專利名稱：一種制作氣體放電顯示屏的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于氣體放電技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種交流等離子顯示屏的前基板的制作方法。
背景技術(shù)：
目前通用的交流氣體放電顯示屏均采用表面放電型結(jié)構(gòu)，包括一個(gè)前基板及與之封接在一起的后基板，前基板上配置有透明電極ITO和匯流電極，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y，在放電電極的表面覆蓋有一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上覆蓋一層介質(zhì)保護(hù)層。所述的后基板上配置有與放電電極相互垂直的尋址電極，尋址電極上覆蓋一層介質(zhì)層，介質(zhì)層上配置有與其尋址電極平行的條狀障壁，且在條狀障壁的底部覆蓋有熒光粉層，前后基板用低熔點(diǎn)玻璃粉封接在一起，并且在其間充有Ne、Ar、Xe等的混合放電氣體。
目前采用絲網(wǎng)印刷法制作氣體放電顯示屏前基板的制作過程如下1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板先制作出透明電極，在有匯流電極圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上，隨后對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，形成匯流電極；2)經(jīng)過圖形對(duì)位，在有黑條圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印至已形成匯流電極的玻璃平板上，對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成黑條；3)再在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料，至此前基板制作完成；采用光刻法制作氣體放電顯示屏前基板的制作過程如下
1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板先制作出透明電極；2)將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，在曝光機(jī)內(nèi)通過帶有匯流電極圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)形成匯流電極；3)將黑色感光性銀漿料印在已形成匯流電極的玻璃平板上，形成連續(xù)的膜層，在曝光機(jī)內(nèi)經(jīng)過圖形對(duì)位，通過帶有黑條圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成黑條；4)在已形成匯流電極和黑條的玻璃平板上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料，至此前基板制作完成；由于現(xiàn)有技術(shù)當(dāng)中如果采用絲網(wǎng)印刷法，在每次制備黑條圖形時(shí)都需要將有黑條圖形的漏印板與已形成匯流電極的玻璃平板進(jìn)行精確對(duì)位，保證黑條圖形漏印在維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)內(nèi)；如果采用光刻法，在每次制備黑條圖形時(shí)都需要將有黑條圖形的掩模板與已形成匯流電極的玻璃平板，進(jìn)行精確對(duì)位，經(jīng)曝光后，保證黑條圖形形成在維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)內(nèi)。黑條圖形與匯流電極圖形之間的間距數(shù)量單位是微米級(jí)，每次如對(duì)位不精確，就會(huì)影響維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y有效放電空間的形成，造成發(fā)光區(qū)不能夠完全發(fā)光和黑條對(duì)放電過程中產(chǎn)生的本底光遮擋不充分，對(duì)外界環(huán)境光的吸收達(dá)不到最佳效果，這樣會(huì)導(dǎo)致屏發(fā)光效率降低，畫面質(zhì)量變差。
另外，在形成匯流電極和黑條時(shí)，如果采用絲網(wǎng)印刷法，需要兩塊不同的絲網(wǎng)印刷板進(jìn)行兩次漏印、干燥、燒結(jié)；如果采用光刻法時(shí)，需要兩塊不同的掩模板進(jìn)行兩次曝光、顯影、干燥、燒結(jié)。此形成匯流電極和黑條的制作工藝繁瑣，耗費(fèi)模板材料，造成整個(gè)顯示屏的制作成本高，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提供一種簡(jiǎn)化工藝，能簡(jiǎn)化生產(chǎn)流程、減少設(shè)備投資、節(jié)約原材料消耗量，提高圖形制作的精度和等離子屏的畫面質(zhì)量，同時(shí)提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本的一種制作氣體放電顯示屏的方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，包括，1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作透明電極；2)給絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上；對(duì)漏印在玻璃平板上的黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條；透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y；3)再在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其中所說的匯流電極和黑條的制作過程是通過在一張同時(shí)具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持電極放電電極Y之間的非放電區(qū)上，對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條。
對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干時(shí)，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘、燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，匯流電極和黑條的高度為3---10微米。
采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏的方法，包括1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作出透明電極；
2)將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，在曝光機(jī)內(nèi)通過帶有圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持電極放電電極Y；3)在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其所說的匯流電極和黑條的制作過程是，先將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，然后在曝光機(jī)內(nèi)通過一張同時(shí)帶有匯流電極圖形和黑條圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，將電極圖形和黑條圖形從掩模板上復(fù)印到玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)上，隨后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條；對(duì)黑色感光性銀漿料烘干時(shí)，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘，燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，匯流電極和黑條的高度為3---10微米；本發(fā)明通過將形成匯流電極和黑條的工藝過程合并，實(shí)現(xiàn)了黑條與匯流電極一次成型，如果采用絲網(wǎng)印刷法，即將匯流電極圖形和黑條圖形制備在一張漏印板上，選用黑色Ag漿料，通過絲網(wǎng)印刷漏印一次成型。如果采用光刻法實(shí)現(xiàn)，則需要把電極和黑條圖形制備在一張掩模板上，在玻璃板上涂覆黑色感光性Ag漿料，再通過曝光、顯影完成匯流電極和黑條的一次成型。這樣不僅避免了圖形對(duì)位，提高了圖形制作的精度和等離子屏的畫面質(zhì)量，同時(shí)簡(jiǎn)化了生產(chǎn)流程，提高了生產(chǎn)效率，還減少了產(chǎn)品材料的消耗及生產(chǎn)線設(shè)備的投入，有利于降低生產(chǎn)成本。


圖1是交流氣體放電顯示屏結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明采用絲網(wǎng)印刷法制作匯流電極及黑條的工藝流程圖；圖3是本發(fā)明采用光刻法制作匯流電極及黑條的工藝流程圖；具體實(shí)施方式
附圖是本發(fā)明的具體實(shí)施例；下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步詳細(xì)說明參照?qǐng)D1所示，本發(fā)明所述的交流氣體放電顯示屏采用表面放電型結(jié)構(gòu)，包括一個(gè)前基板1及與之封接在一起的后基板6，前基板1上配置有透明電極(ITO)2和匯流電極3，透明電極2和匯流電極3構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y，在放電電極的表面覆蓋有一層介質(zhì)層4，介質(zhì)層上覆蓋一層介質(zhì)保護(hù)層5，在維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)內(nèi)覆蓋有條狀黑色銀漿料12，所述的后基板6上配置有與放電電極相互垂直的尋址電極7，尋址電極7上覆蓋一層介質(zhì)層11，介質(zhì)層11上配置有與其尋址電極7平行的條狀障壁9，且在條狀障壁9的底部覆蓋有熒光粉層8，前后基板用低熔點(diǎn)玻璃粉封接在一起，并且在其間充有Ne、Ar、Xe等的混合放電氣體。
氣體放電顯示屏各單元的放電過程是，首先是在尋址電極和掃描/維持放電電極Y(掃描/維持放電電極Y和維持放電電極X構(gòu)成一個(gè)顯示行)之間的電位差使它們之間產(chǎn)生放電，然后引起掃描/維持放電電極Y和維持放電電極X之間產(chǎn)生放電，完成該放電單元的尋址放電，尋址放電完成后即進(jìn)入放電維持期，積累了壁電荷的單元使維持放電繼續(xù)進(jìn)行，使屏上被尋址的單元處于點(diǎn)亮狀態(tài)。
參照?qǐng)D2所示，采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，包括，1)對(duì)基板玻璃進(jìn)行清洗，采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作透明電極；
2)給絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上；對(duì)漏印在玻璃平板上的黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y；3)再在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，溫度為560-570℃，時(shí)間為10-15分鐘，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，厚度為4000埃----7000埃，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其中所說的匯流電極和黑條的制作過程是通過在一張同時(shí)具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)上，對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘，然后再進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為3---10微米。
實(shí)施例一采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏?xí)r，對(duì)于對(duì)角線長(zhǎng)為42英寸的顯示屏，先準(zhǔn)備高熔點(diǎn)的PD-200玻璃基板一塊，對(duì)基板玻璃進(jìn)行清洗，采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作透明電極，在同一張絲網(wǎng)印刷版上制作出匯流電極圖形和黑條圖形，匯流電極圖形寬90um，黑條圖形寬170um，匯流電極與黑條圖形的間距為45um，再在具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，這樣就省去了黑條圖形與已制作好的匯流電極圖形進(jìn)行對(duì)位的過程，然后黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持電極放電電極Y之間的非放電區(qū)上，再對(duì)黑色銀漿料在干燥爐進(jìn)行烘干，其溫度90℃，時(shí)間20分鐘、在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度550℃，時(shí)間30分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度約為6微米。再在玻璃平板的匯流電極和黑條上面涂敷介質(zhì)層，其介質(zhì)層主要成分為玻璃粉PbO.B2O3.SiO2和樹脂粘結(jié)劑等有機(jī)溶劑。主要的功用是在使用交流電時(shí)，能夠作為儲(chǔ)存電荷之電容，以及在驅(qū)動(dòng)前基板上的電極時(shí)，介質(zhì)層能夠提供壁電荷以降低所需之驅(qū)動(dòng)電壓，并提供記憶維持狀態(tài)的功能。經(jīng)燒結(jié)，燒結(jié)溫度565℃，時(shí)間12分鐘，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；為了提高電極的放電壽命，還要在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂MgO保護(hù)膜，MgO保護(hù)膜主要以氧化鎂制作，其主要作用是隔絕顯示屏的放電單元和其它部分，避免前基板的維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y電極部分在等離子屏發(fā)光的過程中受到離子的撞擊，以保護(hù)底下的各層材料。除此之外，尚可提供較高的二次電子發(fā)射效率，以降低產(chǎn)生氣體放電所需的最低激活電壓，厚度5500埃，至此前基板制作完成；將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉，即形成氣體放電顯示屏。
實(shí)施例二、三的其它工藝過程同上述實(shí)施例一。
實(shí)施例二在對(duì)黑色銀漿料在干燥爐進(jìn)行烘干時(shí)，其溫度85℃，時(shí)間18分鐘，在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度545℃，時(shí)間25分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為4微米，MgO保護(hù)膜厚度4000埃；實(shí)施例三在對(duì)黑色銀漿料在干燥爐進(jìn)行烘干時(shí)，其溫度95℃，時(shí)間22分鐘，在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度560℃，時(shí)間35分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為10微米，MgO保護(hù)膜厚度7000埃。
參照?qǐng)D3所示，采用光刻技術(shù)制備制作氣體放電顯示屏的方法，包括1)對(duì)基板玻璃進(jìn)行清洗，采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作出透明電極；2)將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，在曝光機(jī)內(nèi)通過帶有圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y；3)在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒結(jié)溫度為560-570℃，時(shí)間為10-15分鐘，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其所說的匯流電極和黑條的制作過程是，先將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，然后在曝光機(jī)內(nèi)通過一張同時(shí)帶有匯流電極圖形和黑條圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，將電極圖形和黑條圖形從掩模板上復(fù)印到玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)上，隨后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘，然后再進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為3---10微米；實(shí)施例四采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏?xí)r，對(duì)于對(duì)角線長(zhǎng)為50英寸的顯示屏，先準(zhǔn)備高熔點(diǎn)的PD-200玻璃基板一塊，采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作出透明電極；將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，膜層厚度為15um，然后在曝光機(jī)內(nèi)通過一張同時(shí)帶有匯流電極圖形和黑條圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層以紫外燈照射進(jìn)行曝光將電極圖形和黑條圖形從掩模板上復(fù)印到玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)上，隨后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干，烘干溫度90℃，時(shí)間20分鐘、在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度550℃，時(shí)間30分鐘，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，其匯流電極和黑條的高度約為6微米。再在玻璃平板的匯流電極和黑條上面涂敷介質(zhì)層，介質(zhì)層主要成分為玻璃粉PbO.B2O3.SiO2和樹脂粘結(jié)劑等有機(jī)溶劑。主要的功用是在使用交流電時(shí)，能夠作為儲(chǔ)存電荷之電容。以及在驅(qū)動(dòng)前基板時(shí)，介質(zhì)層能夠提供壁電荷以降低所需之驅(qū)動(dòng)電壓，并提供記憶維持狀態(tài)的功能。經(jīng)燒結(jié)，燒結(jié)溫度565℃，時(shí)間12分鐘，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；為了提高電極的放電壽命，還要在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂MgO保護(hù)膜，MgO保護(hù)膜主要以氧化鎂制作，其主要功用是隔絕顯示屏的放電單元和其它部分，避免前基板的維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y部分在等離子放光的過程中受到離子的撞擊，以保護(hù)底下的各層材料。除此之外，尚可提供較高的二次電子發(fā)射效率，以降低產(chǎn)生氣體放電所需的最低激活電壓。厚度5500埃，至此前基板制作完成；將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉，即形成氣體放電顯示屏。
實(shí)施例五、六的其它工藝過程同上述實(shí)施例四。
實(shí)施例五在對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行在干燥爐進(jìn)行烘干時(shí)，烘干溫度85℃，時(shí)間18分鐘、在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度545℃，時(shí)間25分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為4微米，MgO保護(hù)膜厚度4000埃；實(shí)施例六在對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行在干燥爐進(jìn)行烘干時(shí)，烘干溫度95℃，時(shí)間22分鐘，在燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度560℃，時(shí)間35分鐘，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，匯流電極和黑條的高度為10微米，MgO保護(hù)膜厚度7000埃。
以上方法適用任何尺寸氣體放電顯示屏的制作。
權(quán)利要求
1.一種采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，包括，1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作透明電極；2)給絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上；對(duì)漏印在玻璃平板上的黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條；透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y；3)再在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其特征在于所說的匯流電極和黑條的制作過程是通過在一張同時(shí)具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網(wǎng)印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網(wǎng)印刷版漏印在玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持電極放電電極Y之間的非放電區(qū)上，對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干、燒結(jié)，燒去黑色銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，對(duì)黑色銀漿料進(jìn)行烘干時(shí)，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，對(duì)黑色銀漿料中的有機(jī)材料燒結(jié)時(shí)，燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用絲網(wǎng)印刷制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，匯流電極和黑條的高度為3---10微米。
5.一種采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏的方法，包括1)采用光刻技術(shù)在玻璃平板上先制作出透明電極；2)將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，在曝光機(jī)內(nèi)通過帶有圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，之后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條，透明電極和匯流電極構(gòu)成放電電極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y；3)在玻璃平板的匯流電極和黑條上涂敷介質(zhì)層，經(jīng)燒結(jié)，燒去介質(zhì)層中的有機(jī)材料；4)在介質(zhì)層上用電子束蒸發(fā)成膜法制做氧化鎂介質(zhì)保護(hù)膜，至此前基板制作完成；5)將制備好的前后基板進(jìn)行封接、排氣、老煉即形成氣體放電顯示屏；其特征在于所說的匯流電極和黑條的制作過程是，先將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續(xù)的膜層，然后在曝光機(jī)內(nèi)通過一張同時(shí)帶有匯流電極圖形和黑條圖形的掩模板對(duì)玻璃平板上的膜層進(jìn)行曝光，將電極圖形和黑條圖形從掩模板上復(fù)印到玻璃平板上的透明電極的外側(cè)上和維持放電電極X和掃描/維持放電電極Y之間的非放電區(qū)上，隨后進(jìn)行顯影，再經(jīng)烘干、燒結(jié)，燒去黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料，形成匯流電極和黑條。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，對(duì)黑色感光性銀漿料烘干時(shí)，烘干溫度為85-95℃，時(shí)間為18-22分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，對(duì)黑色感光性銀漿料中的有機(jī)材料燒結(jié)時(shí)，燒結(jié)溫度為540℃-560℃，時(shí)間為25-35分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的采用光刻技術(shù)制作氣體放電顯示屏的方法，其特征在于，匯流電極和黑條的高度為3---10微米；
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制作氣體放電顯示屏的方法，屬于氣體放電技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種交流等離子顯示屏的前基板的制作方法。通過將形成匯流電極和黑條的工藝過程合并，實(shí)現(xiàn)了黑條與匯流電極一次成型，如果采用絲網(wǎng)印刷法，即將匯流電極圖形和黑條圖形制備在一張漏印板上，選用黑色Ag漿料，通過絲網(wǎng)印刷漏印一次成型。如果采用光刻法實(shí)現(xiàn)，則需要把電極和黑條圖形制備在一張掩模板上，在玻璃板上涂覆黑色感光性Ag漿料，再通過曝光、顯影完成匯流電極和黑條的一次成型。這樣不僅避免了圖形對(duì)位，提高了圖形制作的精度和等離子屏的畫面質(zhì)量，同時(shí)簡(jiǎn)化了生產(chǎn)流程，提高了生產(chǎn)效率，還減少了產(chǎn)品材料的消耗及生產(chǎn)線設(shè)備的投入，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01J9/02GK1595589SQ20041002632
公開日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2004年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月13日
發(fā)明者賈云濤 申請(qǐng)人:彩虹彩色顯像管總廠