專利名稱：玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在封接處理的階段中，可通過溫度控制和與此組合的壓力控制而適當?shù)厝コ患儦怏w(impure gases)等，可降低封接處理后殘留在玻璃面板組裝體內(nèi)的不純氣體等的量的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐。
背景技術(shù)：
等離子體顯示器面板(以下，稱作PDP)的制造工序中，包括對被夾在形成有電極或電介質(zhì)、熒光體、隔板等燒成體的一對玻璃基板間的封接玻璃料(seal frit)進行準燒成處理的階段、和其后通過該封接玻璃料對玻璃基板之間進行封接處理的階段。
具體而言，準燒成處理的階段中，對一對玻璃基板的-方涂敷作為封接劑的由軟質(zhì)玻璃等構(gòu)成的封接玻璃料，并將其由準燒成爐加熱處理而進行準燒成。接著，對準燒成了封接玻璃料的玻璃基板，以夾持該封接玻璃料的方式疊加另一方的玻璃基板，由夾鉗等夾緊固定工具一體固定，從而制作在內(nèi)部組入有上述隔板等燒成體的玻璃面板組裝體。其后的封接處理的階段中，將玻璃面板組裝體送入封接處理爐中，將封接玻璃料加熱至熔化溫度以上的封接處理溫度，保持一定時間，由此經(jīng)由封接玻璃料對玻璃基板之間進行封接處理。除了封接處理后進行所需的冷卻處理以外，進行從玻璃面板組裝體內(nèi)部進行排氣的排氣處理，其后，將發(fā)光氣體封入玻璃面板組裝體內(nèi)部，由此完成PDP。
作為準燒成處理后進行這種封接處理的裝置，已知有例如專利文獻1及2的制造裝置或封接爐。在這些專利文獻中，關(guān)于封接處理，具備上部加熱器、下部加熱器、或傳熱加熱器等，實施規(guī)定的溫度控制，但是關(guān)于這些裝置內(nèi)部或爐內(nèi)的壓力，未進行特定的控制。
專利文獻1特開平6-36688號公報；專利文獻2特開平11-37660號公報。
若加熱封接玻璃料，則它會放出給PDP的性能帶來不良影響的不純氣體。為了防止該不純氣體在封接處理之際侵入玻璃面板組裝體內(nèi)，所以在封接處理之前預先對封接玻璃料進行準燒成處理，由此去除從封接玻璃料放出的相當量的不純氣體。
由此，在封接處理的前階段，事先進行去除不純氣體的操作，但是在封接處理之際，將封接玻璃料進一步升溫至高溫的封接處理溫度的過程或在該封接處理溫度下保持一定時間的過程中，附著在封接玻璃料表面的凹凸部或殘留在其多孔部的裂化氣等不純氣體被放出，它們進入基板間。另外，不僅是來自封接玻璃料的不純氣體，而且空氣或從隔板等燒成體放出的不純氣體也殘留在玻璃面板組裝體的內(nèi)部。若殘存在玻璃面板組裝體內(nèi)部的不純氣體等的量大，則存在以下的問題對后續(xù)工序的玻璃面板組裝體的排氣處理需要長時間，并且已完成的PDP中，由于不純氣體等的再次的放出而導致發(fā)光狀態(tài)的劣化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述以往的問題而提出的，其目的在于提供一種在封接處理階段，可通過溫度控制和與其組合的壓力控制而適當?shù)厝コ患儦怏w等，可減少殘留在封接處理后的玻璃面板組裝體內(nèi)的不純氣體等的量的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐。
本發(fā)明的玻璃面板組裝體的封接處理方法，其特征在于，在對疊加的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體，進行使該封接玻璃料熔化以封接的處理之際，強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將所述玻璃面板組裝體加熱至所述封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度，接著，在維持預備加熱溫度的狀態(tài)下進行減壓，接著，強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將所述玻璃面板組裝體從預備加熱溫度加熱至封接處理溫度，其后，強制地使制冷劑流動，且通過該制冷劑對所述玻璃面板組裝體進行冷卻。
另外，本發(fā)明的玻璃面板組裝體的封接處理爐，具備輸送機構(gòu)，用該輸送機構(gòu)輸送該玻璃面板組裝體，同時進行使該封接玻璃料熱粘接的封接處理，所述輸送機構(gòu)輸送在重疊的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體，該玻璃面板組裝體的封接處理爐的特征在于，依次連接設置有預備加熱部，其強制地使載熱氣沿基于所述輸送機構(gòu)的所述玻璃面板組裝體的輸送方向流動，同時通過該載熱氣將該玻璃面板組裝體加熱至所述封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度；減壓部，其在維持預備加熱溫度的狀態(tài)下進行減壓；封接處理加熱部，其強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將該玻璃面板組裝體從預備加熱溫度加熱至封接處理溫度；和冷卻部，其強制地使制冷劑流動，同時通過該制冷劑對該玻璃面板組裝體進行冷卻，并且，在所述預備加熱部和所述減壓部之間及在該減壓部和所述封接處理加熱部之間，分別設置有可加減壓力的壓力調(diào)節(jié)部。
在本發(fā)明的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐方面，封接處理的階段中，可通過溫度控制和與其組合的壓力控制適當?shù)厝コ患儦怏w等，能夠降低殘留在封接處理后的玻璃面板組裝體內(nèi)的不純氣體等的量。


圖1是說明表示本發(fā)明的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐的優(yōu)選的一個實施方式的封接處理爐的構(gòu)成、及溫度控制/壓力控制的狀態(tài)的說明圖。
圖2是表示圖1所示的封接處理爐的第一、第二強制對流加熱室及強制對流冷卻室的剖面圖。
圖3是表示圖1所示的封接處理爐的真空排氣室及第一、第二置換室的剖面圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐的優(yōu)選的一個實施方式。玻璃面板組裝體的封接處理爐1基本上如圖1～圖3所示，玻璃面板組裝體2的封接處理爐構(gòu)成為，具有輸送玻璃面板組裝體2的輸送機構(gòu)3，玻璃面板組裝體2在疊加的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料，由輸送機構(gòu)3輸送玻璃面板組裝體2，同時進行使該封接玻璃料熔化的封接處理，其中，依次連接設置第一強制對流加熱室4，其作為預備加熱部，強制地使載熱氣沿基于輸送機構(gòu)3的玻璃面板組裝體2的輸送方向流動，且通過該載熱氣將玻璃面板組裝體2加熱至接近于封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度T1；真空排氣室5，其作為減壓部，在保持預備加熱溫度T1的狀態(tài)下進行減壓(壓力P1)；第二強制對流加熱室6，其作為封接處理加熱部，強制地使載熱氣流動，且通過該載熱氣將玻璃面板組裝體2從預備加熱溫度T1加熱至封接處理溫度T2；和強制對流冷卻室7，其作為冷卻部，強制地使制冷劑流動，且通過該制冷劑對玻璃面板組裝體2進行冷卻，并且，在第一強制對流加熱室4和真空排氣室5之間及真空排氣室5和第二強制對流加熱室6之間分別設置作為可加減壓力的壓力調(diào)整部的第一置換室8及第二置換室9，尤其這些各室4～9可分別獨立進行溫度控制。
玻璃面板組裝體2與以往相同地制作。作為輸送該玻璃面板組裝體2且進行封接處理的封接處理爐1，本實施方式中例示出了輸送機構(gòu)3為輥底式的輸送裝置的輥底式連續(xù)封接爐。輸送機構(gòu)3在封接處理爐1的內(nèi)部從第一強制對流加熱室4的進給端經(jīng)過強制對流冷卻室7的抽取端被連續(xù)地設置。并且多個玻璃面板組裝體2分別載置在托架上，載置在這些托架上的各玻璃面板組裝體2通過該輸送機構(gòu)3沿該輸送方向即從第一強制對流加熱室4向強制對流冷卻室7被依次連續(xù)地輸送。
第一強制對流加熱室4構(gòu)成為，在其進給端開閉自如地設置進給門10，在抽取端開閉自如地設置抽取門11，且沿著輸送機構(gòu)3的輸送方由分隔部12劃分形成為多個劃分區(qū)域4a。在各劃分區(qū)域4a中，它們的內(nèi)部溫度相鄰的劃分區(qū)域之間被控制溫度成，沿輸送機構(gòu)3的輸送方向依次變?yōu)楦邷?。由此，第一強制對流加熱?中，對由輸送機構(gòu)3輸送的玻璃面板組裝體2進行，從進給門10位置的室溫依次升溫至抽取門11位置的低于放出不純氣體的封接玻璃料的熔化開始溫度且其附近的預備加熱溫度T1，例如350℃的加熱處理。另外，第一強制對流加熱室4中，作為與該溫度控制組合的壓力控制，維持大氣壓(P2)。
若對第一強制對流加熱室4的各劃分區(qū)域4a的結(jié)構(gòu)進行說明，則這些劃分區(qū)域4a分別具備爐體13；形成在爐體13內(nèi)部的絕熱壁14；隔焰爐16，其在與絕熱壁14之間形成通路15的該絕熱壁14內(nèi)部隔開間隔而配置，使保持于輥3a的玻璃面板組裝體2通過其內(nèi)方；配置在爐體13上部，經(jīng)由通路15使作為載熱氣的內(nèi)部氣氛強制地循環(huán)對流的循環(huán)風扇(fan)17；位于使其通過隔焰爐16內(nèi)的玻璃面板組裝體2和循環(huán)風扇17之間而設置的由多孔板構(gòu)成的整流部件18；設置在絕熱板14和隔焰爐16之間，用于加熱內(nèi)部氣氛的輻射發(fā)熱管燃燒器19；用于向劃分區(qū)域4a內(nèi)導入凈化后的空氣的供給管20；和用于從劃分區(qū)域4a內(nèi)排氣的排氣管21。
并且，各劃分區(qū)域4a中，作為從供給管20導入，從排氣管21排氣，且作為填充在該劃分區(qū)域4a內(nèi)的載熱氣的內(nèi)部氣氛遵照溫度控制，由輻射發(fā)熱管燃燒器19加熱，且通過循環(huán)風扇17被強制地流動，經(jīng)由通路15或整流部件18朝向玻璃面板組裝體2循環(huán)地流通，由此在大致大氣壓狀態(tài)(P2)下加熱玻璃面板組裝體2。
真空排氣室5構(gòu)成為，在其進給端開閉自如地設置有進給門22，另外，在抽取端開閉自如地設置有抽取門23，且劃分區(qū)域5a由分隔部12沿輸送機構(gòu)3的輸送方向劃分形成。該真空排氣室5中，在由輸送機構(gòu)3輸送玻璃面板組裝體2的該室內(nèi)整個區(qū)域，維持預備加熱溫度T1，同時作為與該溫度控制組合的壓力控制，進行減壓(P1)操作，例如進行真空排氣至大約1Pa左右的操作。
若對真空排氣室5的各劃分區(qū)域5a的結(jié)構(gòu)進行說明，則這些劃分區(qū)域5a分別具備外殼24；輻射遮護板25，其配置在外殼24內(nèi)部，保持于輥3a的玻璃面板組裝體2通過其內(nèi)方；設置在輻射遮護板25內(nèi)，用于將玻璃面板組裝體2周圍的溫度維持在預備加熱溫度T1的傳熱加熱器26；連接于外殼24內(nèi)部，將劃分區(qū)域5a內(nèi)抽成真空而排氣的真空排氣裝置27；和導入將劃分區(qū)域5a內(nèi)、進而真空排氣室5恢復到大氣壓(P2)的氣體的氣體供給管28。并且在各劃分區(qū)域5a中，玻璃面板組裝體2通過輻射遮護板25及傳熱加熱器26保持預備加熱溫度T1，同時通過真空排氣裝置27置于減壓狀態(tài)。
第二強制對流加熱室6，除了未具有向強制對流冷卻室7的抽取門以外，與上述第一強制對流加熱室4相同地構(gòu)成。即使是該第二強制對流加熱室6，在各劃分區(qū)域6a中，它們的內(nèi)部溫度相鄰的劃分區(qū)域之間被控制溫度成，沿輸送機構(gòu)3的輸送方向依次變?yōu)楦邷亍Ｓ纱?，第二強制對流加熱?中，對由搬動機構(gòu)3輸送的玻璃面板組裝體2進行，從進給門29位置的預備加熱溫度T1依次升溫至與流冷卻室7的邊界位置B的封接處理溫度T2，例如450℃的加熱處理。另外，第二強制對流加熱室6中，作為與該溫度控制組合的壓力控制，維持大氣壓(P2)。各劃分區(qū)域6a的結(jié)構(gòu)也與第一強制對流加熱室4的劃分區(qū)域4a的結(jié)構(gòu)相同。
強制對流冷卻室7，除了未具有從第二強制對流加熱室6進給的進給門以外，也與上述第一強制對流加熱室4相同。即使是該強制對流冷卻室7，在各劃分區(qū)域7a中，它們的內(nèi)部溫度相鄰的劃分區(qū)域之間被控制溫度成，沿輸送機構(gòu)3的輸送方向依次變?yōu)榈蜏?。由此，強制對流冷卻室7中，對由輸送機構(gòu)3輸送的玻璃面板組裝體2進行，從與第二強制對流加熱室6的邊界位置B的封接處理溫度T2依次降溫至抽取門30位置的抽取溫度、例如100℃的冷卻處理。另外，即使在強制對流冷卻室7中，也作為與該溫度控制組合的壓力控制，維持大氣壓(P2)。
強制對流冷卻室7的各劃分區(qū)域7a的結(jié)構(gòu)也與第一強制對流加熱室4相同，但是在進行冷卻操作的關(guān)系上，作為從供給管20導入且從排氣管21排出同時填充在該劃分區(qū)域7a內(nèi)的制冷劑的內(nèi)部氣氛遵照溫度控制，在與降溫處理相對應的溫度下由輻射發(fā)熱管燃燒器19加熱，且由循環(huán)風扇17被強制地流動，經(jīng)由整流部件18朝向玻璃面板組裝體2流通，由此在大致大氣壓(P2)下，冷卻玻璃面板組裝體2。
第一置換室8及第二置換室9，為了調(diào)節(jié)基于對在輸送機構(gòu)3輸送玻璃面板組裝體2的輸送方向上相鄰的真空排氣室5、和第一及第二強制對流加熱室4、6進行的壓力控制的它們之間的壓力，所以分分別設置在第一強制對流加熱室4和真空排氣室5之間及真空排氣室5和第二強制對流加熱室6之間。這些第一及第二置換室8、9與真空排氣室5相同地構(gòu)成，具有進給門31、32及抽取門33、34，并且進行加減壓力控制，以便第一置換室8在玻璃面板組裝體2進入真空排氣室5之際由真空排氣裝置27對內(nèi)部壓力進行減壓(P1)，另外，在從第一強制對流加熱室4抽取之際由來自氣體供給管28的氣體的導入而升壓，恢復到大氣壓(P2)，另外，第二置換室9在玻璃面板組裝體2從真空排氣室5抽取之際由真空排氣裝置27對內(nèi)部壓力進行減壓(P1)，另外，向第二強制對流加熱室6進給之際由來自氣體供給管28的氣體的導入而升壓，恢復到大氣壓(P2)。
接著，對本實施方式的玻璃面板組裝體的封接處理方法進行說明。在疊加的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體2，在封接處理爐1內(nèi)由輸送機構(gòu)3從其第一強制對流加熱室4的進給端依次朝向強制對流冷卻室7的抽取端輸送。
首先，打開第一強制對流加熱室4的進給門10，供給搭載在各托架上的多個玻璃面板組裝體2，然后，關(guān)閉進給門10。玻璃面板組裝體2在大氣壓(P2)狀態(tài)的第一強制對流加熱室4內(nèi)通過輸送機構(gòu)3而被輸送，在依次經(jīng)過各劃分區(qū)域4a的過程中被依次加熱升溫，加熱至接近放出不純氣體的封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度T1。玻璃面板組裝體2，通過從到達預備加熱溫度T1的位置到第一強制對流加熱室4的抽取門11為止的距離、和輸送機構(gòu)3的輸送速度，而設定保持在預備加熱溫度T1的預備加熱處理時間。
該加熱處理之際，由循環(huán)風扇17強制地使作為載熱氣的內(nèi)部氣氛流動，因此，可將經(jīng)過第一強制對流加熱室4內(nèi)的玻璃面板組裝體2均勻地加熱升溫至各劃分區(qū)域4a的控制溫度。若在將壓力控制在大氣壓(P2)狀態(tài)的狀態(tài)下將組裝體2這樣加熱至預備加熱溫度T1，則可使附著在封接玻璃料表面的凹凸部、或殘留在其多孔部中的裂化氣等不純氣體放出。另外，不僅僅是從封接玻璃料放出不純氣體，也可以從電極、或電介質(zhì)、熒光體、隔板等燒成體放出不純氣體。
若玻璃面板組裝體2到達第一強制對流加熱室4的抽取端，則該第一強制對流加熱室4的抽取門11及第一置換室8的進給門31被打開，若移到第一置換室8，則兩個門11、31被關(guān)閉。此時，第一置換室8成為大氣壓(P2)狀態(tài)。第一置換室8中，通過真空排氣裝置27執(zhí)行減壓操作，減壓(P1)至與真空排氣室5大致相同的壓力。
若減壓操作結(jié)束，則第一置換室8的抽取門33及真空排氣室5的進給門22被打開，若向真空排氣室5供給玻璃面板組裝體2，之后兩個門22、33被關(guān)閉。玻璃面板組裝體2通過輸送機構(gòu)3被輸送相當于真空排氣室5的長度尺寸的量的過程中，由輻射遮護板25和傳熱加熱器26的作用維持在預備加熱溫度T1，同時由真空排氣裝置27的作用置于減壓狀態(tài)(P1)相應的時間。由此，在維持于預備加熱溫度T1的溫度控制之下，通過以相應時間保持用于排氣處理的減壓狀態(tài)，而能夠強制地去除由第一強制對流加熱室4放出而殘留在組裝體2內(nèi)的不純氣體或空氣等。
若玻璃面板組裝體2到達真空排氣室5的抽取端，則該真空排氣室5的抽取門23及第二置換室9的進給門32被打開，若移動到第二置換室9，則兩個門23、32被打開。此時，第二置換室9成為相當于真空排氣室5的減壓狀態(tài)(P1)。第二置換室9中，執(zhí)行由來自氣體供給管28的氣體的導入而升壓至與加熱室6大致相同的大氣壓(P2)的加壓操作。
若加壓操作結(jié)束，則第二置換室9的抽取門34及第二強制對流加熱室6的進給門29被打開，若向第二強制對流加熱室6供給玻璃面板組裝體2，之后兩個門29、34被關(guān)閉。玻璃面板組裝體2由輸送機構(gòu)3在大氣壓(P2)狀態(tài)下，在第二強制對流加熱室6內(nèi)輸送，在依次經(jīng)過各劃分區(qū)域6a的過程中依次被加熱升溫，加熱至封接處理溫度T2。玻璃面板組裝體2通過從到達封接處理溫度T2的位置到第二強制對流加熱室6的抽取端(與強制對流冷卻室7的邊界位置B)為止的距離、和輸送機構(gòu)3的輸送速度，而設定保持在封接處理溫度T2的封接處理時間。即使在該加熱處理中，也與第一強制對流加熱室4相同地，能夠使玻璃面板組裝體2被均勻地加熱升溫至各劃分區(qū)域6a的控制溫度。
若在將壓力控制在大氣壓(P2)狀態(tài)的狀態(tài)下將玻璃面板組裝體2加熱至封接處理溫度T2，則可使封接玻璃料熔化而封接玻璃基板之間。在該封接處理之際，可通過在先的加熱至預備加熱溫度T1的加熱處理和排氣處理而預先大致去除不純氣體，例如即使不純氣體被放出，其量很少，能夠減輕來自后續(xù)工序的玻璃面板組裝體2的排氣作業(yè)，并且作為產(chǎn)品的PDP的發(fā)光狀態(tài)也變得良好。
玻璃面板組裝體2，若經(jīng)過第二強制對流加熱室6，則通過輸送機構(gòu)3繼續(xù)輸送，直接被送入強制對流冷卻室7，在依次經(jīng)過大氣壓(P2)狀態(tài)的強制對流冷卻室7的各劃分區(qū)域7a的過程中依次被冷卻降溫。即使在該冷卻處理中也與第一強制對流加熱室4相同地，可使玻璃面板組裝體2均勻地冷卻降溫至各劃分區(qū)域7a的控制溫度。并且，若玻璃面板組裝體2到達強制對流冷卻室7的抽取端，則該強制對流冷卻室7的抽取門30被打開，向封接處理爐1的外方被送出，從而抽取門30被關(guān)閉。根據(jù)基于輸送機構(gòu)3的玻璃面板組裝體2的輸送，依次進行各進給門10、22、29、31、32及抽取門11、23、30、33、34的開閉操作，由此連續(xù)地輸送玻璃面板組裝體2且執(zhí)行以上的封接處理。
根據(jù)上述的說明，在本實施方式的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐方面，在封接玻璃料的向封接處理溫度升溫的升溫過程中，選定適當?shù)念A備加熱溫度T1，在該預備加熱溫度T1下，通過減壓操作(P1)進行排氣處理，在該封接處理的階段中，可通過這樣的溫度控制和與其組合的壓力控制而適當?shù)厝コ患儦怏w等，能夠減少封接處理后殘留在玻璃面板組裝體2內(nèi)的不純氣體等的量。
在上述實施方式中，舉例說明了作為玻璃面板組裝體2的PDP，但是也可以是真空雙重絕熱玻璃面板等其他玻璃面板組裝體。另外，作為輸送機構(gòu)3，并不限于輥底式，也可以是搬運式等其他形式的輸送機構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種玻璃面板組裝體的封接處理方法，在對疊加的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體，進行使該封接玻璃料熔化以封接的處理之際，強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將所述玻璃面板組裝體加熱至所述封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度，接著，在維持預備加熱溫度的狀態(tài)下進行減壓，接著，強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將所述玻璃面板組裝體從預備加熱溫度加熱至封接處理溫度，其后，強制地使制冷劑流動，且通過該制冷劑對所述玻璃面板組裝體進行冷卻。
2.一種玻璃面板組裝體的封接處理爐，具備輸送機構(gòu)，用該輸送機構(gòu)輸送該玻璃面板組裝體，同時進行使該封接玻璃料熱粘接的封接處理，所述輸送機構(gòu)輸送在重疊的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體，該玻璃面板組裝體的封接處理爐的特征在于，依次連接設置有預備加熱部，其強制地使載熱氣沿基于所述輸送機構(gòu)的所述玻璃面板組裝體的輸送方向流動，同時通過該載熱氣將該玻璃面板組裝體加熱至所述封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度；減壓部，其在維持預備加熱溫度的狀態(tài)下進行減壓；封接處理加熱部，其強制地使載熱氣流動，同時通過該載熱氣將該玻璃面板組裝體從預備加熱溫度加熱至封接處理溫度；和冷卻部，其強制地使制冷劑流動，同時通過該制冷劑對該玻璃面板組裝體進行冷卻，并且，在所述預備加熱部和所述減壓部之間及在該減壓部和所述封接處理加熱部之間，分別設置有可加減壓力的壓力調(diào)節(jié)部。
全文摘要
提供在封接處理階段中，可通過溫度控制和與其組合的壓力控制適當?shù)厝コ患儦怏w，可降低殘留在封接處理后的玻璃面板組裝體內(nèi)的不純氣體等的量的玻璃面板組裝體的封接處理方法及封接處理爐。在對疊加的一對玻璃基板之間夾有封接玻璃料的玻璃面板組裝體，進行使該封接玻璃料熔化以封接的處理之際，強制地使內(nèi)部氣氛流動，通過該內(nèi)部氣氛將玻璃面板組裝體加熱至封接玻璃料的熔化開始溫度附近的預備加熱溫度(T1)，接著，在維持預備加熱溫度的狀態(tài)下進行減壓(P1)，接著，強制地使內(nèi)部氣氛流動，同時通過該內(nèi)部氣氛將玻璃面板組裝體從預備加熱溫度加熱至封接處理溫度(T2)，其后，強制地使內(nèi)部氣氛流動，且通過該制內(nèi)部氣氛對玻璃面板組裝體進行冷卻。
文檔編號H01J11/48GK1922116SQ20058000545
公開日2007年2月28日 申請日期2005年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月20日
發(fā)明者木曾田欣彌, 關(guān)忠 申請人:中外爐工業(yè)株式會社