專利名稱：等離子顯示屏前基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于等離子顯示屏平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種等離子顯示屏中前基板的制作方法。
背景技術(shù)：
近年來，作為大且薄的彩色圖像顯示裝置的表面放電式交流型等離子顯示面板(稱作PDP)已經(jīng)逐漸成為家用普及型消費品。
由于要保證像素開口率和使放電著火電壓最低，這種三電極表面放電的彩色交流等離子顯示屏在放電時對透明電極ITO薄膜層有所依賴，可是濺射透明電極ITO薄膜這種透過率好且導(dǎo)電的薄膜層成本較高。
為了不影響像素開口率和保證放電著火電壓最低，就要使匯流bus電極滿足一定的寬度，同時也要使匯流bus電極的x電極和y電極達到最佳的距離，但目前由于感光性匯流bus電極的材料極限造成了工藝的局限是當(dāng)前最大的難題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種等離子顯示屏前基板的制作方法，該方法在保證像素開口率和放電著火電壓最低的條件下，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于使用透明電極ITO薄膜造成成本較高的問題。
本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是，等離子顯示屏前基板的制作方法，按以下步驟進行
首先將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板上；再用光刻法在已有電極圖形的前玻璃基板上制作黑條；最后在制作好黑條的匯流電極圖形上涂敷介質(zhì)層和蒸鍍保護層；所述將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板上包括以下步驟當(dāng)采用有孔匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了有孔匯流電極圖形的母版A曝光，然后顯影、燒成；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了有孔匯流電極圖形的母版B曝光，然后顯影、燒成，即完成完整的匯流電極制作；或采用T形匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了T形匯流電極圖形的母版C曝光，然后顯影、燒成；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了T形匯流電極圖形的母版D曝光，然后顯影、燒成，即完成完整的匯流電極制作。
本發(fā)明的特點還在于母版A的電極圖形組成為矩形的有孔匯流x電級圖形和鋸齒形有孔匯流y電級圖形，有孔匯流x電級與有孔匯流y電級的間距為ha，所述母版B的電極圖形組成為矩形的有孔匯流y電級圖形和鋸齒形有孔匯流x電級圖形，有孔匯流y電級與有孔匯流x電級的間距為hb，ha與hb相等，取值為80um～160um。
母版C的電極圖形組成為矩形的x電級圖形和T形y電級圖形，矩形的x電級和T形y電級的間距為ha，所述母版D的電極圖形組成為矩形的y電級圖形和T形x電級圖形，矩形的y電級和T形x電級的間距為hb，ha與hb相等，取值為80um～160um。
本發(fā)明的方法不改變?nèi)姌O表面放電彩色交流等離子體顯示屏的放電原理，不影響像素開口率和保證放電著火電壓最低的情況下，省略透明ITO電極，采用有孔匯流bus電極或T形電極，將有孔bus電極或T形電極用兩塊母版分步光刻的方法形成，使電極圖形為兩次光刻所形成圖形的疊加，可控制x電極和y電極之間的寬度，也可以控制x電極和y電極的孔徑大小。避開了材料極限所造成的工藝局限，保證了像素的開口率，降低了著火電壓，降低了成本。


圖1是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的部分截面圖；圖2是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極的部分平面圖；圖3是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版A的部分平面圖；圖4是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版B的部分平面圖；圖5是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極的部分平面圖；圖6是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極被分解后母版C的部分平面圖；圖7是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極被分解后母版D的部分平面圖；
圖8是本發(fā)明采用有孔匯流電極制作過程中基板與母版對位方法示意圖，其中，a是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后的母版A，b是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版A曝光、顯影后的圖形，c是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后的母版B，d是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后經(jīng)兩次光刻后的圖形。
圖中，01.一個像素，30.前玻璃基板，32.有孔匯流x電極，33.有孔匯流y電極，34.黑條，35.介質(zhì)層，36.保護膜，42.T形x電極，43.T形y電極，321A.A母版的部分x電級圖形，331A.A母版的部分y電級圖形，322B.B母版的部分x電級圖形，332B.B母版的部分y電級圖形，421C.C母版的部分x電級圖形，431C.C母版的部分y電級圖形，422D.D母版的部分x電級圖形，432D.D母版的部分y電級圖形。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明進行詳細說明。
本發(fā)明的等離子顯示屏前基板的制作方法，按以下步驟進行首先，省略透明電極，采用有孔匯流電極或T形匯流電極，將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板30上；當(dāng)采用有孔匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板30清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了匯流電極圖形的母版A曝光，然后顯影、燒成，母版A的電極圖形組成為矩形的有孔匯流x電級321A圖形和鋸齒形有孔匯流y電級331A圖形，有孔匯流x電級321A與有孔匯流y電級331A的間距為ha；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板30再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了匯流電極圖形的母版B曝光，然后顯影、燒成，母版B的電極圖形組成為矩形的有孔匯流y電級332B圖形和鋸齒形有孔匯流x電級322B圖形，有孔匯流y電級332B與有孔匯流x電級322B的間距為hb，控制ha與hb相等，取值為80um～160um，即完成完整的匯流電極制作；或采用T形匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板30清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了匯流電極圖形的母版C曝光，然后顯影、燒成，母版C的電極圖形組成為矩形的x電級421C圖形和T形y電級431C圖形，矩形的x電級421C和T形y電級431C的間距為ha；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板30再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了匯流電極圖形的母版D曝光，然后顯影、燒成，母版D的電極圖形組成為矩形的y電級432D圖形和T形x電級422D圖形，矩形的y電級432D和T形x電級422D的間距為hb，即完成完整的匯流電極制作，控制ha與hb相等，取值為80um～160um；再用光刻法在已有電極圖形的前玻璃基板30上制作黑條34；最后在制作好黑條34的匯流電極圖形上涂敷介質(zhì)層35和蒸鍍保護層36，即完成前基板的制作。
圖1顯示的本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的部分截面圖。在前玻璃基板30上設(shè)置有多對有孔匯流x電極32和y電極33以及黑條34，有孔匯流x電極32由利用A母版光刻的部分x電極圖形321A和利用B母版光刻的部分x電極圖形322B疊加而成，有孔匯流y電極33由利用A母版光刻的部分x電極圖形331A和利用B母版光刻的部分x電極圖形332B疊加而成。
圖2是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極的部分平面圖。一個像素01包括有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33，有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33的間距為h。
圖3是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版A的部分平面圖。A母版圖形包括部分y電級圖形和部分x電級圖形，標注的321A和331A為露光部分，A母版的部分x電級圖形321A與A母版的部分y電級圖形331A之間的間距為ha。
圖4是本發(fā)明前基板采用有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版B的部分平面圖。B母版圖形包括部分y電級圖形和部分x電級圖形，B母版的部分x電級圖形322B與B母版的部分y電級圖形332B之間的間距為hb。
本發(fā)明將有孔匯流bus電極圖形采用兩次光刻所形成疊加圖形的方法，其目的是可以控制匯流bus電極的x電極32和y電極33之間的寬度，也可以控制有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33的孔徑大小。通過改變有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33的寬度h，也就是控制ha和hb的寬度，ha為A母版的部分x電級圖形321A與A母版的部分y電級圖形331A之間的間距，hb為B母版的部分x電級圖形322B與B母版的部分y電級圖形332B之間的間距，ha和hb根據(jù)所作屏的分辨率不同而等間距變化，ha和hb保持相等，若增加x電極32和y電極33的寬度h，就要增加A母版的部分x電級圖形321A和A母版的部分y電級圖形331A的距離ha，同時增加B母版的部分x電級圖形322B和B母版的部分y電級圖形332B的距離hb；若增加x電極32和y電極33的孔徑大小且保證h不變，也要增加A母版的部分x電級圖形321A和A母版的部分y電級圖形331A的距離ha，同時增加B母版的部分x電級圖形322B和B母版的部分y電級圖形332B的距離hb。ha和hb同時也受到h的制約，h由帕邢定律取得最佳值，也就是以XGA為例實驗結(jié)論ha和hb的取值為80um～160um。
該方法避開了材料極限所造成的工藝局限，也就是說利用分步光刻的方法可以使有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33的孔徑大小、有孔匯流x電極32和有孔匯流y電極33的寬度h達到20um～80um區(qū)間的任意數(shù)值。保證了像素的開口率，降低了著火電壓，降低了成本。
圖5是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極的部分平面圖。包括T形x電極42和T形y電極43。
圖6是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極被分解后母版C的部分平面圖。母版C圖形包括C母版的部分x電級圖形421C和C母版的部分y電級圖形431C。
圖7是本發(fā)明前基板采用T形匯流電極的x電極和y電極被分解后母版D的部分平面圖。母版D圖形包括D母版的部分x電級圖形422D和D母版的部分y電級圖形432D。
T形匯流電極與有孔匯流電極制作方法相同，只是母版A和母版B為有孔匯流電極圖形，母版C和母版D為T形匯流電極圖形。
圖8是本發(fā)明采用有孔匯流電極制作過程中基板與母版對位方法示意圖。a是一對有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后的母版A，空心十字為母版上的對位標記，圖形部分如圖3所示，空心十字部分是露光的，也就是在曝光時光可以從此通過，照射在前玻璃基板30上的感光性匯流BUS電極的銀漿料表面，使其固化。將此曝光后的基板顯影后，形成與母版A對應(yīng)的匯流BUS圖形，同時在基板的四角上形成如圖8b所示的實心十字對位標記，再經(jīng)過燒成工序，為第二次用母版B曝光時對位做準備。
b是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后母版A曝光、顯影后的第一次光刻后一對不完整匯流電極的一部分圖形，其中四角的實心十字為基板上的對位標記。
c是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后的母版B，將圖8b基板表面再印刷一層感光性的銀漿料，保證基板圖8b四角的十字對位標記裸露，將基板干燥后，用母版B的c圖形曝光，此時曝光機的CCD對位系統(tǒng)會經(jīng)過母版B的空心十字對位標記尋找基板上的實心十字對位標，尋找完成后會自動補償，精確對位后開始曝光，光線經(jīng)過如圖4所示的露光部位322B、332B照射在圖8b基板表面印刷的一層感光性的銀漿料上，顯影、燒成后，兩次光刻形成的圖形按照工藝參數(shù)準確的重疊在一起，形成所要的匯流BUS圖形，如圖8d所示。
d是有孔匯流電極的x電極和y電極被分解后經(jīng)兩次光刻后一對完整匯流電極的圖形。也就是圖4所示的匯流BUS電極圖形。
若制作的母版為中心對稱圖形，則母版A與母版B用一塊即可，例如用A母版，第一次光刻，那么在第二次光刻時將母版A順時鐘旋轉(zhuǎn)180度角曝光即可。
權(quán)利要求
1.等離子顯示屏前基板的制作方法，其特征在于，該方法按以下步驟進行首先將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板上；再用光刻法在已有電極圖形的前玻璃基板上制作黑條；最后在制作好黑條的匯流電極圖形上涂敷介質(zhì)層和蒸鍍保護層；所述將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板上包括以下步驟當(dāng)采用有孔匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了有孔匯流電極圖形的母版(A)曝光，然后顯影、燒成；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了有孔匯流電極圖形的母版(B)曝光，然后顯影、燒成，即完成完整的匯流電極制作；或采用T形匯流電極時首先將經(jīng)退火處理的前玻璃基板清洗后印刷感光性漿料，干燥，用被分解了T形匯流電極圖形的母版(C)曝光，然后顯影、燒成；將經(jīng)上述處理后有部分匯流電極圖形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性漿料，干燥，用被分解了T形匯流電極圖形的母版(D)曝光，然后顯影、燒成，即完成完整的匯流電極制作。
2.按照權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述母版(A)的電極圖形組成為矩形的有孔匯流x電級圖形和距齒形有孔匯流y電級圖形，有孔匯流x電級與有孔匯流y電級的間距為ha，所述母版(B)的電極圖形組成為矩形的有孔匯流y電級圖形和距齒形有孔匯流x電級圖形，有孔匯流y電級與有孔匯流x電級的間距為hb，ha與hb相等，取值為80um～160um。
3.按照權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述母版(C)的電極圖形組成為矩形的x電級圖形和T形y電級圖形，矩形的x電級和T形y電級的間距為ha，所述母版(D)的電極圖形組成為矩形的y電級圖形和T形x電級圖形，矩形的y電級和T形x電級的間距為hb，ha與hb相等，取值為80um～160um。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種等離子顯示屏前基板的制作方法，該方法包括將有孔匯流電極或T形匯流電極的電極圖形光刻在前玻璃基板上、用光刻法在已有電極圖形的前玻璃基板上制作黑條、在制作好黑條的匯流電極圖形上涂敷介質(zhì)層和蒸鍍保護層，本發(fā)明的特點在于，分別用兩塊母版將有孔匯流電極或T形匯流電極圖形光刻在前玻璃基板上來完成匯流電極的制作。本發(fā)明的方法省略了透明ITO電極，通過控制x電極和y電極之間的寬度或孔徑大小，保證了像素的開口率，降低了著火電壓，降低了成本。
文檔編號H01J9/02GK1870205SQ20061004305
公開日2006年11月29日 申請日期2006年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月29日
發(fā)明者劉君民 申請人:彩虹集團電子股份有限公司