專利名稱：包括具有多層的多個(gè)電極線的交流放電顯示面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及放電顯示面板，更具體的說，涉及包括被介電層覆蓋的電極線的交流(AC)放電顯示面板。
背景技術(shù)：
通常，AC放電顯示面板，例如美國專利No.6,900,591中公開的等離子體顯示面板，包括被介電層覆蓋的電極線。美國專利No.5,541,618公開了一種驅(qū)動(dòng)AC放電顯示面板的方法。
每個(gè)電極線可以通過將透明電極線和不透明電極線結(jié)合形成，或者可以由不透明電極線形成。銦錫氧化物(ITO)常用于透明電極線。具有比透明電極線的那些更低的電阻和更低的耦合能力的不透明電極通常是金屬電極線。
當(dāng)制作AC放電顯示面板時(shí)，在等離子體顯示面板的熱處理期間不透明電極線的金屬粒子會(huì)擴(kuò)散以及移入介電層中。
因此，介電層的電導(dǎo)率增加，這可能會(huì)引起電介質(zhì)擊穿。另外，如果介電層的電導(dǎo)率增加，那么AC放電顯示面板的性能可能會(huì)退化。而且，放電顯示面板的變色和光的散射可能會(huì)使該面板的光學(xué)性能退化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種包括被介電層覆蓋的電極線的AC放電顯示面板，其可以防止電極線的導(dǎo)電粒子擴(kuò)散以及移入玻璃基板和介電層中。
本發(fā)明的另外的特征將在下面的描述中闡述，并且從該描述中將部分地變得明顯，或者可通過本發(fā)明的實(shí)施來獲知。
本發(fā)明公開了一種包括被介電層覆蓋的多個(gè)電極線的AC放電顯示面板。每個(gè)電極線包括多個(gè)層，其中中間層具有最小的電阻率，并且剩余的層具有沿遠(yuǎn)離該中間層的方向增加的電阻率。
本發(fā)明還公開了一種AC放電顯示面板，其包括被與第一基板相鄰的第一介電層覆蓋的X電極線和Y電極線對、和被與第二基板相鄰的第二介電層覆蓋的尋址電極線。該X電極線和Y電極線的每一個(gè)都包括多個(gè)層，中間層具有該多個(gè)層的最小的電阻率，并且剩余的層具有沿遠(yuǎn)離該中間層的方向增加的電阻率。
本發(fā)明還公開了一種包括被介電層保護(hù)的多個(gè)電極線的AC放電顯示面板，并且每個(gè)電極線具有包括中間層、第一最外層、和第二最外層的多個(gè)層。中間層具有該多個(gè)層的最小的電阻率，并且第一最外層和第二最外層具有該多個(gè)層的最高的電阻率。
應(yīng)當(dāng)理解，前面的總體描述和后面的詳細(xì)描述都是示例性的和解釋性的，并且旨在提供對所要求的本發(fā)明的進(jìn)一步解釋。


附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例，所包括的這些附圖用于提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解并被并入且構(gòu)成了該說明書的一部分，并連同描述一起用以解釋本發(fā)明的原理。
圖1是作為根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的AC放電顯示面板的實(shí)例的三電極表面放電等離子體顯示面板的分解透視圖。
圖2是圖1的AC等離子體顯示面板中的X電極線或Y電極線的一部分的放大圖。
圖3是從前玻璃基板觀察的圖1的AC等離子體顯示面板的正視圖。
圖4是在使用Ag濺射薄膜淀積法形成圖1的X和Y電極對的情況下薄膜的電阻率與氣體的氧含量比的關(guān)系曲線圖。
具體實(shí)施例方式
下文將參考示出本發(fā)明的實(shí)施例的附圖來更全面地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明可以體現(xiàn)為多種不同的形式，并且不應(yīng)被解釋為受限于此處所列的實(shí)施例。更確切地說，提供這些實(shí)施例以便該公開是詳盡的，并且將把本發(fā)明的范圍全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見，層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸可能被放大了。在附圖中類似的參考數(shù)字表示類似的元件。
應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)諸如層、膜、區(qū)域或基板之類的元件被稱為“在”另一元件“上”時(shí)，它可以直接在其他元件之上或者也可以存在插入的元件。相比之下，當(dāng)元件被稱為“直接在”另一元件“上”時(shí)，則不存在插入的元件。
圖1是作為根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的AC放電顯示面板的實(shí)例的三電極表面放電等離子體顯示面板的分解透視圖，圖2是圖1的顯示面板的X電極線或Y電極線的部分的放大圖，以及圖3是從前玻璃基板觀察的圖1的顯示面板的正視圖。
參考圖1、圖2和圖3，AC等離子體顯示面板包括前基板20和后基板10。前和后基板20和10可以由玻璃制成。尋址電極線11、前和后介電層23和12、X和Y電極線對30、磷光層15、障肋13、導(dǎo)電黑條紋29、和保護(hù)層24設(shè)置在前和后玻璃基板20和10之間。
尋址電極線11設(shè)置在后玻璃基板10上，并且被后介電層12覆蓋。障肋13設(shè)置在后介電層12上，并且它們限定了顯示單元的放電區(qū)域14，并防止了在相鄰單元之間產(chǎn)生串?dāng)_。磷光層15施加到顯示單元上。
X和Y電極線對30沿與尋址電極線11交叉的方向被設(shè)置在前基板20上。前介電層23覆蓋該X和Y電極線。
X電極線21和Y電極線22的每一個(gè)都包括多個(gè)開口。例如，一個(gè)X電極線21包括三個(gè)輔助電極線和在該三個(gè)輔助電極線之間的短路部分SH。當(dāng)一個(gè)輔助電極線的寬度WB在20μm～150μm之間的范圍內(nèi)時(shí)，短路部分SH的寬度WS可以按照下述確定0.2WB≤WS＜WB-------------------------------(1)導(dǎo)電黑條紋29設(shè)置在X和Y電極線對30之間并且與它們平行。保護(hù)層24可以設(shè)置在前介電層23上以保護(hù)面板免受強(qiáng)電場，該保護(hù)層24可以是氧化鎂(MgO)層。用于形成等離子體的氣體被密封在放電區(qū)域14中。
在每一X和Y電極線對30中，X電極線21和Y電極線22的每一個(gè)都包括多個(gè)層。該多個(gè)層的中間層具有最小的電阻率，最外層具有最高的電阻率，以及中間層和最外層之間的層具有增加的電阻率。例如，參考圖2的示例性實(shí)施例，X電極線21和Y電極線22的每一個(gè)包括多個(gè)層L1～L5。在這種情況下，中間層L 3具有最小的電阻率，第二和第四層L2和L4具有超過中間層L3的電阻率的電阻率，以及最外層L1和L5具有超過第二和第四層L2和L4的電阻率的電阻率。
例如，中間層L 3的電阻率可以在10-8～2×10-8Ω.cm的范圍內(nèi)，第二和第四層L2和L4的電阻率可以是大約60Ω.cm，以及第一和第五層L3和L5的電阻率可以是大約7×108Ω.cm。第三層L3比剩余層的總厚度還要厚。因此，X和Y電極線對30的平均電阻可以減小。
例如，當(dāng)該多層L1～L5的總厚度是T時(shí)，第一和第五層L1和L5的厚度可以分別是0.05T，第二和第四層L2和L4的厚度可以分別是0.1T，以及第三層L3的厚度可以是0.7T。該多層L1～L5的總厚度T可以在0.1～10μm的范圍內(nèi)。
第三層L3可以由具有低電阻率的導(dǎo)電材料形成，并且其他層可以由導(dǎo)電材料的氧化物形成。例如，第三層L3可以由金屬形成，并且其他層可以由該金屬的氧化物形成。在這種情況下，X電極線21、Y電極線22、和導(dǎo)電黑條紋29的第一層L1和前玻璃基板20之間的粘附力可以被加強(qiáng)。
第三層L 3可以由Ag、Pt、Pd、Ni、或Cu制成。在當(dāng)前實(shí)施例中，第三層L3包括Ag，第一和第五層L1和L5包括Ag2O，以及第二和第四層L2和L4包括AgO或Ag2O3。制作該多層L1～L5的方法將參考圖4來描述。
導(dǎo)電黑條紋29還可以包括多個(gè)層。該多層中的中間層具有最小的電阻率，并且離該中間層越遠(yuǎn)的層，其電阻率越大。
因此，該多層L1～L5中的金屬中間層L3外面的層分別在X電極線21、Y電極線22、和導(dǎo)電黑條紋29中具有更大的電阻率和更大的氧化耦合力。因此，具有小電阻率和小耦合力的層L3的導(dǎo)電粒子難以通過其他層擴(kuò)散以及移動(dòng)到前介電層23。
另外，由于該多層L1～L5的電阻率朝著中間層L3的方向降低，因此每個(gè)X和Y電極線對30的平均電阻可以減小。換句話說，該X和Y電極線對30的平均電導(dǎo)率可以增加。
因此，在保持X和Y電極線對30的電導(dǎo)率的同時(shí)可以防止導(dǎo)電粒子從X和Y電極線對30向前介電層23的滲入。另外，可以防止導(dǎo)電粒子從導(dǎo)電黑條紋29向前介電層23的擴(kuò)散和移動(dòng)。
圖4示出當(dāng)使用Ag濺射薄膜淀積法形成X和Y電極線對時(shí)層電阻率與氣體中的氧含量比的關(guān)系。用于淀積Ag濺射薄膜的氣體可以是包含O2和Ar的混合物。因此，氧含量比(％)是O2在O2和Ar的氣體混合物中所占的比率。
下面參考圖1、圖2和圖4來描述用于形成X和Y電極線對30的工藝。
在前基板20的一部分上，在氧含量比(％)是大約60～80％的氣氛下，第一層L1可以由Ag2O形成，其是穩(wěn)定結(jié)合的氧化銀。該第一層L1的電阻率是大約7×108Ω.cm。
另外，在第一層L1上，在氧含量比(％)是大約30％的氣氛下，第二層L2可以由AgO或Ag2O3形成，其是不穩(wěn)定形成的氧化銀。該第二層L2的電阻率是大約60Ω.cm。
接著，暫?？諝庹T發(fā)(air inducing)，并且在第二層L2上，第三層L3可以由Ag形成。該第三層L3的電阻率是大約10-8～2×10-8Ω.cm。
然后，氣體的氧含量比(％)增加到大約30％，并且在第三層L3上，第四層L4可以由AgO或Ag2O3形成，其是不穩(wěn)定結(jié)合的氧化銀。該第四層L4的電阻率是大約60Ω.cm。
接著，氣體的氧含量比增加到60～80％，并且在第四層L4上，第五層L5可以由Ag2O形成，其是穩(wěn)定結(jié)合的氧化銀。該第五層L5的電阻率是大約7×108Ω.cm。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的AC等離子體顯示面板，當(dāng)電極線中的多個(gè)層中的一層遠(yuǎn)離中間層時(shí)，該層的電阻率增加，由此該層的耦合力增加。因此，來自該層的具有小電阻率和小耦合力的導(dǎo)電粒子不能通過其他層擴(kuò)散以及移動(dòng)到介電層。
另外，當(dāng)該層接近中間層時(shí)，電阻率降低。因此，電極線的平均電阻可以減小。
因此，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，在保持電極線的高電導(dǎo)率的同時(shí)可以防止導(dǎo)電粒子從電極線向介電層的擴(kuò)散和移動(dòng)。
對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說顯然，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下可以在本發(fā)明中進(jìn)行多種修改和變型。由此，本發(fā)明旨在覆蓋本發(fā)明的各種修改和變型，只要它們落入附屬權(quán)利要求及其等價(jià)物的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種交流(AC)放電顯示面板，包括被介電層覆蓋的多個(gè)電極線，其中每個(gè)電極線包括多個(gè)層，其中中間層具有該多個(gè)層的最小的電阻率，以及剩余的層具有沿遠(yuǎn)離該中間層的方向增加的電阻率。
2.權(quán)利要求1的顯示面板，其中中間層比剩余的層的總厚度還要厚。
3.權(quán)利要求1的顯示面板，其中中間層包括導(dǎo)電材料，以及剩余的層包括該導(dǎo)電材料的氧化物。
4.權(quán)利要求3的顯示面板，其中中間層包括金屬，以及剩余的層包括該金屬的氧化物。
5.權(quán)利要求1的顯示面板，其中每個(gè)電極線順序地包括第一層、第二層、第三層、第四層、和第五層，第三層具有第一電阻率，第二層和第四層具有第二電阻率，其大于第一電阻率，以及第一層和第五層具有第三電阻率，其大于第二電阻率。
6.權(quán)利要求5的顯示面板，其中第三層包括Ag，以及第一層和第五層包括Ag2O。
7.一種交流(AC)放電顯示面板，包括被與第一基板相鄰的第一介電層覆蓋的X電極線和Y電極線對；和被與第二基板相鄰的第二介電層覆蓋的尋址電極線，其中該X電極線和Y電極線的每一個(gè)都包括多個(gè)層，在該多個(gè)層中中間層具有該多個(gè)層中的最小的電阻率，以及剩余的層具有沿遠(yuǎn)離該中間層的方向增加的電阻率。
8.權(quán)利要求7的顯示面板，其中X電極線和Y電極線基本上互相平行設(shè)置。
9.權(quán)利要求8的顯示面板，其中X電極線和Y電極線的每一個(gè)都包括多個(gè)層，并且該多個(gè)層的層具有沿從中間層到第一基板的方向增加的電阻率。
10.權(quán)利要求8的顯示面板，其中X電極線和Y電極線的每一個(gè)都包括多個(gè)層，并且該多個(gè)層的層具有沿從中間層到第一介電層的方向增加的電阻率。
11.權(quán)利要求9的顯示面板，其中X電極線和Y電極線的每一個(gè)都包括多個(gè)開口。
12.權(quán)利要求7的顯示面板，進(jìn)一步包括設(shè)置在X電極線和Y電極線對之間并且與它們基本平行的導(dǎo)電黑條紋，其中該導(dǎo)電黑條紋包括多個(gè)層，在該多個(gè)層中中間層具有該多個(gè)層中的最小的電阻率，以及剩余的層具有沿遠(yuǎn)離該中間層的方向增加的電阻率。
13.一種交流(AC)放電顯示面板，包括被介電層保護(hù)的多個(gè)電極線，其中每個(gè)電極線包括多個(gè)層，該多個(gè)層包括中間層、第一最外層、和第二最外層，以及其中中間層具有該多個(gè)層的最小的電阻率，以及第一最外層和第二最外層具有該多個(gè)層的最高的電阻率。
14.權(quán)利要求13的顯示面板，其中第一最外層和第二最外層具有相同的電阻率。
15.權(quán)利要求14的顯示面板，其中各層的電阻率沿從中間層到第一最外層的方向以及沿從中間層到第二最外層的方向增加。
16.權(quán)利要求15的顯示面板，其中中間層比所有其他層的總厚度還要厚。
17.權(quán)利要求13的顯示面板，其中中間層包括導(dǎo)電材料，以及第一最外層和第二最外層包括該導(dǎo)電材料的氧化物。
全文摘要
一種交流放電顯示面板，該顯示面板在多個(gè)介電層中包括多個(gè)電極線，每個(gè)電極線包括多個(gè)層，其中中間層具有最小的電阻率，以及其他層的電阻率隨著遠(yuǎn)離該中間層而變得更大。
文檔編號H01J11/24GK1885478SQ200610087899
公開日2006年12月27日 申請日期2006年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月25日
發(fā)明者金東賢 申請人:三星Sdi株式會(huì)社