(yīng)絲網(wǎng)印刷的需求; 2)在陰極玻璃基板31上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀漿，在8(TC，大氣壓下，烘干 20min，利用光刻法得到柵極電極層34，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；
3)柵極電極層34在570°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ;
4)絕緣介質(zhì)層35印刷，在13(TC，大氣壓下，烘干10min ;
5)絕緣介質(zhì)層35在600°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 6)在絕緣介質(zhì)層35上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層32圖形，在8(TC，大氣壓下， 烘干20min，利用光刻法得到陰極圖形層32，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯 影； 7)陰極電極層32在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 8)見圖3所示，將上述步驟1)配制好的極涂層36材料印刷，在8(TC，大氣壓下， 烘干20-30min ; 9)利用陰極電極層32圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，采用 0. 3X稀硝酸溶液，40。C，刻蝕150s-300s ;
10)用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層36， 12-15s后保護(hù)電極涂層36整片剝離；見圖4所示； 11)碳納米管層5印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 12)碳納米管層5在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。 附圖2所示，在本實(shí)施例1中用一曝光源對陰極電極層32進(jìn)行選擇性曝光，使得
曝光區(qū)中的抗蝕劑發(fā)生交聯(lián)，交聯(lián)使得抗蝕劑不溶于抗蝕劑顯影化合物，所以在顯影時曝
光區(qū)的圖案遺留下來，形成所需的陰極電極層圖形，由于本發(fā)明使用的感光介質(zhì)體系是堿
溶性體系，所以利用濃度為0. 4%的碳酸鈉溶液可實(shí)現(xiàn)陰極電極層的圖形化。 附圖3所示的保護(hù)陰極電極引線區(qū)的涂層36，其包括溶劑、溶于該溶劑中高分
子樹脂及光引發(fā)劑和光敏單體，其具有負(fù)型光阻特性，并且也溶于該溶劑中，其黏度控制在
10000到30000cps之間，以適應(yīng)絲網(wǎng)印刷的需求。 如附圖4所示，在印刷保護(hù)電極的涂層后，利用燒結(jié)后的陰極電極層32圖形做掩膜，對燒結(jié)后的絕緣介質(zhì)層35進(jìn)行刻蝕，刻蝕液為0. 3 %的稀硝酸溶液，刻蝕時長為150-300s，最終得到柵極電極層與陰極電極層交叉的背柵結(jié)構(gòu)，再利用0. 4%碳酸鈉溶液進(jìn)
行保護(hù)電極涂層的剝離。最后進(jìn)行碳納米管的印刷、燒結(jié)。
實(shí)施例2 先制備電極保護(hù)的涂層36。按照樹脂共聚制成丙烯酸樹脂同實(shí)施例1。 陰極玻璃基板31經(jīng)過丙酮超聲清洗后，進(jìn)行如下步驟的制作過程 1)按照下述重量百分比的原料配制電極保護(hù)的涂層36 :取上述經(jīng)配制的樹脂
68%，甲基丙烯酸酯7X，裂解型光引發(fā)劑117320X溶于Texanol酯醇(2， 2， 4-三甲基-1. 3
戊二醇單異丁酸酯)中進(jìn)行機(jī)械混合，溶劑量為5%，即得電極保護(hù)涂層36，備用。其黏度
控制在10000到30000cps之間，以適應(yīng)絲網(wǎng)印刷的需求； 2)在陰極玻璃基板31上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀槳，在8(TC，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到柵極電極層34，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；
3)柵極電極層34在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ;
4)絕緣介質(zhì)層35印刷，在13(TC，大氣壓下，烘干15min ;
5)絕緣介質(zhì)層35在600°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 6)、在絕緣介質(zhì)層35上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層32圖形，在80°C ，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到陰極圖形層32，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影； 7)、將上述重量百分比配制好的電極保護(hù)涂層36印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ; 8)、利用陰極電極層32圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液
采用稀硝酸溶液(濃度為0. 3% )，溶液溫度為4(TC，刻蝕時間為150s-300s ; 9)、陰極電極層32在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 10)、碳納米管層5印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ; 11)、碳納米管層5在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。 本發(fā)明實(shí)施例2作為對實(shí)施例1方法的進(jìn)一步改進(jìn)，是把步驟7)推后到步驟9)，
實(shí)施例1中步驟7)中所述的陰極電極層32不經(jīng)過燒結(jié)，直接進(jìn)行步驟7)-8)的制作，然后再進(jìn)行陰極電極層32的燒結(jié)，其優(yōu)化之處在于省略了實(shí)施例1中的步驟10)的電極保護(hù)涂層的剝離過程，如圖5所示，在進(jìn)行陰極電極層32燒結(jié)時，陰極電極層的引線區(qū)在高溫?zé)Y(jié)下暴露出來。
實(shí)施例3 先制備電極保護(hù)的涂層36。按照樹脂共聚制成丙烯酸樹脂同實(shí)施例1。 陰極玻璃基板31經(jīng)過丙酮超聲清洗后，進(jìn)行如下步驟的制作過程 1)按照下述重量百分比的原料配制電極保護(hù)的涂層36 :取上述經(jīng)配制的樹脂
70%，甲基丙烯酸酯2%，裂解型光引發(fā)劑18418%溶于Te篇ol酯醇(2，2，4_三甲基-1. 3
戊二醇單異丁酸酯)中進(jìn)行機(jī)械混合，溶劑量為10%，即得電極保護(hù)涂層36，備用。其黏度
控制在10000到30000cps之間，以適應(yīng)絲網(wǎng)印刷的需求； 2)在陰極玻璃基板31上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀漿，在8(TC，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到柵極電極層34，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；
3)柵極電極層34在570°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ;
4)絕緣介質(zhì)層35印刷，在13(TC，大氣壓下，烘干10min ;
5)絕緣介質(zhì)層35在600°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 6)在絕緣介質(zhì)層35上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層32圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干20min，利用光刻法得到陰極圖形層32，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影； 7)陰極電極層32在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ; 8)見圖3所示，將上述步驟1)配制好的電極保護(hù)涂層36印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20min ; 9)、利用柵極電極層的菲林對保護(hù)電極涂層36進(jìn)行光刻，以得到與柵極電極層引線區(qū)一致的保護(hù)電極圖形，曝光能量為300mJ，顯影液采用的是0. 4%的碳酸鈉溶液；見圖6所示； 10)、利用陰極電極層圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液采用稀硝酸溶液(濃度為0. 3% )，溶液溫度為4(TC，刻蝕時間為300s ; 11)用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層36， 12s后保護(hù)電極涂層36整片剝離；見圖4所示； 12)碳納米管層5印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10min ; 13)碳納米管層5在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。 本實(shí)施例I)-IO)步驟和實(shí)施例1相同，比實(shí)施例1優(yōu)化之處在于，如附圖6、圖7
所示，電極保護(hù)涂層利用光刻法制作，使其與柵極電極的引線區(qū)重合，不僅精確地保護(hù)了柵
極電極的引線區(qū)，而且避免了整面引線區(qū)印刷造成的凹凸不平，從而加強(qiáng)了本電極保護(hù)涂
層的作用。 上述實(shí)施例3方法的進(jìn)一步改進(jìn)，是插入了一個步驟9)，即利用柵極電極層的菲林對保護(hù)電極涂層36進(jìn)行光刻，以得到與柵極電極層引線區(qū)一致的保護(hù)電極圖形，曝光能量為300mJ，顯影液采用的是0. 4%的碳酸鈉溶液。電極保護(hù)涂層利用光刻法制作，使其與柵極電極的引線區(qū)重合，不僅精確地保護(hù)了柵極電極的引線區(qū)，而且避免了整面引線區(qū)印刷造成的凹凸不平，從而加強(qiáng)了本電極保護(hù)涂層的作用。
實(shí)施例4 先制備電極保護(hù)的涂層36。按照樹脂共聚制成丙烯酸樹脂同實(shí)施例1。 陰極玻璃基板31經(jīng)過丙酮超聲清洗后，進(jìn)行如下步驟的制作過程 1)按照下述重量百分比的原料配制電極保護(hù)的涂層36 :取上述經(jīng)配制的樹脂
65%，甲基丙烯酸酯10%，裂解型光引發(fā)劑3695%溶于Te篇ol酯醇(2，2，4_三甲基-1. 3
戊二醇單異丁酸酯)中進(jìn)行機(jī)械混合，溶劑量為20%，備用。其黏度控制在10000到
30000cps之間，以適應(yīng)絲網(wǎng)印刷的需求； 2)在陰極玻璃基板31上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀漿，在8(TC，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到柵極電極層34，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；
3)柵極電極層34在570°C ，大氣壓下，燒結(jié)20min ;
4)絕緣介質(zhì)層35印刷，在130。C，大氣壓下，烘干15min ;
5)絕緣介質(zhì)層35在60(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min; 6)在絕緣介質(zhì)層35上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層32圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到陰極圖形層32，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影； 7)陰極電極層32在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min; 8)見圖3所示，將上述重量百分比配制好的電極保護(hù)涂層36印刷，在80°C ，大氣壓下，烘干30min ; 9)、利用柵極電極層34的菲林對保護(hù)電極涂層36進(jìn)行光刻，以得到與柵極電極層引線區(qū)一致的保護(hù)電極圖形，曝光能量為300mJ，顯影液采用的是0.4X的碳酸鈉溶液；見圖6所示； 10)、利用陰極電極層32圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液
采用稀硝酸溶液(濃度為0. 3% )，溶液溫度為4(TC，刻蝕時間為150s ; 11)用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層36， 15s后保護(hù)電極涂層36整
片剝離；見圖4所示； 12)碳納米管層5印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干15min ; 13)碳納米管層5在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。 上述實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明，但并不用于限制本發(fā)明的實(shí)施范圍，本發(fā)明光引
發(fā)劑為裂解型引發(fā)劑，還包括光引發(fā)劑1490、1700。
權(quán)利要求
一種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于該電極保護(hù)的涂層涂料由下述重量百分比的原料配制而成溶劑5％-20％；樹脂50％-70％；光敏單體2％-10％；光引發(fā)劑5％-20％。
2. 如權(quán)利要求1所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于所述溶劑為Texanol酯醇2， 2，4_三甲基-1. 3戊二醇單異丁酸酯。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于所述樹脂為由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二硫醇及偶氮二異丁腈AIBN共聚制成的丙烯酸樹脂，其酸值為70-80。
4. 如權(quán)利要求1所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于所述樹脂共聚步驟為1) 制備活性部分將重量百分比為98%的Texanol酯醇2， 2， 4_三甲基_1. 3戊二醇單異丁酸酯與2X偶氮二異丁腈AIBN兩者混合，超聲20min ;備用；2) 制備膠體將重量百分比為82%甲基丙烯酸甲酉旨、15%乙酰乙酸甲酯、1%十二硫醇及2%偶氮二異丁腈AIBN混合制成膠體；3) 將膠體裝入三口燒瓶，并將活性部分在9(TC下，以真空泵抽入三口燒瓶中，與膠體混合均勻，即得丙烯酸樹脂。
5. 如權(quán)利要求1所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于所述光敏單體為丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
6. 如權(quán)利要求1所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層，其特征在于所述光引發(fā)劑為裂解型引發(fā)劑，包括1173、184、907、369、1490、1700。
7. —種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層制備方法，其特征在于所述制備方法步驟如下1) 該電極保護(hù)的涂層涂料是先制備成保護(hù)電極涂層(36)，將重量百分比的涂層涂料置于研缽或脫泡攪拌機(jī)中進(jìn)行機(jī)械混合，其粘度控制在10000到30000cps之間；2) 在陰極玻璃基板(31)上涂覆整面感光性導(dǎo)電銀漿，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min，利用光刻法得到柵極電極層(34)，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；3) 柵極電極層(34)在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ;4) 絕緣介質(zhì)層(35)印刷，在13(TC，大氣壓下，烘干10-15min ;5) 絕緣介質(zhì)層(35)在60(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ;6) 在絕緣介質(zhì)層(35)上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min，利用光刻法得到陰極圖形層(32)，曝光能量為500mJ，采用0.4%的碳酸鈉溶液顯影；7) 陰極電極層(32)在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min;8) 將步驟1)制備的保護(hù)電極涂層(36)進(jìn)行印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ;9) 利用陰極電極層(32)圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，采用‘0. 3X稀硝酸溶液，40。C，刻蝕150s-300s ;10) 用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層，12-15s后保護(hù)電極涂層整片剝離；11) 碳納米管層印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ;12) 碳納米管層在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。
8. 如權(quán)利要求7所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層制備方法，其特征在于所述步驟6)后的制備方法或是6) 、在絕緣介質(zhì)層(35)上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層(32)圖形，在8(TC，大氣壓下，烘干30min，利用光刻法得到陰極圖形層(32)，曝光能量為500mJ，采用0. 4%的碳酸鈉溶液顯影；7) 、將上述重量百分比配制好的電極保護(hù)涂層(36)印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ;8) 、利用陰極電極層(32)圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液采用0. 3%稀硝酸溶液，溶液溫度為4(TC，刻蝕時間為150s-300s ;9) 、陰極電極層(32)在57(TC，大氣壓下，燒結(jié)20min ;10) 、碳納米管層(5)印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min;11) 、碳納米管層(5)在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。
9. 如權(quán)利要求7所述的用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層制備方法，其特征在于所述步驟8)后的制備方法或是8) 將步驟1)制備的保護(hù)電極涂層(36)進(jìn)行印刷，在8(TC，大氣壓下，烘干20-30min ;9) 利用柵極電極層(34)的菲林對保護(hù)電極涂層(36)進(jìn)行光刻，以得到與柵極電極層(34)引線區(qū)一致的保護(hù)電極圖形，曝光能量為300mJ，顯影液采用的是0.4X的碳酸鈉溶液；10) 利用陰極電極層(32)圖形做掩膜對介質(zhì)進(jìn)行濕法刻蝕，以得到孔洞結(jié)構(gòu)，藥液采用0. 3X稀硝酸溶液，4(TC，刻蝕時間為150s-300s ;11) 用0. 4%的碳酸鈉溶液整面噴淋保護(hù)電極涂層，12-15s后保護(hù)電極涂層整片剝離；12) 碳納米管層印刷，在IO(TC，大氣壓下，烘干10-15min ;13) 碳納米管層在35(TC，大氣壓下，燒結(jié)15min，表面超聲處理。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于碳納米管場致發(fā)射器件電極保護(hù)涂層及制備方法，其特征在于該電極保護(hù)的涂層涂料由下述重量百分比的原料配制而成溶劑5％-20％；樹脂50％-70％；光敏單體2％-10％；光引發(fā)劑5％-20％。其方法步驟為1)陰極玻璃基板上涂覆導(dǎo)電銀漿，光刻法得到柵極電極層；2)柵極電極層燒結(jié)；3)絕緣介質(zhì)層印刷；4)絕緣介質(zhì)層燒結(jié)；5)絕緣介質(zhì)層上套準(zhǔn)印刷導(dǎo)電銀漿陰極電極層圖形，光刻法得到陰極圖形層；6)陰極電極層燒結(jié)；7)保護(hù)電極涂層印刷；8)陰極電極層圖形濕法刻蝕；9)噴淋保護(hù)電極涂層；10)碳納米管層印刷；11)碳納米管層燒結(jié)、表面超聲處理。它能夠?qū)μ技{米管場致發(fā)射器件電極引線進(jìn)行有效保護(hù)，免于出現(xiàn)引線脫落或受損的情況。
文檔編號H01J29/02GK101702394SQ200910218660
公開日2010年5月5日 申請日期2009年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月29日
發(fā)明者趙莉 申請人:彩虹集團(tuán)公司