專利名稱：環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管場致發(fā)射顯示器件是一種新型的自發(fā)光平面顯示器件，既具有了陰極射線管顯示器的高圖像顯示質(zhì)量，又具有液晶顯示器的低功耗超薄型的優(yōu)點，并有著出色的對比度和豐富的色彩，幾乎不存在視角問題，被公認(rèn)為是理想的下一代平板顯示器的代表。它將等離子體顯示器的大面積性以及液晶顯示器的超薄型等優(yōu)點集于一身，同時再加之高分辨率的顯示圖像特性，業(yè)已成為了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
在三極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件中，柵極結(jié)構(gòu)加入的主要目的是降低器件工作電壓，便于能和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系，降低總體器件成本。在柵極結(jié)構(gòu)的加入已成為一種必然選擇后，由于柵極結(jié)構(gòu)所帶來的負面問題不可忽視，諸如目前顯示器件中柵極電壓還是居高不下，柵極結(jié)構(gòu)會截留部分電子形成柵極電流，柵極的控制作用不顯著以及碳納米管陰極的電子發(fā)射效率低等問題都需加以解決。因此在實際器件制作過程中，究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)，究竟采用何種制作工藝，如何進一步增強柵極調(diào)控功能，以及如何提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，都需眾多科研人員的積極思考和認(rèn)真解決。
此外在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)。
所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在小圓孔，作為柵極延長線層的通道；柵極增高層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長線層；柵極增高層上表面刻蝕后的金屬層形成柵極基底層；柵極基底層呈現(xiàn)圓盤面型形狀，坐落于柵極增高層的上表面上；柵極基底層和柵極延長線層相互連通；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層分別形成間隔一層和間隔四層；間隔一層和間隔四層的縱向截面均為長方形，短邊和柵極基底層相互接觸，長邊邊長正好是短邊邊長的兩倍；間隔一層和間隔四層呈現(xiàn)環(huán)形形狀，環(huán)繞在柵極基底層的上面，間隔一層形成外環(huán)形形狀，間隔四層形成內(nèi)環(huán)形形狀，其環(huán)形中心都與柵極基底層的中心相同；間隔一層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制一層；間隔四層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制二層；柵極管制一層和柵極管制二層呈垂直面型形狀，分別依附于間隔一層和間隔四層的內(nèi)側(cè)面上，環(huán)繞成環(huán)形形狀；柵極管制一層、柵極管制二層、間隔一層以及間隔二層的高度都相同；柵極管制一層和柵極管制二層都與柵極基底層相互連通；柵極管制一層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；柵極管制二層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔五層；間隔二層和間隔五層的縱向截面也呈現(xiàn)長方形形狀，且長邊邊長是短邊邊長的兩倍，短邊和柵極基底層相互接觸；間隔二層環(huán)繞在柵極管制一層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔一層的高度相同；間隔五層環(huán)繞在柵極管制二層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔四層的高度相同；間隔一層和間隔二層分立在柵極管制一層的兩側(cè)，共同將柵極管制一層包圍起來；間隔四層和間隔五層分立在柵極管制二層的兩側(cè)，共同將柵極管制二層包圍起來；間隔一層和間隔二層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔三層；間隔四層和間隔五層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔六層；間隔三層和間隔六層的縱向截面也都呈現(xiàn)長方形形狀，其長邊邊長是短邊邊長的兩倍，總體呈現(xiàn)環(huán)形形狀；間隔三層位于間隔一層和間隔二層的上方，其長邊和間隔一層與間隔二層的上表面相互接觸；間隔六層位于間隔四層和間隔五層的上方，其長邊和間隔四層與間隔五層上表面相互接觸；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極增高層；陰極增高層覆蓋住柵極基底層的上表面以及柵極增高層的上表面；陰極增高層不能夠覆蓋間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層的表面；間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層上面的陰極過渡層的上面不存在陰極導(dǎo)電層；陰極增高層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導(dǎo)電層都相互連通；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；柵極管制二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層的制作在絕緣層的上面制出金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)柵極增高層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長線層的制作在柵極增高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；6)柵極基底層的制作在柵極增高層上面制出金屬層，刻蝕成柵極基底層；7)間隔一層和間隔四層的制作在柵極基底層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔一層和間隔四層；8)柵極管制一層和柵極管制二層的制作在柵極增高層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后分別形成柵極管制一層和柵極管制二層；9)間隔二層和間隔五層的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔二層和間隔五層；10)間隔三層和間隔六層的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上以及在間隔四層和間隔五層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔三層和間隔六層；11)陰極增高層的制作在柵極基底層上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極過渡層的制作在間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；14)陰極引線層的制作在陰極增高層上制出金屬層，刻蝕成陰極引線層；15)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；19)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；23)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟23具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。增大了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使更多的碳納米管陰極參與電子發(fā)射，有助于提高器件顯示亮度。充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，有助于提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。由于各處的碳納米管陰極距離相應(yīng)的控制柵極結(jié)構(gòu)的距離相同，因此有助于提高碳納米管陰極發(fā)射電子的均勻性和穩(wěn)定性。
其次，在環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)中，將柵極管制層制作成環(huán)形垂直面型形狀，這樣有利于將柵極結(jié)構(gòu)上電壓均勻的施加給各處的相應(yīng)的碳納米管陰極，在盡可能的增加了碳納米管陰極電子發(fā)射面積的同時還能確保碳納米管陰極電子發(fā)射的均勻性，有助于提高整體器件性能的高度穩(wěn)定性。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓藝后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強有力控制功能。此外，在環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)中，并沒采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒采用特殊的器件制作工藝，這就進一步降低了整體平板顯示器件制作成本，簡化了器件制作過程，能進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[21]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[26]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[22]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[24]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[25]以及消氣劑附屬元件[27]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[20]以及環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)；。
所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、柵極增高層[4]、柵極延長線層[5]、柵極基底層[6]、間隔一層[7]、間隔四層[8]、柵極管制一層[9]、柵極管制二層[10]、間隔二層[11]、間隔五層[12]、間隔三層[13]、間隔六層[14]、陰極增高層[15]、陰極過渡層[16]、陰極導(dǎo)電層[17]、陰極引線層[18]、陰極覆蓋層[19]和碳納米管[20]部分。
所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在小圓孔，作為柵極延長線層的通道；柵極增高層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長線層；柵極增高層上表面刻蝕后的金屬層形成柵極基底層；柵極基底層呈現(xiàn)圓盤面型形狀，坐落于柵極增高層的上表面上；柵極基底層和柵極延長線層相互連通；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層分別形成間隔一層和間隔四層；間隔一層和間隔四層的縱向截面均為長方形，短邊和柵極基底層相互接觸，長邊邊長正好是短邊邊長的兩倍；間隔一層和間隔四層都呈現(xiàn)環(huán)形形狀，環(huán)繞在柵極基底層的上面，間隔一層形成外環(huán)形形狀，間隔四層形成內(nèi)環(huán)形形狀，其環(huán)形中心都與柵極基底層的中心相同；間隔一層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制一層；間隔四層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制二層；柵極管制一層和柵極管制二層都呈現(xiàn)垂直面型形狀，分別依附于間隔一層和間隔四層的內(nèi)側(cè)面上，環(huán)繞成環(huán)形形狀；柵極管制一層、柵極管制二層、間隔一層以及間隔二層的高度相同；柵極管制一層和柵極管制二層都與柵極基底層相互連通；柵極管制一層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；柵極管制二層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔五層；間隔二層和間隔五層的縱向截面也都是呈現(xiàn)長方形形狀，且長邊邊長是短邊邊長的兩倍，短邊和柵極基底層相互接觸；間隔二層環(huán)繞在柵極管制一層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔一層高度相同；間隔五層環(huán)繞在柵極管制二層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔四層高度相同；間隔一層和間隔二層分立在柵極管制一層的兩側(cè)，共同將柵極管制一層包圍起來；間隔四層和間隔五層分立在柵極管制二層的兩側(cè)，共同將柵極管制二層包圍起來；間隔一層和間隔二層上表面上的印刷的絕緣漿料層形成間隔三層；間隔四層和間隔五層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔六層；間隔三層和間隔六層的縱向截面也都是呈現(xiàn)長方形形狀，其長邊邊長是短邊邊長的兩倍，總體呈現(xiàn)環(huán)形形狀；間隔三層位于間隔一層和間隔二層的上方，其長邊和間隔一層與間隔二層的上表面相互接觸；間隔六層位于間隔四層和間隔五層的上方，其長邊和間隔四層與間隔五層上表面相互接觸；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極增高層；陰極增高層覆蓋柵極基底層的上表面以及柵極增高層的上表面；陰極增高層不能覆蓋間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層的表面；間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層上面陰極過渡層的上面不存在陰極導(dǎo)電層；陰極增高層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導(dǎo)電層都相互連通；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；柵極管制二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對平板鈉鈣玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長線層[5]的制作在柵極增高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；6)柵極基底層[6]的制作在柵極增高層的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成柵極基底層；7)間隔一層[7]和間隔四層[8]的制作在柵極基底層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔一層和間隔四層；
8)柵極管制一層[9]和柵極管制二層[10]的制作在柵極增高層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后分別形成柵極管制一層和柵極管制二層；9)間隔二層[11]和間隔五層[12]的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔二層和間隔五層；10)間隔三層[13]和間隔六層[14]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上以及在間隔四層和間隔五層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔三層和間隔六層；11)陰極增高層[15]的制作在柵極基底層上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極過渡層[16]的制作在間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層[17]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；14)陰極引線層[18]的制作在陰極增高層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；15)陰極覆蓋層[19]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管[20]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；19)陽極玻璃面板[21]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；20)陽極導(dǎo)電層[22]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；21)絕緣漿料層[23]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
22)熒光粉層[24]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；23)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[25]和四周玻璃圍框[26]裝配到一起，并將消氣劑[27]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；24)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟22具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟24具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[21]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[26]構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[22]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[24]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[25]以及消氣劑附屬元件[27]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[20]以及環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層上下表面均為平面，下表面覆蓋柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在小圓孔，作為柵極延長線層的通道；柵極增高層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長線層；柵極增高層上表面刻蝕后的金屬層形成柵極基底層；柵極基底層呈現(xiàn)圓盤面型形狀，坐落于柵極增高層的上表面上；柵極基底層和柵極延長線層相互連通；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層分別形成間隔一層和間隔四層；間隔一層和間隔四層的縱向截面均為長方形，短邊和柵極基底層相互接觸，長邊邊長正好是短邊邊長的兩倍；間隔一層和間隔四層都呈現(xiàn)環(huán)形形狀，環(huán)繞在柵極基底層的上面，間隔一層形成外環(huán)形形狀，間隔四層形成內(nèi)環(huán)形形狀，其環(huán)形中心都與柵極基底層的中心相同；間隔一層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制一層；間隔四層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制二層；柵極管制一層和柵極管制二層呈現(xiàn)垂直面型形狀，分別依附于間隔一層和間隔四層的內(nèi)側(cè)面上，環(huán)繞成環(huán)形形狀；柵極管制一層、柵極管制二層、間隔一層以及間隔二層的高度相同；柵極管制一層和柵極管制二層都與柵極基底層相互連通；柵極管制一層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；柵極管制二層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔五層；間隔二層和間隔五層的縱向截面呈現(xiàn)長方形形狀，且長邊邊長是短邊邊長的兩倍，短邊和柵極基底層相互接觸；間隔二層環(huán)繞在柵極管制一層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔一層高度相同；間隔五層環(huán)繞在柵極管制二層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔四層高度相同；間隔一層和間隔二層分立在柵極管制一層的兩側(cè)，共同將柵極管制一層包圍起來；間隔四層和間隔五層分立在柵極管制二層的兩側(cè)，共同將柵極管制二層包圍起來；間隔一層和間隔二層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔三層；間隔四層和間隔五層上表面上的印刷的絕緣漿料層形成間隔六層；間隔三層和間隔六層的縱向截面也都是呈現(xiàn)長方形形狀，其長邊邊長是短邊邊長的兩倍，總體呈現(xiàn)環(huán)形形狀；間隔三層位于間隔一層和間隔二層的上方，其長邊和間隔一層與間隔二層上表面相互接觸；間隔六層位于間隔四層和間隔五層的上方，其長邊和間隔四層與間隔五層上表面相互接觸；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極增高層；陰極增高層覆蓋柵極基底層的上表面以及柵極增高層的上表面；陰極增高層不能夠覆蓋間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層的表面；間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層上面的陰極過渡層的上面不存在陰極導(dǎo)電層；陰極增高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導(dǎo)電層相互連通；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；柵極管制二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層走向和柵極引線層走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長線層[5]的制作在柵極增高層小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；6)柵極基底層[6]的制作在柵極增高層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極基底層；7)間隔一層[7]和間隔四層[8]的制作在柵極基底層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔一層和間隔四層；8)柵極管制一層[9]和柵極管制二層[10]的制作在柵極增高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后分別形成柵極管制一層和柵極管制二層；9)間隔二層[11]和間隔五層[12]的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔二層和間隔五層；10)間隔三層[13]和間隔六層[14]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上以及在間隔四層和間隔五層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成間隔三層和間隔六層；11)陰極增高層[15]的制作在柵極基底層上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極過渡層[16]的制作在間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層[17]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；14)陰極引線層[18]的制作在陰極增高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；15)陰極覆蓋層[19]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管[20]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)陽極玻璃面板[21]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；19)陽極導(dǎo)電層[22]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層[23]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層[24]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[25]和四周玻璃圍框[26]裝到一起，將消氣劑[27]放入空腔中，用低熔點玻璃粉固定；23)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟22具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟24具體為對已裝配好的器件進行封裝工藝將樣品器件放入烘箱中進行烘烤；放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)；能夠進一步提高整體器件的顯示亮度、顯示分辨率以及圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/46GK101071744SQ20071005463
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院