專利名稱：平板顯示器件、其陽極面板、以及其各自的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法、平板顯示器件的制造方法、用于平板顯示器件的陽極面板和平板顯示器件。
背景技術(shù)：
作為替代當(dāng)前主流陰極射線管(CRT)的圖像顯示器件，研究了各種扁平型(平板)顯示器件。這種平板顯示器件包括液晶顯示器件(LCD)、電致發(fā)光顯示器件(ELD)和等離子體顯示器件(PDP)。此外，正在對結(jié)合了具有電子發(fā)射元件的陰極面板的平板顯示器件進(jìn)行開發(fā)。已知的電子發(fā)射元件有冷陰極場電子發(fā)射元件、金屬-絕緣體-金屬元件(也稱作MIM器件)和表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件。結(jié)合了具有由這些冷陰極電子源形成的電子發(fā)射元件的陰極面板的平板顯示器件因高分辨率、高亮度顏色顯示和低功耗而引起了人門的注意。
圖23為日本專利特開No.2004-158232中發(fā)明的第二實(shí)施例中公開的冷陰極場電子發(fā)射顯示器件(此后簡稱為顯示器件)中陽極的示意平面圖。圖24A、24B和24C分別為沿圖23中箭頭線A-A、B-B和C-C的陽極面板AP的局部示意端視圖。圖25為該顯示器件的局部示意端視圖。圖26為陽極面板AP和陰極面板CP的局部示意透視圖。順便提及，在圖26中，為了簡化附圖，未示出陽極單元，并且未示出阻擋肋。
該顯示器件是通過將包括多個冷陰極場電子發(fā)射元件(以下簡稱為場致發(fā)射元件)的陰極面板CP和陽極面板AP在其周邊部分彼此連接在一起而形成的。
圖25中示出的場致發(fā)射元件是具有錐形電子發(fā)射部分的所謂Spindt型場致發(fā)射元件。該場致發(fā)射元件包括形成在支座10上的陰極11；形成在支座10和陰極11上的絕緣層12；形成在絕緣層12上的柵極13；形成在柵極13和絕緣層12中的開口部分14(形成在柵極13中的第一開口部分14A和形成在絕緣層12中的第二開口部分14B)；形成在位于第二開口部分14B底部的陰極上的錐形電子發(fā)射部分15。通常，陰極11和柵極13沿著這兩個電極的投影圖像彼此正交的方向形成為條紋。通常，多個場致發(fā)射元件設(shè)置在這兩個電極的投影圖像彼此重疊的區(qū)域中(該區(qū)域?qū)?yīng)一個子像素，此后稱作重疊區(qū)域或電子發(fā)射區(qū)域)。而且，通常這種電子發(fā)射區(qū)域以二維矩陣的形式配置在陰極面板CP的有效區(qū)域(用作實(shí)際顯示部分的區(qū)域)中。
陽極面板AP包括基底120；在基底120上形成的具有預(yù)定圖案的單元熒光區(qū)域121；形成在單元熒光區(qū)域121上的陽極130；以及饋電部分140(圖25中未示出)。作為整體，陽極130具有覆蓋矩形有效區(qū)域的形狀。陽極130由例如鋁薄膜形成。在基底120上的單元熒光區(qū)域121和單元熒光區(qū)域121之間形成吸光層(黑矩陣)122。在吸光層122上形成阻擋肋123。阻擋肋123的平面形狀為格子形狀(格柵形狀)，并且具有包圍一個子像素的形狀(單元熒光區(qū)域)。
在該情況下，一個子像素包括陰極面板側(cè)上設(shè)置在陰極11和柵極13的重疊區(qū)域中的一組場致發(fā)射元件，以及陽極面板側(cè)上與該組這些場致發(fā)射元件(一個紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、一個綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、或一個藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域)相面對的單元熒光區(qū)域121。在有效區(qū)域中排列了例如數(shù)十萬到數(shù)百萬數(shù)量級的這樣的子像素。一個像素由三個子像素構(gòu)成。
陽極130由覆蓋單元熒光區(qū)域121的一組陽極單元131構(gòu)成。在陽極單元131之間設(shè)置間隙132A和132B。間隙132A設(shè)置在基底120中沒有形成單元熒光區(qū)域121的那部分上。形成間隙132B使其位于阻擋肋123的頂表面上，或者使其越過阻擋肋123延伸。在陽極單元131和陽極單元131之間形成電阻層133。更特別地，形成電阻層133以使其越過間隙132A和132B并且在相鄰的陽極單元131之間延伸。電阻層133由例如SiC制得的電阻薄膜構(gòu)成，并且是通過濺射法形成的。
陽極單元131的尺寸可以防止陽極單元131因陽極單元131和場致發(fā)射元件(更具體為柵極13或陰極11)之間發(fā)生放電所產(chǎn)生的能量而局部蒸發(fā)(更具體為該尺寸可以防止陽極單元131中與一個子像素相對應(yīng)的部分因陽極單元131和柵極13或陰極11之間發(fā)生放電所產(chǎn)生的能量而蒸發(fā))。順便提及，為了使附圖簡化，圖23示出了4×4個陽極單元131，并且部分示意剖視圖示出了覆蓋多個單元熒光區(qū)域的一個陽極單元131。然而，在實(shí)踐中，陽極單元131的尺寸與例如覆蓋單元熒光區(qū)域即一個子像素的尺寸相對應(yīng)。
形成陽極130的一個側(cè)面的陽極單元131A通過饋電部分140與陽極控制電路53連接。通常在陽極控制電路53和饋電部分140之間放置用于防止過電流和放電的電阻器R0。饋電部分140由通過饋電部分電阻層143彼此串聯(lián)的饋電部分單元141形成。在饋電部分單元141和饋電部分單元141之間設(shè)置間隙142A。在間隙142A上形成饋電部分電阻層143以使其在饋電部分單元141和饋電部分單元141之間延伸。饋電部分單元141例如還可以由鋁薄膜形成。在形成陽極130的一個側(cè)面的陽極單元131A和饋電部分單元141之間設(shè)置間隙142B。形成陽極130的一個側(cè)面的陽極單元131A和饋電部分單元141通過電阻元件134彼此連接。根據(jù)CVD方法在間隙142B上形成電阻元件134以使其在陽極單元131和饋電部分單元141之間延伸。
在日本專利特開No.2004-158232中公開的顯示器件中，形成陽極使其分成具有較小面積的陽極單元131，而不是在有效區(qū)域的大致整個表面上形成，可以降低陽極單元131和冷陰極場電子發(fā)射元件之間的電容。結(jié)果，可以減少放電的發(fā)生，并且有效地減少放電對陽極和冷陰極場電子發(fā)射元件造成損壞的發(fā)生。而且，由于饋電部分140是由多個饋電部分單元141形成的，所以可以降低饋電部分140和形成陰極面板CP的場致發(fā)射元件之間形成的電容，并且有效地降低了由饋電部分140和冷陰極場電子發(fā)射元件之間的放電對饋電部分140和冷陰極場電子發(fā)射元件造成損壞的發(fā)生。此外，由于在陽極單元131和陽極電極單元131之間形成了電阻層133，所以確實(shí)可以減少陽極單元131之間的放電的發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
因而，日本專利特開No.2004-158232中公開的顯示器件可以減少放電的發(fā)生。陽極單元131的形成是通過形成導(dǎo)電材料層，根據(jù)光刻技術(shù)形成抗蝕劑層(resist layer)，然后通過蝕刻技術(shù)利用抗蝕劑層對導(dǎo)電材料層進(jìn)行構(gòu)圖來執(zhí)行。然而，在對導(dǎo)電材料層進(jìn)行構(gòu)圖時(shí)蝕刻會對熒光區(qū)域造成損壞，并且在對導(dǎo)電材料層進(jìn)行構(gòu)圖之后利用剝離溶液剝離抗蝕劑層時(shí)，剝離溶液對熒光區(qū)域造成損壞。這種現(xiàn)象降低了顯示器件的圖像質(zhì)量。
雖然饋電部分140是由通過饋電部分電阻層143彼此串聯(lián)的饋電部分單元141形成的，但是對進(jìn)一步降低饋電部分140和冷陰極場電子發(fā)射元件之間的放電還有很強(qiáng)烈的需求。
因此，希望提供一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法，其可以消除在形成陽極單元時(shí)對熒光區(qū)域造成損壞這一擔(dān)憂。還希望提供一種用于平板顯示器件的陽極面板和其結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步降低饋電部分和冷陰極場電子發(fā)射元件之間的放電的平板顯示器件，以及該用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和該平板顯示器的制造方法。
根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，提供一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中用于平板顯示器件的陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從備單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，該方法包括獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元的步驟，該步驟通過以下步驟進(jìn)行在基底上形成格子狀阻擋肋，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后，在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后，或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層的步驟；其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括將剝離部件接合到導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上、然后機(jī)械地剝掉剝離部件的步驟。
此外，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例，提供一種平板顯示器件的制造方法，該平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的，該陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，該陽極面板是通過包括下述步驟的制造方法制造的獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元的步驟，該步驟通過以下步驟進(jìn)行通過在基底上形成格子狀阻擋肋來獲得形成為從每個單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元，然后在基底中被阻當(dāng)肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后，在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后，或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層的步驟；其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括將剝離部件接合到導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上，然后機(jī)械地剝掉剝離部件的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例，提供一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中用于平板顯示器件的陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，該方法包括獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元的步驟，該步驟通過以下步驟進(jìn)行在基底上形成格子狀阻擋肋，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后，在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后，或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層的步驟；其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上施加蝕刻劑的步驟。
此外，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例，提供一種平板顯示器件的制造方法，該平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此結(jié)合起來而形成，該陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，該陽極面板是通過包括下述步驟的制造方法制造的獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元的步驟，該步驟是通過下列步驟進(jìn)行的在基底上形成格子狀阻擋肋，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后，在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后，或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層的步驟，其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上施加蝕刻劑的步驟。
在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例或第二實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法中，陽極單元形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上。特別地，陽極單元可以形成為從各單元熒光區(qū)域延伸到阻擋肋的一個側(cè)面上。順便提及，陽極單元可以形成為從各熒光區(qū)域上延申到阻擋肋的一個側(cè)面的中間部分上。形成電阻層的形式包括將電阻層形成在阻擋肋頂表面上的形式、電阻層形成為從阻擋肋頂表面上延伸到阻擋肋側(cè)表面上的形式、在阻擋肋上和基底上連續(xù)形成電阻層的形式、以及在阻擋肋上和單元熒光區(qū)域上連續(xù)形成電阻層的形式。
根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例或第二實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法還包括在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之前，在阻擋肋頂表面上和單元熒光區(qū)域上形成樹脂層的步驟，其中在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之后或在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，通過進(jìn)行熱處理去除掉樹脂層。在形成這種樹脂層時(shí)，樹脂層用于在制造陽極面板的各種步驟中保護(hù)單元熒光區(qū)域。因而能夠可靠地避免單元熒光區(qū)域受到損壞，并且使陽極單元獲得鏡面。
下面表1整體示出了在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例或第二實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法中，在基底上形成格子狀阻擋肋的步驟[阻擋肋形成步驟]、在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域的步驟[熒光區(qū)域形成步驟]、在整個表面上形成導(dǎo)電材料層的步驟[導(dǎo)電材料層形成步驟]、將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟[導(dǎo)電材料層部分去除步驟]、形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層的步驟[電阻層形成步驟]、在阻擋肋頂表面上和單元熒光區(qū)域上形成樹脂層的步驟[樹脂層形成步驟]、以及通過進(jìn)行熱處理將樹脂層去除掉的步驟[樹脂層去除步驟]的順序。
表1

在包括上述優(yōu)選構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法(此后這些制造方法整體簡稱為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造方法)中，剝離部件最好包括粘合層或粘結(jié)層、以及用于保持粘合層或粘結(jié)層的保持膜(支撐膜)，并且將剝離部件貼附在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上的方法，最好是將形成剝離部件的粘合層或粘結(jié)層加壓連結(jié)在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上的方法?？蛇x擇地，在該情況下，阻擋肋中包圍單元熒光區(qū)域的那部分的平面形狀最好為矩形，最好將樹脂層涂覆在阻擋肋頂表面和單元熒光區(qū)域上，使得該樹脂層與矩形的較短邊平行并且寬度比矩形的較長邊窄，并且最好沿著平行于矩形較長邊的方向?qū)冸x部件機(jī)械地剝離掉。這種構(gòu)成使得能夠可靠地將導(dǎo)電材料中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉，避免將導(dǎo)電材料層中其他部分意外地去除掉，并且容易控制樹脂層的厚度。
在包括上述優(yōu)選構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法(此后這些制造方法整體簡稱為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的制造方法)或者包括上述各種優(yōu)選形式的根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造方法中，陽極面板還包括與阻擋肋的形成同時(shí)形成的凸凹狀饋電部分；位于陽極面板最外周部分上的陽極單元通過饋電部分與陽極控制電路連接；在形成導(dǎo)電材料層的同時(shí)在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層；在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分進(jìn)行去除的同時(shí)也將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉；并且在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
順便提及，為了方便，將如此構(gòu)成的制造方法稱作根據(jù)本發(fā)明第一A實(shí)施例的制造方法或者根據(jù)本發(fā)明第二A實(shí)施例的制造方法。
此外，在包括上述各種優(yōu)選形式的根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造方法或根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的制造方法中，一個像素可以由紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域構(gòu)成。
根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例，提供一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中用于平板顯示器件的陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?，該方法包括在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?、然后在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層、接下來將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉的步驟；以及在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠种蟆⒒蛘咴趯侂姴糠謱?dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層的步驟。
根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例，提供一種平板顯示器件的制造方法，該平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的，該陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?，該陽極面板是通過包括下述步驟的制造方法制造的在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠帧⑷缓笤陴侂姴糠值恼麄€表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層、接下來將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉的步驟；以及在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠种?、或者在將饋電部分?dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于使位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層電連接的步驟。
在根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法(此后這些制造方法整體簡稱為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的制造方法)中，形成饋電部分電阻層的形式包括在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層的形式、形成饋電部分電阻層使其從饋電部分凸起部分上延伸到饋電部分側(cè)表面上的形式、以及在整個饋電部分上形成饋電部分電阻層的形式。饋電部分電阻層使位于陽極面板最外圍部分的陽極單元和饋電部分(更具體為位于饋電部分凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層)彼此電連接。饋電部分可以設(shè)置在非有效區(qū)域(包圍有效區(qū)域的框架形區(qū)域，該有效區(qū)域?yàn)閷?shí)際起到冷陰極場電子發(fā)射顯示器件作用的中央顯示區(qū)域)中。
根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或者平板顯示器件的制造方法，根據(jù)本發(fā)明第一A實(shí)施例的制造方法或根據(jù)本發(fā)明第二A實(shí)施例的制造方法還可以包括在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層之前，在饋電部分凸起部分上形成樹脂層的步驟，其中在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層之后、或者在將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，可以通過進(jìn)行熱處理將該樹脂層去除掉。當(dāng)形成了這種樹脂層時(shí)，在制造陽極面板中的各個步驟中，樹脂層就起到保護(hù)單元熒光區(qū)域的作用。因而能夠可靠地避免單元熒光區(qū)域受到損壞，并且使陽極單元獲得鏡面。
以下的表2整體示出了在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠值牟襟E[饋電部分形成步驟]、在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層的步驟[饋電部分導(dǎo)電材料層形成步驟]、將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉的步驟[饋電部分導(dǎo)電材料層部分去除步驟]、在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層的步驟，用于使位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層電連接[饋電部分電阻層形成步驟]、在饋電部分凸起部分上形成樹脂層的步驟[樹脂層形成步驟]、以及通過進(jìn)行熱處理將樹脂層去除掉的步驟[樹脂層去除步驟]。
表2

在包括上述優(yōu)選構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或平板顯示器件的制造方法中，將剝離部件貼附在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上，然后將該剝離部件機(jī)械地剝離掉，由此可以將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉。順便提及，為了方便，將這種制造方法簡稱為根據(jù)本發(fā)明第三-A實(shí)施例的制造方法。在該情況下，剝離部件最好包括粘合層或粘結(jié)層、以及用于保持粘合層或粘結(jié)層的保持膜(支撐膜)，并且將剝離部件貼附在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分的那部分上的方法，最好是將形成剝離部件的粘合層或粘結(jié)層加壓連結(jié)在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分的那部分上的方法。順便提及，這同樣應(yīng)用到根據(jù)本發(fā)明第一A實(shí)施例的制造方法和根據(jù)本發(fā)明第二A實(shí)施例的制造方法。
可選擇地，在包括上述優(yōu)選形構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或者平板顯示器件的制造方法中，最好是通過在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上涂覆蝕刻劑，將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉。順便提及，為了方便，將這種制造方法簡稱為根據(jù)本發(fā)明第三B實(shí)施例的制造方法。順便提及，這同樣應(yīng)用到根據(jù)本發(fā)明第一A實(shí)施例的制造方法和根據(jù)本發(fā)明第二A實(shí)施例的制造方法。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于平板顯示器件的陽極面板，其中用于平板顯示器件的陽極面板包括(A)基底；(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域；(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋；(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元；(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?；其中該饋電部分為凹凸形狀，在饋電部分的凹陷部分中形成饋電部分?dǎo)電材料層，以及在饋電部分的凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
此外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種平板顯示器件，該平板顯示器件包括陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板，其中該陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?；該平板顯示器件是通過將陽極面板和陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的；其中該饋電部分具有凹凸形狀，在饋電部分的凹陷部分中形成饋電部分導(dǎo)電材料層，以及在饋電部分的凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
在根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器件的陽極面板和平板顯示器件中，一組陽極單元(排列成二維矩陣形式的陽極單元)的平面形狀最好為矩形，并且饋電部分中凹陷部分的主要部分和饋電部分中凸起部分的主要部分最好基本上平行于矩形的邊延伸。
在包括上述優(yōu)選形式和構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例到第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例到第三實(shí)施例的平板顯示器件的制造方法、根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器件的陽極面板、或者根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器件中(此后將這些整體上簡稱為本發(fā)明)，用于形成陽極面板的基底或者用于形成陰極面板的支座包括玻璃基底、在其表面上形成有絕緣膜的玻璃基底、石英基底、在其表面上形成有絕緣膜的石英基底、以及在其表面上形成有絕緣膜的半導(dǎo)體基底。從降低制造成本的觀點(diǎn)出發(fā)，最好使用玻璃基底或在其表面上形成有絕緣膜的玻璃基底。玻璃基底的例子包括高應(yīng)變點(diǎn)的玻璃、鈉玻璃(Na2O·CaO·SiO2)、硼硅酸鹽玻璃(Na2O·B2O3·SiO2)、鎂橄欖石(2MgO·SiO2)和鉛玻璃(Na2O·PbO·SiO2)。
在本發(fā)明中，設(shè)置阻擋肋以避免在從單元熒光區(qū)域中反沖的電子或從單元熒光區(qū)域中發(fā)射出來的二次電子進(jìn)入到另一個單元熒光區(qū)域中時(shí)引起所謂的串光(顏色混濁)，或者在這些電子越過阻擋肋進(jìn)入到其他單元熒光區(qū)域時(shí)，避免從單元熒光區(qū)域中反沖的電子或從單元熒光區(qū)域中發(fā)射出來的二次電子與另一個單元熒光區(qū)域沖撞。
形成格子狀阻擋肋的方法或者形成凹凸?fàn)铕侂姴糠值姆椒ǖ睦影ńz網(wǎng)印刷法、干膜法、感光法、澆注法和噴砂形成法。絲網(wǎng)印刷法是這樣的方法絲網(wǎng)在其中與要形成阻擋肋或饋電部分的部分相對應(yīng)的那部分上具有開口，可以用橡膠刮板使絲網(wǎng)上用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料通過開口，從而在基底上形成用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層，然后對用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層進(jìn)行燒制。干膜法是這樣的方法在基底上層疊感光膜，通過曝光和顯影將感光膜中要形成阻擋肋(饋電部分)的那部分去除掉，用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料嵌入在通過去除形成的開口中，然后對用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料進(jìn)行燒制。通過燒制使感光膜燃燒并且去除，而開口中嵌入的用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料保留下來形成阻擋肋(饋電部分)。感光法是這樣的方法在基底上形成用于形成阻擋肋(饋電部分)的感光材料層，然后通過曝光和顯影對用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層進(jìn)行構(gòu)圖，然后進(jìn)行燒制(變硬)。澆注法(模壓形成方法)是這樣的方法通過從模具(鑄型)中將用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層擠到基底上，從而形成用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層，其中該材料層由漿糊形式的有機(jī)材料或無機(jī)材料形成，然后對用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層進(jìn)行燒制。噴砂形成法是這樣的方法通過使用例如絲網(wǎng)印刷、金屬掩膜印刷、輥涂機(jī)、刮刀和噴嘴噴射型涂料機(jī)在基底上形成用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層，使用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料干燥，此后用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層中形成阻擋肋(饋電部分)的那部分由掩膜層覆蓋，然后通過噴砂法將用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料層中暴露出來的那部分去除掉。在形成阻擋肋(饋電部分)之后，可以對阻擋肋(饋電部分)進(jìn)行拋光使阻擋肋頂表面(饋電部分凸起部分)變平。
用于形成阻擋肋(饋電部分)的材料包括例如感光的聚酰亞胺樹脂、因金屬氧化物如氧化鈷等變黑的鉛玻璃、SiO2、低熔點(diǎn)玻璃漿。阻擋肋的表面(頂表面和側(cè)表面)上可以形成抗蝕劑層(由例如SiO2、SiON或AIN組成)，用于防止電子束沖撞到阻擋肋上以及從阻擋肋中排放出氣體。
格子狀阻擋肋中包圍單元熒光區(qū)域的部分(該部分與阻擋肋的側(cè)面投影圖像的內(nèi)部輪廓線相對應(yīng)并且是一種開口區(qū)域)的平面形狀包括矩形、圓形、橢圓形、卵圓形、三角形、具有五個或多個角的多邊形、圓三角形、圓矩形和圓多邊形。使這種平面形狀(開口區(qū)域的平面形狀)排列成二維矩陣形式，由此形成格子狀阻擋肋。這種二維矩陣形式的排列可以是例如類似柵格的排列或交錯排列。
用于形成導(dǎo)電材料層和饋電部分導(dǎo)電材料層的材料包括金屬如鉬(Mo)、鋁(Al)、鉻(Cr)、鎢(W)、鈮(Nb)、鉭(Ta)、金(Au)、銀(Ag)、鈦(Ti)、鈷(Co)、鋯(Zr)、鐵(Fe)、鉑(Pt)、鋅(Zn)等；包括這些金屬元素的合金或化合物(例如，氮化物如TiN等、硅化物如WSi2、MoSi2、TiSi2、TaSi2等)；半導(dǎo)體如硅(Si)等；鉆石等的碳薄膜；以及導(dǎo)電金屬氧化物如ITO(氧化銦錫)、氧化銦、氧化鋅等。順便提及，當(dāng)用于形成導(dǎo)電材料層和饋電部分導(dǎo)電材料層的材料因陽極面板和陰極面板組裝工序中的氧化-還原反應(yīng)而發(fā)生質(zhì)量變化時(shí)，為了抑制這種質(zhì)量變化，可以在除了需要電連接的部分以外的部分上形成抗蝕劑層(由例如SiO2、SiON或AlN組成)，以對除了需要電連接的部分以外的部分進(jìn)行保護(hù)。
形成導(dǎo)電材料層和饋電部分導(dǎo)電材料層的方法例如包括各種物理汽相淀積(PVD)法，例如，諸如電子束淀積法、熱絲淀積法等這種淀積法、濺射法、離子鍍敷法和激光消融法；各種化學(xué)汽相淀積法；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；剝離法(lift-off)和溶膠-凝膠法?；咨?或基底上方)導(dǎo)電材料層和饋電部分導(dǎo)電材料層的平均厚度為例如5×10-8m(50nm)到5×10-7m(0.5μm)，優(yōu)選為8×10-8m(80nm)到3×10-7m(03μm)。
用于形成電阻層或饋電部分電阻層的材料(電阻層形成材料)包括碳基材料如碳、碳化硅(SiC)、SiCN等；SiN基材料；高熔點(diǎn)金屬氧化物如氧化釕(RuO2)、氧化鉭、氮化鉭、氧化鈦(TiO2)、氧化鉻等；半導(dǎo)體材料如無定形硅等；以及ITO。此外，通過組合多種膜如SiC電阻膜和層疊在SiC電阻膜上的具有低電阻值的碳薄膜，可以得到所需要的穩(wěn)定片電阻值。
在基底上形成格子狀阻擋肋之后并且在基底中由阻擋肋包圍的那部分上形成單元熒光區(qū)域之前形成電阻層時(shí)，可以通過包括例如各種PVD法，例如，諸如電子束淀積法、熱絲淀積法等這種淀積法、濺射法、離子鍍敷法和激光消融法；PVD法與蝕刻法的組合；各種CVD法；各種CVD法與蝕刻法的組合；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；使用輥涂機(jī)的涂覆法；剝離法；激光消融法；以及溶膠-凝膠法的方法，在阻擋肋頂表面上形成電阻層，使其形成為從阻擋肋頂表面延伸到阻擋肋側(cè)表面上的中間位置上，形成為延伸過阻擋肋頂表面和阻擋肋側(cè)表面，或者在阻擋肋和基底的整個表面上形成電阻層。
在基底中由阻擋肋包圍的那部分上形成單元熒光區(qū)域之后并且在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之前形成電阻層時(shí)，可以通過包括例如各種PVD法和CVD法；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；以及使用輥涂機(jī)的涂覆法的方法，在阻擋肋頂表面上形成電阻層，使其形成為從阻擋肋頂表面延伸到阻擋肋側(cè)表面上的中間位置上，形成為延伸過阻擋肋頂表面和阻擋肋側(cè)表面，或者在阻擋肋和單元熒光區(qū)域上形成電阻層。
在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋側(cè)表面上的那部分去除掉之后形成電阻層時(shí)，通過包括例如各種PVD法和CVD法；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；以及使用輥涂機(jī)的涂覆法的方法，在阻擋肋頂表面上形成電阻層，使其形成為從阻擋肋頂表面延伸到阻擋肋側(cè)表面上的中間位置上，形成為延伸過阻擋肋頂表面和阻擋肋側(cè)表面，或者在阻擋肋和陽極單元上形成電阻層。
在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠种蟛⑶以陴侂姴糠值恼麄€表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層之前，形成饋電部分電阻層時(shí)，可以通過包括各種PVD法；PVD法與蝕刻法的組合；各種CVD法；各種CVD法與蝕刻法的組合；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；使用輥涂機(jī)的涂覆法；剝離法；激光消融法以及溶膠-凝膠法的方法，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，使其形成為從饋電部分凸起部分延伸到饋電部分側(cè)表面上的中間位置上，形成為延伸過饋電部分凸起部分和饋電部分側(cè)表面；或者在饋電部分的整個表面上形成饋電部分電阻層。
在將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后形成饋電部分電阻層時(shí)，可以通過包括例如各種PVD法和CVD法；絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；以及使用輥涂機(jī)的涂覆法的方法，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，使其形成為從饋電部分凸起部分延伸到饋電部分側(cè)表面上的中間位置上，形成為延伸過饋電部分凸起部分和饋電部分側(cè)表面；或者在饋電部分和饋電部分導(dǎo)電材料層上形成饋電部分電阻層。
用于形成樹脂層的材料包括漆和聚乙烯醇(PVA)水溶液。該漆為一種廣義上的清漆，包括含有纖維素衍生物的組合物，通常是以硝化纖維為主要成分溶解在揮發(fā)性溶劑如低脂肪族酸酯中的組合物、包合其他合成聚合物的氨基甲酯清漆、丙烯酸清漆、和添加有鉻化合物或錳化合物的清漆。聚乙烯醇水溶液包括通過在稀釋水溶液中混和二醇基溶劑和甘油，然后調(diào)整干燥速率所得到的聚乙烯醇水溶液，以及添加有鉻化合物或錳化合物的聚乙烯醇水溶液。用于形成樹脂層的方法包括絲網(wǎng)印刷法；金屬掩膜印刷法；以及使用輥涂機(jī)、噴射涂覆機(jī)或轉(zhuǎn)印法的涂覆法；清漆浮動法(基底放置在水中，在存儲在水罐中的水的表面上形成樹脂層，然后將水排掉使樹脂層沉淀在基底上的方法)。通過熱處理將樹脂層去除掉。更具體地，可以通過在例如樹脂層燃燒的溫度下進(jìn)行熱處理使樹脂層燃燒(分解和去除)。
在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的制造方法中，最好使用在垂直于基底的方向上具有分量(Fv)的剝離力(F)將剝離部件機(jī)械地剝離掉。順便提及，垂直方向上的分量(Fv)與剝離力(F)的比率超過剝離力(F)值的0％就夠了。該比率可以是大約剝離力(F)值的100％(即，所謂的90度剝離)。具體地說，剝離力為大約3到25N/25mm就夠了。施加剝離力(F)的方法可以是通過人力或者可以使用機(jī)器來執(zhí)行。用于對形成剝離部件的粘合層或粘結(jié)層進(jìn)行加壓連結(jié)的方法具體包括使壓敏粘合層或壓敏粘結(jié)層與導(dǎo)電材料層或饋電部分導(dǎo)電材料層接觸，對保持膜施加壓力的方法。用于施加壓力的方法包括例如在接觸面上使用彈性輥的方法。也可以利用將基底進(jìn)行預(yù)熱或?qū)佭M(jìn)行加熱來使緊密的粘結(jié)狀態(tài)穩(wěn)定。保持膜的例子包括由聚烯烴、PVC或PET構(gòu)成的膜基材料。剝離部件的整體厚度可以適當(dāng)確定，并且例如確定為40到150μm。用于形成粘合層或粘結(jié)層的其他材料包括熱固性樹脂和紫外線固化樹脂。在將剝離部件機(jī)械地剝離掉之后，當(dāng)擔(dān)心粘合層或粘結(jié)層殘留在阻擋肋頂表面上時(shí)，最好用紫外線對粘合層或粘結(jié)層進(jìn)行照射來促進(jìn)粘合層或粘結(jié)層的分解、利用臭氧氣體促進(jìn)粘合層或粘結(jié)層的分解、或者通過使用輥涂機(jī)等的涂覆方法涂覆去除劑，將粘合層或粘結(jié)層去除掉。
作為在根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的制造方法中涂履蝕刻劑的方法，需要選擇除了導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分以外，不對導(dǎo)電材料層中其他部分涂覆蝕刻劑的涂覆方法。此外，作為在根據(jù)本發(fā)明第三B實(shí)施例的制造方法中涂覆蝕刻劑的方法，需要選擇除了饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分的那部分以外，不對饋電部分導(dǎo)電材料層中其他部分涂覆蝕刻劑的涂覆方法。用于僅僅對導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分或者饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分的那部分涂覆蝕刻劑的方法包括使用輥涂機(jī)的涂覆方法，但不局限于此。形成輥涂機(jī)的輥的IRHD硬度為例如20到80。選擇允許對形成導(dǎo)電材料層或饋電部分導(dǎo)電材料層的材料進(jìn)行正確蝕刻的蝕刻劑就足夠了。形成導(dǎo)電材料層或饋電部分導(dǎo)電材料層的材料和蝕刻劑的混合物包括例如鋁和包含醋酸和硝酸的混合水溶液的混合物、鉬-鎢合金和包含磷酸、醋酸和硝酸的混合水溶液的混合物、以及鉻和包含硝酸銨鈰和高氯酸的混合水溶液的混合物。
單元熒光區(qū)域可以由單顏色的熒光顆?；蛉臒晒忸w粒形成。該單元熒光區(qū)域以點(diǎn)的形式排列。具體而言，當(dāng)平板顯示器件進(jìn)行彩色顯示時(shí)，單元熒光區(qū)域的布置或排列包括Delta排列、條紋排列、對角線排列、和矩形排列。也就是說一列排列成直線形式的單元熒光區(qū)域可以是完全被紅光發(fā)射舉元熒光區(qū)域占據(jù)的一列、完全被綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域占據(jù)的一列、或者完全被藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域占據(jù)的一列?？蛇x擇地，一列排列成直線形式的單元熒光區(qū)域可以包括依次排列的紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、和藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域。單元熒光區(qū)域定義為在陽極面板上產(chǎn)生一個亮點(diǎn)的熒光區(qū)域。一個像素由包括一個紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、一個綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、和一個藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域的這樣一組形成。一個子像素由一個單元熒光區(qū)域(一個紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、一個綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、或一個藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域)形成。
單元熒光區(qū)域使用由發(fā)光晶體顆粒制備的發(fā)光晶體顆粒合成物(例如微粒直徑為大約2到10μm的熒光物顆粒)。例如，可以通過以下方法形成單元熒光區(qū)域其中將紅色光敏發(fā)光晶體顆粒合成物(紅色熒光漿料)涂覆到整個表面上，進(jìn)行曝光和顯影以形成紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域，然后將綠色光敏發(fā)光晶體顆粒合成物(綠色熒光漿料)涂覆到整個表面上，進(jìn)行曝光和顯影以形成綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域，并且進(jìn)一步將藍(lán)色光敏發(fā)光晶體顆粒合成物(藍(lán)色熒光漿料)涂覆到整個表面上，進(jìn)行曝光和顯影以形成藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域?？蛇x擇地，可以通過順序涂覆紅光發(fā)射熒光漿料、綠光發(fā)射熒光漿料、和藍(lán)光發(fā)射熒光漿料，然后順序?qū)晒鉂{料進(jìn)行曝光和顯影，從而形成每個單元熒光區(qū)域。可選擇地，可以通過絲網(wǎng)印刷法、噴墨法、浮動涂覆法、沉降涂覆法、熒光膜轉(zhuǎn)印法等形成各單元熒光區(qū)域?；咨蠁卧獰晒鈪^(qū)域的平均厚度不作限定。然而，最好是基底上單元熒光區(qū)域的平均厚度為3μm到20μm，更優(yōu)選為5μm到10μm。
構(gòu)成發(fā)光晶體顆粒的熒光材料可以適當(dāng)?shù)貜某Ｒ?guī)上公知公用的熒光材料選擇并使用。在彩色顯示的情況下，最好組合顏色純度與NTSC定義的三基色接近的熒光材料，當(dāng)混合三基色時(shí)可以獲得正確的白色平衡，余輝時(shí)間短，并且使得三基色的余輝時(shí)間彼此基本上相等。構(gòu)成紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域的熒光材料的例子包括(Y2O3:Eu)、(Y2O2S:Eu)、(Y3Al5O12:Eu)、(Y2SiO5:Eu)和(Zn3(PO4)2:Mn)。在這些例子中，優(yōu)選使用(Y2O3:Eu)和(Y2O2S:Eu)。構(gòu)成綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域的熒光材料的例子包括(ZnSiO2:Mn)、(Sr4Si3O8Cl4:Eu)、(ZnS:Cu，Al)、(ZnS:Cu，Au，Al)、[(Zn，Cd)S:Cu，Al]、(Y3Al5O12:Tb)、(Y2SiO5:Tb)、[Y3(Al，Ga)5O12:Tb]、(ZnBaO4:Mn)、(GbBO3:Tb)、(Sr6SiO3Cl3:Eu)、(BaMgAl14O23:Mn)、(ScBO3:Tb)、(Zn2SiO4:Mn)、(ZnO:Zn)、(Gd2O2S:Tb)和(ZnGa2O4:Mn)。在這些例子中，優(yōu)選使用(ZnS:Cu，Al)、(ZnS:Cu，Au，Al)、[(Zn，Cd)S:Cu，Al]、(Y3Al5O12:Tb)、[Y3(Al，Ga)5O12:Tb]和(Y2SiO5:Tb)。構(gòu)成藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域的熒光材料的例子包括(Y2SiO5:Ce)、(CaWO4:Pb)、CaWO4、YP0.85V0.15O4、(BaMgAl14O23:Eu)、(Sr2P2O7:Eu)、(Sr2P2O7:Sn)、(ZnS:Ag，Al)、(ZnS:Ag)，ZnMgO和ZnGaO4。在這些例子中，優(yōu)選使用(ZnS:Ag)和(ZnS:Ag，Al)。
從提高顯示圖像對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，最好在相鄰單元熒光區(qū)域之間或者在阻擋肋和基底之間形成吸光層，用于對來自單元熒光區(qū)域中的光進(jìn)行吸收。吸光層起到所謂黑矩陣的作用。作為用于形成吸光層的材料，優(yōu)選選擇對來自單元熒光區(qū)域的光能夠吸收90％或以上的材料。這種材料包括碳、金屬薄膜(例如，由鉻、鎳、鋁、鉬或其合金形成)、金屬氧化物(例如，氧化鉻)、金屬氮化物(例如氮化鉻)、耐熱有機(jī)樹脂、玻璃漿和包含黑色顏料或銀導(dǎo)電顆粒的玻璃漿等。其具體的例子包括感光聚酰亞胺樹脂、氧化鉻和氧化鉻/鉻層疊膜。順便提及，氧化鉻/鉻層疊膜的鉻膜與基底接觸?？梢酝ㄟ^根據(jù)使用的材料所選擇的適當(dāng)方法形成吸光層，例如真空淀積法和濺射法與蝕刻法的組合、真空淀積法、濺射法和旋涂法與蝕刻法的組合、絲網(wǎng)印刷法、光刻法等。
本發(fā)明實(shí)施例中的電子發(fā)射元件包括冷陰極場電子發(fā)射元件(此后簡稱為場致發(fā)射元件)、金屬-絕緣體-金屬元件(MIM元件)和表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件。平板顯示器件包括具有冷陰極場電子發(fā)射元件的平板顯示器件(冷陰極場電子發(fā)射顯示器件)、包括MIM元件的平板顯示器件、以及包括表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的平板顯示器件。
在冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中，作為將由施加給陰極和柵極的電壓產(chǎn)生的強(qiáng)電場施加給電子發(fā)射部分的結(jié)果，由于量子隧道效應(yīng)而從電子發(fā)射部分發(fā)射電子。設(shè)置在陽極面板上的陽極單元將電子吸引到陽極面板上，并且這些電子與單元熒光區(qū)域碰撞。作為電子與單元熒光區(qū)域碰撞的結(jié)果，單元熒光區(qū)域發(fā)光，其作為圖像被感知。
在冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中，陰極與陰極控制電路連接，柵極與柵極控制電路連接，并且陽極單元通過饋電部分與陽極控制電路連接。順便提及，這些控制電路可以由已知電路構(gòu)成。在實(shí)際操作期間，陽極控制電路的輸出電壓VA通常是恒定的，例如可以是5千伏到15千伏?？蛇x擇地，陽極面板和陰極面板之間的距離最好為d(0.5mm≤d≤10mm)，最好使VA/d(單位千伏/mm)的值為0.5到20，優(yōu)選為1到10，或者更優(yōu)選為5到10。
在冷陰極場電子發(fā)射顯示器件的實(shí)際操作期間，對于施加到陰極的電壓VC和施加到柵極的電壓VG來說，當(dāng)使用電壓調(diào)制法作為階段控制法時(shí)，具有(1)將施加給陰極的電壓VC設(shè)置為恒定并且使施加給柵極的電壓VG變化的方法，(2)使施加給陰極的電壓VC變化并且將施加給柵極的電壓VG設(shè)置為恒定的方法，和(3)使施加給陰極的電壓VC變化并且使施加給柵極的電壓VG變化的方法。更具體地，場致發(fā)射元件包括(a)形成在支座上且沿第一方向延伸的條形的陰極；(b)形成在陰極和支座上的絕緣層；(c)形成在絕緣層上且沿不同于第一方向的第二方向延伸的條形的柵極；(d)在柵極和絕緣層中位于陰極和柵極彼此重疊的重疊部分上的那部分上設(shè)置的開口部分，陰極在開口部分的底部露出來；以及
(e)在開口部分底部露出來的陰極上設(shè)置的電子發(fā)射部分，通過對陰極和柵極施加電壓來控制電子發(fā)射部分的電子發(fā)射。
場致發(fā)射元件的類型不特別限定；場致發(fā)射元件包括Spindt型場致發(fā)射元件(在位于開口部分底部的陰極上設(shè)置圓錐形電子發(fā)射部分的場致發(fā)射元件)和平面型場致發(fā)射元件(在位于開口部分底部的陰極上設(shè)置基本扁平的電子發(fā)射部分的場致發(fā)射元件)。
從簡化冷陰極場電子發(fā)射顯示器件結(jié)構(gòu)的觀點(diǎn)出發(fā)，最好陰極投影圖像和柵極投影圖像彼此垂直，即，第一方向和第二方向彼此垂直。陰極面板中陰極和柵極彼此重疊的重疊部分對應(yīng)于電子發(fā)射區(qū)域。電子發(fā)射區(qū)域排列成二維矩陣形式。每個電子發(fā)射區(qū)域沒置有一個或多個場致發(fā)射元件。
場致發(fā)射元件通常由包括下述步驟的方法形成(1)在支座上形成陰極的步驟；(2)在整個表面(在支座和陰極上)上形成絕緣層的步驟；(3)在絕緣層上形成柵極的步驟；(4)在柵極和絕緣層中位于陰極和柵極被此重疊的重疊部分上的那部分上形成開口部分，并且使陰極在開口部分的底部露出來的步驟，以及(5)在位于開口部分底部的陰極上形成電子發(fā)射部分的步驟。
可選擇地，場致發(fā)期元件可以通過包括下述步驟的方法形成(1)在支座上形成陰極的步驟；(2)在陰極上形成電子發(fā)射部分的步驟；(3)在整個表面(在支座和電子發(fā)射部分上或者在支座、陰極和電子發(fā)射部分上)上形成絕緣層的步驟；(4)在絕緣層上形成柵極的步驟；以及(5)在柵極和絕緣層中位于陰極和柵極彼此重疊的重疊部分上的那部分上形成開口部分，并且使電子發(fā)射部分在開口部分的底部露出來的步驟。
場致發(fā)射元件可以設(shè)置有會聚電極(converging electrode)。在絕緣層上方形成會聚電極，從而在會聚電極和絕緣層之間形成層間絕緣層。會聚電極使從開口部分發(fā)射出來的發(fā)射電子的軌道會聚，并且朝向陽極單元前進(jìn)，由此可以提高亮度并且避免在相鄰像素之間發(fā)生串光。在陽極單元和陰極單元之間的電勢差在幾千伏數(shù)量級并且陽極單元和陰極單元之間的距離相對長的所謂高電壓型冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中，會聚電極特別有效。從會聚電極控制電路向會聚電極施加相對負(fù)電壓(例如零電壓)。不一定需要單獨(dú)形成會聚電極以致于包圍設(shè)置在位于陰極和柵極被此重疊的重疊區(qū)域上的各電子發(fā)射部分或電子發(fā)射區(qū)域。例如，會聚電極可以沿著電子發(fā)射部分或電子發(fā)射區(qū)域排列的預(yù)定方向延伸?？蛇x擇地，一個會聚電極可以包圍所有電子發(fā)射部分或電子發(fā)射區(qū)域(即，會聚電極的結(jié)構(gòu)可以是一個覆蓋整個有效區(qū)域的薄片形式，其中該有效區(qū)域作為執(zhí)行冷陰極場電子發(fā)射顯示器件的實(shí)際功能的中央顯示區(qū)域)。由此可以在多個電子發(fā)射部分或電子發(fā)射區(qū)域上產(chǎn)生公用的會聚效果。
用于形成陰極、柵極和會聚電極的材料包括例如包括過渡金屬如鉻(Cr)、鋁(Al)、鎢(W)、鈮(Nb)、鉭(Ta)、鉬(Mo)、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、鈦(Ti)、鎳(Ni)、鈷(Co)、鋯(Zr)、鐵(Fe)、鉑(Pt)、鋅(Zn)等的各種金屬；包含這些金屬的合金(例如MoW)或化合物(例如氮化物如TiN等、和硅化物如WSi2、MoSi2、TiSi2、TaSi2等)；半導(dǎo)體如硅(Si)等；鉆石等的碳薄膜；以及導(dǎo)電金屬氧化物如ITO(氧化銦錫)、氧化銦、氧化鋅等。用于形成這些電極的方法包括例如如電子束淀積法、熱絲淀積法等的淀積法、濺射法、CVD法和離子鍍敷法與蝕刻法的組合；絲網(wǎng)印刷法；鍍敷法(電鍍和無電鍍)；剝離法；激光消融法；以及溶膠-凝膠法。例如可以通過絲網(wǎng)印刷法或鍍敷法直接形成條形的陰極和柵極。
用于形成Spindt型場致發(fā)射元件的電子發(fā)射部分的材料包括選自鉬、鉬合金、鎢、鎢合金、鈦、鈦合金、鈮、鈮合金、鉭、鉭合金、鉻、鉻合金、和包含雜質(zhì)的硅(多晶硅和非晶硅)組成的組中的至少一種材料。Spindt型場致發(fā)射元件的電子發(fā)射部分不僅可以通過真空淀積方法形成，還可以通過例如濺射方法和CVD法形成。
平板型場致發(fā)射元件的電子發(fā)射部分優(yōu)選由功函數(shù)Ф比形成陰極電極的材料小的材料構(gòu)成。根據(jù)形成陰極的材料的功函數(shù)、柵極與陰極之間的電勢差、發(fā)射電子所需的電流密度等條件來選擇形成電子發(fā)射部分的材料。用于形成場致發(fā)射元件中陰極的材料的典型例子包括鎢(Ф＝4.55eV)、鈮(Ф＝4.02到4.87eV)、鉬(Ф＝4.53到4.95eV)、鋁(Ф＝4.28eV、銅(Ф＝4.6eV)、鉭(Ф＝4.3eV)和鉻(Ф＝4.5eV)。優(yōu)選電子發(fā)射部分的功函數(shù)Ф小于這些材料，其功函數(shù)的值優(yōu)選大約為3eV或者以下。這種材料的例子包括碳(Ф＜1eV)、銫(Ф＝2.14eV)、LaB6(Ф＝2.66到2.76eV)、BaO(Ф＝1.6到2.7eV)、SrO(Ф＝1.25到1.6eV)、Y2O3(Ф＝2.0eV)、CaO(Ф＝1.6到1.86eV)、BaS(Ф＝2.05eV)、TiN(Ф＝2.92eV)以及ZrN(Ф＝2.92eV)。更優(yōu)選地，電子發(fā)射部分由功函數(shù)Ф為2eV或者以下的材料制得。順便提及，用于形成電子發(fā)射部分的材料不一定需要具有導(dǎo)電性。
可選擇地，用于形成平板型場致發(fā)射器件中電子發(fā)射部分的材料可以適當(dāng)?shù)貜亩坞娮釉鲆姒谋扔糜谛纬申帢O的導(dǎo)電材料的二次電子增益δ更大的材料中選擇。即，上述材料可以適當(dāng)?shù)剡x自金屬如銀(Ag)、鋁(Al)、金(Au)、鈷(Co)、銅(Cu)、鉬(Mo)、鈮(Nb)、鎳(Ni)、鉑(Pt)、鉭(Ta)、鎢(W)、鋯(Zr)等；半導(dǎo)體如鍺(Ge)等；無機(jī)單質(zhì)物質(zhì)如碳、鉆石等；以及化合物如氧化鋁(Al2O3)、氧化鋇(BaO)、氧化鈹(BeO)、氧化鈣(CaO)、氧化鎂(MgO)、氧化錫(SnO2)、氟化鋇(BaF2)、和氟化鈣(CaF2)等。順便提及，用于形成電子發(fā)射部分的材料不一定需要具有導(dǎo)電性。
可選擇地，用于形成平板型場致發(fā)射元件中電子發(fā)射部分的特別優(yōu)選材料包括碳，更具體為非晶形鉆石、石墨、碳納米管結(jié)構(gòu)、ZnO晶須、MgO晶須、SnO2晶須、MnO晶須、Y2O3晶須、NiO晶須、ITO晶須、In2O3晶須和Al2O3晶須。當(dāng)電子發(fā)射部分由這些材料形成時(shí)，可以在5×106V/m或以下的電場強(qiáng)度中獲得冷陰極場電子發(fā)射顯示器件所需要的發(fā)射電子流密度。此外，當(dāng)用于形成電子發(fā)射部分的材料是電阻器時(shí)，可以使從該電子發(fā)射部分得到的發(fā)射電子流均勻，并且當(dāng)電子發(fā)射部分組合在冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中時(shí)可以抑制亮度變化。此外，在冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中上述材料表現(xiàn)出對剩余氣體的離子濺射影響具有很高的抵抗性，從而延長了場致發(fā)射元件的壽命。
具體地，碳納米管結(jié)構(gòu)包括碳納米管和/或石墨納米纖維。更具體地，電子發(fā)射部分可以由碳納米管組成、電子發(fā)射部分可以由石墨納米纖維組成、或電子發(fā)射部分可以由碳納米管和石墨納米纖維的混合物組成。宏觀地，碳納米管和石墨納米纖維可以是粉末或薄膜形式。某些情況下碳納米管結(jié)構(gòu)可以為錐形。碳納米管和石墨納米纖維可以由PVD方法如公知的弧放電法、激光消融法等以及各種CVD法如等離子體CVD法、激光CVD法、熱CVD法、汽相合成法、汽相生長方法等制造或形成。
作為形成絕緣層和層間絕緣層的材料，可以單獨(dú)或適當(dāng)混和使用例如SiO2基材料如SiO2、BPSG、PSG、BSG、AsSG、PbSG、SiON、SOG(旋涂玻璃)、低熔點(diǎn)玻璃、玻璃漿等；SiN基材料；以及絕緣樹脂如聚酰亞胺等。可以使用公知方法如CVD法、涂覆法、濺射法、絲網(wǎng)印刷法等形成絕緣層和間層絕緣層。
第一開口部分(柵極中形成的開口部分)或者第二開口部分(絕緣層中形成的開口部分)的平面形狀(沿著平行于支座表面的虛平面剪切開口部分得到的平面形狀)可以是任意形狀如圓形、橢圓形、矩形、多邊形、圓三角形、圓多邊形等。第一個開口部分可以通過例如各向異性蝕刻、各向同性蝕刻或各向異性蝕刻和各向同性蝕刻的組合形成?？蛇x擇地，可以根據(jù)柵極的形成方法直接形成第一個開口部分。第二個開口部分也可以通過例如各向異性蝕刻、各向同性蝕刻或各向異性蝕刻和各向同性蝕刻的組合形成。
在場致發(fā)射元件中，根據(jù)場致發(fā)射元件的結(jié)構(gòu)，可以在一個開口部分內(nèi)具有一個電子發(fā)射部分；可以在一個開口部分內(nèi)具有多個電子發(fā)射部分；或在柵極中設(shè)置多個第一開口部分，在絕緣層中設(shè)置與第一開口部分連通的一個第二開口部分，并且在絕緣層中設(shè)置的一個第二開口部分中具有一個或多個電子發(fā)射部件。
場致發(fā)射元件可以在陰極和電子發(fā)射部分之間形成有電阻薄膜。所形成的電阻薄膜可以使場致發(fā)射元件的操作穩(wěn)定并且使場致發(fā)射元件的電子發(fā)射特性均勻。用于形成電阻薄膜的材料包括例如碳基電阻材料如碳化硅(SiC)和SiCN、半導(dǎo)體電阻材料如非晶硅化物、SiN等、以及高熔點(diǎn)金屬氧化物如氧化釕(RuO2)，氧化鉭、氮化鉭等。用于形成電阻薄膜的方法包括例如濺射法、CVD法、和絲網(wǎng)印刷法。一個電子發(fā)射部分的電阻值近似為1×106到1×1011Ω，優(yōu)選為幾十千兆歐姆。
使陰極面板和陽極面板在其周邊部分上彼此結(jié)合在一起?？梢酝ㄟ^粘結(jié)層實(shí)現(xiàn)該結(jié)合，或者可以使用由絕緣剛性材料如玻璃、陶瓷等制得的框架和粘結(jié)層二者實(shí)現(xiàn)該結(jié)合。在使用框架和粘結(jié)層時(shí)，通過適當(dāng)選擇框架的高度，可以將陰極面板和陽極面板之間的相對距離設(shè)定得長于僅僅使用粘結(jié)層時(shí)的情況。作為用于形成粘結(jié)層的材料，通常是熔融玻璃，但是也可以使用熔點(diǎn)大約為120℃到400℃的所謂低熔點(diǎn)金屬材料。這樣的低熔點(diǎn)金屬材料包括例如In(銦熔點(diǎn)為157℃)；銦-金基低熔點(diǎn)合金；錫(Sn)基高溫焊料如Sn80Ag20(熔點(diǎn)為220℃到370℃)、Sn95Cu5(熔點(diǎn)為227℃到370℃)等；鉛(Pb)基高溫焊料如Pb97.5Ag2.5(熔點(diǎn)為304℃)、Pb94.5Ag5.5(熔點(diǎn)為304℃到365℃)、Pb97.sAg1.5Sn1.0(熔點(diǎn)為309℃)等；鋅(Zn)基高溫焊料如Zn95Al5(金屬熔點(diǎn)為380℃)等；錫-鉛基標(biāo)準(zhǔn)焊料如Sn5Pb95(熔點(diǎn)為300℃到314℃)、Sn2Pb98(熔點(diǎn)為316℃到322℃)等、以及釬焊材料如Au88Ga12(金屬熔點(diǎn)為381℃)等(所有上述腳標(biāo)表示原子％)。
當(dāng)陰極面板、陽極面板和框架這三者連結(jié)在一起時(shí)，這三者可以同時(shí)彼此連結(jié)在一起。可選擇地，在第一步驟中可以將陰極面板和陽極面板之一與框架連結(jié)在一起，在第二步驟中將陰極面板和陽極面板中的另一個與框架連結(jié)在一起。當(dāng)在高真空度的環(huán)境中進(jìn)行這三者的同時(shí)連結(jié)或第二步驟中的連結(jié)時(shí)，夾在陰極面板和陽極面板之間的空間(更具體為由陰極面板、陽極面板、框架和粘結(jié)層包圍的空間，并且此后該空間可以簡稱為空間)在連結(jié)的同時(shí)變成真空?？蛇x擇地，在完成這三者的連結(jié)之后，該空間被排空形成真空。當(dāng)在連結(jié)之后進(jìn)行排空時(shí)，連結(jié)時(shí)的氣壓可以是大氣壓力或降低的壓力，形成該環(huán)境的氣體可以是大氣、包括氮?dú)獾亩栊詺怏w或者屬于周期表零族的氣體(例如Ar氣)。
當(dāng)進(jìn)行排空時(shí)，可以通過預(yù)先與陰極面板和/或陽極面板連接的尖管進(jìn)行排空。尖管典型地由玻璃管構(gòu)成。通過使用熔融玻璃或上述低熔點(diǎn)金屬材料，將尖管與設(shè)置在陰極面板和/或陽極面板中無效區(qū)域上的通孔的周邊接合在一起。在該空間達(dá)到預(yù)定真空度之后，通過加熱熔化使尖管密封。順便提及，在密封之前，適合對整個冷陰極場電子發(fā)射顯示器件進(jìn)行暫時(shí)加熱，然后降低冷陰極場電子發(fā)射顯示器件的溫度，因?yàn)槭Ｓ鄽怏w可以被釋放到該空間中并且通過排空可以將該剩余氣體從該空間中去除掉。
由于該空間變成真空，所以大氣壓力對平板型顯示器件造成損壞，除非在陰極面板和陽極面板之間設(shè)置隔板。
該隔板由例如陶瓷或玻璃形成。當(dāng)隔板由陶瓷形成時(shí)，陶瓷包括例如多鋁紅柱石、氧化鋁、鈦酸鋇、鈦酸鋯、鋯、董青石、硼硅酸鋇、硅酸鐵、玻璃陶瓷材料以及通過將氧化鈦、氧化鉻、氧化鐵、氧化釩和氧化鎳添加到上述材料中得到的材料。在這種情況下，隔板可以通過形成所謂的生片、燒制該生片、然后剪切生片燒制品而制造。此外，用于形成隔板的玻璃包括鈉鈣玻璃。例如，在阻擋肋和阻擋肋之間插入隔板并且使隔板固定就足夠了。可選擇地，例如，在陽極面板中形成隔板保持部分并且由隔板保持部分固定隔板就足夠了。
隔板的表面可以設(shè)置抗靜電膜。用于形成抗靜電膜的材料其二次電子發(fā)射系數(shù)優(yōu)選接近1?？梢允褂冒虢饘偃缡?、氧化物、硼化物、碳化物、硫化物、氮化物等作為用于形成抗靜電膜的材料。例如，用于形成抗靜電膜的材料包括半金屬如石墨等、包含半金屬元素的化合物如MoSe2等、氧化物如Cr2O3、Nd2O3、LaxBa2-xCuO4、LaxY1-xCrO3等、硼化物如AlB2、TiB2等、碳化物如SiC等、硫化物如MoS2、WS2等、氮化物如BN、TiN、AlN等。此外，例如可以使用日本專利特開No.2004-500688中描述的材料?？轨o電膜可以由一種材料、多種材料、單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)形成?？轨o電膜可以由已知方法如濺射法、真空淀積法、CVD法等形成。
根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例或者第二實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或者平板顯示器件的制造方法，通過機(jī)械剝離剝離部件的物理方法或者通過在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上涂覆蝕刻劑的化學(xué)方法，將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉。因此可以可靠地避免熒光區(qū)域受到損壞。結(jié)果，可以提供具有高顯示質(zhì)量的平板顯示器件。
在根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法或者平板顯示器件的制造方法中、或者在根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器件的陽極面板或者平板顯示器件中，饋電部分具有凹凸形狀，因此可以進(jìn)一步降低饋電部分中與陰極面板相面對的那部分的面積，因而可以進(jìn)一步減少饋電部分和電子發(fā)射元件之間的放電。


圖1為根據(jù)第一例或第二例的具有Spindt型冷陰極場電子發(fā)射元件的平板顯示器件的示意部分端視圖；圖2為根據(jù)第一例或第二例的具有平面型冷陰極場電子發(fā)射元件的平板顯示器件的示意部分端視圖；圖3A示意示出了根據(jù)第一例或第二例的在形成平板顯示器件的陽極面板中阻擋肋和單元熒光區(qū)域的排列的實(shí)例；以及圖3B為阻擋肋和單元熒光區(qū)域的部分切除示意透視圖；圖4為根據(jù)第一例或第二例形成平板顯示器件的陽極面板中饋電部分等的示意部分平面視圖；圖5為根據(jù)第一例或第二例形成平扳顯示器件的陽極面板中饋電部分等的變形的示意部分平面視圖；
圖6為根據(jù)本發(fā)明形成平板顯示器件的陽極面板中饋電部分等的變形的示意部分平面視圖；圖7A、7B、7C和7D為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)本發(fā)明第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖8為基板等的部分示意平面視圖，這些部分示意平面圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖9延續(xù)圖8，為基板等的部分示意平面視圖，這些部分示意平面視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖10A、10B、10C和10D延續(xù)圖7A、7B、7C和7D，為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖11延續(xù)圖9，為基板等的部分示意平面圖，這些部分示意平面圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖12延續(xù)圖11，為基板等的部分示意平面圖，這些部分示意平面圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖13A和13B延續(xù)圖10C和10D，為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖14A和圖14B延續(xù)圖13A和圖13B，為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖15A、15B、15C和15D延續(xù)圖14A和14B，為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖16延續(xù)圖12，為基板等的部分示意平面視圖，這些部分示意平面視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖17延續(xù)圖16，為基板等的部分示意平面視圖，這些部分示意平面視圖用于輔助解釋根據(jù)第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖18為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第二例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖19為基板等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋根據(jù)第二例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法；圖20A和20B為支座等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋Spindt型冷陰極場電子發(fā)射元件的制造方法；圖21A和21B延續(xù)圖20A和20B，為支座等的部分示意端視圖，這些部分示意端視圖用于輔助解釋Spindt型冷陰極場電子發(fā)射元件的制造方法；圖22為具有會聚電極的Spindt型冷陰極場電子發(fā)射元件的部分示意端視圖；圖23為日本專利特開No.2004-158232中公開的常規(guī)冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中的陽極示意平面圖；圖24A、24B和24C分別為圖23中示出的常規(guī)冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中的陽極面板沿著圖23中線A-A、B-B和C-C的示意部分端視圖；圖25為冷陰極場電子發(fā)射顯示器件的示意部分端視圖；以及圖26為冷陰極場電子發(fā)射顯示器件中的陰極面板的示意部分透視圖。
具體實(shí)施例方式
此后參考附圖，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行描述。
第一例涉及根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第一A實(shí)施例)的用于平板顯示器件的阻極面板的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第一A實(shí)施例)的平板顯示器件的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第三A實(shí)施例)的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第三A實(shí)施例)的平板顯示器件的制造方法、以及根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于平板顯示器件的陽極面板和平板顯示器件。順便提及，稍后描述的根據(jù)第一例或第二例的平板顯示器件具體為冷陰極場電子發(fā)射顯示器件(此后簡稱為顯示器件)。
圖1或圖2為根據(jù)稍后描述的第一例或第二例的顯示器件的示意部分端視圖。圖3A示意示出了阻擋肋和單元熒光區(qū)域的排列的實(shí)例。圖3B為阻擋肋和單元熒光區(qū)域的部分切除示意透視圖。圖4或圖5為饋電部分等的示意部分平面視圖。
如圖1或圖2的示意部分端視圖中所示，根據(jù)稍后描述的第一例或第二例的顯示器件是通過將具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板CP和陽極面板AP在其周邊部分彼比結(jié)合在一起而形成的。陰極面板CP和陽極面板AP之間的空間為真空狀態(tài)(壓力例如10-3Pa或以下)。順便提及，當(dāng)陰極面板CP和陽極面板AP拆開時(shí)，部分陽極面板AP和陰極面板CP的示意分解透視圖基本上與圖26相同。
在稍后描述的第一例或第二例中的電子發(fā)射元件由例如Spindt型冷陰極場電子發(fā)射元件(此后稱作場致發(fā)射元件)形成。具體而言，如圖1中所示，Spindt型場致發(fā)射元件包括(a)形成在支座10上的陰極11；(b)在支座10和陰極11上形成的絕緣層12；(c)形成在絕緣層12上的柵極13；(d)設(shè)置在柵極13和絕緣層12中的開口部分14(設(shè)置在柵極13中的第一開口部分14A和設(shè)置在絕緣層12中的第二開口部分14B)；以及(e)位于開口部分14底部的陰極11上形成的圓錐形電子發(fā)射部分15。
可選擇地，在稍后描述的第一例或第二例中的電子發(fā)射元件例如由平面型場致發(fā)射元件形成。具體而言，如圖2中所示，平面型場致發(fā)射元件包括(a)形成在支座10上的陰極11；(b)在支座10和陰極11上形成的絕緣層12；(c)形成在絕緣層12上的柵極13；(d)設(shè)置在柵極13和絕緣層12中的開口部分14(設(shè)置在柵極13中的第一開口部分14A和設(shè)置在絕緣層12中的第二開口部分14B)；以及(e)位于開口部分14底部的陰極11上形成的電子發(fā)射部分15A。在該情況下的電子發(fā)射部分15A由例如部分嵌入在矩陣中的大量碳納米管形成。
在陰極面板CP中，陰極11為沿著第一方向(參見圖1或圖2中的Y方向)延伸的條形。柵極13為沿著與第一方向不同的第二方向(參見圖1或圖2中的X方向)延伸的條形。陰極11和柵極13的投影圖像每一個形成為方向彼此垂直的條形。對應(yīng)于一個子像素的電子發(fā)射區(qū)域EA設(shè)置有多個電子發(fā)射元件。
在稍后描述的第一例或第二例中的陽極面板AP基本上包括(A)基底20；(B形成在基底20上的多個單元熒光區(qū)域21(紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域21G、和藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域21B)；(C)包圍各單元熒光區(qū)域21的格子狀阻擋肋23；(D)由導(dǎo)電材料層形成并且形成為從各單元熒光區(qū)域21上延伸到阻擋肋23上的陽極單元31；(E)用于使相鄰陽極單元31彼此電連接的電阻層33；以及(F)用于使位于陽極面板AP最外周部分上的陽極單元31A與陽極控制電路53連接的具有凹凸?fàn)畹酿侂姴糠?1。
一個像素由紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域21G、和藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域21B形成。一個子像素由單元熒光區(qū)域21形成。各單元熒光區(qū)域由阻擋肋23包圍。格子狀阻擋肋23中包圍單元熒光區(qū)域的那部分(與阻擋肋側(cè)面投影圖像的內(nèi)側(cè)輪廓線相對應(yīng)并且是一種開口區(qū)域23B的部分)的平面形狀為矩形(長方形)。這種平面形狀(開口區(qū)域23B的平面形狀)排列成二維矩陣形式(更具體為柵格)，由此形成格子狀阻擋肋。為了避免顏色混亂，或者為了避免顯示圖像的串光，在單元熒光區(qū)域21和單元熒光區(qū)域21之間以及在阻擋肋23和基底20之間形成吸光層(黑矩陣)22。在陰極面板CP和陽極面板AP之間設(shè)置由氧化鋁(Al2O3，重量純度為99.8％)制得的隔板(未示出)。
圖3A示意示出了阻擋肋23和單元熒光區(qū)域21的排列實(shí)例。順便提及，在圖3A中，制定單元熒光區(qū)域21、饋電部分41和饋電點(diǎn)44以清楚示出陽極面板AP的組件。圖3A中單元熒光區(qū)域21的數(shù)量和排列是出于說明的目的，因此與實(shí)際顯示器件的數(shù)量和排列不同。圖3B為阻擋肋和單元熒光區(qū)域的部分剪切示意透視圖。
在根據(jù)稍后描述的第一例或第二例的用于平板顯示器件的陽極面板AP和顯示器件中，如示出了饋電部分等的圖1或圖2中的示意部分端視圖中所示，以及如示出了饋電部分等的圖4或圖5的示意部分平面視圖中所示，饋電部分41具有凹凸形狀，在饋電部分凹陷部分41B中形成饋電部分導(dǎo)電材料層42，在饋電部分突起部分41A上形成饋電部分電阻層43，用于使饋電部分41中的相鄰凹陷部分41B中形成的饋電部分導(dǎo)電材料層42彼此電連接。此外，位于陽極面板AP最外圍部分的陽極單元31A和饋電部分41中與陽極單元31A相鄰的凹陷部分41B中形成的饋電部分導(dǎo)電材料層42通過饋電部分電阻層43彼此電連接。
如圖4或圖5中所示，一組陽極單元(排列成二維矩陣形式的陽極單元31)的平面形狀為矩形，饋電部分凹陷部分41B的主要部分和饋電部分凸起部分41A的主要部分基本上平行于該矩形的邊延伸。彼此相鄰的饋電部分凸起部分41A的主要部分和饋電部分凸起部分41A的主要部分由饋電部分凹陷部分41B隔開。彼此相鄰的饋電部分凸起部分41A的主要部分和饋電部分凸起部分41A的主要部分通過饋電部分凸起部分41A中基本上垂直于或不垂直于該矩形的邊延伸的那部分連接。順便提及，圖4和圖5中，制定阻擋肋23、電阻層33、饋電部分凸起部分41A、和饋電部分電阻層43以清楚地示出陽極面板AP的組件。
在饋電部分41的凹陷部分41B的一部分中形成的饋電部分導(dǎo)電材料層42延伸到饋電點(diǎn)44。饋電部分41與饋電點(diǎn)44連接，并且通過圖中未示出的布線進(jìn)一步與陽極控制電路53連接。順便提及，一般最好是在陽極控制電路53和饋電點(diǎn)44之間設(shè)置用于防止過電流和放電的電阻R0(參見圖1和圖2)。電阻R0的電阻值優(yōu)選在0.1kΩ到100kΩ之間，例如具體是10kΩ。
在根據(jù)第一例的顯示器件中，通過饋電部分41，陰極11與陰極控制電路51連接、柵極13與柵極控制電路52連接、以及陽極單元31與陽極控制電路53連接。這些控制電路可以由已知電路形成。在顯示器件的實(shí)際操作過程中，陽極控制電路53的輸出電壓VA通常是恒定的，并且可以是例如5千伏到15千伏。另一方面，在顯示器件的實(shí)際操作期間，可以使用下述任何一種方法用于施加給陰極11的電壓VC和施加給柵極13的電壓VG
(1)將施加給陰極11的電壓VC設(shè)置為恒定并且使施加給柵極13的電壓VG變化的方法，(2)使施加給陰極11的電壓VC變化并且將施加給柵極13的電壓VG設(shè)置為恒定的方法，以及(3)使施加給陰極11的電壓VC變化并且使施加給柵極13的電壓VG變化的方法。
在顯示器件的實(shí)際操作期間，從陰極控制電路51向陰極11施加相對負(fù)電壓，從柵極控制電路52向柵極13施加相對正電壓，并且從陽極控制電路53向陽極單元31施加甚至比施加給柵極13的電壓更高的正電壓。當(dāng)顯示器件進(jìn)行顯示時(shí)，例如，從陰極控制電路51向陰極11輸入掃描信號，并且從柵極控制電路52向柵極13輸入視頻信號。順便提及，可以從陰極控制電路51向陰極11輸入視頻信號，并且可以從柵極控制電路52向柵極13輸入掃描信號。由于在陰極11和柵極13之間施加電壓時(shí)產(chǎn)生的電場，根據(jù)量子隧道效應(yīng)，從電子發(fā)射部分15或15A發(fā)射電子。電子被吸附在陽極單元31上，穿過陽極單元31，然后與單元熒光區(qū)域21沖撞。結(jié)果，單元熒光區(qū)域21被激發(fā)發(fā)光，由此得到所需要的圖像。也就是說，由施加給柵極13的電壓VG和施加給陰極11的電壓VC對顯示器件的操作進(jìn)行基本地控制。
下面參考圖7A到7D、圖8、圖9、圖10A到10B、圖11、圖12、圖13A和13B、圖14A和14B、圖15A到15D、圖16和圖17，對根據(jù)本發(fā)明第一例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法進(jìn)行描述。
首先，在基底20上形成格子狀阻擋肋23，同時(shí)在基底20上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?1。具體地，形成以金屬氧化物如氧化鈷等而著色成黑色的鉛玻璃層使其厚度為大約50μm。此后通過光刻技術(shù)和蝕刻技術(shù)有選擇地對鉛玻璃層進(jìn)行處理。由此形成格子狀阻擋肋23(參見圖7A的示意部分端視圖和圖8的示意部分平面視圖)，并且同時(shí)形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?1(由饋電部分凸起部分41A和饋電部分凹陷部分41B)形成(參見圖7B的示意部分端視圖)。順便提及，在某些情況下，阻擋肋23和饋電部分41可以通過絲網(wǎng)印刷法將低熔點(diǎn)玻璃漿印刷到基底20上，然后對低熔點(diǎn)玻璃漿進(jìn)行燒制而形成，或者阻擋肋23和饋電部分41可以通過在基底20的整個表面上形成感光聚酰亞胺樹脂層，然后對感光樹脂層進(jìn)行曝光并且對感光樹脂層進(jìn)行顯影而形成。阻擋肋23中開口區(qū)域23B的尺寸大約為長280μm×寬100μm×高60μm。順便提及，最好在形成阻擋肋23之前，在基底20中要形成阻擋肋23的那部分的表面上形成由例如氧化鉻構(gòu)成的吸光層(黑矩陣)22。順便提及，附圖標(biāo)記23A表示阻擋肋頂表面。
接下來，在基底20中由阻擋肋23包圍的那部分上形成單元熒光區(qū)域21。具體而言，把通過例如將紅光發(fā)射熒光顆粒分散在聚乙烯醇(PVA)樹脂和水中，然后再添加重鉻酸氨而制備的紅光發(fā)射熒光漿料涂覆在整個表面上，從而形成紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R。然后使紅光發(fā)射熒光漿料干燥，此后，利用來自基底20側(cè)面的紫外線對紅光發(fā)射熒光漿料中要形成紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R的那部分進(jìn)行照射以使紅光發(fā)射熒光漿料曝光。紅光發(fā)射熒光漿料人基底20側(cè)面逐漸固化。由紫外線對紅光發(fā)射熒光漿料的照射量來確定形成的紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R的厚度。在這種情況下，例如，紅光發(fā)射舉元熒光區(qū)域21R的厚度為大約8μm，這是通過調(diào)整紫外線對紅光發(fā)射熒光漿料的照射時(shí)間而得到的。然后，對紅光發(fā)射熒光漿料進(jìn)行顯影，由此可以在預(yù)定阻擋肋23之間形成紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域21R。此后，對綠光發(fā)射熒光漿料進(jìn)行相似的處理以形成綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域21G。進(jìn)一步，對藍(lán)光發(fā)射熒光漿料進(jìn)行相似的處理以形成藍(lán)光發(fā)射舉元熒光區(qū)域21B。由此，可以得到圖7C的示意部分端視圖和圖9的示意部分平面視圖中示出的結(jié)構(gòu)。形成單元熒光區(qū)域的方法不局限于上述方法。各單元熒光區(qū)域可以通過依次涂覆紅光發(fā)射熒光漿料、綠光發(fā)射熒光漿料、和藍(lán)光發(fā)射熒光漿料，然后依次對熒光漿料進(jìn)行曝光和顯影而形成?？蛇x擇地，各單元熒光區(qū)域可以由絲網(wǎng)印刷法等形成。順便提及，在饋電部分41上沒有形成單元熒光區(qū)域，因此饋電部分41的結(jié)構(gòu)如圖7D的示意部分端視圖所示。
此后，在阻擋肋頂表面23A和單元熒光區(qū)域21上形成樹脂層34，與此同時(shí)在饋電部分凸起部分41A(并且在第一例中還有饋電部分凹陷部分41B)上形成樹脂層34。具體而言，可以通過金屬掩膜印刷法或絲網(wǎng)印刷法形成樹脂層34，其中金屬掩膜印刷法或絲網(wǎng)印刷法中準(zhǔn)備有開口的金屬掩膜或網(wǎng)篩掩膜，其所具有的開口基本與樹脂層34的形成圖案相一致，然后在掩膜上施加例如丙烯酸清漆，通過橡皮刮板將掩膜上的丙烯酸清漆通過開口印到阻擋肋頂表面23A和單元熒光區(qū)域21上，以及印到饋電部分凸起部分41A和饋電部分凹陷部分41B上。順便提及，在這種情況下，與矩形的較短邊平行(圖11中的X方向)且以比矩形的較長邊更窄的寬度將樹脂層涂覆(印刷)到阻擋肋頂表面23A和單元熒光區(qū)域21上，其中該矩形是格子狀阻擋肋23中包圍單元熒光區(qū)域的那部分的平面形狀。圖10A和10B的示意部分端視圖和圖11的示意部分平面視圖中示出了這種狀態(tài)。適當(dāng)?shù)卣{(diào)整所涂覆(印刷)的樹脂層34的粘度等可以將樹脂層34設(shè)置為覆蓋阻擋肋頂表面23A、單元熒光區(qū)域21以及饋電部分凸起部分41A和饋電部分凹陷部分41B，而沒有覆蓋阻擋肋23側(cè)表面和饋電部分41側(cè)表面(或者如果阻擋肋23側(cè)表面和饋電部分41側(cè)表面被覆蓋的話，也只是薄薄地覆蓋阻擋肋23的側(cè)表面和饋電部分41的側(cè)表面)的狀態(tài)。
接下來，干燥樹脂層34。具體地，將基底20放入到干燥爐中，然后在預(yù)定溫度下干燥。用于樹脂層34的干燥溫度優(yōu)選在例如50℃到90℃的范圍內(nèi)。用于樹脂層34的干燥時(shí)間優(yōu)選在幾分鐘到幾十分鐘的范圍內(nèi)。當(dāng)然，干燥時(shí)間隨著干燥溫度的升高或降低而降低或增加。
可選擇地，樹脂層34可以通過下述方法形成。將其上具有阻擋肋23和單元熒光區(qū)域21的基底20浸漬到裝滿在處理容器的液體(具體為水)中，使得單元熒光區(qū)域21面向液面?zhèn)?。順便提及，提前關(guān)閉處理容器的排放部分。然后，在液體表面上形成具有基本上平坦表面的樹脂層34。具體而言，其中溶解了用于形成樹脂層34的樹脂(漆)的有機(jī)溶劑滴落在液體表面上。也就是，用于形成樹脂層34的樹脂層材料散布在液體表面上。在廣義上，用于形成樹脂層34的樹脂(漆)是一種清漆，包括含有纖維素衍生物的組合物，通常是以硝化纖維為主要成分溶解在揮發(fā)性溶劑如低脂肪族酸酯中的組合物、包含其他合成聚合物的氨基甲酯清漆、以及丙烯酸清漆。然后，在漂浮在液體表面上的狀態(tài)下，使樹脂層材料干燥例如大約兩分鐘。由此形成樹脂層材料膜，并且樹脂層34平坦地形成在液體表面上。當(dāng)形成樹脂層34時(shí)，調(diào)整展開的樹脂層材料的量，使得樹脂層34的厚度為例如大約30nm。然后，打開處理容器的排放部分，使液體從處理容器排到較低的液體表面，由此在液面上形成的樹脂層34朝向阻擋肋23移動，樹脂層34與阻擋肋23接觸，最后樹脂層34與單元熒光區(qū)域21接觸。樹脂層34留在單元熒光區(qū)域21和阻擋肋23上。
此后，在整個表面上(具體在樹脂層34和阻擋肋23上)形成導(dǎo)電材料層32，與此同時(shí)，在饋電部分41的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層42。具體而言，通過各種淀積法或?yàn)R射法，形成由導(dǎo)電材料例如鋁(Al)構(gòu)成的導(dǎo)電材料層32和饋電部分導(dǎo)電材料層42以便覆蓋樹脂層34、阻擋肋23、和饋電部分41(參見圖10C和10D中的示意部分端視圖和圖12中的示意部分平面視圖)。導(dǎo)電材料層32和饋電部分導(dǎo)電材料層42在基底20上的厚度為例如0.15μm。
接下來，通過執(zhí)行熱處理將樹脂層34去除掉。具體而言，在大約400℃下燒制樹脂層34(參見圖13A和13B中的示意部分端視圖)。該燒結(jié)處理燒掉了樹脂層34，導(dǎo)電材料層32保留在單元熒光區(qū)域21和阻擋肋23上，且饋電部分導(dǎo)電材料層42保留在饋電部分凸起部分41A和饋電部分凹陷部分41B上。樹脂層34燃燒所產(chǎn)生的氣體例如通過形成在導(dǎo)電材料層32和饋電部分41中沿著阻擋肋23和饋電部分41的形狀彎曲的區(qū)域中的微孔排放到外部。由于該孔是微小的，所以該孔沒有對陽極單元31和饋電部分41的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度或圖像顯示特性造成任何嚴(yán)重的影響。
此后，將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉，從而得到形成為從各舉元熒光區(qū)域21上延伸到阻擋肋23上的陽極單元31。與此同時(shí)，將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉。
具體地，例如使用所謂干薄膜層合機(jī)，將剝離部件61連結(jié)在導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分上。此后將剝離部件61機(jī)械地剝離掉，從而將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉(參見圖14A中的示意部分端視圖)。同時(shí)，將剝離部件61連結(jié)到饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分上。此后，將剝離部件61機(jī)械地剝離掉，從而將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉。(參見圖14B中的示意部分端視圖)。由此，將阻擋肋頂表面23A和饋電部分凸起部分41A暴露出來。剝離部件61包括由丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸共聚物或通過將軟化劑等添加到主要成分如硅橡膠等中得到的聚合物材料構(gòu)成的粘合層或粘結(jié)層；以及用于保持粘合層或粘結(jié)層的保持膜(例如聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚酰亞胺膜等)。使用輥?zhàn)?0A，將形成剝離部件61的粘合層或粘結(jié)層加壓連結(jié)在導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分和饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分上。然后，使用輥?zhàn)?0B，將剝離部件61機(jī)械地剝離掉。最好沿著平行于作為格子狀阻擋肋23中包圍單元熒光區(qū)域的那部分的平面形狀的矩形較長邊的方向(圖12中的Y方向)機(jī)械地剝離剝離部件61。因而，可以得到圖15A和15B中的示意部分端視圖和圖16中的示意部分平面視圖中示出的結(jié)構(gòu)。
此后，形成電阻層33，用于使相鄰的陽極單元31彼此電連接，并且與此同時(shí)，在饋電部分凸起部分41A上形成饋電部分電阻層43，用于使饋電部分41的相鄰凹陷部分41B(饋電部分凹陷部分41B)中形成的饋電部分導(dǎo)電材料層42彼此電連接。具體而言，例如，根據(jù)由各種PVD法和CVD法、絲網(wǎng)印刷法、金屬掩膜印刷法、以及使用輥涂機(jī)的涂覆法示例出的方法，形成由SiC構(gòu)成的電阻層33，使其從阻擋肋頂表面23A延伸到阻擋肋側(cè)表面上的中間位置，并且形成由SiC構(gòu)成的饋電部分電阻層43，使其從饋電部分凸起部分41A延伸到饋電部分側(cè)表面上的中間位置上。因而，可以得到圖15C和15D中的示意部分端視圖和圖17中的示意部分平面視圖中示出的結(jié)構(gòu)。順便提及，位于陽極面板AP最外周部分的陽極單元31A和形成在饋電部分41中與陽極單元31A相鄰的那個凹陷部分41B中的饋電部分導(dǎo)電材料層42通過饋電部分電阻層43彼此電連接。
結(jié)果通過上述步驟，可以完成陽極面板AP。
制備其中形成有電子發(fā)射元件的陰極面板CP。此后對電子發(fā)射元件的制造方法進(jìn)行描述。然后，組裝顯示器。具體而言，例如，將隔板(未示出)連接在陽極面板AP有效區(qū)域中設(shè)置的隔板支撐部分(未示出)上。陽極面板AP和陰極面板CP排列成使單元熒光區(qū)域21和電子發(fā)射元件彼此相面對。陽極面板AP和陰極面板CP(更具體為基底20和支座10)在其周邊部分通過由陶瓷或玻璃制得的高度為大約1mm的框架24彼此連接在一起。在連接過程中，將熔融玻璃涂覆在用于使框架24和陽極面板AP彼此連接的部分上和用于使框架24和陰極面板CP彼比連接的部分上。陽極面板AP、陰極面板CP和框架24彼比接著在一起。通過初步燒結(jié)使熔融玻璃干燥，然后在大約450℃下進(jìn)行完全燒結(jié)大約10到30分鐘。此后，通過通孔(未示出)和尖管(未示出)，使陽極面板AP、陰極面板CP、框架24和熔融玻璃(未示出)包圍的空間排空。當(dāng)空間的壓力達(dá)到大約10-4Pa時(shí)，通過熱熔使尖管密封。因而，可以使陽極面板AP、陰極面板CP、框架24包圍的空間排空。可選擇地，例如，可以在真空度高的氛圍下使框架24、陽極面板AP、陰極面板CP連接在一起?？蛇x擇地，根據(jù)顯示器件的結(jié)構(gòu)，陽極面板AP和陰極面板CP可以單獨(dú)通過粘結(jié)層彼此連接在一起而沒有使用框架。此后執(zhí)行與必要的外部電路的布線連接，由此完成顯示器件。
下面參考圖20A和20B對Spindt型場致發(fā)射元件的制造方法進(jìn)行描述，其中圖21A和21B為形成陰極面板的支座10等的示意部分端視圖。
該Spindt型場致發(fā)射元件基本上可以通過金屬材料的垂直汽相淀積形成圓錐形電子發(fā)射部分15這種方法得到。具體地，當(dāng)?shù)矸e顆粒垂直地進(jìn)入到柵極13中形成的第一開口部分14A中時(shí)，利用由第一開口部分14A的開口邊緣周圍形成的懸突淀積產(chǎn)生的掩蔽效果，使到達(dá)第二開口部分14B底部的淀積顆粒數(shù)量逐漸降低，使得基于自動調(diào)整形成作為圓錐型淀積物的電子發(fā)射部分15。下面對下述方法進(jìn)行描述提前在柵極13和絕緣層12上形成剝離層16，從而可以容易地將不必要的懸突淀積物去除掉。順便提及，在用于說明場致發(fā)射元件的制造方法的附圖中，示出了一個電子發(fā)射部分。
例如，通過例如等離子體CVD法，在由玻璃基底構(gòu)成的支座10上形成用于例如陰極的由多晶硅構(gòu)成的導(dǎo)電材料層膜。然后，通過光刻技術(shù)和干蝕刻技術(shù)對用于陰極的導(dǎo)電材料層進(jìn)行構(gòu)圖，形成條形陰極11。此后，通過CVD法在整個表面上形成由SiO2構(gòu)成的絕緣層12。
接下來，通過濺射法在絕緣層12上形成用于柵極的導(dǎo)電材料層(例如TiN層)膜。然后，通過光刻技術(shù)和干蝕刻技術(shù)對用于柵極的導(dǎo)電材料層進(jìn)行構(gòu)圖，形成條形柵極13。條形陰極11沿著關(guān)于附圖紙面水平的方向延伸，條形柵極13沿著垂直于附圖紙面的方向延伸。
柵極13可以通過公知的薄膜形成法如包括真空淀積法等的PVD法、CVD法、包括電鍍法和無電鍍法的鍍敷法、絲網(wǎng)印刷法、激光消融法、溶膠-凝膠法、剝離法等、或者如果需要，通過這些方法中的一種與蝕刻技術(shù)的組合形成。例如，條形柵極可以通過絲網(wǎng)印刷法或鍍敷法直接形成。
此后再次形成抗蝕劑層。通過蝕刻在柵極13上形成第一開口部分14A。此外，在絕緣層上形成第二開口部分14B。陰極11在第二開口部分14B的底部暴露出來。此后將抗蝕劑層去除掉，因而，可以得到圖20A中示出的結(jié)構(gòu)。
接下來，通過在柵極13和絕緣層12上傾斜汽相淀積鎳(Ni)同時(shí)旋轉(zhuǎn)支座10，從而形成剝離層16(參見圖20B)。此時(shí)，選擇淀積物顆粒相對支座10的法線的入射角要足夠大(例如入射角為65度到85度)，由此可以在柵極13和絕緣層12上形成剝離層16，同時(shí)鎳幾乎沒有淀積在第二開口部分14B的底部上。剝離層16以屋檐形從第一開口部分14A的開口邊緣延伸。由此有效地降低了第一開口部分14A的直徑。
接下來，通過垂直汽相淀積(入射角為3度到10度)在整個表面上淀積例如鉬(Mo)作為導(dǎo)電材料。此時(shí)，如圖21A中所示，在剝離層16上生長懸突狀導(dǎo)電部件層17時(shí)，第一開口部分14A的實(shí)際直徑逐漸減小。因此，對到第二開口部分14B底部上的淀積作出貢獻(xiàn)的淀積顆粒逐漸限制為通過第一開口部分14A的中央?yún)^(qū)域周圍的那部分顆粒。結(jié)果，在第二口部分14B的底部上形成圓錐形淀積物。該圓錐形淀積物構(gòu)成電子發(fā)射部分15。
然后，如圖21B所示，通過剝離法將剝離層16從柵極13和絕緣層12的表面上剝離掉，從而有選擇地將柵極13和絕緣層12上方的導(dǎo)電部件層17去除掉。因而，可以得到具有多個Spindt型場致發(fā)射元件的陰極面板。
在第一實(shí)施例中，可選擇地，(1)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟110]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟150]、[步驟140]、[步驟160]和[步驟170]這些步驟，(2)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟110]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟150]、[步驟160]、[步驟140]和[步驟170]這些步驟，(3)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟110]、[步驟160]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟140]、[步驟150]和[步驟170]這些步驟，(4)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟110]、[步驟160]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟150]、[步驟140]和[步驟170]這些步驟，(5)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟160]、[步驟110]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟140]、[步驟150]和[步驟170]這些步驟，或(6)依次執(zhí)行[步驟100]、[步驟160]、[步驟110]、[步驟120]、[步驟130]、[步驟150]、[步驟140]和[步驟170]這些步驟。
根據(jù)第一例的顯示器件中的陽極單元是通過機(jī)械地剝離剝離部件61的物理法、或者所謂干處理形成，而不是通過所謂濕處理形成。因而，不存在對單元熒光區(qū)域造成損壞這樣的擔(dān)心。此外，由于饋電部分具有凹凸?fàn)?，所以可以進(jìn)一步降低饋電部分中與陰極面板相面對的那部分的面積，并且可以進(jìn)一步降低饋電部分和電子發(fā)射元件之間的放電。結(jié)果，可以提供具有高顯示質(zhì)量和高穩(wěn)定操作特性的平板顯示器件。此外，由于將陽極形成為被劃分成具有較小面積的陽極單元，所以可以降低陽極單元和電子發(fā)射元件之間的電容，并且可以降低所產(chǎn)生的能量。因此可以有效地避免在陽極單元和電子發(fā)射元件之間異常放電(真空弧放電)的發(fā)生、維持和擴(kuò)大。此外，由于在陽極單元和陽極單元之間形成了電阻層，所以能夠可靠地抑制陽極單元之間的放電。因而能夠可靠地避免放電對陽極單元造成局部損壞的發(fā)生。此外，由于該組陽極單元的外圍部分通過饋電部分與陽極控制電路連接，因此不存在從陽極控制電路施加的電壓根據(jù)陽極單元的位置而降低這樣的擔(dān)心。
研究了陽極單元的尺寸和放電損壞率之間的關(guān)系。具體而言，制造具有根據(jù)第一例制造的陽極面板AP的陽極面板(陽極單元的尺寸為包圍單元熒光區(qū)域)，然后組裝顯示器件。此外，為了比較，根據(jù)常規(guī)方法制造陽極單元的尺寸分別為一個像素(尺寸為包圍作為三個單元熒光區(qū)域的三個子像素)、12像素(4×3個像素)和42像素(7×6個像素)的陽極面板，以及陽極沒有被劃分的陽極面板，然后組裝顯示器件。然后，用激光在每個陽極面板的陽極單元或陽極上照射出大量的斑點(diǎn)。結(jié)果，部分陽極單元或陽極蒸發(fā)，形成了突起部分等，因而陽極單元或陽極處于流暢的放電狀態(tài)。當(dāng)這種顯示器件工作時(shí)，在激光照射的斑點(diǎn)上發(fā)生放電。下面表3示出了結(jié)果，以百分比項(xiàng)表示了放電損壞的斑點(diǎn)(在顯示器件工作時(shí)陽極單元或者陽極中沒有出現(xiàn)亮點(diǎn)的這種損壞或損傷)數(shù)量對激光照射的斑點(diǎn)數(shù)量的比率。第一例的放電損壞率為0％。
陽極單元的尺寸放電損壞率一個子像素0％第一例 一個像素 30％12個像素 50％42個像素 85％沒有劃分 100％[第二例]第二例涉及根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第二A實(shí)施例)的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第二A實(shí)施例)的平板顯示器件的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第三B實(shí)施例)的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法、根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例(更具體為本發(fā)明第三B實(shí)施例)的平板顯示器件的制造方法、以及根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器件的陽極面板和平板顯示器件。
可以使根據(jù)第二例的顯示器件、陽極面板AP、和陰極面板的構(gòu)造和結(jié)構(gòu)以及阻擋肋、饋電部分、電子發(fā)射元件等的構(gòu)造和結(jié)構(gòu)與第一例中的相同，因而省略了其詳細(xì)描述。
下面參考圖18和圖19，對根據(jù)第二例的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法和平板顯示器件的制造方法進(jìn)行描述。
首先，如第一例中[步驟100]一樣，在基底20上形成格子狀阻擋肋23，同時(shí)在基底20上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?1。然后，如第一例中[步驟110]一樣，在基底20中由阻擋肋23包圍的那部分上形成單元熒光區(qū)域21。接下來，如第一例中[步驟120]一樣，在阻擋肋頂表面23A和單元熒光區(qū)域21上形成樹脂層34，與此同時(shí)在饋電部分凸起部分41A(在第一例的情況下還有饋電部分凹陷部分41B)上形成樹脂層34。然后，如第一例中[步驟130]一樣，在整個表面上(具體地在樹脂層34和阻擋肋23上)形成導(dǎo)電材料層32，與此同時(shí)，在饋電部分41的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層42。此后，如第一例中[步驟140]一樣，通過執(zhí)行熱處理將樹脂層34去除掉。
在第一例中的[步驟150]中，利用剝離件61將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉，與此同時(shí)，將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉。
另一方面，在第二例中，如圖18和圖19中所示意示出的，將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉，同時(shí)將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉的步驟包括下述兩個步驟利用輥涂機(jī)70，導(dǎo)電材料層32面朝下，通過將蝕刻劑71涂覆在導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分上，從而將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉的步驟，以及利用輥涂機(jī)70，饋電部分導(dǎo)電材料層42面朝下，通過將蝕刻劑71涂覆在饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分上，從而將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉的步驟。因而，可以將導(dǎo)電材料層32中位于阻擋肋頂表面23A上的那部分去除掉，從而可以得到形成為從各單元熒光區(qū)域21上延伸到阻擋肋23上的陽極單元31。與此同時(shí)，可以將饋電部分導(dǎo)電材料層42中位于饋電部分凸起部分41A上的那部分去除掉。順便提及，在圖18和圖19中，用交叉記號表示輥涂機(jī)70上的蝕刻劑。
當(dāng)導(dǎo)電材料層32和饋電部分導(dǎo)電材料層42由鋁(Al)構(gòu)成時(shí)，可以使用包含醋酸和硝酸的混合水溶液作為蝕刻劑71。最好是例如，由輥涂機(jī)70涂覆蝕刻劑71可以由具有多個(三個)輥?zhàn)拥姆聪蛲坎紮C(jī)完成，使得在一次涂覆中涂覆的蝕刻劑71的厚度盡可能地減少。順便提及，形成輥涂機(jī)的IRHD硬度可以例如為20到80。還最好是，完成蝕刻劑的涂覆和完成導(dǎo)電材料層32和饋電部分導(dǎo)電材料層42的涂覆之后，立即由例如三個輥?zhàn)拥姆聪蛲坎紮C(jī)形成的輥涂機(jī)進(jìn)行水洗，從而去除掉蝕刻劑，然后通過例如噴射法進(jìn)一步水洗，再利用熱空氣或加熱器進(jìn)行干燥。
此后，如第一例中[步驟160]一樣，形成電阻層33，用于使相鄰的陽極單元31彼此電連接，并且與此同時(shí)，在饋電部分凸起部分41A上形成饋電部分電阻層43，用于使饋電部分41的相鄰凹陷部分41B(饋電部分凹陷部分41B)中形成的饋電部分導(dǎo)電材料層42彼此電連接。
結(jié)果通過上述步驟可以完成陽極面板AP。
然后，如第一例中的[步驟170]一樣，組裝顯示器件。
在第二實(shí)施例中，可選擇地，(1)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟110}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟210}、{步驟140}、{步驟160}和{步驟170}這些步驟，(2)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟110}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟210}、{步驟160}、{步驟140}和{步驟170}這些步驟，(3)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟110}、{步驟160}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟140}、{步驟210}和{步驟170}這些步驟，(4)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟110}、{步驟160}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟210}、{步驟140}和{步驟170}這些步驟，(5)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟1600}、{步驟110}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟140}、{步驟210}和{步驟170}這些步驟，或(6)依次進(jìn)行{步驟100}、{步驟160}、{步驟110}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟210}、{步驟140}和{步驟170}這些步驟。
在這種情況下，上述{步驟100}、{步驟110}、[步驟120]、{步驟130}、{步驟140}、{步驟160}和{步驟170}表示與[步驟100]相似的步驟、與[步驟110]相似的步驟、與[步驟120]相以的步驟、與[步驟130]相似的步驟、與[步驟140]相似的步驟、與[步驟160]相似的步驟、和與[步驟170]相似的步驟。
根據(jù)第二例的顯示器件中的陽極單元通過所謂濕處理形成。然而，由于除了導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分和饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分以外，蝕刻劑并沒有涂覆導(dǎo)電材料層中其他部分和饋電部分導(dǎo)電材料層中其他部分上，因此不存在對單元熒光區(qū)域造成損壞這樣的擔(dān)心。此外，由于饋電部分具有凹凸形狀，所以可以進(jìn)一步降低饋電部分中與陰極面板相面對的那部分的面積，并且可以進(jìn)一步降低饋電部分和電子發(fā)射元件之間的放電。結(jié)果，可以提供具有高顯示質(zhì)量和高穩(wěn)定操作特性的平板顯示器件。此外，由于將陽極形成為被劃分成具有較小面積的陽極單元，所以可以降低陽極單元和電子發(fā)射元件之間電容，并且可以降低所產(chǎn)生的能量。因此可以有效地避免在陽極單元和電子發(fā)射元件之間異常放電(真空弧放電)的發(fā)生。此外，由于在陽極單元和陽極單元之間形成了電阻層，所以能夠可靠地抑制陽極單元之間的放電。因而能夠可靠地避免放電對陽極單元造成局部損壞的發(fā)生。此外，由于該組陽極單元的外圍部分通過饋電部分與陽極控制電路連接，因此不存在從陽極控制電路施加的電壓根據(jù)陽極單元的位置而降低這樣的擔(dān)心。
雖然以上根據(jù)優(yōu)選例子對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明不局限于這些例子。對例子中描述的陽極面板、陰極面板、陽極單元、饋電部分、顯示器件和電子發(fā)射元件的構(gòu)造和結(jié)構(gòu)是說明性的，并且可以作適當(dāng)改變。此外，陽極面板、陰極面板、陽極單元、饋電部分、顯示器件、和電子發(fā)射元件的制造方法是說明性的，并且可以作適當(dāng)改變。而且，制造陽極面板和陰極面板中使用的各種材料是說明性的，并且可以作適當(dāng)改變。已經(jīng)以彩色顯示器作為實(shí)例對顯示器件作了描述，該顯示器也可以是單色顯示器。
雖然在第一例和第二例中，已經(jīng)時(shí)根據(jù)本發(fā)明第一A實(shí)施例的制造方法和根據(jù)本發(fā)明第二A實(shí)施例的制造方法進(jìn)行了描述，但是很顯然，當(dāng)對饋電部分41使用不同的結(jié)構(gòu)或不同的制造方法時(shí)，如第一例和第二例中描述的陽極單元制造方法僅可以應(yīng)用于陽極單元的制造。也很顯然，當(dāng)陽極單元使用不同的結(jié)構(gòu)或不同的制造方法時(shí)，如第一例和第二例中描述的饋電部分制造方法僅可以應(yīng)用于饋電部分的制造。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，發(fā)射各顏色光的單元熒光區(qū)域可以進(jìn)一步被劃分。在這種情況下，各個被劃分的單元熒光區(qū)域可以被阻擋肋包圍，或者一組被劃分的單元熒光區(qū)域可以被阻擋肋包圍。
在某些情況下，陽極單元可以形成在單元熒光區(qū)域和基底之間。此外，在凹凸?fàn)铕侂姴糠种?，饋電部分?dǎo)電材料層可以形成在饋電部分的整個表面上。順便提及，饋電部分的凹陷狀部分和饋電部分的凸起狀部分可以具有圓形圖案。
在實(shí)例中，格子狀阻擋肋23中包圍單元熒光區(qū)域21的那部分(與阻擋肋的側(cè)面投影圖像的內(nèi)部輪廓線相對應(yīng)的部分并且是一種開口區(qū)域23B)的平面形狀為矩形(長方形)。然而，如圖6中所示，該部分的平面形狀可以是正方形(圖6中“馬賽克”示出的)、圓形(圖6中“圓點(diǎn)”示出的)、六邊形(圖6中“蜂窩狀”和“曲流”示出的)、三角形(圖6中“三角形”示出的)、橢圓形、卵圓形、具有五個角或五個角以上的多邊形、圓三角形、圓矩形和圓多邊形等。使這些平面形狀(開口區(qū)域的平面形狀)排列成二維矩陣，由此形成格子狀阻擋肋。這種二維矩陣形式的排列可以是例如類似柵格的排列或交錯排列。
雖然已經(jīng)對在電子發(fā)射元件中一個電子發(fā)射部分只對應(yīng)于一個開口部分這種形式進(jìn)行了描述，但是取塊于電子發(fā)射元件的結(jié)構(gòu)，可以使用多個電子發(fā)射部分對應(yīng)于一個開口部分的形式、或一個電子發(fā)射部分對應(yīng)于多個開口部分的形式?？蛇x擇地，可以使用在柵極上設(shè)置多個第一開口部分，在絕緣層上設(shè)置與多個第一開口部分連通的多個第二開口部分，并且設(shè)置一個或多個電子發(fā)射部分這種形式。
在電子發(fā)射元件中，還可以在柵極13和絕緣層12上設(shè)置第二絕緣層82，并且可以在第二絕緣層82上形成會聚電極83。圖22為具有這種結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射元件的示意部分端視圖。第二絕緣層82具有與第一開口部分14A連通的第三開口部分84。可以如下形成會聚電極83。例如，在[步驟A2]中，在絕緣層12上形成條形柵極13之后形成第二絕緣層82；接下來，在第二絕緣層82上形成經(jīng)過了構(gòu)圖的會聚電極83；在會聚電極83和第二絕緣層82上形成第三開口部分84；以及在柵極13上還形成第一開口部分14A。順便提及，取決于會聚電極的圖案，會聚電極可以是一組會聚電極單元的形式，其中每個會聚電極單元對應(yīng)于一個或多個電子發(fā)射部分或者對應(yīng)于一個或多個像素，或者會聚電極可以是覆蓋有效區(qū)域的導(dǎo)電材料片的形式。順便提及，雖然圖22示出了Spindt型場致發(fā)射元件，但是很顯然，圖22的結(jié)構(gòu)還可以用于另外類型的場致發(fā)射元件。
會聚電極不僅可以由這種方法形成，而且也可以由下述其他方法形成例如在42％Ni-Fe合金構(gòu)成的厚度為幾十μm的金屬片的兩個表面上形成由例如SiO2構(gòu)成的絕緣膜，然后通過沖孔或蝕刻在與像素對應(yīng)的區(qū)域中形成開口部分。然后堆疊陰極面板、金屬片和陽極面板。將框架排列在這兩個面板的周邊部分上。執(zhí)行熱處理將金屬片一個表面上形成的絕緣膜連接在絕緣層12上，以及將金屬片另一個表面上形成的絕緣層連接在陽極面板上，由此以這些部件一體化。此后進(jìn)行排空和密封。由此可以完成顯示器件。
電子發(fā)射部分還可以由作為表面?zhèn)鲗?dǎo)型場致發(fā)射元件公知的場致發(fā)射元件形成。表面?zhèn)鲗?dǎo)型場致發(fā)射元件是通過在由例如玻璃制得的支座上以矩陣形式形成成對的對電極而制成，該對電極由導(dǎo)電材料如氧化錫(SnO2)、金(Au)、氧化銦(In2O3)/氧化錫(SnO2)、碳、氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，具有微小的面積，并且一對對電極以預(yù)定間隔(間隙)排列。形成碳薄膜使其延伸橫過對電極。將行方向上的布線或列方向上的布線(第一電極)與一對對電極之中一個電極連接，并且列方向上的布線或行方向上的布線(第二電極)與該對對電極之中另一個電極連接。當(dāng)從第一電極和第二電極對成對的對電極施加電壓時(shí)，對彼此相對并且之間具有間隙的碳薄膜施加了電場，因此從碳薄膜中發(fā)射電子。這種電子可以與陽極面板上的熒光區(qū)域沖撞，由此熒光區(qū)域被激發(fā)而發(fā)射光。因而，可以得到需要的圖像。可選擇地，電子發(fā)射源可以由金屬-絕緣體-金屬元件構(gòu)成。
本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，取決于設(shè)計(jì)需要和其他因素，只要在附帶的權(quán)利要求或其等價(jià)物的范圍之內(nèi)時(shí)，可以進(jìn)行各種變形、組合、次組合、替換。
權(quán)利要求
1.一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，用于所述平板顯示器件的所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，所述方法包括下述步驟在基底上形成格子狀阻擋肋之后，獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后、或者在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后、或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；其中將所述導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括將剝離部件連結(jié)到導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上，然后機(jī)械地剝掉剝離部件的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，還包括在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之前，在阻擋肋頂表面上和單元熒光區(qū)域上形成樹脂層的步驟，其中在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之后或在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，通過執(zhí)行熱處理去除掉樹脂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中剝離部件包括粘合層和粘結(jié)層之一、以及用于保持該粘合層和粘結(jié)層之一的保持膜；并且將剝離部件貼附在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上的方法，即是將形成剝離部件的粘合層和粘結(jié)層之一加壓連結(jié)在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上的方法。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中阻擋肋中包圍單元熒光區(qū)域的那部分的平面形狀大致為矩形；將樹脂層涂覆在阻擋肋頂表面和單元熒光區(qū)域上，使得該樹脂層與矩形的較短邊平行并且寬度比矩形的較長邊窄；以及沿著平行于矩形較長邊的方向?qū)冸x部件機(jī)械地剝離掉。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中陽極面板還包括與阻擋肋的形成同時(shí)形成的凸凹狀饋電部分；位于陽極面板最外周部分上的陽極單元通過饋電部分與陽極控制電路連接；在形成導(dǎo)電材料層的同時(shí)在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層；在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的同時(shí)，也將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中一個像素由紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域、和藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域形成。
7.一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中用于所述平板顯示器件的所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，所述方法包括下述步驟在基底上形成格子狀阻擋肋之后，獲得形成為從每個單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后、或者在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后、或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；其中將所述導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上涂覆蝕刻劑的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，還包括在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之前，在阻擋肋頂表面上和單元熒光區(qū)域上形成樹脂層的步驟，其中在整個表面上形成導(dǎo)電材料層之后或在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，通過執(zhí)行熱處理來去除掉樹脂層。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中陽極面板還包括與阻擋肋的形成同時(shí)形成的凸凹狀饋電部分；位于陽極面板最外周部分上的陽極單元通過饋電部分與陽極控制電路連接；在形成導(dǎo)電材料層的同時(shí)在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層；在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的同時(shí)，也將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中一個像素由紅光發(fā)射單元熒光區(qū)域、綠光發(fā)射單元熒光區(qū)域和藍(lán)光發(fā)射單元熒光區(qū)域形成。
11.一種平板顯示器件的制造方法，所述平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的，所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，所述陽極面板是通過包括下述步驟的所述方法制造的在基底上形成格子狀阻擋肋之后，獲得形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后、或者在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后、或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括將剝離部件連結(jié)到導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的部分上，然后機(jī)械地剝掉剝離部件的步驟。
12.一種平板顯示器件的制造方法，所述平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的，所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、以及(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層，該陽極面板是通過包括下述步驟的所述方法制造的在基底上形成格子狀阻擋肋之后，獲得形成為從備單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元，然后在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子狀阻擋肋之后、在基底中被阻擋肋包圍的部分上形成單元熒光區(qū)域之后、或者在將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；其中將所述導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上涂覆蝕刻劑的步驟。
13.一種用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中用于所述平板顯示器件的所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠郑龇椒òㄈ缦虏襟E在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?，然后在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層，接下來將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠种?、或者在將饋電部分?dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，還包括在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層之前，在饋電部分凸起部分上形成樹脂層的步驟，其中在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層之后、或者在將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，通過執(zhí)行熱處理將該樹脂層去除掉。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中將剝離部件貼附在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上，然后將該剝離部件機(jī)械地剝離掉，由此可以將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中剝離部件包括粘合層和粘結(jié)層之一、以及用于保持該粘合層和粘結(jié)層之一的保持膜；并且將剝離部件貼附在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上的方法，即，將形成剝離部件的粘合層和粘結(jié)層之一加壓連結(jié)在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上的方法。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于平板顯示器件的陽極面板的制造方法，其中通過在饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分上涂覆蝕刻劑，從而將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉。
18.一種平板顯示器件的制造方法，所述平板顯示器件是通過將陽極面板和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的，所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?，所述陽極面板是通過包括下述步驟的所述方法制造的在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠?，然后在饋電部分的整個表面上形成饋電部分導(dǎo)電材料層，接下來將饋電部分導(dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在基底上形成凹凸?fàn)铕侂姴糠种?、或者在將饋電部分?dǎo)電材料層中位于饋電部分凸起部分上的那部分去除掉之后，在饋電部分凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
19.一種用于平板顯示器件的陽極面板，所述面板包括(A)基底；(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域；(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋；(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元；(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層；以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?；其中饋電部分具有凹凸?fàn)睿陴侂姴糠值陌枷莶糠种行纬绅侂姴糠謱?dǎo)電材料層，以及在饋電部分的凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分中相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于平板顯示器件的陽極面板，其中一組陽極單元的平面形狀為矩形，并且饋電部分中凹陷部分的主要部分和饋電部分中凸起部分的主要部分基本上平行于矩形的邊延伸。
21.一種平板顯示器件，包括陽極面板，其中所述陽極面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多個單元熒光區(qū)域、(C)包圍各單元熒光區(qū)域的格子狀阻擋肋、(D)由導(dǎo)電材料層構(gòu)成并且形成為從各單元熒光區(qū)域上延伸到阻擋肋上的陽極單元、(E)用于使相鄰陽極單元彼此電連接的電阻層、以及(F)用于使位于陽極面板最外周部分上的陽極單元與陽極控制電路連接的凹凸?fàn)铕侂姴糠?；和具有多個電子發(fā)射元件的陰極面板；所述平板顯示器件是通過將陽極面板和陰極面板在該陽極面板和該陰極面板的周邊部分彼此接合起來而形成的；其中該饋電部分具有凹凸形狀，在饋電部分的凹陷部分中形成饋電部分導(dǎo)電材料層，以及在饋電部分的凸起部分上形成饋電部分電阻層，用于電連接位于饋電部分的相鄰凹陷部分中的饋電部分導(dǎo)電材料層。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的平板顯示器件，其中一組陽極單元的平面形狀為矩形，并且饋電部分中凹陷部分的主要部分和饋電部分中凸起部分的主要部分基本上平行于矩形的邊延伸。
全文摘要
本發(fā)明涉及平板顯示器件、其陽極面板、以及其各自的制造方法，具體公開了一種陽極面板的制造方法，該陽極面板包括基底、單元熒光區(qū)域、格子狀阻擋肋、陽極單元和用于使陽極單元彼此電連接的電阻層，該方法包括下述步驟通過在基底上形成阻擋肋和單元熒光區(qū)域，從而得到陽極單元，接下來在整個表面上形成導(dǎo)電材料層，然后將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉；然后形成電阻層；其中將導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分去除掉的步驟包括將剝離層貼附在導(dǎo)電材料層中位于阻擋肋頂表面上的那部分上，然后將該剝離層機(jī)械地剝離掉的步驟。
文檔編號H01J29/00GK1971808SQ20061017288
公開日2007年5月30日 申請日期2006年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月27日
發(fā)明者加藤芳光, 井口如信, 岡南聰, 波多野靖人, 本田敬二 申請人:索尼株式會社