專利名稱：等離子顯示屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示器領(lǐng)域，更具體地涉及一種等離子顯示屏。
背景技術(shù)：
目前通用的交流氣體方文電等離子顯示屏(PDP)均采用表面力文 電型結(jié)構(gòu)，包括一個前基板及與之封接在一起的后基板。其中，前 基板上配置有透明電極(ITO)和銀電極，透明電極和4艮電極構(gòu)成 方文電電極，放電電極包括維持》文電電極X和掃描》文電電極Y，在i文 電電極的表面覆蓋有一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上覆蓋一層介質(zhì)保護(hù)層。 后基板上配置有與放電電極相互垂直的尋址電極，尋址電極上覆蓋 一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上配置有與其尋址電纟及平4于的條狀障壁，且在 條狀障壁的底部覆蓋有熒光粉層，前后基板用低熔點玻璃粉封接在 一起，并且在其間充有氖(Ne)、氦(He)、氙(Xe)等的混合》文電 氣體。
圖1-1, l-2示出了傳統(tǒng)PDP顯示屏的前基板上的X、 Y電極結(jié) 構(gòu)的示意圖。其中，前板，也稱上基板。即，人眼直接看到的這一 面。是特制的玻璃板.，在該玻璃上用f茲控濺射等方法，形成有一層 ITO (氧化銦錫)薄膜。在ITO薄膜上用刻蝕的方法形成ITO電極 (圖1-2中的01,即圖1-1中的i文電電4及)；在ITO電才及上用光刻 的方法形成4艮電極(圖1-2中的02);之后在電極上的全部平面上 用印刷方法形成一層介質(zhì)層(圖1-2中的03);最后，用電子束蒸 發(fā)的方法在介質(zhì)層表面形成一層氧化鎂層。至此傳統(tǒng)PDP上基板工
4藝完成。下基板，也稱后板，在PDP中人眼看不到的一面。在特制 的玻璃板上用光刻的方法，形成ADD電極(尋址電極)，之后在 ADD電極上的全部平面上用印刷方法形成一層介質(zhì)層；用噴砂方
障壁上。最后，在下板四周涂覆低融點玻璃粉，至此PDP下基板工 藝咒成。
上下玻璃基板制作完成后，對合在一起，進(jìn)行封接排氣工藝后 充工作氣體、老煉等，完成全部工藝。
PDP是根據(jù)低氣壓氣體放電原理研制的，利用氣體放電的主要 發(fā)光區(qū)有負(fù)輝區(qū)和正柱區(qū)，而功率消一毛也主要集中在這兩個區(qū)域， 正4主區(qū)和負(fù)*軍區(qū)的光子4^[匕#文率差別相當(dāng)大，一^殳而言，正4主區(qū)的 光子轉(zhuǎn)化效率很高，而負(fù)輝區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率較低。氣體放電時， 以上區(qū)域不一定全部出現(xiàn)，電4及間距離逐漸縮短時，正柱區(qū)也逐漸 縮短，最后消失。表面放電型交流(AC) PDP分辨率的提高，意味 著放電電極間距的縮小，光效降低。
通常，PDP顯示屏的前基板的顯示電極由維持放電電極X和掃 描放電電極Y組成(后文筒稱X、 Y電才及)，X、 Y電才及分別由透明 電極(ITO)和4艮電極組成。透明電極的透過率高，但導(dǎo)電率較低， 所以要在透明電極上再力口銀電極來增加導(dǎo)電率，X、 Y電極的兩個 透明電極之間的距離一般不超過lOOpm ,若超過該距離，點亮屏 需要較高的電壓，容易造成屏的擊穿。所以，要提高PDP屏的光效， 在PDP中通過加大放電間隙，采用正柱放電是提高PDP發(fā)光效率 的有效措施之一。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述的 一個或多個問題，本發(fā)明提供了 一種新的等離 子顯示屏，以提高等離子顯示屏的亮度及光效。
根據(jù)本發(fā)明實施例的等離子顯示屏，包括前基板。其中，前基 板上除了設(shè)置有維持放電電極和掃描放電電極外還設(shè)置有位于維持
;改電電4及和掃描》文電電4及之間、與維持》文電電4及和掃描方文電電才及處 于前基板的同一表面上、且不與任何電源相聯(lián)的浮動電極，其中， 維持》文電電4及、掃4苗方丈電電才及、以及浮動電才及的電阻-f直均小于45歐姆。
其中，浮動電極與維持放電電極之間的距離等于浮動電極與掃 描放電電4及之間的距離。浮動電極的厚度介于15|am至30nm之間。 浮動電極的寬度介于lOOfim至350nm之間。浮動電極的電阻介于 20歐姆至70歐姆之間。
其中，維持放電電極和掃描放電電極均僅由4艮電極組成，其中，
的電阻值相等或不等。
其中，浮動電極僅由銀電極組成，其中，組成浮動電極的銀電 極的電阻值與組成維持放電電極和/或掃描放電電極的銀電極的電 阻值相等或不等。其中，浮動電極可以是中空的。
本發(fā)明通過釆用浮動電極的結(jié)構(gòu)，可以增加維持放電電極和掃 描放電電才及之間的間距，使放電出現(xiàn)正柱區(qū)，從而^是高等離子顯示 屏的亮度及光效。另外，由于本發(fā)明省去了透明電極(ITO)，所以 不僅節(jié)省ITO材料，同時減少了透明電極的制作工藝步驟，降低了 成本。


此處所說明的附圖用來^是供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申 請的一部分，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并
不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中
圖1-1是傳統(tǒng)PDP顯示屏的結(jié)構(gòu)的示意圖1-2是傳統(tǒng)PDP顯示屏的前基板上的X、 Y電極結(jié)構(gòu)的示意
圖2-1是才艮據(jù)本發(fā)明的第一實施例的等離子顯示屏的前基^反上 的X、 Y電極、以及浮動電極結(jié)構(gòu)的示意圖2-2是圖2-1中所示的浮動電才及的平面圖3-1是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的等離子顯示屏的前基板上 的X、 Y電才及、以及浮動電才及結(jié)構(gòu)的示意圖3-2是圖3-1中所示的浮動電才及的平面圖4是制造圖2和圖3所示的等離子顯示屏的前基板的過程的 流程圖。
具體實施例方式
下面參考附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實施方式
。
本發(fā)明提供了一種等離子顯示屏的新型電極結(jié)構(gòu)。其中，本發(fā) 明通過釆用浮動電極結(jié)構(gòu)，可以增加X、 Y電極的間距，使放電出 現(xiàn)正柱區(qū)，從而提高PDP顯示屏的亮度及光效。在本發(fā)明的實施例中，PDP前基板上的X、Y電極中去掉了 ITO 透明電極，只保留銀電極，且在銀電極之間增加一條銀的浮動電極 (該電極不與任何電源相聯(lián)，故稱浮動電極)。其中，浮動電極與X、 Y電才及等3巨。在一個維持電壓3永沖期間，在浮動電才及上會產(chǎn)生一定 的感應(yīng)電勢，由于浮動電4及與其兩側(cè)的X、 Y電一及的間3巨非常小， 因而在這兩個小間隙處容易首先引起》文電。在這兩處i史電的引火作 用下，引起X、 Y電才及之間的長間隙;故電。因為X、 Y電才及的間隙 遠(yuǎn)大于沒有浮動電極的傳統(tǒng)型PDP顯示屏上的電極間隙，所以放電 會出現(xiàn)正柱區(qū)，亮度及光效都能夠得到提高。
圖2-1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的等離子顯示屏的前基板上 的X、 Y電極、以及浮動電極結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖2-l，上基板Ol, 沒有ITO電極，因此玻璃板上直接用光刻的方法形成銀電極03, — 對銀電極之間，用同樣的方法形成浮動電極，ll是浮動電極。其主 要的特點是兩端不連接電源，處于懸浮狀態(tài)，故取名浮動電極。
其中，前基才反上的X、 Y電才及的寬度為75pm;浮動電才及的寬 度為300pm;前基^反與浮動電4及之間的間3巨為45|am;浮動電才及的 平面圖如圖2-2所示。等離子實驗顯示屏中，峰值亮度為900cd/m2, 光效提高了 9%。
PDP是根據(jù)低氣壓氣體放電原理研制的，利用氣體放電的主要 發(fā)光區(qū)有負(fù)輝區(qū)和正柱區(qū)，而功率消耗也主要集中在這兩個區(qū)域， 正柱區(qū)和負(fù)輝區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率差別相當(dāng)大，一^殳而言，正柱區(qū)的 光子轉(zhuǎn)化效率很高，而負(fù)輝區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率較低。普通PDP電極 的距離在90以)iim內(nèi)，因此PDP發(fā)光主要貢獻(xiàn)者是負(fù)輝區(qū)。而本發(fā) 明的實例，PDP電極間的距離是390^im(為了降低其著火電壓,電極 中間增加浮動電極)。4吏PDP發(fā)光主要貢獻(xiàn)者是正柱區(qū)，因此^是高 光效。
8圖3-1是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的等離子顯示屏的前基板上
的X、 Y電極、以及浮動電極結(jié)構(gòu)的示意圖。其中，前基板上的X、 Y電4及的寬度為80|dm;浮動電一及的寬度為310pm;前基纟反與浮動 電才及之間的間距為60)Lim。浮動電極的平面圖如圖3-2所示。
^口圖3-l，上基才反Ol，；殳有ITO電才及，因;t匕3皮璃才反上直沖妻用光 刻的方法形成銀電極03， 一對銀電極之間，用同樣的方法形成浮動 電極，圖3-1, 11、 12、及l(fā)la是浮動電極。其主要的特點是兩端不 連接電源，處于懸浮狀態(tài)，故取名浮動電極。圖3-1中的懸浮電極 的最大特點是其懸浮電極中心是空心，如圖3-2。
等離子實驗顯示屏中，峰值亮度為1000cd/m、光效提高了 11%。 原因在于，PDP是根據(jù)低氣壓氣體放電原理研制的，利用氣體放電 的主要發(fā)光區(qū)有負(fù)輝區(qū)和正柱區(qū)，而功率消壽毛也主要集中在這兩個 區(qū)域，正柱區(qū)和負(fù)輝區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率差別相當(dāng)大，一4殳而言，正 柱區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率4艮高，而負(fù)輝區(qū)的光子轉(zhuǎn)化效率較低。普通PDP 電極的距離在90以nm內(nèi)，因此PDP發(fā)光主要貢獻(xiàn)者是負(fù)輝區(qū)。而 本發(fā)明的實例，PDP電極間的距離是390^im(為了降低其著火電壓, 電才及中間增加浮動電極)。4吏PDP發(fā)光主要貢獻(xiàn)者是正柱區(qū)，而該 實例中，浮動電極中心為空，沒有電極遮擋,故光的透過率提高，而 浮動電4及四周相連，因ot匕不影響與電才及之間的》文電，/人而4是高了光 效。
圖4是制造圖2和圖3所示的等離子顯示屏的前基才反的過程的 流考呈圖。如圖4所示，該過程包4舌以下步-驟
1)在PD200 3皮璃基^反上印刷介質(zhì)層，在一定溫度下干燥，然 后在高溫下燒結(jié)。2) 在PD200玻璃介質(zhì)層上用印刷的方法，涂覆電極漿料，在 一定溫度下干燥，然后在高溫下燒結(jié)。
3) 貼干膜光致抗蝕劑(DFR)膜。其中，DFR是相對于液態(tài) 光致抗蝕劑而言的，用來轉(zhuǎn)移圖形以形成^青確圖案。DFR在印刷辦
(PCB)行業(yè)內(nèi)已經(jīng)是一門比較成熟的工藝。在PDP中用的DFR 一般是負(fù)型的，即DFR受紫外光照射過的部分會交聯(lián)硬化，而沒有 被紫外光照射過的部分會在顯影時洗掉。
4) 曝光。其中，使用的掩模板是根據(jù)電極圖型的要求設(shè)計而成 (三電極圖形)。把貼干膜后的玻璃基板，放置到曝光機(jī)上，該曝光
機(jī)主要有光源和透鏡組成，其結(jié)果是產(chǎn)生一組平行紫外光，該平行 光通過專門設(shè)計的掩模板，達(dá)到玻璃基板上。基板上光線被照射部 分，被保留，其余部分在后面工序顯影時洗掉。
5) 顯影。把曝光后的玻璃基板，放置到顯影機(jī)上，顯影機(jī)的主 要作用是，使配置好的顯影液(主要成分是Na2C03溶液)以一定 的壓力噴灑到感光材料表面，使未被紫外光照射過的部分會在顯影 時洗掉。其主要工藝參數(shù)如下顯影溫度30°C ，顯影壓力1.5kgf/cm2， 噴嘴擺動角度30度，噴嘴擺動頻率10R/min,顯影時間45s。
6 )孝'J膜。顯影后表面的DFR膜都需要將其剝離，DFR剝離用 的剝膜液均為濃的強(qiáng)堿溶液。把顯影后的玻璃基板，放置到剝膜機(jī) 上，4吏配置好的液體以一定的壓力噴灑。經(jīng)多次反復(fù)，再用清水沖 洗。剝膜液溫度40士rC,剝膜壓力1.5kgf/cm2,剝膜時間 120s。
7)浮動電極的制作和前基板上的X、 Y電極的制作同時進(jìn)行， 方法一致，與原來工藝完全一樣，只是掩才莫板，根據(jù)浮動電極的不 同圖形，即中心是實心或中心是空白，進(jìn)行專門設(shè)計。因此該新結(jié) 構(gòu)不增加4壬4可新工藝。
10其中，對于中心空白的浮動電極，制造過程如下
1. 根據(jù)圖形設(shè)計掩模板；
2. 用印刷的方法，印制10—20lum厚度的4艮電極漿泮+;
3. 將印刷后的電極漿料干燥后，貼干膜光致抗蝕劑膜(DFR), 使用根據(jù)浮動電極制作的掩模板曝光。
4. 經(jīng)過顯影剝膜，制作出中心空白的顯示電極。
以上所述^又為本發(fā)明的實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對 于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本 發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均 應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示屏，包括前基板，其特征在于，所述前基板上除了設(shè)置有維持放電電極和掃描放電電極外還設(shè)置有位于所述維持放電電極和所述掃描放電電極之間、與所述維持放電電極和所述掃描放電電極處于所述前基板的同一表面上、且不與任何電源相聯(lián)的浮動電極，其中，所述維持放電電極、所述掃描放電電極、以及所述浮動電極的電阻值均小于45歐姆。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述浮動 電極與所述維持放電電極之間的距離等于所述浮動電極與所 述掃描方丈電電才及之間的3巨離。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述浮動 電才及的厚度介于15|nm至30|um之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述浮動 電才及的寬度介于lOO]um至350(am之間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述浮動 電極的電阻介于20歐姆至70歐姆之間。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述維持 》文電電才及和所述掃描》文電電才及均^又由4艮電才及組成，其中，組成極的銀電極的電阻值相等或不等。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示屏，其特征在于，所述浮動 電極僅由4艮電極組成，其中，組成所述浮動電極的4艮電極的電 阻值與組成所述維持放電電極和/或所述掃描放電電極的4艮電 才及的電阻值相等或不等。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的等離子顯示屏，其特征在 于，所述浮動電極是中空的。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種等離子顯示屏，包括前基板，其中，前基板上除了設(shè)置有維持放電電極和掃描放電電極外還設(shè)置有位于維持放電電極和掃描放電電極之間、與維持放電電極和掃描放電電極處于前基板的同一表面上、且不與任何電源相聯(lián)的浮動電極，其中，維持放電電極、掃描放電電極、以及浮動電極的電阻值均小于45歐姆。本發(fā)明通過采用浮動電極的結(jié)構(gòu)，可以增加維持電極和掃描電極之間的間距，使放電出現(xiàn)正柱區(qū)，從而提高等離子顯示屏的亮度及光效。
文檔編號H01J11/12GK101615548SQ200810115410
公開日2009年12月30日 申請日期2008年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月23日
發(fā)明者曹瑞林 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司