專(zhuān)利名稱(chēng)：用于拉伸玻璃構(gòu)件、隔離件以及圖像顯示裝置的生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用熱拉伸方式生產(chǎn)拉伸玻璃構(gòu)件的方法，一種使用這種方式的用于圖像顯示裝置的隔離件的生產(chǎn)方法和一種使用這種方式的圖像顯示裝置生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
眾所周知，通過(guò)連續(xù)地將通過(guò)在加熱爐中加熱軟化的玻璃基體構(gòu)件的一端從加熱爐中拉出，并在利用驅(qū)動(dòng)輥或帶進(jìn)行拉伸的條件下冷卻，從而得到一種其截面形狀類(lèi)似于玻璃基材的截面形狀的拉伸玻璃構(gòu)件。這種工藝?yán)绫挥脕?lái)生產(chǎn)光纖基材或平板圖像顯示裝置中的隔離件。
其中，用于光纖的生產(chǎn)方法將被作為例子來(lái)進(jìn)行解釋。對(duì)光纖基材的連續(xù)拉伸在加熱爐中進(jìn)行，同時(shí)借助于諸如設(shè)置在加熱爐上部中的電子爐或者火焰燃燒器，在于加熱爐中拉伸的情況下，將另一光纖基材的下端與上述前一光纖基材的上端熔合。已知一種生產(chǎn)方法和生產(chǎn)設(shè)備，它們能夠以這種方式連續(xù)地拉伸多個(gè)基材(例如參見(jiàn)日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.平05-279067)。
然而，在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.平05-279067中公開(kāi)的玻璃基材互相熔合連接存在一個(gè)缺點(diǎn)，即在熔合部分附近的玻璃基材會(huì)顯示出變形，因而在基材中無(wú)法獲得均一的截面形狀。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，在拉伸操作期間，將玻璃基材相互熱接合起來(lái)，以便形成甚至是在熱接合部分都均一的基材截面形狀，因而以連續(xù)的方式獲得一種均一的和高精度的拉伸玻璃構(gòu)件。


圖1是使用本發(fā)明中的隔離件的圖像顯示裝置的示意圖；圖2是一個(gè)示意圖，示出了一個(gè)本發(fā)明中的拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法的實(shí)施例；圖3是一個(gè)示意圖，示出了實(shí)施本發(fā)明的玻璃基材和拉伸玻璃構(gòu)件的形狀；圖4是一個(gè)示意圖，示出了實(shí)施本發(fā)明的玻璃基材和拉伸玻璃構(gòu)件的形狀。
具體實(shí)施例方式
在第一方面，本發(fā)明提供了一種拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，包括加熱軟化和拉伸一個(gè)玻璃基材的一端的步驟和使前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合的步驟，其中在使得沿著前一或另一玻璃基材拉伸方向且包括熱接合部分的側(cè)平面變平整的同時(shí)，執(zhí)行將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
如較好的實(shí)施例所示，本發(fā)明中的拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法包括，在前一玻璃基材的一端被拉伸的步驟期間，執(zhí)行將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟；以及通過(guò)使用平整工具來(lái)對(duì)齊玻璃基材的端部，執(zhí)行將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
在第二方面，本發(fā)明還提供了一種生產(chǎn)用于圖像顯示裝置的隔離件的方法，該圖像顯示裝置包括具有多個(gè)電子發(fā)射器件的后板；與后板相對(duì)配置并帶有熒光體部件的前板，該熒光體部件通過(guò)來(lái)自電子發(fā)射器件發(fā)射的電子輻射而發(fā)光；在后板和前板周邊部分配置并與兩個(gè)板一起構(gòu)成氣密容器的框架部件；和在后板和前板之間配置用于保持兩個(gè)板之間距離的隔離件，其中的隔離件通過(guò)前面提及的本發(fā)明用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的拉伸玻璃構(gòu)件制成。
在第三方面，本發(fā)明還提供了一種圖像顯示裝置的生產(chǎn)方法，該圖像顯示裝置包括具有多個(gè)電子發(fā)射器件的后板；與后板相對(duì)配置并帶有熒光體部件的前板，該熒光體部件通過(guò)來(lái)自電子發(fā)射器件發(fā)射的電子輻射而發(fā)光；在后板和前板周邊部分配置并與兩個(gè)板一起構(gòu)成氣密容器的框架部件；和在后板和前板之間配置用于保持兩個(gè)板之間距離的隔離件，其中的隔離件通過(guò)前面提及的本發(fā)明用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的拉伸玻璃構(gòu)件制成。
根據(jù)本發(fā)明，在將前一玻璃基材與另一玻璃基材的熱接合過(guò)程中，有利地防止了由于基材在熱接合部分的變形造成基材的截面形狀變得不均勻，因而可在垂直于基材的拉伸方向的方向上保持不變的截面形狀。因此，可以實(shí)現(xiàn)從玻璃基材中拉伸出穩(wěn)定的相同的截面形狀，因而可用連續(xù)的方式獲得一種相同的和滿意的拉伸玻璃構(gòu)件。這種拉伸玻璃構(gòu)件也可用于生產(chǎn)隔離件，因而容易獲得一種高質(zhì)量的圖像顯示裝置。
本發(fā)明的發(fā)明人已經(jīng)注意到以下事實(shí)，在前面提及的現(xiàn)有技術(shù)中的玻璃基材的熱接合方法中，玻璃基材已經(jīng)由于其重量引發(fā)塑化變形，并且在玻璃基材的相互熔合中，一個(gè)玻璃基材對(duì)另一玻璃基材的壓靠破壞了玻璃基材的截面形狀的精度，因此才有了本發(fā)明。
本發(fā)明的拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法不僅適用于生產(chǎn)圖像顯示裝置的隔離件，還適用于生產(chǎn)例如一種光纖的基材。由于用于圖像顯示裝置的隔離件要求特別高的尺寸精度，可重現(xiàn)地在形狀上獲得正/負(fù)幾個(gè)微米精度的本發(fā)明的生產(chǎn)方法對(duì)用于生產(chǎn)這樣的圖像顯示裝置的隔離件是有利的。
下面，通過(guò)采用一種用于圖像顯示裝置中的隔離件的生產(chǎn)方法作為例子，詳細(xì)地闡明本發(fā)明。
圖1是一個(gè)圖像顯示裝置的示意圖，其中應(yīng)用了使用本發(fā)明中用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的隔離件。
參照?qǐng)D1所示裝置，后板1帶有由多個(gè)電子發(fā)射器件2形成的電子源，該電子源由多個(gè)行配線3和多個(gè)列配線4以矩陣結(jié)構(gòu)布線形成。
前板5還帶有熒光體部件6和金屬背7，構(gòu)成一個(gè)陽(yáng)極。
在這樣的圖像顯示裝置中，后板1的電子源根據(jù)圖像信號(hào)發(fā)射電子。電子通過(guò)金屬背7加速，形成在前板5上并獲得達(dá)1到20千伏的高壓，并輻射到熒光體部件6上，由此根據(jù)圖像信號(hào)顯示出圖像。已知的現(xiàn)有技術(shù)中，構(gòu)成電子源的電子發(fā)射器件2可通過(guò)場(chǎng)發(fā)射器件(FE)，MIM型的電子發(fā)射器件，或表面導(dǎo)電型電子發(fā)射器件來(lái)形成。
后板1和前板5通過(guò)密封膠與位于兩者之間的框架部件8粘附在一起，并由后板1、前板5和框架部件8形成一個(gè)氣密容器。
這樣的氣密容器的內(nèi)部保持10-4到10-6的真空度，在氣密容器中配置的多個(gè)隔離件9作為從其內(nèi)側(cè)支撐該氣密容器的結(jié)構(gòu)件，以抵抗加在該容器上的大氣壓。
下面，將參照?qǐng)D2來(lái)說(shuō)明生產(chǎn)圖像顯示裝置的隔離件的生產(chǎn)方法的一個(gè)具體實(shí)施例。
圖2顯示的是一個(gè)本發(fā)明中的拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法的較好的用于圖像顯示裝置的隔離件9中的拉伸玻璃構(gòu)件21通過(guò)拉伸玻璃基材10獲得。玻璃基材10可采用例如Sumita Kogaku公司生產(chǎn)的SK18玻璃材料。玻璃基材10被成型以使其在垂直于拉伸方向上的截面形狀與拉伸玻璃構(gòu)件21的截面形狀相類(lèi)似。
首先，被預(yù)先成型的玻璃基材11的一端由基材進(jìn)給裝置16a、16b支撐。玻璃基材11通過(guò)基材進(jìn)給裝置16a、16b逐漸地降低并在其端部被引導(dǎo)進(jìn)入包括有加熱器18a、18b的加熱爐17，因而玻璃基材11的這個(gè)端部被加熱和軟化到允許連續(xù)抽取和拉伸的溫度。這樣的加熱溫度適宜選擇在玻璃基材11的軟化溫度或之上。
玻璃基材11通過(guò)基材進(jìn)給裝置16a、16b進(jìn)入加熱爐的進(jìn)給率通常選擇為大約1到5mm/min。加熱爐17的內(nèi)部所設(shè)定的溫度依賴(lài)于玻璃基材11的類(lèi)型，其使得進(jìn)給進(jìn)入加熱爐17的玻璃基材11的端部具有l(wèi)ogη＝7.0-7.9泊的粘度?？紤]到拉伸的穩(wěn)定性，這個(gè)溫度最好也被控制在±0.1℃的精度范圍內(nèi)。
玻璃基材11的端部，在加熱爐17中以前述溫度加熱被軟化，懸垂并被拉伸成拉伸玻璃構(gòu)件21，其在拉伸狀態(tài)下從加熱爐17中被抽取進(jìn)入緊接著加熱爐17設(shè)置的管狀覆蓋物23。
覆蓋物23具有熱絕緣特性，并能在其中借助于加熱器22a、22b形成沿著拉伸方向逐漸降低的溫度梯度。舉例來(lái)說(shuō)，可以形成例如從玻璃基材11的軟化溫度T1到固化溫度T2或更低溫度的一個(gè)溫度梯度。拉伸玻璃構(gòu)件21在拉伸狀態(tài)下移動(dòng)進(jìn)入覆蓋物23并被冷卻到拉伸玻璃構(gòu)件21的固化溫度T2，于是完成了拉伸操作。
在覆蓋物23中冷卻到固化溫度并完成了拉伸操作的拉伸玻璃構(gòu)件21通過(guò)一對(duì)抽取輥24a、24b壓緊并抽取。
拉伸玻璃構(gòu)件21通過(guò)抽取輥24a、24b的抽取速度最好在1000到5000mm/min的范圍內(nèi)。例如為了確保在玻璃基材11和拉伸完成后的拉伸玻璃構(gòu)件21之間的截面形狀相似性，進(jìn)給速度和抽取速度的比率(抽取速度/進(jìn)給速度)最好也在例如200到2000的范圍內(nèi)。
經(jīng)過(guò)抽取輥24a、24b后的拉伸玻璃構(gòu)件21被圖中沒(méi)有示出的刀具切斷并被用于做隔離件9的基材。這種基材可直接被用作隔離件9(參看圖1)，但須經(jīng)過(guò)進(jìn)一步加工以形成隔離件9。
在這種拉伸過(guò)程中，玻璃基材11和玻璃基材10被熔合在一起。
在熔合操作中，平整器12a、12b被加熱器13a、13b加熱到使得玻璃基材10、11的端部的粘度為logη＝7.2-8.5泊的溫度?？紤]到熔合的穩(wěn)定性，這個(gè)溫度最好被控制在±0.1℃的精度范圍內(nèi)。特別地，平整器12a、12b最好也具有與玻璃基材10、11的外部尺寸一樣的內(nèi)部尺寸。從而受熱的平整器12a、12b與玻璃基材10、11的沿著玻璃基材11的拉伸方向并且包括待熔合部分的側(cè)平面相接觸，以便玻璃基材10、11的截面形狀不在被連接部分(被熔合部分)擴(kuò)展開(kāi)?；蛘?，最好在當(dāng)玻璃基材10、11包括被熔合部分在內(nèi)的側(cè)平面通過(guò)受熱的平整器12a、12b加壓時(shí)實(shí)施加熱。然后通過(guò)鄰接的基材進(jìn)給裝置15a、15b使玻璃基材10壓向玻璃基材11，由此玻璃基材10的一端被熔合連接到玻璃基材11的另一端。
平整器12a、12b最好用阻熱材料諸如碳，超硬的鋼或陶瓷材料形成。在這些材料中，在使用超硬的鋼或陶瓷材料形成平整器12a、12b的情形中，與基材形成接觸的部分最好用貴金屬或碳涂覆。
在熔合操作期間，在拉伸方向上平整器12a、12b以與基材進(jìn)給裝置16a、16b的進(jìn)給速度相同的速度移動(dòng)。完成熔合操作之后，平整器通過(guò)沒(méi)有圖示出的驅(qū)動(dòng)裝置在垂直于拉伸方向的方向上移動(dòng)，因而從基材10、11中釋放。平整器然后提升到在覆蓋物14的內(nèi)側(cè)預(yù)定的位置，等待下一次熔合操作。上述的操作重復(fù)以供應(yīng)基材使之能持續(xù)地拉伸。
為了防止平整器12a、12b在高溫狀態(tài)下的氧化，在其周?chē)酶采w物14覆蓋，并在其內(nèi)部填充有從氣體入口20導(dǎo)入的惰性氣體如氮?dú)?。必要的話，氮?dú)庖部蓮臍怏w出口19排出以便保持覆蓋物14的內(nèi)部壓力在安全狀態(tài)下。
通過(guò)上述步驟，用作隔離件9的基材的拉伸玻璃構(gòu)件21能以連續(xù)的方式被制成。在生產(chǎn)隔離件9(參照?qǐng)D1)中，拉伸玻璃構(gòu)件21可以經(jīng)過(guò)切割加工以調(diào)整尺寸，或接受在拉伸玻璃構(gòu)件21的表面涂上電阻膜的工藝。形成這種電阻膜的目的在于防止由于來(lái)自如圖1所示的圖像顯示裝置中的電子源發(fā)射的電子輻射而引起的隔離件9的表面充電。
在拉伸玻璃構(gòu)件21的表面，電阻膜能通過(guò)蒸發(fā)、濺射、CVD或等離子CVD形成，厚度從10μm到1.0μm，最好是從50到500納米，最好表面電阻從107至1014Ω/cm。
電阻膜可以由例如金屬氧化物形成，其中最好是氧化鉻，氧化鎳或氧化銅，因?yàn)檫@些氧化物具有相對(duì)低的二次電子發(fā)射率并且當(dāng)隔離件被電子撞擊時(shí)不容易被充電。除了金屬氧化物，碳也具有低的二次電子發(fā)射率，是一種優(yōu)選的材料。特別地，非晶態(tài)碳具有高的電阻，能夠容易控制隔離件的電阻使其在要求的值。至于其它的材料，鍺-過(guò)渡金屬合金的氮化物和鋁-過(guò)渡金屬的氮化物在實(shí)際中也容易被用到，并且可以通過(guò)調(diào)節(jié)過(guò)渡金屬的成分在從導(dǎo)體到絕緣體的寬范圍內(nèi)調(diào)節(jié)電阻。
由此，制備好的隔離件10被裝配到如圖1所示支承熒光體部件6和金屬背7的前板5上，或被裝配到支承電子源的后板上?？蚣懿考?配有諸如燒結(jié)玻璃或銦的密封劑。然后以使得所形成的氣密容器內(nèi)部具有前述真空度的方式，通過(guò)將平板5，框架部件8和后板1粘接在一起制備圖像顯示板。
如上所述，獲得的隔離件9具有可重現(xiàn)的滿意的外形。因此，在每一個(gè)單獨(dú)的隔離件9或在多個(gè)隔離件9之間，前板5和后板1之間高度的精度可高達(dá)在正/負(fù)幾個(gè)微米的范圍內(nèi)，并能防止圖像顯示表面的變形或隔離件9在容器密封時(shí)或密封后的彎曲或翻轉(zhuǎn)。在上述的圖像顯示板制備好后，安裝用于圖像顯示的驅(qū)動(dòng)電路以完成圖像顯示裝置。
(示例)(例1)在本例中，用于圖像顯示裝置的隔離件通過(guò)圖2中所示的方法生產(chǎn)。
應(yīng)用具有如圖3中所示形狀的玻璃構(gòu)件作為玻璃基材10，11，其形狀為長(zhǎng)邊a×短邊b＝49.23mm×6.15mm的矩形截面形狀，其長(zhǎng)度h＝600mm，軟化溫度是770℃，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度是640℃。
如圖2所示，玻璃基材10，11以長(zhǎng)度h的方向處于拉伸方向的方式被基材進(jìn)給裝置16a、16b和毗連的基材進(jìn)給裝置15a、15b支撐。玻璃基材10、11以5mm/min的速度下降，因而玻璃基材11的一端被引導(dǎo)進(jìn)入具有加熱器18a、18b的加熱爐17中，并且玻璃基材11的另一端和玻璃基材10的一端也被引導(dǎo)進(jìn)入覆蓋物14。加熱爐17的內(nèi)部溫度被控制在780℃(±0.1℃)，在這個(gè)溫度時(shí)玻璃基材11呈logη＝7.5泊的粘度，同時(shí)平整器12a，12b的溫度被控制在780℃(±0.1℃)，在這個(gè)溫度時(shí)玻璃基材11呈logη＝7.5泊的粘度。
平整器12a，12b具有與玻璃基材10，11的外部尺寸相同的內(nèi)部尺寸，并且如圖2所示與玻璃基材11沿其拉伸方向并且包括熔合部分的側(cè)平面相接觸。
引導(dǎo)進(jìn)入加熱爐17中的玻璃基材11的一端被軟化并在拉伸狀態(tài)下懸垂，因而拉伸玻璃構(gòu)件21穿過(guò)與加熱爐17相鄰設(shè)置的覆蓋物23。
覆蓋物23用不銹鋼制成，具有極好的熱絕緣性，與用于加熱爐17外壁的相同。覆蓋物23具有自加熱爐17下端算起的120mm長(zhǎng)度。
通過(guò)覆蓋物23后，已經(jīng)固化的拉伸玻璃構(gòu)件21通過(guò)一對(duì)抽取輥24a，24b被抽取，抽取速度為4733mm/min，比率(抽取速度/進(jìn)給速度)＝ca.947(大約947)。
進(jìn)行拉伸操作以使得拉伸玻璃構(gòu)件21具有長(zhǎng)邊a′×短邊b′＝1.6m×0.2mm的截面形狀，且在通過(guò)抽取輥24a，24b后制備10個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21。
在對(duì)這10個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件的尺寸精度的測(cè)量中，單個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21沿著長(zhǎng)度h′其長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸變動(dòng)為長(zhǎng)邊a′為±2μm，短邊b′為±1μm。
在這樣獲得的拉伸玻璃構(gòu)件21的表面上，由鎢和鍺的氮化物形成的電阻膜被形成為200納米的厚度。該電阻膜在氬氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w中通過(guò)使用W-Ge靶的反應(yīng)性濺射制得。在膜定型后鎢-鍺氮化物膜具有7.9×103Ω·m的比電阻。如圖1所示，在與行配線3和金屬背7相接觸的表面上也用濺射法形成Pt電極，從而完成了圖像顯示裝置的隔離件9。
如圖1所示，將隔離件9裝配到后板1的行配線3上，然后將框架部件8裝配到后板1上。
在銦作為密封劑涂覆在框架部件8上后，后板1和支承熒光體部件6和金屬背7的前板5被傳送到保持在10-6Pa真空度的真空室中。然后密封劑被加熱以便將前板1粘接到框架部件8上，從而獲得圖像顯示板。隨后，安裝用于圖像顯示的驅(qū)動(dòng)電路以便完成圖像顯示裝置。
本例所生產(chǎn)的圖像顯示裝置是高質(zhì)量的，不存在圖像顯示板變形并且不存在隔離件在密封操作時(shí)或密封后的彎曲或翻轉(zhuǎn)。
(例2)在本例中，用于圖像顯示裝置的隔離件通過(guò)圖2中所示的方法生產(chǎn)，正如例1中一樣。
應(yīng)用具有如圖4中所示形狀的玻璃構(gòu)件作為玻璃基材10，11，其形狀為長(zhǎng)邊a×短邊b＝49.23mm×6.15mm的矩形截面形狀，其長(zhǎng)度h＝600mm，軟化溫度是770℃，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度是640℃。玻璃基材10、11在其長(zhǎng)邊a的兩個(gè)表面上設(shè)有沿著長(zhǎng)度h方向延伸的多個(gè)節(jié)距P約為1mm的槽，因此長(zhǎng)邊a的兩個(gè)面是不規(guī)則的。
如圖2所示，玻璃基材10、11以長(zhǎng)度h的方向處于拉伸方向的方式被基材進(jìn)給裝置16a、16b和毗連的基材進(jìn)給裝置15a、15b支撐。玻璃基材10、11以5mm/min的速度下降，因而玻璃基材11的一端被引導(dǎo)進(jìn)入具有加熱器18a、18b的加熱爐17中，并且玻璃基材11的另一端和玻璃基材10的一端也被引導(dǎo)進(jìn)入覆蓋物14。加熱爐17的內(nèi)部溫度被控制在780℃(±0.1℃)，在這個(gè)溫度時(shí)玻璃基材11呈logη＝7.5泊的粘度，同時(shí)平整器12a，12b溫度被控制在780℃(±0.1℃)，在這個(gè)溫度時(shí)玻璃基材11呈logη＝7.5泊的粘度。
平整器12a、12b具有與玻璃基材10、11的外部尺寸相同的內(nèi)部尺寸，并且如圖2所示與玻璃基材11沿著其拉伸方向且包括熔合部分的側(cè)平面相接觸。
引導(dǎo)進(jìn)入加熱爐17中的玻璃基材11的一端被軟化并在拉伸狀態(tài)下懸垂，因而拉伸玻璃構(gòu)件21穿過(guò)與加熱爐17相鄰設(shè)置的覆蓋物23。
覆蓋物23用不銹鋼制成，具有極好的熱絕緣性，與用于加熱爐17外壁的相同。覆蓋物23具有從加熱爐17的下端算起的120mm的長(zhǎng)度。
通過(guò)覆蓋物23后，已經(jīng)固化的拉伸玻璃構(gòu)件21通過(guò)一對(duì)抽取輥24a，24b抽取，抽取速度為4733mm/min，比率(抽取速度/進(jìn)給速度)＝ca.947。
進(jìn)行拉伸操作以使得拉伸玻璃構(gòu)件21具有長(zhǎng)邊a′×短邊b′＝1.6m×0.2mm的截面形狀，且在通過(guò)抽取輥24a，24b后制備10個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21。
在這10個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件的尺寸精度的測(cè)量中，單個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21沿著長(zhǎng)度h′其長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸變動(dòng)為長(zhǎng)邊a′±2μm，短邊b′±1μm。
同時(shí)在每一個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21中，沿著長(zhǎng)度方向h′的槽節(jié)距p′的變動(dòng)為±0.1μm，平行槽之間的節(jié)距p′的變動(dòng)為±0.3μm。同時(shí)在10個(gè)拉伸玻璃構(gòu)件21中，長(zhǎng)邊a′的尺寸變動(dòng)為±4μm，短邊b′的尺寸變動(dòng)為±2μm，槽節(jié)距p′的變動(dòng)為±0.5μm。
在這樣獲得的拉伸玻璃構(gòu)件21的表面上，用鎢和鍺的氮化物生成的電阻膜被形成為200納米的厚度。該電阻膜在氬氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w中通過(guò)使用W-Ge靶的反應(yīng)性濺射制得。在膜定型后鎢-鍺氮化物膜具有7.9×103Ω·m的比電阻。如圖1所示，在與行配線3和金屬背7相接觸的表面上也用濺射法生成Pt電極，從而完成了圖像顯示裝置的隔離件9。
如圖1所示，將隔離件9裝配到后板1的行配線3上，然后將框架部件8裝配到后板1上。
在銦作為密封劑涂覆在框架部件8上后，后板1以及支承熒光體部件6和金屬背7的前板5被傳送到真空度保持為10-6Pa的真空室。然后密封劑被加熱以便將前板1粘接到框架部件8上，從而獲得圖像顯示板。隨后安裝用于圖像顯示的驅(qū)動(dòng)電路以便完成圖像顯示裝置。
正如例1中一樣，本例中所生產(chǎn)的圖像顯示裝置是高質(zhì)量的，不存在圖像顯示板變形并且不存在隔離件在密封操作時(shí)或密封后的彎曲或翻轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
1.一種用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，包括加熱軟化和拉伸一個(gè)玻璃基材的一端的步驟；和將上述的前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟；其中在迫使沿著前一或另一玻璃基材的拉伸方向并且包括熱接合部分的側(cè)平面變平整的同時(shí)，執(zhí)行上述將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，其中在前一玻璃基材的一端被拉伸的步驟期間，執(zhí)行上述將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，其中通過(guò)使用平整工具來(lái)對(duì)齊上述玻璃基材的端部，執(zhí)行上述將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，其中通過(guò)傳送力將另一玻璃基材加壓到前一玻璃基材上，執(zhí)行上述將前一玻璃基材的另一端與另一玻璃基材的一端熱接合在一起的步驟。
5.一種用于圖像顯示裝置的隔離件的生產(chǎn)方法，該圖像顯示裝置包括具有多個(gè)電子發(fā)射器件的后板；與所述后板相對(duì)配置并帶有熒光體部件的前板，該熒光體部件通過(guò)由所述電子發(fā)射器件發(fā)射的電子輻射而發(fā)光；在所述后板和前板的周邊部分配置并與所述兩個(gè)板一起構(gòu)成氣密容器的框架部件；以及在所述后板和前板之間配置用于保持所述兩個(gè)板之間距離的隔離件，其中通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的拉伸玻璃構(gòu)件被用作所述隔離件。
6.一種圖像顯示裝置的生產(chǎn)方法，該圖像顯示裝置包括具有多個(gè)電子發(fā)射器件的后板；與所述后板相對(duì)配置并帶有熒光體部件的前板，所述熒光體部件通過(guò)來(lái)自電子發(fā)射器件發(fā)射的電子輻射而發(fā)光；在所述后板和前板周邊部分配置并與所述兩個(gè)板一起構(gòu)成氣密容器的框架部件；以及在所述后板和前板之間配置用于保持所述兩個(gè)板之間距離的隔離件，其中所述隔離件通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)出來(lái)。
全文摘要
一種用于拉伸玻璃構(gòu)件的生產(chǎn)方法，其中在拉伸一個(gè)玻璃基體構(gòu)件的過(guò)程中，前一個(gè)玻璃基體構(gòu)件與另一玻璃基材熱接合在一起，同時(shí)迫使沿著前一或另一玻璃基材的拉伸方向并且包括熱接合部分的側(cè)平面變得平整，由此獲得玻璃基體構(gòu)件的側(cè)平面的平整接合結(jié)構(gòu)。
文檔編號(hào)H01J9/24GK1907894SQ20061010910
公開(kāi)日2007年2月7日 申請(qǐng)日期2006年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月1日
發(fā)明者奧川浩孝 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社