專利名稱：等離子體顯示面板的隔壁形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示面板(PDP)的隔壁形成方法，更具體地 說，涉及主要應(yīng)用于AC驅(qū)動(dòng)型的3電極面放電型PDP的隔壁形成方 法。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的PDP，已知有AC驅(qū)動(dòng)型的3電極面放電型PDP。關(guān) 于該P(yáng)DP，在一個(gè)基板(例如前面?zhèn)然蝻@示面?zhèn)鹊幕?的內(nèi)面沿水 平方向設(shè)置有多個(gè)能夠進(jìn)行面放電的顯示電極，在另一個(gè)基板(例如 背面?zhèn)鹊幕?的內(nèi)面在與顯示電極交叉的方向設(shè)置多個(gè)發(fā)光單元選 擇用的尋址電極，將顯示電極與尋址電極的交叉部作為一個(gè)單元(單 位發(fā)光區(qū)域)。1個(gè)像素由紅色(R)單元、綠色(G)單元、藍(lán)色(B) 單元這3個(gè)單元構(gòu)成。前面?zhèn)鹊幕宓娘@示電極被電介質(zhì)層覆蓋。背面?zhèn)鹊幕宓膶ぶ?電極也被電介質(zhì)層覆蓋，在尋址電極與尋址電極之間形成有隔壁，在R 單元、G單元、B單元的各對(duì)應(yīng)區(qū)域的隔壁之間，分別形成有R用、G 用、B用的熒光體層。PDP是通過使這樣制作的前面?zhèn)鹊幕迮c背面?zhèn)鹊幕逑鄬?duì)并將 其周邊密封后、向其內(nèi)部封入放電氣體而制造(參照專利文獻(xiàn)l)。就上述PDP的隔壁形成方法而言，己知有下述方法。第一方法是 在基板上形成電極屏蔽層(電解質(zhì)的燒制膜等)，在其上面涂敷低融點(diǎn) 玻璃膏后使之干燥而形成隔壁材料層，利用噴沙法切削該隔壁材料層 而形成隔壁的方法。第二方法是直接利用噴沙器切削玻璃基板而形成 隔壁的方法。上述第一方法雖然有量產(chǎn)的實(shí)際成果，但是存在下述問題。艮P， 由于廢棄隔壁材料的一半以上，所以制造成本變高。并且，由于對(duì)利 用噴沙法形成的干燥膜進(jìn)行燒制，所以由隔壁的燒制收縮而導(dǎo)致隔壁的長邊方向的端部跳起，在與相對(duì)基板之間形成間隙，這成為伴隨著 面板的振動(dòng)的異音發(fā)生的原因。進(jìn)一步，由于使用低融點(diǎn)玻璃膏，所 以如果在膏中混入有異物等，則就會(huì)發(fā)生隔壁缺損、在隔壁上形成凸 部等問題。上述第二方法因?yàn)椴恍枰鳛楦舯诓牧系牡腿邳c(diǎn)玻璃膏，有望降 低材料費(fèi)，所以正在對(duì)其進(jìn)行開發(fā)。但是，存在以下問題。即，因?yàn)?在隔壁形成后形成尋址電極，所以難以形成尋址電極。當(dāng)形成不僅具 有豎方向的隔壁而且具有橫方向的隔壁的所謂箱形狀的隔壁時(shí)，必須 不是在橫方向的隔壁中設(shè)置貫通孔，就是以越過橫方向的隔壁的方式 設(shè)置尋址電極，所以從可靠性的觀點(diǎn)看，在現(xiàn)階段非常難以應(yīng)用。專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-303542號(hào)公報(bào) 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是考慮上述問題而完成的，是通過使用玻璃片形成隔壁從 而使隔壁的形成成本降低，使隔壁和電極的形成變得容易的方法。本發(fā)明是在基板上通過燒制形成成為電介質(zhì)層的干燥膜，在該干 燥膜上固定具有與想要形成的隔壁的高度相當(dāng)?shù)暮穸鹊牟Ａ?，在?玻璃片上設(shè)置與隔壁形狀對(duì)應(yīng)的抗蝕劑圖案，通過利用噴沙法切削不 需要部分的玻璃片，使玻璃片形成為隔壁形狀，并通過在基板和玻璃 片的軟化點(diǎn)以下的溫度燒制干燥膜，利用作為燒制干燥膜的電介質(zhì)層 固定基板與玻璃片而構(gòu)成的等離子體顯示面板的隔壁形成方法。根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)槭褂貌Ａ鳛楦舯冢詻]有由隔壁的燒制 收縮而引起的隔壁端部的跳起等，不會(huì)發(fā)生因面板振動(dòng)而導(dǎo)致的異音 發(fā)生等的問題。進(jìn)一歩，因?yàn)椴Ａ嬖獠粍?dòng)地成為隔壁頂部，所 以能夠得到平滑性高的隔壁頂部，容易保持與相對(duì)基板的貼緊性。其 結(jié)果是難以發(fā)生與鄰接單元的串?dāng)_(crosstalk),能夠得到充分的面板 可靠性。并且，因?yàn)椴恍枰腿邳c(diǎn)玻璃膏，所以能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度的成 本消減。另外，即使對(duì)于直接切削基板而形成隔壁時(shí)的最大的課題， 例如形成箱型那樣的封閉體系隔壁的情況，也能夠通過在形成干燥膜 之前預(yù)先在基板上形成電極，從而使電極的形成變得容易。


圖1是表示本發(fā)明的PDP的結(jié)構(gòu)的說明圖。 圖2是表示隔壁的形成方法的說明圖。 圖3是表示隔壁的形成方法的說明圖。符號(hào)的說明 10 PDP1前面?zhèn)鹊幕?2透明電極 13總線電極 17電介質(zhì)層 18保護(hù)膜 21背面?zhèn)鹊幕?24電介質(zhì)層28R、 28G、 28B熒光體層29隔壁30放電空間31電介質(zhì)材料的干燥膜32玻璃片33干膜抗蝕劑的隔壁圖案A尋址電極G負(fù)載L顯示線X， Y顯示電極具體實(shí)施方式
在本發(fā)明中，首先在基板上形成成為電介質(zhì)層的干燥膜。就基板 而言，包含玻璃、石英、陶瓷等的基板，以及在這些基板上形成有電 極等所希望的構(gòu)成物的基板。成為電介質(zhì)層的干燥膜例如能夠通過利用絲網(wǎng)印刷法或膏涂敷 (paste coat)法等公知的方法在基板上涂敷低融點(diǎn)玻璃膏并使之干燥而形成。低融點(diǎn)玻璃膏能夠利用在本領(lǐng)域公知的各種膏材料形成。但 是，在本發(fā)明中，干燥膜優(yōu)選由在干燥后含有能夠使其具有與玻璃片的粘著性和耐噴砂(sandblast)性的量的樹脂的材料形成?；蛘撸稍锬ひ部梢酝ㄟ^將含有能夠使其具有與玻璃片的粘著性和耐噴砂性的量的樹脂的預(yù)先制作的粘著片粘貼在基板上而形成。 也可以將含有能夠使其具有與玻璃片的粘著性和耐噴砂性的量的樹脂的粘著劑噴射在干燥膜上。由此，能夠使其具有與玻璃片的粘著性。在本發(fā)明中，接著，將具有與想要形成的隔壁的高度相當(dāng)?shù)暮穸?的玻璃片固定在干燥膜上。玻璃片能夠適用于使用在該領(lǐng)域公知的各 種材料形成的玻璃。例如能夠適用于硼硅酸玻璃，以及一般作為窗玻 璃而使用的鈉鈣玻璃(soda-lime glass)等。關(guān)于該玻璃片，也可以使用有色玻璃片。此外，也可以在玻璃片 上設(shè)置抗蝕劑圖案之前，進(jìn)一步設(shè)置在玻璃片上涂敷黑色膏井使之干 燥的工序。在本發(fā)明中，接著在玻璃片上設(shè)置與隔壁形狀對(duì)應(yīng)的抗蝕劑圖案， 通過利用噴沙法切削不需要部分的玻璃片，從而使玻璃片形成為隔壁 形狀。關(guān)于抗蝕劑圖案，既可以通過使用干膜抗蝕劑，利用光刻法的手 法進(jìn)行曝光、顯影，來形成隔壁的抗蝕劑圖案，也可以涂敷液體狀的 抗蝕劑，干燥后進(jìn)行曝光、顯影，由此形成隔壁的抗蝕劑圖案。在本發(fā)明中，接著，通過在基板和玻璃片的軟化點(diǎn)以下的溫度燒 制千燥膜，利用作為燒制干燥膜的電解質(zhì)層固定基板和玻璃片。能夠 使用在該領(lǐng)域公知的燒制爐來進(jìn)行燒制。在燒制該干燥膜時(shí)，也可以進(jìn)一步設(shè)置將玻璃片按壓在基板側(cè)， 使基板與玻璃片的粘合性提高的工序。下面，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)敘述。此外， 本發(fā)明并不受此限制，能夠進(jìn)行各種變形。圖1 (a)和圖1 (b)是表示本發(fā)明的PDP的結(jié)構(gòu)的說明圖。圖1 (a)是整體圖，圖1 (b)是部分分解立體圖。該P(yáng)DP是彩色顯示用 的AC驅(qū)動(dòng)型的3電極面放電型PDP。本PDPIO由前面?zhèn)鹊幕?1和背面?zhèn)鹊幕?1構(gòu)成。作為前面 側(cè)的基板11和背面?zhèn)鹊幕?1，能夠使用玻璃基板、石英基板、陶瓷 基板等。在前面?zhèn)鹊幕?1的內(nèi)側(cè)面，沿水平方向等間隔地配置有顯示電 極X和顯示電極Y。鄰接的顯示電極X和顯示電極Y之間全部成為顯 示線L。各顯示電極X、 Y由ITO、 Sn02等寬幅的透明電極12，和例 如由Ag、 Au、 Al、 Cu、 Cr以及它們的疊層體(例如Cr/Cu/Cr的疊層 結(jié)構(gòu))等構(gòu)成的金屬制的窄幅的總線電極13所構(gòu)成。對(duì)于Ag、 Au， 使用絲網(wǎng)印刷那樣的厚膜形成技術(shù)，對(duì)于其他的，使用蒸鍍法、濺射 法等薄膜形成技術(shù)和蝕刻技術(shù)，由此能夠以所希望的根數(shù)、厚度、寬 度和間隔形成顯示電極X、 Y。另外，在本PDP中，顯示電極X和顯示電極Y被等間隔地配置， 鄰接的顯示電極X和顯示電極Y之間全部成為顯示線L，即成為所謂 的ALIS結(jié)構(gòu)的PDP，但是即使是成對(duì)的顯示電極X、 Y隔著不發(fā)生放 電的間隔(非放電間隙)配置的結(jié)構(gòu)的PDP，也能夠適用本發(fā)明的隔 壁形成方法。在顯示電極X、 Y的上面以覆蓋顯示電極X、 Y的方式形成有交 流(AC)驅(qū)動(dòng)用的電介質(zhì)層17。電介質(zhì)層17通過利用絲網(wǎng)印刷法將 低融點(diǎn)玻璃膏涂敷在前面?zhèn)鹊幕?1上后燒制而成。電介質(zhì)層17也 可以通過以等離子體CVD法形成SiO;j膜而形成。在電介質(zhì)層17的上面形成有用于保護(hù)電介質(zhì)層17的保護(hù)膜18， 以免受到因顯示時(shí)的放電產(chǎn)生的粒子的沖撞導(dǎo)致?lián)p傷。該保護(hù)膜以 MgO等形成。保護(hù)膜能夠通過電子束蒸鍍法、濺射法這樣的在本領(lǐng)域 公知的薄膜形成工藝而形成。在背面?zhèn)鹊幕?1的內(nèi)側(cè)面，從平面看在與顯示電極X、 Y交叉 的方向形成有多個(gè)尋址電極A，覆蓋該尋址電極A形成有電介質(zhì)層24。 尋址電極A是用于在與顯示電極Y的交叉部使選擇發(fā)光單元的尋址放 電發(fā)生的電極，以Cr/Cu/Cr的3層結(jié)構(gòu)形成。該尋址電極A除此之外 也能夠利用例如Ag、 Au、 Al、 Cu、 Cr等形成。尋址電極A也與顯示 電極X、 Y—樣，對(duì)于Ag、 Au使用絲網(wǎng)印刷那樣的厚膜形成技術(shù)， 對(duì)于其他的使用蒸鍍法、濺射法等薄膜形成技術(shù)和蝕刻技術(shù)，從而能夠以所希望的根數(shù)、厚度、寬度、和間隔形成。電介質(zhì)層24在形成隔 壁吋作為電極屏蔽層起作用。在鄰接的尋址電極A和尋址電極A之間的電介質(zhì)層24上形成有 多個(gè)細(xì)條(stripe)狀的隔壁29。隔壁29的形狀不受此限制，也可以 是將放電空間區(qū)劃成各個(gè)單元的網(wǎng)眼狀(箱狀)。隔壁29也能夠使用 玻璃片通過噴砂法形成。關(guān)于該隔壁的形成方法在后面敘述。在隔壁29的側(cè)面和隔壁之間的電介質(zhì)層24上，形成有紅(R)、 綠(G)、藍(lán)(B)的熒光體層28R、 28G、 2犯。熒光體層28R、 28G、 28B，是將包含熒光體粉末、粘合劑(binder)樹脂和溶劑的熒光體膏 通過使用絲網(wǎng)印刷或者分配器(dispenser)的方法等涂敷在隔壁29間 的凹槽狀的放電空間內(nèi)，將該操作按照每一種顏色重復(fù)進(jìn)行后，經(jīng)過 燒制而形成。該熒光體層28R、 28G、 28B，也能夠使用包含熒光體粉 末、感光性材料和粘合劑樹脂的片狀的熒光體層材料(所謂的生片 (green sheet)),通過光刻技術(shù)形成。在這種情況下，將所希望的顏色 的薄片粘貼在基板上的全部顯示區(qū)域，進(jìn)行曝光、顯影，通過將該操 作按照每一種顏色重復(fù)進(jìn)行，從而能夠在對(duì)應(yīng)的隔壁間形成各個(gè)顏色 的突光體層。PDP是通過將上述前面?zhèn)鹊幕?1和背面?zhèn)鹊幕?1以顯示電 極X、 Y與尋址電極A交叉的方式相對(duì)配置，將周圍密封，向被隔壁 29包圍的放電空間30填充混合了 Xe和Ne的放電氣體制作而成。在 該P(yáng)DP中，顯示電極X、 Y與尋址電極A的交叉部的放電空間30成 為作為顯示的最小單位的1個(gè)單元(單位發(fā)光區(qū)域)。1個(gè)像素由R、 G、 B的3個(gè)單元構(gòu)成。圖2 (a) 圖2 (c)以及圖3 (a) 圖3 (b)是表示隔壁的形成 方法的說明圖。以下，按照工序的順序?qū)Ρ景l(fā)明的隔壁形成方法進(jìn)行 說明。干燥膜形成工序首先，使用電介質(zhì)材料在形成有尋址電極A的背面?zhèn)鹊牟ＡЩ?21上形成干燥膜31 (參照?qǐng)D2 (a))。尋址電極A是使用在本領(lǐng)域公 知的材料和方法形成的電極。電介質(zhì)材料的干燥膜31是利用絲網(wǎng)印刷 法或膏涂敷法等涂敷低融點(diǎn)玻璃膏后使之干燥而形成。低融點(diǎn)玻璃膏是在低融點(diǎn)玻璃料中添加過陶瓷等的填料(filler)、粘合劑樹脂、溶劑 的物質(zhì)。電介質(zhì)材料的干燥膜31也可以通過粘貼片狀的物質(zhì)(被稱為 生片等)而形成。電介質(zhì)材料的干燥膜31作為電極屏蔽層起作用。即，在后述的噴 砂時(shí)發(fā)揮防止噴砂的切削、保護(hù)尋址電極A的作用。因此，在使用的 低融點(diǎn)玻璃膏中，預(yù)先使其含有多一些的樹脂，從而具有充分的粘彈 性。玻璃片固定工序接著，在電介質(zhì)材料的干燥膜31上載置、固定具有與所希望的隔 壁高度對(duì)應(yīng)的厚度的玻璃片32 (參照?qǐng)D2 (b))。此時(shí)，因?yàn)殡娊橘|(zhì)材 料的干燥膜31具有充分的粘著性，所以能夠?qū)崿F(xiàn)玻璃片32的固定。 玻璃片32的厚度優(yōu)選為50 500 U m。抗蝕劑膜形成工序接著，將干膜抗訕劑粘貼在玻璃片32上，隔著所希望的光掩膜進(jìn) 行曝光、顯影，由此在玻璃片32上形成干膜抗蝕劑的隔壁圖案33 (參 照?qǐng)D2(c))。這時(shí)，也可以將尋址電極A的圖案作為校準(zhǔn)標(biāo)記使用。 即，如果使用在形成尋址電極圖案時(shí)同吋形成的校準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行玻璃片 上的抗蝕劑圖案印相時(shí)(曝光時(shí))的校準(zhǔn)，則能夠正確地進(jìn)行對(duì)位。接著，利用噴砂法，將不必要的部分的玻璃片32到底部為止切削 除去，從而將玻璃片32形成為隔壁形狀(參照?qǐng)D3 (a))。作為研磨材 料，使用氧化鋁、氧化鋯、碳酸鈣、金屬等。這吋，因?yàn)殡娊橘|(zhì)材料 的干燥膜31具有充分的彈性，所以不會(huì)被噴砂的研磨材料切削，起到 阻擋(stopper)層(電極屏蔽層)的作用。干燥膜燒制工序在利用噴砂法進(jìn)行切削后，將背面?zhèn)鹊幕?1放入燒制爐，在包 含在電介質(zhì)材料的干燥膜31中的低融點(diǎn)玻璃的軟化溫度以上，并且玻 璃片32的玻璃轉(zhuǎn)移溫度以下的溫度燒制干燥膜31，使玻璃片32固定 在已軟化的干燥膜31上。這時(shí)，因?yàn)椴Ａ?2的自重，玻璃片32沉 入干燥膜31中，所以能夠得到充分的貼緊強(qiáng)度。在這種情況下，為了控制做出來的隔壁高度，也可以在玻璃片32 上施加負(fù)載G(參照?qǐng)D3 (b))。艮卩，通過負(fù)載G的大小對(duì)隔壁的高度進(jìn)行控制。例如如果使負(fù)載G較大則能夠形成低一些的隔壁，如果使 負(fù)載G較下則能夠形成高一些的隔壁。在上述隔壁形成方法中，也可以應(yīng)用以下這樣的方法。 在干燥膜形成工序中，如上所述，可以通過粘貼生片來形成千燥 膜，對(duì)于生片通過調(diào)整樹脂量使其具有粘著性，從而能夠使其向基板 的粘貼變?nèi)菀?。?duì)于該生片，也可以預(yù)先將其巻成滾筒(roll)狀來保 管，在使用時(shí)從滾筒拉出加以使用。電介質(zhì)材料的干燥膜31也可以使用在干燥時(shí)沒有粘性的低融點(diǎn)玻 璃膏來形成。在這種情況下，利用絲網(wǎng)印刷法、膏涂敷法涂敷低融點(diǎn) 玻璃膏后，在進(jìn)行膏干燥后，通過噴射器噴^l"噴上粘著性的樹脂即可。 即，利用噴射器對(duì)干燥膜噴射含有能夠使其具有與玻璃片的粘著性并 且能夠使其具有耐噴砂研磨材料的彈性的量的粘著性的樹脂的粘著 劑。在玻璃片固定工序中， 一般在提高圖像的對(duì)比度的情況下，釆用 使隔壁的頂部為黑色的方法，但當(dāng)有這樣的需要時(shí)，也可以使用著色 成黑色的玻璃片?；蛘?，作為使隔壁頂部變黑的方法，也可以在將玻璃片固定在干 燥膜上之后，在形成抗蝕劑膜之前，利用絲網(wǎng)印刷法或膏涂敷法涂敷 黑色膏，干燥后形成抗蝕劑膜。另外，作為使隔壁頂部變黑的方法，也可以利用絲網(wǎng)印刷法將黑 色膏涂敷在噴砂后剝離了抗蝕劑膜的玻璃片上，干燥后，在電介質(zhì)材 料的干燥膜的燒制時(shí)，同時(shí)燒制黑色膏干燥膜。在抗蝕劑膜形成工序中，通過在玻璃片32上粘貼干膜抗蝕劑而形 成抗蝕劑膜，但也可以通過在玻璃片32上涂敷液體狀抗蝕劑并使其干 燥，來形成抗蝕劑膜。在該工序中形成的隔壁的抗蝕劑圖案不被特別限定，可以是任何 圖案。例如既可以是細(xì)條狀，也可以是封閉體系的隔壁形狀，例如箱 體形狀、三角形狀、以及其他的直線(straight)形狀以外的形狀。在噴砂工序后，也可以利用粘著滾筒來剝離除掉殘存在玻璃片上 的抗蝕劑膜?；蛘?，在干燥膜的燒制的同時(shí)將該抗蝕劑膜烤掉。這樣，通過使用玻璃片作為隔壁，因?yàn)闆]有隔壁的燒制工序，所以沒有因隔壁燒制時(shí)的收縮而產(chǎn)生的隔壁端部的跳起，能夠防止由此 引起的來自面板的異音的發(fā)生。并且，因?yàn)椴Ａ纳厦姹３衷瓲畛?為隔壁的頂部，所以隔壁頂部的平滑性變高，與前面?zhèn)鹊幕宓馁N緊 性增強(qiáng)，結(jié)果是難以發(fā)生與鄰接單元的^t電結(jié)合(串?dāng)_)，能夠得到充 分的面板可靠性。進(jìn)一步，因?yàn)椴恍枰腿邳c(diǎn)玻璃膏，所以降低隔壁 材料費(fèi)。并且，即使對(duì)于直接切削玻璃基板而形成隔壁時(shí)的最大的課 題，例如形成箱型那樣的封閉體系隔壁的情況，也能夠通過在形成干 燥膜之前預(yù)先在基板上形成電極，從而使電極的形成會(huì)變?nèi)菀?。其中，在玻璃片的切削中，也能夠采用激光?xì)微加工，或使用藥 液的化學(xué)蝕刻加工來代替上述噴砂加工。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特征在于在基板上通過燒制而形成成為電介質(zhì)層的干燥膜，在該干燥膜上固定具有與想要形成的隔壁的高度相當(dāng)?shù)暮穸鹊牟Ａ?，在該玻璃片上設(shè)置與隔壁形狀對(duì)應(yīng)的抗蝕劑圖案，通過利用噴砂法切削不需要部分的玻璃片，使玻璃片形成為隔壁形狀，通過在基板和玻璃片的軟化點(diǎn)以下的溫度燒制干燥膜，利用作為燒制干燥膜的電介質(zhì)層固定基板和玻璃片。
2. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于-干燥膜通過在基板上涂敷膏狀的電介質(zhì)材料并使其干燥而形成， 該膏狀的電介質(zhì)材料是含有在千燥后能夠使其具有與玻璃片的粘著性 和耐噴砂性的量的樹脂的材料。
3. 如權(quán)利要求2所述的等離子體顯示而板的隔壁形成方法，其特 征在于在基板上涂敷膏狀的電介質(zhì)材料的工序通過絲網(wǎng)印刷法進(jìn)行。
4. 如權(quán)利要求2所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于在基板上涂敷膏狀的電介質(zhì)材料的工序通過膏涂敷法進(jìn)行。
5. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于干燥膜通過在基板上粘貼粘著片而形成，該粘著片是含有能夠使 其具有與玻璃片的粘著性和耐噴砂性的量的樹脂的預(yù)先制作的粘著片。
6. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特征在于干燥膜是通過向在基板上涂敷膏狀的電介質(zhì)材料并使其干燥后形 成的膏千燥膜上噴射含有能夠使其具有與玻璃片的粘著性和耐噴砂性 的量的樹脂的粘著劑而形成的。
7. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于玻璃片由著色玻璃片構(gòu)成。
8. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于在將玻璃片固定干燥膜上后，在將抗蝕劑圖案設(shè)置在玻璃片上之 前，進(jìn)一歩設(shè)置有在玻璃片上涂敷黑色膏并使之干燥的工序。
9. 如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特 征在于在燒制干燥膜時(shí)，進(jìn)一步設(shè)置有將玻璃片按壓在基板側(cè)，增強(qiáng)基 板與玻璃片的粘合性的工序。
10. —種等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特征在于 在基板上通過燒制而形成成為電介質(zhì)層的干燥膜， 在該干燥膜上固定具有與想要形成的隔壁的高度相當(dāng)?shù)暮穸鹊牟Ｔ谠摬Ａ显O(shè)置與隔壁形狀對(duì)應(yīng)的抗蝕劑圖案，通過除去不需 要部分的玻璃片，使玻璃片形成為隔壁形狀，通過在基板和玻璃片的軟化點(diǎn)以下的溫度燒制干燥膜，利用作為 燒制干燥膜的電介質(zhì)層固定基板和玻璃片。
11. 一種等離子體顯示面板，其特征在于隔壁利用權(quán)利要求i io中的任何一項(xiàng)所述的隔壁形成方法形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等離子體顯示面板的隔壁形成方法，通過使用玻璃片形成隔壁，使隔壁的形成成本降低，使隔壁和電極的形成變?nèi)菀?。在基?21)上，通過燒制形成成為電介質(zhì)層的干燥膜(31)，在該干燥膜上固定具有與想要形成的隔壁的高度相當(dāng)?shù)暮穸鹊牟Ａ?32)，在該玻璃片上設(shè)置與隔壁形狀對(duì)應(yīng)的抗蝕劑圖案(33)，通過利用噴砂法切削不需要部分的玻璃片，使玻璃片形成為隔壁形狀，通過在基板和玻璃片的軟化點(diǎn)以下的溫度燒制干燥膜，利用作為燒制干燥膜的電介質(zhì)層固定基板和玻璃片，由此形成隔壁。
文檔編號(hào)H01J9/02GK101253597SQ20058005146
公開日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2005年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月31日
發(fā)明者藤永昭弘, 金江達(dá)利 申請(qǐng)人:富士通日立等離子顯示器股份有限公司