專利名稱：三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于納米科學(xué)技術(shù)、真空科學(xué)技術(shù)以及平面顯示技術(shù)的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作。具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及到一種三極管結(jié)構(gòu)的、反射式的、碳納米管陰極的場致發(fā)射平面顯示器件的制作工藝。
背景技術(shù)：
隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，人們對于顯示技術(shù)和顯示器件提出了越來越高的要求。平板顯示器件由于其視角寬，重量輕，功耗小，大屏幕，體積小等諸多優(yōu)點(diǎn)，受到了眾多研究者們越來越多的重視。而利用碳納米管作為陰極材料的場致發(fā)射平板顯示器，其工作原理幾乎和傳統(tǒng)的陰極射線管的工作原理相同，但是卻將陰極射線管的高圖像質(zhì)量、液晶顯示器的超薄型以及等離子體顯示器的大面積性等優(yōu)點(diǎn)集于一身，具有工作溫區(qū)寬，大屏幕，薄型化等優(yōu)點(diǎn)，可以大幅度降低器件的功耗，實(shí)現(xiàn)器件的真正平板化，可以使得場致發(fā)射平板顯示器變得更薄、更亮、更清晰，將可能使平板顯示技術(shù)發(fā)生革命性變革。隨著真空微電子學(xué)的迅速發(fā)展，場致發(fā)射顯示器已經(jīng)從理論研究進(jìn)入到了實(shí)際應(yīng)用階段。未來的場致發(fā)射顯示器件將向高亮度、高分辨率、全彩色、大尺寸方向發(fā)展。
在諸多的平板顯示器件中，三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器得到了十分迅猛的發(fā)展，具有高亮度、高顯示質(zhì)量、器件制作工藝簡單等特點(diǎn)。在目前的三極結(jié)構(gòu)顯示器件制作當(dāng)中，其器件結(jié)構(gòu)幾乎都是透射式的，即可見光從陽極面板直接透射出去。雖然這種器件的發(fā)光方式比較簡單，但是由于可見光線要通過各種膜層以后才透射到器件外部，具有很大程度的損失，也減少了器件的發(fā)光效率。受到各種因素的制約，目前在器件制作技術(shù)上無法得到突破；而且，這種器件的陽極工作電壓過高，需要更高質(zhì)量的絕緣物質(zhì)來進(jìn)行保護(hù)，這無形中增加了器件的總體制作成本，這也和平板顯示器件中成本低廉的初衷相違背。
此外，在確保碳納米管陰極場發(fā)射顯示器件的高質(zhì)量顯示圖像的前提下，還需要進(jìn)一步的降低器件的總體制作成本；在能夠進(jìn)行大面積的器件制作的同時(shí)，還需要使得器件的制作過程免于復(fù)雜化，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足而提供一種三極管結(jié)構(gòu)的、反射式的、器件制作成品率高的、制作過程成本低廉的、穩(wěn)定可靠的、結(jié)構(gòu)簡單的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的包括由前玻璃面板、后玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔，支撐墻結(jié)構(gòu)以及附屬消氣劑元件，在前玻璃面板上有錫銦氧化物薄膜層，在后玻璃面板上依次設(shè)置有陰極導(dǎo)電條、絕緣層、陽極電極、熒光粉層以及印刷的碳納米管陰極，由碳納米管陰極發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部。
本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的前玻璃面板和后玻璃面板為大型、具有相當(dāng)良好的耐熱性和可操作性、成本低廉的高性能絕緣材料；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的前玻璃面板和后玻璃面板為玻璃材料，如納鈣玻璃、硼硅玻璃；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的前玻璃面板和后玻璃面板上存在一層錫銦氧化物導(dǎo)電層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的錫銦氧化物導(dǎo)電層可以通過常規(guī)的光刻工藝來進(jìn)行刻蝕；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的后玻璃面板上的錫銦氧化物導(dǎo)電層的上面有絕緣層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的后玻璃面板上的錫銦氧化物導(dǎo)電層上面的絕緣層可以為絕緣漿料層，也可以為聚酰亞胺層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的絕緣層上存在電子通道孔；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的電子通道孔中有銀漿層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件中的銀漿層和絕緣漿料層的制作可以結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝來完成；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的絕緣層上存在鋁膜導(dǎo)電層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的鋁膜導(dǎo)電層的制作可以通過常規(guī)的鍍膜工藝和光刻工藝來完成；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的刻蝕后的鋁膜導(dǎo)電層的上面存在熒光粉層；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的熒光粉層的制作可以借助常規(guī)的絲網(wǎng)印刷工藝來完成；本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的碳納米管印刷在電子通導(dǎo)孔中的銀漿層上。
本發(fā)明的具體工藝如下1、前玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出前玻璃面板；2、前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層的制作在前玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層；3、后玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出后玻璃面板；4、陰極導(dǎo)電條的制作在后玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成陰極導(dǎo)電條；
5、絕緣層的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在后玻璃面板上印刷上一層絕緣漿料層，形成絕緣層。經(jīng)過烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度590℃，保持時(shí)間8分鐘)；要求絕緣層要覆蓋住后玻璃面板和陰極導(dǎo)電條；在絕緣層上要預(yù)留出電子通道孔。
6、銀漿層的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在電子通道孔中印刷銀漿，形成銀漿層。經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間10分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；7、陽極電極的制作利用鍍膜機(jī)，在絕緣層上進(jìn)行蒸鍍鋁膜層，然后結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對蒸鍍的鋁膜層進(jìn)行刻蝕，形成陽極電極；8、熒光粉的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在陽極電極上制作熒光粉層；需要經(jīng)過烘烤工藝(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘)，讓熒光粉層的其它物質(zhì)揮發(fā)掉；9、碳納米管陰極的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管印刷在陰極導(dǎo)電條上面，形成用于發(fā)射電子的碳納米管陰極；10、碳納米管陰極的后處理對印刷后的碳納米管[10]陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場致發(fā)射特性。
11、器件裝配將前玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、后玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、四周玻璃圍框和支撐墻結(jié)構(gòu)裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定。
12、成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的主要特點(diǎn)就在于制作了三極管結(jié)構(gòu)、反射式的發(fā)光平板顯示器件，由陰極發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部。將絲網(wǎng)印刷工藝的大面積可行性以及良好的器件結(jié)構(gòu)的有利之處相結(jié)合起來，制作出性能更加優(yōu)良的場致發(fā)光平板器件。
1、采用了三極管結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件，有利于進(jìn)一步提高器件的發(fā)光效率。在本發(fā)明中，制作在后玻璃面板上的陰極導(dǎo)電條仍然承擔(dān)著向碳納米管陰極施加電壓的作用，而制作在絕緣層的鋁膜卻充當(dāng)著器件陽極的作用。當(dāng)在碳納米管陰極和器件陽極上分別施加不同電壓的時(shí)候，碳納米管陰極就會發(fā)射出大量的電子，向陽極高速運(yùn)動，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光。由于從碳納米管陰極發(fā)射的電子沒有經(jīng)過任何其它元件，也沒有受到任何其它元件的不良干擾，直接對熒光粉層進(jìn)行高能量轟擊，這顯著提高了器件的發(fā)光效率。
2、采用反射式的發(fā)光平板顯示結(jié)構(gòu)，有利于提高器件的圖像顯示質(zhì)量。在本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件當(dāng)中，當(dāng)熒光粉層被電子轟擊而發(fā)出可見光以后，發(fā)出的可見光經(jīng)過熒光粉層背部的鋁膜層(也就是陽極電極)反射，從前玻璃面板直接透射到器件外部。由于前玻璃面板上，除了制作了一層薄薄的導(dǎo)電層以外，沒有任何其它附屬元件；而這層薄薄的導(dǎo)電層是利用蒸鍍的錫銦氧化物制作的，基本上對可見光無任何阻擋作用。因此，器件發(fā)出的可見光可以說是幾乎沒有任何損失的就透射到器件外部，這無疑會極大地提高器件的圖像顯示質(zhì)量。
3、在后玻璃面板的絕緣層上面制作了鋁膜結(jié)構(gòu)，其一方面充當(dāng)陽極的電極，使得能夠?qū)ζ骷_的施加陽極工作電壓，另一方面也是利用蒸鍍的鋁膜形成一個(gè)反射鏡面，來對可見光更好的進(jìn)行反射。
4、制作在前玻璃面板內(nèi)側(cè)的導(dǎo)電層上所施加的電壓與陰極上所施加的電壓相同，或者略小一些，是為了防止陰極電子直接撞擊到前玻璃面板上。
5、在本發(fā)明的三極管結(jié)構(gòu)反射式的發(fā)光平板顯示器件當(dāng)中，在電子通道孔中印刷有銀漿層，其一方面可以形成陰極導(dǎo)電電極，防止碳納米管和陰極導(dǎo)電條的粘貼不牢固；另一方面也可以通過銀漿層的印刷來調(diào)節(jié)碳納米管陰極的高度，從而可以小幅度調(diào)節(jié)陰極和陽極之間的距離。此外，在本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光顯示器件當(dāng)中，在充分結(jié)合了絲網(wǎng)印刷工藝的基礎(chǔ)上進(jìn)行了器件制作，具有制作大面積顯示器件的可行性；在本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的制作過程中，并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，能夠極大地降低器件的生產(chǎn)成本，具有制作工藝簡單、制作成本低廉、穩(wěn)定可靠、高質(zhì)量顯示圖像等優(yōu)越之處。


圖1給出了三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的前玻璃面板結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2給出了三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的前玻璃面板結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3給出了三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的后玻璃面板結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4給出了三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件的后玻璃面板結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5中給出了一個(gè)碳納米管陰極的、三極管結(jié)構(gòu)的、反射式發(fā)光平板顯示器件的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
本發(fā)明包括由前玻璃面板1、后玻璃面板3以及四周玻璃圍框11所構(gòu)成的密封真空腔，支撐墻結(jié)構(gòu)12以及附屬消氣劑13元件，其特征在于在前玻璃面板1上有錫銦氧化物薄膜層2，在后玻璃面板3上依次設(shè)置有陰極導(dǎo)電條4、絕緣層5、陽極電極8、熒光粉層9以及印刷的碳納米管陰極10，由碳納米管陰極10發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部。
所述的前玻璃面板和后玻璃面板為玻璃材料，前玻璃面板和后玻璃面板上存在一層錫銦氧化物導(dǎo)電層。所述的后玻璃面板3上的錫銦氧化物導(dǎo)電層為陰極導(dǎo)電條4，在陰極導(dǎo)電條4的上面設(shè)置有絕緣層5，絕緣層5為絕緣漿料層和聚酰亞胺層之一，絕緣層5上存在有電子通道孔6，電子通道孔中有銀漿層7，絕緣層5上存在有陽極電極8，在陽極電極8上制作熒光粉層9。所述的碳納米管印刷在電子通導(dǎo)孔中的銀漿層7上。該三極管結(jié)構(gòu)的反射式碳納米管陰極發(fā)光平板顯示器件包括有如下的主要組成部分由前玻璃面板、后玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在前玻璃面板上有錫銦氧化物薄膜層；在后玻璃面板上有陰極導(dǎo)電條、絕緣隔離層、陽極、熒光粉層以及印刷的碳納米管陰極；支撐墻結(jié)構(gòu)以及附屬消氣劑元件。其特征為制作了三極管結(jié)構(gòu)、反射式的發(fā)光平板顯示器件，由陰極發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部。
本發(fā)明中的三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器件采用如下的工藝進(jìn)行制作1、前玻璃面板1的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出前玻璃面板1；2、前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層2的制作在前玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層2；3、后玻璃面板3的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出后玻璃面板3；4、陰極導(dǎo)電條4的制作在后玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成陰極導(dǎo)電條4；5、絕緣層5的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在后玻璃面板上印刷上一層絕緣漿料層，形成絕緣層5。經(jīng)過烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度590℃，保持時(shí)間8分鐘)；要求絕緣層要覆蓋住后玻璃面板3和陰極導(dǎo)電條4；在絕緣層5上預(yù)留出電子通道孔6；6、銀漿層7的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在電子通道孔6中印刷銀漿，形成銀漿層7。經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間10分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；7、陽極電極8的制作利用鍍膜機(jī)，在絕緣層5上進(jìn)行蒸鍍鋁膜層，然后結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對蒸鍍的鋁膜層進(jìn)行刻蝕，形成陽極電極8；8、熒光粉9的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在陽極電極8上制作熒光粉層9；需要經(jīng)過烘烤工藝(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘)，讓熒光粉層的其它物質(zhì)揮發(fā)掉；9、碳納米管陰極10的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管10印刷在陰極導(dǎo)電條4上面，形成用于發(fā)射電子的碳納米管10陰極；10、碳納米管10陰極的后處理對印刷后的碳納米管10陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場致發(fā)射特性；11、器件裝配將前玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、后玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、四周玻璃圍框11和支撐墻結(jié)構(gòu)12裝配到一起，并將消氣劑13放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；12、成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器，包括由前玻璃面板[1]、后玻璃面板[3]以及四周玻璃圍框[11]所構(gòu)成的密封真空腔，支撐墻結(jié)構(gòu)[12]以及附屬消氣劑[13]元件，其特征在于在前玻璃面板[1]上有錫銦氧化物薄膜層[2]，在后玻璃面板[3]上依次設(shè)置有陰極導(dǎo)電條[4]、絕緣層[5]、陽極電極[8]、熒光粉層[9]以及印刷的碳納米管陰極[10]，由碳納米管陰極[10]發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部。
2.如權(quán)利要求1所述的一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器，其特征在于所述的前玻璃面板和后玻璃面板為玻璃材料，前玻璃面板和后玻璃面板上存在一層錫銦氧化物導(dǎo)電層。
3.如權(quán)利要求1所述的一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器，其特征在于所述的后玻璃面板[3]上的錫銦氧化物導(dǎo)電層為陰極導(dǎo)電條[4]，在陰極導(dǎo)電條[4]的上面設(shè)置有絕緣層[5]，絕緣層[5]為絕緣漿料層和聚酰亞胺層之一，絕緣層[5]上存在有電子通道孔[6]，電子通道孔中有銀漿層[7]，絕緣層[5]上存在有陽極電極[8]，在陽極電極[8]上制作熒光粉層[9]。
4.如權(quán)利要求1所述的一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器，其特征在于所述的碳納米管印刷在電子通導(dǎo)孔中的銀漿層[7]上。
5.一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器的制作工藝，其特征在于(1)、前玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出前玻璃面板[1]；(2)、前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層[2]的制作在前玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成前玻璃面板內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層[2]；(3)、后玻璃面板[3]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行裁剪，制作出后玻璃面板[3]；(4)、陰極導(dǎo)電條[4]的制作在后玻璃面板的內(nèi)側(cè)蒸鍍上一層錫銦氧化物薄膜層；結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對錫銦氧化物薄膜層進(jìn)行刻蝕，形成陰極導(dǎo)電條[4]；(5)、絕緣層[5]的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在后玻璃面板上印刷上一層絕緣漿料層，形成絕緣層[5]，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度590℃，保持時(shí)間8分鐘；要求絕緣層要覆蓋住后玻璃面板[3]和陰極導(dǎo)電條[4]；在絕緣層[5]上要預(yù)留出電子通道孔[6]；(6)、銀漿層[7]的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在電子通道孔[6]中印刷銀漿，形成銀漿層[7]，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間10分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘；(7)、陽極電極[8]的制作利用鍍膜機(jī)，在絕緣層[5]上進(jìn)行蒸鍍鋁膜層，然后結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對蒸鍍的鋁膜層進(jìn)行刻蝕，形成陽極電極[8]8、熒光粉[9]的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在陽極電極[8]上制作熒光粉[9]層；需要經(jīng)過烘烤工藝，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間15分鐘，讓熒光粉層的其它物質(zhì)揮發(fā)掉；(9)、碳納米管陰極[10]的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管[10]印刷在陰極導(dǎo)電條[4]上面，形成用于發(fā)射電子的碳納米管[10]陰極；(10)、碳納米管[10]陰極的后處理對印刷后的碳納米管[10]陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場致發(fā)射特性；(11)、器件裝配將前玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、后玻璃面板及其附帶結(jié)構(gòu)、四周玻璃圍框[11]和支撐墻結(jié)構(gòu)[12]裝配到一起，并將消氣劑[13]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；(12)、成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種三極管結(jié)構(gòu)反射式發(fā)光平板顯示器及其制作工藝，包括由前玻璃面板、后玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔，支撐墻結(jié)構(gòu)以及附屬消氣劑元件，在前玻璃面板上有錫銦氧化物薄膜層，在后玻璃面板上依次設(shè)置有陰極導(dǎo)電條、絕緣層、陽極電極、熒光粉層以及印刷的碳納米管陰極，由碳納米管陰極發(fā)射的電子直接轟擊陽極熒光粉而發(fā)出可見光，并經(jīng)過陽極導(dǎo)電鋁膜的反射，從前玻璃面板透射到器件外部，具有器件制作成品率高、制作過程成本低廉、穩(wěn)定可靠、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H01J17/16GK1787157SQ20051004841
公開日2006年6月14日 申請日期2005年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月18日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院