專利名稱：：隔肋的制造方法和具有該隔肋的下面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種制造包括在等離子體顯示面板(PDP)中的隔肋的方法和制造包括隔肋的下面板的方法。
背景技術(shù)：
：等離子體顯示面板(PDP)是一種平板顯示器(FPD),其中維持電極(sustainelectrode)和i也址電才及(addresselectrode)以矩陣形式布置在上基板和下基板之間以引起電極之間的放電，因此產(chǎn)生激勵(lì)磷光層的紫外(UV)線，從而形成預(yù)定的圖像。圖l是常規(guī)交流(AC)表面放電型PDP的分解透視圖。參照?qǐng)D1，常規(guī)AC表面放電型PDP這樣來制造，使用單獨(dú)的工藝形成上面板10和下面板20,并使上和下面^反10和20彼此相對(duì)地結(jié)合。在上面板10中，上介電層12和保護(hù)層15依次形成在其上設(shè)置有成對(duì)的維持電極16的上基板11上。在等離子體放電期間，上介電層12積聚壁電荷。在等離子體放電期間，保護(hù)層15保護(hù)成對(duì)的維持電極16和上介電層12免于氣體離子濺射并改善二次電子(secondaryelectron)的發(fā)射。在下面板20中，下介電層23形成在其上形成有多個(gè)地址電極22的下基板21上，從而掩埋地址電極22，多個(gè)隔肋24設(shè)置在下介電層23上。隔肋24分隔多個(gè)放電空間G并形成獨(dú)立的發(fā)射區(qū)。在放電空間G中涂敷包括紅(R)、綠(G)和藍(lán)(B)磷光層的磷光層25。磷光層25被等離子體放電期間發(fā)射的UV線激勵(lì)，從而產(chǎn)生可見(V)光，由此形成預(yù)定的圖像。惰性氣體如He、Xe和Ne氣體的混合物被注入且以400至600Torr的壓強(qiáng)密封在it電空間G中。參照?qǐng)D1，隔肋24可以形成為開放(open)條型隔肋或閉型(closedtype)隔肋。當(dāng)隔肋24形成為閉型隔肋時(shí)，放電效率比隔肋24形成為開放條型隔肋時(shí)高。隔肋24維持上基板11和下基板21之間的預(yù)定距離并分隔放電空間G。隔肋24防止各放電空間G之間電和光串?dāng)_的發(fā)生，從而改善圖像質(zhì)量，包括色純度。另外，隔肋24提供其上涂覆有磷光層25的區(qū)域，從而提供PDP的發(fā)光。除了上述直接功能外，隔肋24分隔放電空間G以定義由R、G和B放電空間G形成的單位像素，并定義放電空間G之間的單元節(jié)距以確定圖像的分辨率。因此，隔肋24是改善圖像質(zhì)量和發(fā)光效率的必要部件，且因此由于近來對(duì)大面積高分辨率面板的需求，對(duì)隔肋技術(shù)進(jìn)行了各種研究。傳統(tǒng)上，隔肋可以使用絲網(wǎng)印刷法、噴砂法、蝕刻法、或使用光敏膏的光刻法來制造。然而，使用上述方法難以形成高分辨率的隔肋且產(chǎn)率低。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種制造用于等離子體顯示面板(PDP)的隔肋的方法，其中能精確地形成具有期望的形狀的隔肋圖案，且提供制造包括該隔肋的下面板的方法。另外，本發(fā)明提供一種制造用于PDP的下面板的方法，其中能形成具有均勻厚度的電極掩埋層。此外，本發(fā)明提供一種制造用于PDP的下面板的方法，其能容易地進(jìn)行且是自動(dòng)化的。才艮據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種制造用于PDP的隔肋的方法。該方法包括提供用于使隔肋成形的模子(mold),該模子具有圖案化的表面；用隔肋材料填充形成在模子中的多個(gè)凹陷部分；相對(duì)于模子設(shè)置電介質(zhì)片；以及壓該電介質(zhì)片以結(jié)合到該^t子。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種制造PDP的下面板的方法。該方法包括準(zhǔn)備用于使隔肋成形的模子，其具有圖案化的表面；用隔肋材料填充形成在沖莫子中的多個(gè)凹陷部分；相對(duì)于模子設(shè)置電介質(zhì)片；壓該電介質(zhì)片從而結(jié)合到該模子；以及壓該電介質(zhì)片從而結(jié)合到具有暴露電極的基板。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種使用制造設(shè)備制造用于PDP的下面板的方法。該制造設(shè)備包括設(shè)置在制造設(shè)備的第一側(cè)的用于填充的臺(tái)(table);設(shè)置在制造設(shè)備的第二側(cè)的用于按壓(compression)的臺(tái)；以及模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，用于來回轉(zhuǎn)動(dòng)從而傳輸安裝在其上的用于使隔肋成形的模子以進(jìn)行后續(xù)工藝。該方法包括提供具有圖案化表面的模子；設(shè)置模子在設(shè)置于制造設(shè)備第一側(cè)的用于填充的臺(tái)上并將模子安裝在模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器上；用隔肋材料填充模子的凹陷部分；相對(duì)著模子設(shè)置電介質(zhì)片并壓該電介質(zhì)片以結(jié)合到模子；設(shè)置具有多個(gè)電極的基板在設(shè)置于制造設(shè)備第二側(cè)的用于按壓的臺(tái)上；向前驅(qū)動(dòng)^t子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器以將電介質(zhì)片結(jié)合到其上的模子傳輸?shù)皆O(shè)置于制造設(shè)備第二側(cè)的基板上；以及壓電介質(zhì)片以結(jié)合到其上電極被暴露的基板。本發(fā)明的上述和其它特征和優(yōu)點(diǎn)將通過結(jié)合附圖詳細(xì)地描述其示范性實(shí)施例而變得更加清晰，在附圖中圖1是常規(guī)交流(AC)表面放電型等離子體顯示面板(PDP)的分解透視圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例制造用于PDP的下面板的方法的工藝流程圖；圖3A至3J是示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的圖2的方法的截面圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于制造隔肋的軟模子的透視圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的沿圖4的線A-A'取得的透視圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于制造下面板的設(shè)備的示意圖；以及圖7A至7J是示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的使用圖6的設(shè)備制造下面板的方法的截面圖。具體實(shí)施方式下面，將描述根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例制造用于等離子體顯示面板(PDP)的隔肋和下面板的方法。制造用于PDP的隔肋的工藝將與制造下面板的工藝一起描述，因?yàn)閮晒に囘B續(xù)地進(jìn)行。實(shí)施例1圖2是示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例制造用于PDP的下面板的方法的工藝流程圖。首先，在操作S101中準(zhǔn)備用于使隔肋成形的軟模子。在操作S103中，隔肋材料填充在所準(zhǔn)備的軟模子中。在操作S105中，電介質(zhì)片設(shè)置在其中填充有隔肋材料的軟模子上。在操作S107中，對(duì)電介質(zhì)片施加壓力從而電介質(zhì)片被壓且結(jié)合到軟模子。接著，在操作S109中，結(jié)合到軟模子的電介質(zhì)片設(shè)置得相對(duì)于用于PDP的下面板，且在操作Slll中沿垂直方向與下面板對(duì)準(zhǔn)。之后，在操作S113中將電介質(zhì)片壓到下基板。在操作S115中填充在軟模子中的隔肋材料固化，在操作S117中軟模子被除去。在操作S119中所得結(jié)構(gòu)被燒結(jié)，由此完成下面板的制造。下面，將參照?qǐng)D3A至3J詳細(xì)描述操作S101至S119。圖3A至3J是示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的圖2的方法的截面圖。參照?qǐng)D3A，準(zhǔn)備用于使隔肋成形的軟模子180。軟模子180包括沿軟模子180的長(zhǎng)度交替形成的凹陷部分181和凸出部分182。為了參考，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，圖4示出軟模子180的透視圖，圖5示出沿圖4的線A-A'取得的透視圖。軟模子180可由柔性材料形成，比如工程塑料或硅橡膠。因?yàn)槿嵝圆牧闲纬傻能浤Ｗ?80比硬材料例如金屬、金屬氧化物或陶瓷形成的硬模子具有更低的表面能，所以軟模子180具有更好的釋放特性。另外，由柔性材料形成的軟模子180自吸收在釋放過程期間發(fā)生的振動(dòng)或移動(dòng)，且不會(huì)將負(fù)載施加到完成的隔肋圖案，因此能結(jié)構(gòu)上防止隔肋圖案的變形。如果需要，軟模子180可以由具有高光學(xué)透明度的材料形成從而將填充在凹陷部分181中的隔肋材料直接暴露到輻射光(UV光)。參照?qǐng)D3B,隔肋材料P填充在軟模子180的凹陷部分181中。更具體地，足量的隔肋材料P沉積在軟模子180上，且通過將橡膠滾軸SQ從軟模子180的一端移動(dòng)到其另一端來施加壓力到隔肋材料P,^/v而隔肋材料P填充在軟4莫子180的每個(gè)凹陷部分181中。這里，光敏膏可用作隔肋材料P，但本發(fā)明不限于此。另外，橡膠滾軸SQ的使用有利于以精確的量在各凹陷部分181中填充隔肋材料P至均勻高度的工藝。利用橡膠滾軸SQ以隔肋材料P填充凹陷部分181之后，軟模子180可具有如圖3C所示的幾乎平面的頂表面。例如，填充在軟模子180中的隔肋材料P經(jīng)歷固化工藝(curingprocess)并構(gòu)成由凹陷部分181定義的隔肋。同時(shí)，只要凹陷部分181能填充以液體或固體隔肋材料P，可以使用任何已知的填充凹陷部分181的工藝。在這點(diǎn)上，上述橡膠滾軸SQ的使用僅作為一個(gè)示例。參照?qǐng)D3D,電介質(zhì)片150設(shè)置在軟模子180上。電介質(zhì)片150通過下面的工藝與包含在凹陷部分181中的隔肋材料P結(jié)合，結(jié)構(gòu)上連接隔肋材料P的分隔部分，并用作用于掩埋電極的電介質(zhì)材料。為此原因，電介質(zhì)片150可以形成為足夠的厚度"t"以掩埋電極并防止電擊穿的發(fā)生。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，具有預(yù)定厚度"t"的電介質(zhì)片150構(gòu)成用于掩埋電極的電介質(zhì)材料。于是，電介質(zhì)材料的厚度能被精確和均勾地控制。參照?qǐng)D3E,電介質(zhì)片150利用壓輥(pressureroller)190被壓且結(jié)合至軟模子180。在這種情況下，用于施加預(yù)定壓力的壓輥190在電介質(zhì)片150上從電介質(zhì)片150的一端移動(dòng)到其另一端，使得電介質(zhì)片150結(jié)合至軟模子180,被壓且成形至較小的均勻的厚度，且能具有平坦的頂表面。通過使用壓輥190，電介質(zhì)片150能緊密粘附到填充在軟模子180中的隔肋材料P。此外，殘留在軟模子180的凸出部分182上的隔肋材料P可被壓輥190擠出，并通過開口端部向外4非出。進(jìn)行上述按壓工藝之后，結(jié)合到軟模子180的電介質(zhì)片150被顛倒并設(shè)置在用于PDP的下基板121上，如圖3F所示。更具體地，準(zhǔn)備比如玻璃基板或塑料柔性基板的下基板121，多個(gè)電極122彼此平行地設(shè)置在下基板121上。之后，電介質(zhì)片150與電極122相對(duì)地設(shè)置，使得在所得結(jié)構(gòu)中軟模子180可位于最上面。參照?qǐng)D3G,軟模子180與設(shè)置在下基板121上的電極122垂直對(duì)準(zhǔn)。為了進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)工藝，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)可分別形成在軟才莫子180和下基板121中。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可同時(shí)被電荷耦合裝置(CCD)160識(shí)別從而確定軟模子180和下基板121之間的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)，從而未對(duì)準(zhǔn)能基于CCD160拍攝的圖像數(shù)據(jù)被校正。在這種情況，未對(duì)準(zhǔn)可通過移動(dòng)軟模子180被簡(jiǎn)單地校正。例如，因?yàn)樾枰獙㈦姌O122i殳置在隔肋(或隔肋材料P的相鄰部分)之間以進(jìn)行準(zhǔn)確的尋址操作，所以在用于PDP的下面板的制造期間進(jìn)行上述對(duì)準(zhǔn)工藝參照?qǐng)D3H,電介質(zhì)片150通過施加壓力到軟模子180的頂表面而被壓且結(jié)合到下基板121。更具體地，通過使用壓力單元170施加預(yù)定壓力到軟模子180的頂表面，下面的電介質(zhì)片150被壓且結(jié)合到下基板121,使得電極122被電介質(zhì)片150掩埋。壓力單元170可以是例如施加預(yù)定壓力到軟模子180的頂表面且從軟模子180的一端旋轉(zhuǎn)到其另一端的壓輥。電介質(zhì)片150用作使電極122彼此電絕緣并保護(hù)電極122不受放電環(huán)境影響的常規(guī)電介質(zhì)層。因此，電介質(zhì)片150不從電極122的側(cè)面分離并能完全掩埋電極122。參照?qǐng)D31，當(dāng)電介質(zhì)片150充分結(jié)合到下基板121時(shí)，可進(jìn)行固化隔肋材料P的工藝。僅當(dāng)隔肋材料P可固化時(shí)，可進(jìn)行固化工藝，于是隔肋材料在加熱、曝光和其它因素的影響下以固相固化并有變化的發(fā)展屬性。例如，當(dāng)光敏膏用作隔肋材料P時(shí)，UV光L照射到填充于軟模子180的凹陷部分181中的隔肋材料P。通過透明的軟模子ISO曝光至UV光L的隔肋材料P由于內(nèi)部的光化學(xué)反應(yīng)而以固相固化。在UV固化工藝期間，隔肋材料P與電介質(zhì)片150整體結(jié)合。在每個(gè)凹陷部分181中固化的隔肋材料P的部分構(gòu)成具有與凹陷部分181對(duì)應(yīng)的形狀的單元隔肋，且相鄰的單元隔肋通過電介質(zhì)片150結(jié)構(gòu)上;f皮此連接。參照?qǐng)D3J,軟模子180從電介質(zhì)片150釋放并被去除。當(dāng)軟模子180被除去時(shí)，形成電介質(zhì)隔肋(下文稱為隔肋層)。隔肋層用作使用電介質(zhì)片150掩埋電極122的電介質(zhì)層，且還使用隔肋材料P分隔放電空間。因?yàn)橛糜谘诼耠姌O122的電介質(zhì)片150由具有恒定厚度的片材料形成，所以其能具有均勻的厚度而不需要額外的質(zhì)量控制(QC)或額外的工藝。另外，替代常規(guī)涂覆方法，電介質(zhì)片150被壓且結(jié)合到下基板121,從而電介質(zhì)片150能具有平坦的頂表面，而不是由于電極122的形狀而導(dǎo)致的彎曲的頂表面。同時(shí)，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，因?yàn)楦衾邔幽苡米饔糜谘诼耠姌O122的電介質(zhì)層和用于分隔放電空間的隔肋，所以與電介質(zhì)層和隔肋使用單獨(dú)的工藝形成的常規(guī)方法相比，能減少工藝操作的數(shù)量。同時(shí)，軟模子180從其去除的下面板可在合適的溫度燒結(jié)，例如在約500。C或更高的溫度。結(jié)果，結(jié)合到電介質(zhì)片150的隔肋材料P被固化，且可以增強(qiáng)電介質(zhì)片150到下基板121的粘合。根據(jù)上述本發(fā)明的實(shí)施例，與隔肋層一體形成的電介質(zhì)片150直接掩埋下基才反121上的電極122。然而，本發(fā)明不限于此，用于掩埋電極122的額外電介質(zhì)層能形成在下基板121上。在本發(fā)明的這個(gè)實(shí)施例中，額外的電介質(zhì)層可以置于設(shè)置在下基板121上的電極122與電介質(zhì)片150之間。實(shí)施例2下文中，將描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的制造用于PDP的下面板的方法。當(dāng)前的實(shí)施例在技術(shù)原理方面基本類似于前面的實(shí)施例，與前面的實(shí)施例的區(qū)別在于使用了面板制造設(shè)備以容易地進(jìn)行該方法并使該方法自動(dòng)化。圖6是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例用于制造下面板的設(shè)備的示意圖。參照?qǐng)D6，根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的設(shè)備包括用于填充的移動(dòng)臺(tái)(movingtable)210,其設(shè)置在設(shè)備的一側(cè)以在填充隔肋材料期間提供支撐表面；以及用于按壓的固定臺(tái)220,其設(shè)置在設(shè)備的另一側(cè)以在電介質(zhì)片按壓和結(jié)合到基板期間提供支撐表面。另外，模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230置于移動(dòng)臺(tái)210和固定臺(tái)220之間。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230將軟模子180固定到其一端并旋轉(zhuǎn)以將軟模子180從用于填充的移動(dòng)臺(tái)210傳輸?shù)接糜诎磯旱墓潭ㄅ_(tái)220以進(jìn)行后續(xù)工藝。模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230包括旋轉(zhuǎn)軸，其連接至作為動(dòng)力源的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)M并順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)；以及與軟模子180結(jié)合并與旋轉(zhuǎn)軸231—起旋轉(zhuǎn)的模子結(jié)合構(gòu)件232。例如，模子結(jié)合構(gòu)件232可以是彈性偏置夾構(gòu)件，其能彈性地固定軟模子180于其中。另外，模子結(jié)合構(gòu)件232還可包括用于固定軟模子180的端部的螺桿(screw)(未示出)以增強(qiáng)模子結(jié)合構(gòu)件232與軟模子180的結(jié)合。作為螺桿的替代，可以在軟模子180端部的頂和底表面中沿一方向形成槽(groove),且具有適合于槽的形狀的突出(未示出)可形成在準(zhǔn)備為夾子型的模子結(jié)合構(gòu)件232上，從而模子結(jié)合構(gòu)件232能與軟模子180可滑動(dòng)地結(jié)合。在完成相應(yīng)的工藝之后，模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230以預(yù)定的角度間歇地旋轉(zhuǎn)以將軟模子180傳輸?shù)綄⑦M(jìn)行后續(xù)工藝的位置。在這種情況下，用于填充的移動(dòng)臺(tái)210可安裝為能夠沿固定路徑移動(dòng)，使得其能避開軟模子180旋轉(zhuǎn)畫弧的移動(dòng)路徑。由于用于填充的移動(dòng)臺(tái)210的避讓操作，模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230的旋轉(zhuǎn)脫離結(jié)構(gòu)限制且模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230的自由度增加。同時(shí)，在本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的變型中，用于按壓的固定臺(tái)220可安裝為能夠替代用于填充的移動(dòng)臺(tái)210移動(dòng)或與其一起移動(dòng)。在下文，將參照?qǐng)D7A至7J描述根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例制造用于PDP的下面板的方法。圖7A至7J是示出根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例使用圖6所示的設(shè)備制造用于PDP的下面板的方法的截面圖。參照?qǐng)D7A，準(zhǔn)備具有模圖案的軟模子180，模圖案包括規(guī)則交替的凹陷部分181和凸出部分182。接下來，所準(zhǔn)備的軟模子180放置在用于填充的移動(dòng)臺(tái)210上，軟模子180的端部與模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230結(jié)合。例如，軟模子180的端部強(qiáng)制地插入或可滑動(dòng)地固定到模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230的結(jié)合構(gòu)件232。軟模子180被完全設(shè)置后，軟模子180的凹陷部分181被填充以隔肋材料P,如圖7B和7C所示。具體地，隔肋材料P沉積在軟模子180上且通過使用橡膠滾軸SQ施加壓力而移動(dòng)，從而軟模子180的每個(gè)凹陷部分181能被填充以隔纟力材料P。參照?qǐng)D7D，具有預(yù)定厚度的電介質(zhì)片150設(shè)置在軟模子180上。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，具有預(yù)定厚度的電介質(zhì)片150構(gòu)成用于掩埋電極的電介質(zhì)材料。因此，電介質(zhì)材料的厚度能被精確和均勻地控制。參照?qǐng)D7E，電介質(zhì)片150使用壓輥290被壓且結(jié)合至軟模子180。具體地，壓輥290施加壓力到電介質(zhì)片150的頂表面且從電介質(zhì)片150的一端旋轉(zhuǎn)到其另一端，從而電介質(zhì)片150被按壓到軟模子180。于是，電介質(zhì)片150可成形到均勻的厚度，與凸出部分182形成壓結(jié)(pressurejunction)，且緊密粘附到填充在凹陷部分181中的隔肋材料P。在這種情況，電介質(zhì)片150緊密粘附到凸出部分182的同時(shí)，殘留在凸出部分182上的隔肋材料P可通過壓輥290沿一方向擠出并向外排出。在上述按壓工藝之后或期間，用于PDP的下基板221已經(jīng)設(shè)置在進(jìn)行后續(xù)工藝的用于按壓的固定臺(tái)220上。在這種情況，下基板221可以是玻璃基板或塑料柔性基板，且多個(gè)電極222設(shè)置在下基板221上。參照?qǐng)D7F,準(zhǔn)備具有電極222的下基板221后，模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230被驅(qū)動(dòng)從而軟模子180從用于填充的移動(dòng)臺(tái)210傳輸?shù)接糜诎磯旱墓潭ㄅ_(tái)220。例如，通過順時(shí)針旋轉(zhuǎn)模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230約1S0。角，軟模子180的位置可從一側(cè)傳輸?shù)搅硪粋?cè)。然后，結(jié)合到軟模子180的電介質(zhì)片150被顛倒，從而軟模子180位于電介質(zhì)片150上，且電介質(zhì)片150相對(duì)于設(shè)置在下基板221上的暴露電極222設(shè)置。之后，軟模子180與設(shè)置在下基板221上的電極222垂直對(duì)準(zhǔn)。為了進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)工藝，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)可分別形成在軟模子180和下基板221中。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可同時(shí)由CCD160識(shí)別以確定軟模子180和下基板221之間的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)，從而能基于CCD160拍攝的圖像數(shù)據(jù)校正未對(duì)準(zhǔn)。在這種情況，未對(duì)準(zhǔn)可通過移動(dòng)下基板221簡(jiǎn)單地校正，因?yàn)榕c軟模子180相比移動(dòng)下基板221更容易。例如，因?yàn)樾枰O(shè)置電極122在隔肋(或隔肋材料P的相鄰部分)之間以進(jìn)行準(zhǔn)確的尋址操作，所以上述對(duì)準(zhǔn)工藝在用于PDP的下面板的制造期間進(jìn)行。參照?qǐng)D7G，電介質(zhì)片150通過使用壓力單元270施加壓力到軟模子180的反面而被壓且結(jié)合到下基板221。于是，下面的電介質(zhì)片150被壓且結(jié)合到下基板221，從而電極222被電介質(zhì)片150掩埋。壓力單元270可以是例如從軟模子180的一端旋轉(zhuǎn)到其另一端并施加預(yù)定壓力到軟模子180的壓輥。電介質(zhì)片150用作使電極222彼此電絕緣并保護(hù)電極222免受放電環(huán)境影響的常規(guī)電介質(zhì)層。因此，需要準(zhǔn)備具有足夠厚度的電介質(zhì)片150以實(shí)現(xiàn)電介質(zhì)片150到電極222的表面的緊密粘附，且施加足夠的壓力到電介質(zhì)片150。當(dāng)電介質(zhì)片150充分地結(jié)合到下基板120時(shí)，可進(jìn)行固化隔肋材料P的工藝，如圖7H所示。僅當(dāng)使用可固化的隔肋材料P時(shí)可進(jìn)行固化工藝操作，該可固化的隔肋材料P根據(jù)溫度條件和曝光狀態(tài)具有變化的發(fā)展屬性。例如，當(dāng)光敏膏用作隔肋材料P時(shí)，UV光L照射到包含在軟模子180中的隔肋材料P，從而隔肋材料P固化并地與電介質(zhì)片150—體地結(jié)合。固化的隔肋材料P構(gòu)成具有與軟模子180的凹陷部分181對(duì)應(yīng)的形狀的隔肋，并且相鄰的隔肋通過電介質(zhì)片150結(jié)構(gòu)上彼此相連。參照?qǐng)D71,軟模子180通過驅(qū)動(dòng)模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230而從電介質(zhì)片150釋放。所釋放的軟模子180通過模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230的旋轉(zhuǎn)傳輸?shù)接糜谔畛涞囊苿?dòng)臺(tái)210上，且用于PDP的下面板留在用于按壓的固定臺(tái)220上。用于PDP的下面板包括隔肋層，其通過使隔肋材料P和電介質(zhì)片150—體地結(jié)合而形成，還包括隔肋層結(jié)合到其上的下基板221。隔肋層用作使用電介質(zhì)片150掩埋電極122的電介質(zhì)層，且還使用隔肋材料P分隔放電空間。此外，用于PDP的下面板可在合適的溫度燒結(jié)，例如在約500。C或更高的溫度。結(jié)果，結(jié)合到電介質(zhì)片150的隔肋材料P能被穩(wěn)定地成形，且能增強(qiáng)電介質(zhì)片150到下基板221的粘附。同時(shí)，可以重復(fù)進(jìn)行包括上面參照?qǐng)D7A至7I描述的一系列工藝操作的工藝周期以大量制造用于PDP的下面板。在這種情況下，在其壽命范圍內(nèi)重復(fù)使用的軟模子180可在一個(gè)工藝周期完成后且在下一個(gè)周期開始前經(jīng)歷清潔工藝，如圖7J所示。因?yàn)楦街杰沕^莫子180的殘余物(例如隔肋材料P)會(huì)影響將要在下一個(gè)周期期間制造的隔肋的形狀，所以需要如下的清潔工藝。也就是，通過驅(qū)動(dòng)模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230，設(shè)置在用于填充的移動(dòng)臺(tái)210上的軟模子180被加載到設(shè)置于模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230下的清潔槽CB中。在這種情況下，參照?qǐng)D7J,用于填充的移動(dòng)臺(tái)210避讓至左邊從而不阻礙軟模子180的旋轉(zhuǎn)。清潔槽CB包括含有用于溶解隔肋材料P的溶劑的清潔溶液240。清潔槽CB還可包括用于超聲振蕩清潔溶液240的超聲振蕩器。于是，粘附到軟模子180的殘余物由于軟模子180和清潔溶液240之間的摩擦振蕩而被快速除去。另外，旋轉(zhuǎn)且同時(shí)上下移動(dòng)并包括附著到其外周表面的刷子(brush)的清潔輥245可安裝在清潔槽CB中。清潔輥245能促進(jìn)從軟模子180除去殘余物。被清潔的軟模子180由于模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器230的旋轉(zhuǎn)而被再次傳輸?shù)接糜谔畛涞囊苿?dòng)臺(tái)210上且等待下一制造周期。盡管示范性地描述了使用軟模子制造隔肋和用于PDP的下面板，但本發(fā)明不限于此，且例如可以使用硬模子來替代軟模子。在根據(jù)本發(fā)明制造用于PDP的下面板的方法中，隔肋圖案使用模制工藝形成，從而具有期望形狀的隔肋能被精確地形成而沒有形狀限制，只要可以制造模子。特別地，因?yàn)榫哂芯鶆蚝穸鹊碾娊橘|(zhì)片用作用于掩埋電極的電介質(zhì)層，所以電介質(zhì)層的厚度能被容易和均勻地控制。此外，本發(fā)明提供了用于制造PDP的下面板的設(shè)備，從而本發(fā)明的技術(shù)原理能體現(xiàn)在自動(dòng)化或半自動(dòng)化的系統(tǒng)中，因而大大提高了工藝的筒便性和生產(chǎn)率，且加速了向使用自動(dòng)化的設(shè)備批量生產(chǎn)PDP的轉(zhuǎn)移。雖然已經(jīng)參照其示范性實(shí)施例特別顯示和描述了本發(fā)明，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，可以進(jìn)行各種形式和細(xì)節(jié)上的變化而不偏離所附權(quán)利要求定義的本發(fā)明的思想和范圍。本申請(qǐng)要求分別于2006年12月29日和2007年5月31日向韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請(qǐng)Nos.10-2006-0138902和10-2007-0053418的權(quán)益，在此引用其公開內(nèi)容作為參考。權(quán)利要求1.一種制造用于等離子體顯示面板的隔肋的方法，該方法包括準(zhǔn)備用于使所述隔肋成形的模子，其具有圖案化的表面；用隔肋材料填充形成在所述模子中的多個(gè)凹陷部分；對(duì)著所述模子設(shè)置電介質(zhì)片；以及壓所述電介質(zhì)片以結(jié)合到所述模子。2.如權(quán)利要求l所述的方法，其中所述模子是柔性軟模子。3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中用所述隔肋材料填充所述凹陷部分通過使用橡膠滾軸施加壓力來進(jìn)行。4.如權(quán)利要求l所述的方法，其中所述隔肋材料包括光敏膏。5.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述模子之后固化填充在所述模子中的所述隔肋材料。6.如權(quán)利要求1所述的方法，在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述模子之后，還包括釋放所述模子；以及燒結(jié)所述隔肋材料被圖案化于其上的所述電介質(zhì)片。7.—種制造用于等離子體顯示面板的下面板的方法，該方法包括準(zhǔn)備用于使隔肋成形的模子，其具有圖案化的表面；用隔肋材料填充形成在所述模子中的多個(gè)凹陷部分；對(duì)著所述模子設(shè)置電介質(zhì)片；壓所述電介質(zhì)片以結(jié)合到所述模子；以及壓所述電介質(zhì)片以結(jié)合到具有暴露的電極的基板。8.如權(quán)利要求7所述的方法，還包括將所述電介質(zhì)片結(jié)合到其上的所述模子與設(shè)置在所述基板上的所述電極垂直對(duì)準(zhǔn)。9.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板時(shí)，所述電介質(zhì)片掩埋布置在所述基板上的所述電極。10.如權(quán)利要求7所示的方法，還包括在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板之后固化包含在所述模子中的所述隔肋材料。11.如權(quán)利要求7所述的方法，在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板之后，還包括釋放所述模子；以及燒結(jié)所述電介質(zhì)片結(jié)合到其上的所述基板。12.—種使用制造設(shè)備制造用于等離子體顯示面板的下面板的方法，該制造設(shè)備包括用于填充的臺(tái)，設(shè)置在該制造設(shè)備的第一側(cè)；用于按壓的臺(tái)，設(shè)置在該制造設(shè)備的第二側(cè)；以及用于來回旋轉(zhuǎn)以傳輸安裝在其上的用于使隔肋成形的模子以進(jìn)行后續(xù)工藝的模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，該方法包括提供具有圖案化的表面的模子；在設(shè)置于所述制造設(shè)備第一側(cè)的所述用于填充的臺(tái)上設(shè)置所述模子，且將該模子安裝在所述模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器上；用隔肋材料填充所述模子的凹陷部分；對(duì)著所述模子設(shè)置電介質(zhì)片且壓該電介質(zhì)片以結(jié)合到該模子；在設(shè)置于所述制造設(shè)備第二側(cè)的所述用于按壓的臺(tái)上設(shè)置具有多個(gè)電極的基板；向前驅(qū)動(dòng)所述模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器以將所述電介質(zhì)片結(jié)合到其上的所述模子傳輸?shù)皆O(shè)置于所述制造設(shè)備第二側(cè)的所述基板上；以及壓所述電介質(zhì)片以結(jié)合到所述電極暴露于其上的所述基板。13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中，在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板時(shí)，所述電介質(zhì)片掩模布置在所述基板上的所述電極。14.如權(quán)利要求12所述的方法，還包括在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板之后固化包含在所述模子中的所述隔肋材料。15.如權(quán)利要求12所述的方法，在壓且結(jié)合所述電介質(zhì)片到所述基板之后，還包括通過向后驅(qū)動(dòng)所述模子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器來釋放所述模子；以及將所述模子加載到設(shè)置于該模子的移動(dòng)路徑上的清潔槽中并清潔該模全文摘要本發(fā)明提供一種制造用于等離子體顯示面板PDP的隔肋的方法和一種制造用于PDP的下面板的方法。制造用于PDP的隔肋的方法包括準(zhǔn)備用于使隔肋成形的模子，其具有圖案化的表面；用隔肋材料填充形成在模子中的多個(gè)凹陷部分；對(duì)著模子設(shè)置電介質(zhì)片；以及壓電介質(zhì)片以結(jié)合到模子。使用模制工藝，具有期望形狀的隔肋圖案能精確地形成且能獲得均勻厚度的電極掩埋層。文檔編號(hào)H01J11/22GK101211734SQ20071030541公開日2008年7月2日申請(qǐng)日期2007年12月28日優(yōu)先權(quán)日2006年12月29日發(fā)明者崔鐘書,崔龜錫,樸奭熙,李范旭,柳承玟,梁東烈申請(qǐng)人:三星Sdi株式會(huì)社